【課題】振動損失を低減させ、角速度センサーとして用いた場合に検出感度が高い振動片を提供する。
【解決手段】振動片１０は、基部２０と、互いに対向する第１主面１１と第２主面１２と、第１主面１１及び第２主面１２を連結し互いに対向する側面４１，５１と側面４２，５２と、を有し、基部２０から延在された複数の振動腕４０，５０と、少なくとも振動腕４０の側面４１は、第１主面１１側から設けられた第１段差部４３と、第２主面１２側から設けられた第２段差部４４と、を有し、振動腕４０の側面４２に設けられた検出電極と、第１段差部４３の検出電極に対向する位置に設けられた検出電極と、第２段差部４４の検出電極に対向する位置に設けられた検出電極と、を備える。 （もっと読む）

【課題】外乱振動に対する優れた耐振・耐衝撃性能を有する圧電振動デバイスを提供する。
【解決手段】本発明によるヨーレートセンサ装置１は、半導体基板上に圧電素子を含むヨーレートセンサ素子２と、そのヨーレートセンサ素子２を固定・支持する板状の固定部５とを有しており、固定部５は、その両端が、ケース４内に設けられた固定部保持台４５，４５’によって保持され、半導体基板の延在方向に沿って延在している。 （もっと読む）

【課題】コンパクトな角速度の振動マイクロ−メカニカルセンサーにおいて、信頼性が高くかつ効率的な測定を可能とする。
【解決手段】震動質量１、２がバネによってまたはバネと堅固な補助構造によって支持領域に接続され、これによって、震動質量によって形成されるウェハーの平面に垂直な回転軸に関する自由度、および、ウェハーの平面に平行な少なくとも１つの回転軸に関する自由度が、震動質量１、２に与えられる。 （もっと読む）

【課題】サイズの大型化を回避できるセンサーデバイス、これを用いたモーションセンサー及びこのモーションセンサーの製造方法の提供。
【解決手段】第２センサーデバイス２は、複数のリード１０の一方の面１１に形成された接続部１２と、一方の主面２０ａがワイヤー４０によって接続部１２に接続された振動ジャイロ素子２０と、リード１０の、一方の面１１と表裏関係を成す他方の面１３に接合された補強板３０と、を有し、補強板３０が、平面視において、接続部１２と重なるように複数のリード１０に跨って設けられ、リード１０が、一方の面１１または他方の面１３と振動ジャイロ素子２０の一方の主面２０ａまたは他方の主面２０ｂとの成す角度θが略直角となるように折り曲げられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 占有面積の縮小、容量の増大、ブラウンノイズの低減及び可動部の質量の増大等の二律背反の要請をバランスよく満足して検出精度を向上することができるＭＥＭＳセンサー及びその製造方法並びに電子機器を提供すること。
【解決手段】 ＭＥＭＳセンサー１０は、固定部２０と、弾性変形部３０と、弾性変形部を介して固定部に連結され、周囲に空洞部が形成された可動錘部４０と、固定部に第１の方向Ａに沿って配列固定され、第１の方向と直交する第２の方向Ｂに沿って突出する複数の固定電極部５０と、可動錘部より第２の方向に沿って突出形成されて、複数の固定電極部５０にそれぞれ対向して配置され、第１の方向に沿って配列された複数の可動電極部６０とを有する。可動錘部４０は、複数の可動電極部と同一の層に形成され、複数の可動電極部を連結する連結部４２と、複数の可動電極部及び連結部とは異なる層に形成され、連結部に接続された付加錘部４６とを含む。 （もっと読む）

【課題】複数種類の感度の検出信号をＡ／Ｄ変換する際に、Ｓ／Ｎ比を向上させる物理量
測定装置及び電子機器等を提供する。
【解決手段】振動子と、前記振動子と発振ループを形成し、該振動子に駆動振動を励振す
る駆動回路と、前記振動子に励振される駆動振動及び測定すべき物理量に応じて第１の検
出信号及び第２の検出信号を出力する検出回路とを含み、検出回路は、前記駆動振動及び
前記物理量に応じて第１の検出信号を出力する第１のＬＰＦと、第１のＬＰＦのゲインと
異なるゲインを有し、前記駆動振動及び前記物理量に応じて第２の検出信号を出力する第
２のＬＰＦとを含み、第１のＬＰＦ及び第２のＬＰＦの各々は、ＳＣＦ回路により構成さ
れ、ＳＣＦ回路は、第１の検出信号及び第２の検出信号に対して行うＡ／Ｄ変換処理のサ
ンプリングクロックの４倍以上の周波数の動作クロックにより、スイッチ制御される。 （もっと読む）

【課題】より高精度に変位量を検出する角速度検出装置を提供する。
【解決手段】角速度を検出する角速度検出装置であって、光源部から射出された光が入射する第１の振動子を備える振動部材と、前記第１の振動子を介した前記光のうち分岐された第１の光と第２の光とを干渉させる光学部材と、前記第１の光および前記第２の光に基づく干渉光を受光する受光部と、前記第１の振動子の回転運動によって生じる前記干渉光の干渉縞の変化をもとに、前記第１の振動子の変位を検出する検出部と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、慣性センサの検知精度を向上させることを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、支持梁１１と、前記支持梁１１により一端を支持された圧電体からなる駆動梁１２と、前記支持梁１１により一端を支持された圧電体からなる検出梁１３と、前記駆動梁１２及び前記検出梁１３の他端に設けられた錘１４とを備え、前記支持梁１１がＸ軸方向及び前記Ｘ軸に直交するＹ軸方向へと伸びる略十文字形状をし、且つ前記略十文字形状の４つの先端が固定されている構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】高感度及び低バイアスに最適化された入力ビーム変調を有する共振器光ジャイロスコープを提供する。
【解決手段】高いジャイロ感度及び低いバイアス誤差に入力ビーム変調を最適化するためのシステム及び方法。本発明は、ジャイロ信号対雑音（Ｓ／Ｎ）感度を最大化する選択された変調周波数（振幅）における最適化された位相変調振幅（周波数）を有する共振器光ジャイロスコープである。位相変調振幅の選択された値について、偏光クロスカップリングが誘発した強度変調をゼロにすることができる。これらのゼロ化点にほぼ近い位相変調振幅（例えば、１次ベッセル関数をゼロにする、すなわちＪ_１（Ｍ）＝０にするＭ＝３．８３２ラジアン又は７．０１６ラジアン）を設定し、次に、変調周波数を最適化することによって、強度変調が誘発したバイアスはゼロに低減され、ジャイロＳ／Ｎ感度は最大化される。 （もっと読む）

【課題】本発明では、物理量センサにおいて、外部から伝達させる外乱振動を減衰させる構造とすることで物理量の誤差検出を防ぎ、高精度検出が可能な耐振動性向上実装構造を提供することを目的とする。
【解決手段】物理量センサを設置した筐体の下に内部に空間を備え、かつ、オリフィスや未接着部を備えた低剛性材料の筐体支持体を設置し、かつ、電気信号を基板に伝達する手段も低剛性構造であること、を特徴とすることにより、耐振動性に優れた実装構造とした。本発明によれば、物理量センサにおいて、外部からの外乱振動を防ぎ、物理量の高精度検出を可能とする。 （もっと読む）

【課題】 １つのアームに対する電極数が２本と少なく、駆動検出回路の規模や接続部周辺の占有面積を小さくでき、且つ、従来よりも高い検出感度を有する圧電振動ジャイロ用振動子及び角速度検出システムを提供すること。
【解決手段】 屈曲振動するアーム５とこれを支持固定する基部７とを有する基板と、下部電極４と圧電膜３と上部電極２ａおよび２ｂとを備え、圧電膜３の成膜面に対し平行なＸ軸方向及び圧電膜３の成膜面に対し垂直なＺ軸方向の振動の駆動及び検出をそれぞれ可能とし、上部電極２ａおよび２ｂはアーム５の屈曲部に形成され、上部電極２ａをＸ軸方向の振動の駆動もしくは検出に使用し、上部電極２ｂをＺ軸方向の振動の駆動もしくは検出に使用する。ここで、上部電極２ａおよび２ｂのＸ軸方向の幅をそれぞれＡ及びＢとした場合、０．３≦Ａ／Ｂ≦０．７を満たす値に設定されている。 （もっと読む）

【課題】高次空間モードからのバイアス誤差が低減された共振器光ファイバジャイロスコープを提供する。
【解決手段】共振器は、少なくとも、ループファイバ９０、２つ又は３つ以上のいずれかのイン／アウト結合素子６０、及び素子を循環ループ内へリンクするコネクタを備える。実施形態のいくつかでは、出力光を入力光から分離するのに方向性素子５３、５４を使用することができる。すべての実施形態において、モードフィルタ８０が共振器内に配置されて、光検出器５５，５６に到達する光が、共振器内の少なくとも１つのモードフィルタにより少なくとも１回フィルタリングされることが保証される。空間モードフィルタリング及び偏光モードフィルタリングの双方を同時に実施できるように、モードフィルタは、空間モードフィルタ（単一モードファイバ又は単一モード導波路等）及び偏光モードフィルタ（偏光素子等）の双方を含むことができる。 （もっと読む）

【課題】小型化省電力化を図り、検出感度を向上させる。
【解決手段】一様な平面を備えたリング状振動体と、振動体を支持するレッグ部１５と、上層下層金属膜により圧電体膜を厚み方向に挟む電極１３ａ，１３ｓ，１３ｔ，１３ｈ及び固定電位電極１６とを備え、複数の電極は、ｃｏｓＮθの振動モードでその振動体の一次振動を励起する円周方向に（３６０／Ｎ）°離れた角度に配置された駆動電極と、電極各々から（１８０／Ｎ）°離れた角度に配置された電極とを含む一群の駆動電極１３aと、駆動電極１３ａから（９０／Ｎ）°離れた角度に配置され、角速度の二次振動を検出する第１検出電極１３ｓと、さらに（１８０／Ｎ）°離れた角度に配置され二次振動を検出する第２検出電極１３ｔとを含み、各駆動電極１３ａは、その振動体の外周縁からその外周縁の近傍か、振動体の内周縁からその内周縁の近傍に至るまでの領域とのいずれか又は両方の領域に配置される。 （もっと読む）

【課題】 良好な感度で安価な光ファイバ干渉計を製造すること、及びそのような干渉計を備える光ファイバジャイロスコープを提供すること。
【解決手段】 発明は、位相緩和時間τ_ＤＣを有する広帯域光源（１）と、長さがＬのＮ回巻きの光ファイバ（５）を備えるコイルと、入射ビームを前記ファイバ（５）の第１と第２の端部にそれぞれ結合された第１と第２のビームに分割することができ、それにより前記第１のビームが第１の方向に前記光ファイバを通過し、前記第２のビームが反対の伝搬方向に前記光ファイバを通過する光学手段と、出力ビームの強度を検出できる検出器（６）とを含む光ファイバ干渉計に関する。発明によれば、前記光ファイバは高偏波モード分散光ファイバであり、前記光ファイバコイルの長さＬはファイバ相関長の２倍より大きく、すなわちＬ＞２Ｌ_ｃであり、それにより前記ファイバは結合されたＰＭＤ状態で動作し、前記ファイバの長さＬにわたり累積された二つの直交偏波状態間の群伝搬時間差（ＤＧＤ）は前記光源の位相緩和時間より大きい。すなわち、ＤＧＤ＞τ_ＤＣである。 （もっと読む）

【課題】小型可能な簡易構造で、複数の回転軸を測定する、振動ジャイロを提供する。
【解決手段】一様な平面を備えたリング状振動体１１と、リング状振動体を柔軟に支持するレッグ部１５と、圧電体膜を厚み方向に挟む上層金属膜及び下層金属膜により形成される複数の電極とを備えている。ｃｏｓＮθの振動モードでリング状振動体１１の一次振動を励起する駆動電極１３ａの１つを基準駆動電極とした場合に、その他の複数の電極１３ｂ，・・・，１３ｆが特定の箇所に配置される。この配置により、アウト・オブ・プレーンのｃｏｓ２θの振動モードの一次振動が励起されるとともに、ｃｏｓ３θのイン・プレーンの振動モードの二次振動検出手段を用いて１軸乃至２軸の角速度を検出することができる。加えて、一群の駆動電極を備えることにより、円周方向に（３６０／Ｎ）°離れた角度のみに配置された一群の駆動電極に比べて、振幅の増大又は省電力化が達成される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動子の出力信号の感度が劣化したままの状態で出力信号を出力し続けるということがなく、振動子の出力信号の感度を監視することができる角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、ドライブ回路の出力信号を第１のセンス電極３４または第２のセンス電極３５のうちのいずれか一方のセンス電極に入力するとともに、他方のセンス電極からの出力信号を検出することにより、振動子３０の出力信号の感度を監視する構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】屈曲振動モードを利用し、電極厚とは別に調整しても、少なくとも電気機械結合係数を含む圧電振動子の複数の特性を変更できる構造を備える圧電振動子を提供する。
【解決手段】圧電振動子１は、周波数信号の印加により主面法線方向に屈曲振動する振動部を備える。この振動部は上主面電極２と圧電基板３と下主面電極４と誘電体層５とを含む複数の層を主面法線方向に積層した構成である。上主面電極２は、圧電基板３の上主面に設けられる。下主面電極４は圧電基板３の下主面に設けられる。誘電体層５は下主面電極４に積層される。 （もっと読む）

【課題】感度の高いジャイロスコープおよび回転検出方法を提供する。
【解決手段】ジャイロスコープ１０は、駆動軸１０２の周りを動くよう駆動されるように構成された構造体１００を含む。構造体はさらに、駆動軸の周りを動きつつ、回転軸の周りの構造体の回転によって生じるコリオリの力に応じて検知軸１０４の周りを動くように構成される。ジャイロスコープはさらに、検知軸の周りの構造体の移動を光学的に測定するように構成された光センサシステムを含む。いくつかの実施例では、ジャイロスコープはＭＥＭＳ（microelectromechanical system）ジャイロスコープである。 （もっと読む）

【課題】従来とは異なる方法により耐紫外線性が高くかつ高反射率の可視光ミラーを実現する。
【解決手段】この課題を解決するために、本発明に係る可視光ミラーは、基板と、基板上に形成され、紫外線の照射により可視光吸収の増大が誘起される誘電体材料の層を含んだ、可視光を反射する多層膜ミラーである可視光ミラースタック層部と、可視光ミラースタック層部上に形成され、紫外線領域の所定の波長帯域における反射率が５０％以上の多層膜ミラーである紫外線ミラースタック層部とを備える。 （もっと読む）

【課題】角速度検出部の耐衝撃特性、及び加速度検出部の感度特性の低下が抑制された加速度角速度センサを提供する。
【解決手段】対をなす、第１固定電極、第１可動電極、錘部、及び該錘部が設けられ、第１可動電極を支持する第１支持部を有する加速度検出部と、対をなす、第２固定電極、第２可動電極、及び該第２可動電極を支持する第２支持部を有する角速度検出部と、対をなす第１支持部をＸ方向に逆位相で加振し、対をなす第２支持部をＸ方向に逆位相で加振する加振部と、を備え、第１支持部間は、Ｙ方向に変位可能な第１バネによって互いに連結され、第１支持部はＸ方向及びＹ方向に変位可能な第２バネによって基台に連結され、第２支持部の１つはＸ方向及びＹ方向に変位可能な第３バネによって第１支持部の１つと連結され、第２支持部と第２可動電極とは、Ｙ方向に変位可能な第４バネによって連結されている。 （もっと読む）