【課題】半導体装置の製造効率を向上させる。
【解決手段】半導体チップと電気的に接続された複数の外部端子（リード）と、複数の端子（テスト端子）ＣＰの接触領域３１を接触させることで、半導体チップとテスト回路を電気的に接続し、電気的試験を行う。ここで、端子ＣＰは、複数の半導体装置の電気的試験に繰り返し使用するものである。また、端子ＣＰの接触領域３１は、第１合金から成る芯材Ｍ１と、芯材Ｍ１を覆う金属膜Ｍ２とを備えている。また、金属膜Ｍ２は、第１合金よりも硬度が高い第２合金から成るものである。 （もっと読む）

【課題】酸化及び溶損を防止することができるプローブカード用接触端子を提供する。
【解決手段】半導体デバイスを検査するプローブカード１０のベース１１において半導体デバイスと対向する面には、複数のポゴピン１２が配され、各ポゴピン１２のプランジャー１４は柱状の接触部１４ｃを有し、接触部１４ｃは、柱状の中心部１４ｄと、中心部１４ｄの側面を覆う外部筒１４ｅとを有し、外部筒１４ｅを構成する材料の硬度及び比抵抗は、中心部１４ｄを構成する材料の硬度及び比抵抗と異なる。 （もっと読む）

【課題】 比較的大なる電流を流し得る接触端子を提供すること。
【解決手段】 本体ケース（１１）に設けられた非貫通長穴（１３）に挿入したプランジャーピン（２０）の本体ケース（１１）からの突出端部（２１ａ）を対象部位に接触させて電気的接続を得るための接触端子（１０）である。プランジャーピン（２０）は突出端部（２１ａ）を含む小径部（２１）及び非貫通長穴（１３）の内面に摺動しながらその長手方向に沿って移動自在の大径部（２２）を有する段付き丸棒であり、大径部（２２）の端部からその長手方向に沿って大径部（２２）の少なくとも側面部の一部を残すように切削部を与えて切削部内に少なくとも絶縁表面を有する絶縁球（３０）を収容し、非貫通長穴（１３）と絶縁球（３０）との間にコイルバネ（３１）を介在させてプランジャーピンの突出端部（２１ａ）を本体ケース（１１）から突出するように付勢していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】微細かつ確実に対象点上の酸化膜等の除去が可能な接続端子を提供する。
【解決手段】対象点間を接続する接続治具に用いられる接続端子である。小径の導電部とそれを囲むように配置された大径の導電性の円筒形状部とを備え、大径の導電性の円筒形状部の筒壁面に長軸方向に収縮するばね部が形成され、小径の導電部の先端部が、大径の導電性の円筒形状部の先端部から突出し、小径の導電部の一部が、大径の導電性の円筒形状部のばね部が形成されていない部分の先端部に近い位置に電気的に接続されて接合されており、小径の導電部の先端部が対象点から押圧されて後退するのに伴いばね部が収縮しながら旋回して小径の導電部の先端部を対象点上で旋回させる。 （もっと読む）

【課題】スプリングプローブのプランジャとバレルの間の摩耗による電気抵抗の変化を、スプリングプローブの交換が必要となる時期を検出するに適したスプリングプローブ、スプリングプローブの摩耗検出装置及びスプリングプローブの摩耗検出方法を得るものである。
【解決手段】スプリングプローブ２６のバレル端子２７に接続され、バレル１３とプランジャ１１の摺動接点１４、２３に流れる電流を測定する電流測定器５３と、バレル端子２７とスプリング端子１６に接続され、バレル１３とプランジャ１１の摺動接点１４，２３の電圧降下を測定する電圧測定器５４と、電流測定器５３及び電圧測定器５４からの信号に基づき検出されたバレル１３とプランジャ１１の摺動接点１４，２３の接触抵抗値と、バレル１３とプランジャ１１の摺動接点１４，２３の基準抵抗値とを比較し、その比較差が設定した値に達すれば摩耗検出信号を出力する制御計算機を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】円筒形状部が抵抗溶接による固定の前後においてほぼ円形形状を維持している接続端子を提供する。
【解決手段】対象点間を接続する接続治具に用いられる接続端子は、小径の導電部とそれを囲むように配置された大径の円筒形状部とを備え、小径の導電部の先端部が、大径の円筒形状部の先端部から突出し、小径の導電部の一部が、大径の円筒形状部の一部に接合されており、小径の導電部に接合された大径の円筒形状部の部分を少なくとも含む円筒形状部の軸線の周りの帯状部分の一部に切欠き部が形成されている。 （もっと読む）

【課題】複雑な制御を行うことなく、半導体の実装状態に左右されずに検査を行うことが可能な半導体デバイス検査装置及び半導体デバイス検査方法を提供する。
【解決手段】検査装置１は、半導体２Ａに接触するプローブ９０を複数有するプローブセット部７０と、このプローブセット部７０を保持するとともに半導体２Ａに向けて加圧するセット保持部８０とを備え、プローブセット部７０とセット保持部８０との接触部７１，８１Ａを球形とした構成とする。 （もっと読む）

【課題】基板の微細化及び複雑化に対応でき、検査時には強い押圧力を且つ非検査時には弱い押圧力を提供できる微細な接触子及び検査用治具の提供。
【解決手段】複数の検査点を有する被検査物と、電気的特性を検査する検査装置とを電気的に接続する検査用治具であって、検査装置と接続される電極部を複数備える電極体と、電極部と検査点を接続する検査用接触子と、検査用接触子は、両端に開口部を有し、先端開口部が電極部の表面と当接する導電性の筒状部材と、筒状部材の後端開口部から突出されるとともに該筒状部材内部に配置され、先端が検査点に接触する導電性の棒状部材と、筒状部材と棒状部材を電気的に接続する固定部とを備え、筒状部材は、筒状部材の壁部に長軸方向に伸縮する螺旋状の切欠が形成される第一切欠部と、第二切欠部を有し、第一切欠部又は第二切欠部のいずれかが、棒状部材が検査点に当接して検査が実施される際に、収縮の限界に達している。 （もっと読む）

【課題】信号ケーブルが接続されているプローブピンの破損や信号ケーブルの切断を防止しつつ着脱を行う。
【解決手段】プローブピン１３をそれぞれ保持可能に構成される共にプローブピン１３をプロービング対象体にプロービングさせるプロービング機構４における一対の取付部６２にそれぞれ着脱可能に構成された一対の保持部１１ａ，１１ｂを備え、各保持部１１ａ，１１ｂは、互いに近接し、かつ連結部材１２によって連結されている状態で各取付部６２にそれぞれ着脱可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】手軽かつ簡便に対象物の粘弾性を計測すること。
【解決手段】プローブ装置１００は、携帯端末装置２００に着脱可能な略円筒形状の装置である。プローブ装置１００の筐体１１０内部には、押下部材１２０が押下可能に設けられている。出力制御部２６１は、粘弾性計測を開始する準備が整った場合に、プローブ装置１００の押下部材１２０を押下するように要求する押下要求メッセージを出力する。そして、出力制御部２６１は、変化点検出部２６３からの通知を受けた場合に、プローブ装置１００の押下部材１２０を開放するように要求する開放要求メッセージを出力する。距離計測部２６２は、出力制御部２６１から押下要求メッセージ又は開放要求メッセージが出力された後は、継続的に所定周期の計測タイミングで計測対象物までの距離を計測し、計測された距離の変化から計測対象物の変位を求める。 （もっと読む）

【課題】バインダ分解ガスを基板の外部に良好に放出することができ、かつ、基板表面に配置される導体配線に安定して通電することのできるウェハ検査用の配線基板が求められている。
【解決手段】上面ならびに中央領域５ａおよび周縁領域５ｂを有する下面を備えた積層体５と、積層体５の下面の周縁領域５ｂに配設された複数の入出力端子９とを具備し、積層体５が、平面透視した場合に、中央領域５ａに位置して下面に開口して複数のセラミック層３の途中まで到る穴部１９および周縁領域５ｂと重なるように内部に位置する中空部２１を備えたウェハ検査用の配線基板１とする。 （もっと読む）

【課題】電極から確実に酸化膜及び有機物を除去することができる、半導体装置の検査用ソケットを提供する。
【解決手段】第１方向に沿って伸びる貫通孔を有する基材と、前記第１方向に沿って伸び、先端が前記貫通孔の一端から突き出るように前記貫通孔に配置され、検査時に先端で被検査対象装置に設けられた被検査装置電極に押し当てられる、第１ピン部と、前記第１ピン部が前記被検査装置電極に押し当てられたときに、前記第１ピン部が前記基材に対して前記第１方向に沿って変位するように、前記第１ピン部を弾性的に支持する、弾性支持機構と、前記第１ピン部が変位したときに、前記第１ピン部を回転させる、第１ピン部用誘導機構とを具備する。前記第１ピン部は、２重構造であり、被検査装置電極に押し当てられたときに何れか一方の電極が回転する。 （もっと読む）

【課題】組み立てが簡易で、確実に機能する接続端子及び検査用治具を提供する。
【解決手段】対象点間を接続する接続治具に用いられる接続端子は、小径の導電部とそれを囲むように配置された大径の円筒形状部とを備え、大径の円筒形状部の一部にばね部が形成され、小径の導電部の先端部の先端面が、大径の円筒形状部の先端面から突出し、さらに、小径の導電部の一部が、大径の円筒形状部のばね部が形成されていない部分であってばね部よりも先端面に近い部分に接合されていて、小径の導電部の先端部の先端面が、対象点に押しあてられてばね部が収縮する際に、ばね部が小径の導電部の軸線を中心に旋回する。 （もっと読む）

【課題】組み立てが簡易で、確実に機能する接続端子及び検査用治具を提供する。
【解決手段】対象点間を接続する接続治具に用いられる接続端子は、小径の導電部とそれを囲むように配置された大径の円筒形状部とを備え、大径の円筒形状部の一部にばね部が形成され、小径の導電部の先端部の先端面が、大径の円筒形状部の先端面から突出し、さらに、小径の導電部の一部が、大径の円筒形状部のばね部が形成されていない部分であってばね部よりも先端面に近い部分に接合されていて、小径の導電部の先端部の先端面が、対象点に押しあてられてばね部が収縮する際に、ばね部が小径の導電部の軸線を中心に旋回する。 （もっと読む）

【課題】電池に当接するコンタクトピンの交換及び取り付け作業が簡単な大電流用コンタクトプローブを提供する。
【解決手段】下部には第１のフランジ１８を備え、上部に第２の雄ねじ部１９を有する筒状のソケット２０と、第２の雄ねじ部１９に螺合する取り付けナット２１と、下部には第２のフランジ２３を備え、第２のフランジ２３と第１のフランジ１８との間に配置されるバネ材２４を挟んで、ソケット２０に下方から装着され、ソケット２０の上端から第１の雄ねじ部１６が突出する筒状のアダプター２５と、第１の雄ねじ部１６に螺合し、接続端子１５をアダプター２５に固定する複数の締結ナット２６〜２８と、接触端子１３を下部に備えて、アダプター２５に下方から装着されるコンタクトピン３０と、アダプター２５の内側空間部３１に配置され、コンタクトピン３０に弾性的に接するコンタクト部材３２とを有する。 （もっと読む）

【課題】半導体集積回路の電気的検査に用いられるプローブカード等に有用なピン集合体１の提供。
【解決手段】このピン集合体１は、互いに固定された同一長さの複数本の管部材３と、この管部材３の内側に基端側が挿入されて固定されることによって整列された複数本のピン２と、収容部５を有する基板４とを備えており、上記複数本の管部材３が、平行状態で縦横に互いに密着して固定されており、この固定された複数本の管部材３が上記基板４の収容部５に収容されており、上記複数本のピン２の先端側が、上記管部材３の同一側端部から同一長さだけ突出しており、上記複数本の管部材３が、互いに同一内径を有しており、上記ピン２が、管部材３の内径とほぼ同一の外径を有している。 （もっと読む）

【課題】 簡便な構成であるとともに、対象物表面に形成される酸化被膜を好適に除去することができる接触子を提供する。
【解決手段】 被検査物の対象部の電気的特性を検査するための検査装置用の検査用治具に取り付けられる接触子であって、一端が前記検査装置と電気的に接続される電極部と導通接触する円筒部と、
先端が前記対象部に当接するとともに前記円筒部の他端から延出し、後端が前記円筒部内に配置される棒状部とを有し、円筒部は、前記一端部と前記他端部との間に、該円筒部の壁面周縁に長軸方向の螺旋状のばね部と、前記棒状部と電気的に導通されるとともに接合される接合部を有し、前記一端部に、前記棒状部を該円筒部の円周方向に回転駆動させるための回動部を有していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】プローブ本体部側に従来のキャップに相当する弾性保護カバーを出没可能に内蔵させて紛失しないようにした測定器用テストプローブの提供。
【解決手段】接触ピンを突出させたプローブ本体部１２からコードを引き出さしてなる測定器用テストプローブ１１において、プローブ本体部１２は、一部を突出させて人為的な回転操作を可能に軸支させた回転ギア２０と、該回転ギア２０と噛合する噛合溝３４をその表面３２ａに有して内部空間１５の内コード部２３周りに螺旋状となって進退可能に配置される弾性保護カバー３２と、先端１３寄りにて弾性保護カバー３２の出入を許す出入口１９とを備え、接触ピン１６使用時には、出入口１９にその先端面３３ａ側が臨む位置まで弾性保護カバー３２の退避を可能とし、不使用時には、接触ピン１６の全体を進出させた弾性保護カバー３２で覆えるようにした。 （もっと読む）

【課題】プローブ装置の接触電極を被検査体の電極に確実に接続させることにある。
【解決手段】プローブ装置は、前後方向に延びるプローブブロックと、該プローブブロックの前部の下側に取り付けられた可撓性の配線シート支持体と、該配線シート支持体の下側に支持された配線シートとを含む。前記配線シート支持体は、前方ほど下方となる斜めの方向に伸びる延長部を備える。前記配線シートは、前記延長部の下側に支持された延在部を備える。また、前記配線シートは、シート状部材と、該シート状部材に形成された複数の配線と、各配線の前部に形成された接触電極とを備える。各接触電極は、前記配線から立ち下がる前端面と、前記斜めの方向に直線状又は弧状に延びる下面と、前記前端面及び前記下面により形成される角部とを有する。 （もっと読む）