【課題】 インターポーザの上下面を低熱膨張材（低ＣＴＥ材）とした反り防止効果をコスト低減して形成した低熱膨張インターポーザを提供することを目的とする。
【解決手段】 検査対象であるウエハ３上に形成された半導体デバイス３１をＬＳＩテスタに接続して動作試験を行う検査器４と半導体デバイス３１との間に介在させて電気的接続を媒介するプローブヘッドなどに適用されるインターポーザ１が、半導体デバイス３１側に設けられた第１の低ＣＴＥ材（低熱膨張材）５と、有機基板６と、検査器４側に設けられた第２の低ＣＴＥ材７とを積層して形成され、インターポーザ１の半導体デバイス３１側に半導体デバイス３１の電極（半田ボール）３２の配置に対応する第１の電極５１が設けられている。 （もっと読む）

【課題】接触子の位置を高精度に設定し、製造が容易な導電性接触子ホルダを提供する。
【解決手段】アーム５により一部を支持されたホルダ２を、金属製補強材６と、補強材に開口６ａを設けてその開口に充填した合成樹脂製ホルダ孔形成部材７とにより形成する。ホルダ孔形成部材に導電性接触子３のホルダ孔８を形成し、ホルダ孔により一対の針状体１１、１２及びばね１０を受容して、両端突出型の導電性接触子を構成する。ホルダの母材を金属とみなすことができ、合成樹脂材９の一体物からなるものに対して強度が高くなり、例えば検査における温度変化（高温下等での検査）や残留加工歪み等による経時変化により寸法変化が発生することを容易に抑制し得るため、ホルダ孔のピッチの変化が抑制されて精度が保たれるなど、長期に渡って安定した検査を行うことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 部品点数を減らし、組立が非常簡単で、かつ、グランド用コンタクトプローブと金属ブロックの貫通孔内壁との電気的接続を確実に行うことができる検査ソケットおよびその製法を提供する。
【解決手段】 金属ブロック１１に、厚さ方向に貫通する複数個の貫通孔１１ａが設けられ、その金属ブロック１１の貫通孔１１ａ内に、少なくともグランド用コンタクトプローブ１２GNDを含むコンタクトプローブ１２が設けられ、押え板１３により固定されている。そして、このグランド用コンタクトプローブ１２GNDが挿入される貫通孔１１ａは、その貫通孔１１ａの側壁が軸方向に沿って直線状ではなく不連続部分１１ｂを有し、少なくともその不連続部分１１ｂの近傍でグランド用コンタクトプローブ１２GNDと貫通孔１１ａの内壁とが直接電気的に接続されるように形成されている。 （もっと読む）

本発明は、プリント配線板を検査する検査装置用の接触ユニットに関する。接触ユニットは、フルグリッドカセットとアダプタとを備える。フルグリッドカセットは、検査装置の基本グリッドの接点のグリッドに配置された複数のスプリング接触ピンが設けられている。アダプタは、フルグリッドカセットの各スプリング接触ピンを検査対象であるプリント配線板の配線板検査点に電気的に接続する検査ニードルが設けられ、スプリング接触ピンは、フルグリッドカセットの中でアダプタから遠い側に落ちないように固定され、検査ニードルは、アダプタの中でフルグリッドカセットから遠い側に落ちないように固定されている。アダプタ及びフルグリッドカセットは、互いに取り外し自在に接合されている。このようにして、スプリング接触ピン及び検査ニードルの両方が、アダプタとフルグリッドカセットとが組み付けられた状態において接触ユニットから落ちないように固定されている。 （もっと読む）

【課題】寿命が長い電気検査用プローブ及びその製造方法、並びにこの電気検査用プローブを用いた半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】電気検査用プローブにおいて、先端部が半田バンプに当接されるウェーハ接続ピン、先端部が検査用基板の電極パッドに接続される基板接続ピン及びバネ部材を設ける。ウェーハ接続ピンにおいては、銅合金からなる基材２１を設け、基材２１の表面上の全面に、リン添加ニッケルからなるニッケル層２２及び金層２３を形成する。ウェーハ接続ピンの先端部２ｄにおいては、金層２３の表面上に更にロジウム層２４を形成し、その上にルテニウム層２５を形成する。ロジウム層２４は、ロジウムの他にルテニウムを含むめっき液を用いて電気めっき法により成膜する。また、ルテニウム層２５はスパッタ法により成膜する。 （もっと読む）

【課題】プローブカードに狭ピッチでも強固に接合されるプローブおよび狭ピッチで強固にプローブが接合されたプローブカードを提供する。
【解決手段】はんだバンプが形成される実装部、上記実装部から延在するアーム部、および上記アーム部の先端に設けられた先端部から構成され、中間層の両側に外層を配置した３層構造のプローブであって、上記実装部の中間層には、上記プローブカードの電極と接するように２つの外層よりも突出させた突出部を設け、さらに、上記実装部の２つの外層には、上記実装部の底辺に繋がる切り欠きを設け、上記はんだバンプを、上記突出部を取り囲み、さらに、上記切り欠きを埋めるように形成し、上記はんだバンプを上記外層の表面と面一となるように仕上げる。 （もっと読む）

【目的】 本発明の目的は、基板に簡単に接続することができるプローブ及びプローブカードを提供する。
【構成】 プローブ１００はタブ１１０及びプローブ部１２０を有する。タブ１１０の一端部には脚部１１１が間隔を空けて設けられている。脚部１１１が位置決め部材１０の位置決め孔１１に各々挿入される。タブ１１０の他端部には台形状の切断部１１２が設けられている。プローブ部１２０は、タグ１１０の切断部１１２に連続する接続部１２１と、この接続部１２１に連続する略Ｌ字状のビーム部１２２と、このビーム部１２２の先端に設けられた接触部１２３とを有する。接触部１２３は接続部１２１からタグ１１０に向かう方向に向いている。切断部１１２の上端がタブ１１０とプローブ部１２０とを切り離すために切断される。 （もっと読む）

【課題】最適なストロークを認識可能なコンタクトプローブ及びこのコンタクトプローブを用いた回路基板検査装置を提供する。
【解決手段】 導電性の筒状体からなるバレル３と、被検査対象と接触するとともに上記バレルと接触するプランジャー２と、上記バレル３内部にあり、上記プランジャー２を軸方向に付勢する弾性部材４と、を有してなり、前記プランジャー２は、最適なストローク位置をあらわすように塗装されている。塗装は、マーキング、色分けなどによる。プランジャー２の平坦面を色分け面とするとよい。 （もっと読む）

【課題】 プローブ基板の温度制御範囲を小さくして、プローブ基板の温度制御を容易にすることにある。
【解決手段】 電気的接続装置は、下面を有する支持体と、該支持体の下面に組み付けられて、該支持体に支持されたプローブ基板と、該プローブ基板の下面に取り付けられた複数の接触子とを含む。プローブ基板は電力を受けて発熱する発熱体を備え、プローブ基板は、１０ｐｐｍ／°Ｃ以上の熱膨張率を有する。 （もっと読む）

【課題】高周波特性がよく、狭ピッチによる多ピン配置が可能なプローブ部を備えた基板接続検査装置を提供する。
【解決手段】基板接続検査装置のプローブ部６では、プローブ８として、プリント基板の所定のランドにそれぞれ接触する複数のプローブ８８ａと、プリント基板の接地電位のランドに接触するＧＮＤプローブ８８ｂが、それぞれ所定の位置に配置されている。複数のプローブ８８ａのそれぞれに対して、プローブ８８ａを取り囲む態様で、ピン形状のＧＮＤ部９が、プローブ８８ａと距離を隔てられるとともに、プローブ８８ａの周方向に間隔を隔てて配置されている。 （もっと読む）

【課題】低コストで、熱膨張、熱収縮によるずれを確実に吸収する。
【解決手段】相手部材の端子に電気的に接触される接触子と、一側面に前記接触子の基端部と電気的に接触するランド部を有するメイン基板と、複数の前記接触子の基端部を前記メイン基板のランド部に接触させその先端部を前記相手部材の端子に向けて延出させた状態で支持する支持体とを備えた垂直型プローブカードである。前記メイン基板のランド部が、大きく形成されると共に隣同士で互いにずらして配設されている。前記接触子は、前記メイン基板のランド部に接触する基端ピン部と、前記相手部材の端子に接触される先端ピン部と、これら基端ピン部及び先端ピン部を支持して互いに接合させる接合部とを有する。前記接合部はＳ字状に形成されて、前記基端ピン部と先端ピン部とを偏芯させて支持する。 （もっと読む）

【目的】 本発明の目的は、プローブユニット毎に容易に交換可能なプローブカードを提供する。
【構成】 本プローブカードは、厚み方向に貫通する複数のユニット収容部２３０が設けられたフレーム２００と、フレーム２００に固着される複数のプローブユニット１００とを備えている。プローブユニット１００は、外形がユニット収容部２３０に収容される大きさのプローブ基板１２０と、プローブ基板１２０の上面に取り付けられ、幅寸法がプローブ基板１２０の幅寸法よりも大きいＳＴ基板１３０と、プローブ基板１２０の下面に配設されたプローブ１１０とを有している。プローブ基板１２０の厚み寸法とプローブ１１０の高さ寸法との和がフレーム２００の厚み寸法よりも大きい。ＳＴ基板１３０の長さ方向の両端部がフレーム２００の桟部２２０上に固着されている。 （もっと読む）

【解決手段】 本発明は、平面構造物（３８）と電気的に接触するための接触側端部（１６）と、ケーブル、特に同軸ケーブルに接続するためのケーブル側端部（１２）、特に同軸ケーブル側端部とを有し、接触側端部（１６）とケーブル側端部（１２）との間に、少なくとも２つの導体（１８，２０）、特に３つの導体を有する共平面導体構造物が配設され、共平面導体構造物（１８，２０）に対して、ケーブル側端部（１２）と接触側端部（１６）との間の所定区間にわたって共平面導体構造物（１８，２０）を支持する誘電体（２４）が片側または両側に配設され、共平面導体構造物の導体（１８，２０）が空間内で自由に、支持誘電体（２４）に対して懸架された状態で配設されるように、誘電体（２４）と接触側端部（１６）との間にテストプロッドが設計され、平面構造物（３８）との接触時に平面構造物（３８）に面するテストプロッドの片側（３２）には、誘電体（２４）と接触側端部（１６）との間で、空間内で自由に、支持誘電体（２４）に対して懸架された状態で配設された共平面導体構造物（１８，２０）の領域（２６）へとシールドエレメント（３４）が延出するように、シールドエレメント（３４）が配設および設計される、高周波測定用のテストプロッドに関する。
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【課題】高さ方向にアスペクト比の高いプローブを、狭ピッチかつ高精度に実装することが可能なプローブカードを提供する。
【解決手段】プローブを固定するソケットが設けられた基板を備えるプローブカードであって、上記プローブは、プローブカードのソケットに嵌合される２つの突起が設けられた実装部、上記実装部から延在するアーム部、および上記アーム部の先端に設けられた先端部から構成され、上記基板上に設けられたソケットは、２つの嵌合部からなる。 （もっと読む）

プローブユニットが開示される。本発明の実施形態によるパネルテストのためのプローブユニットは、ボディーブロックと、軟性回路基板と、を備える。ボディーブロックは、パネルに利用されるタブＩＣが底面に装着されて、パネルのリード線に接触し、タブＩＣとパネルの接触部位との反対側には、接触部位の平坦を保持し、接触部位に弾性を与える緩衝ブロックが形成される。軟性回路基板は、タブＩＣの後面に電気的に連結されて、タブＩＣを通じてパネルにテスト信号を伝送する。
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【課題】半田とパッドとに対して異なる押圧力を印加できるようにする。また、相対的に大電流が流せるようにしたプローブピンを提供する。
【解決手段】プローブピン１３０に、両端に位置するプランジャー１３１，１３５と、各プランジャー１３１，１３５に接続されている互いに異なる強度のスプリング１３２，１３４と、を備える。スプリング１３２，１３４は、軸心から螺旋部分までの長さが互いに異なる。 （もっと読む）

【課題】配線パターンの高密度化に容易に対応することができる。
【解決手段】台座となる１層目のパッドと、当該１層目のパッドの上側面に設けられて接合層となる２層目のパッドとを備えた電極パッド構造である。前記２層目のパッドを、前記１層目のパッドの上側面全面を覆って設けた。電極パッド構造の作成方法は、前記１層目のパッドを覆って２層目のレジストコートを塗布する工程と、前記２層目のレジストコートを、露光マスクを設けずに領域内の広範囲で露光して１層目のパッドの上部のみを露出させる工程と、前記１層目のパッドの上部の露出部分を覆うようにメッキを施す工程と、を少なくとも備えた。 （もっと読む）

【解決手段】試験対象素子の端子は、一連の導電ピン対によって、ロードボード上の対応する接点パッドに対して一時的に電気的に接続される。これらのピン対は、試験対象素子に面した上接点プレートと、ロードボードに面した下接点プレートと、これら上接点プレート及び下接点プレート間の上下方向に弾性がある非導電性部材とを備えたインタポーザ膜によって、所定の位置に保持される。各ピン対は、試験対象素子及びロードボードそれぞれに向かって、上接点プレート及び下接点プレートそれぞれを超えて延びる上ピン及び下ピンを備える。上ピン及び下ピンは、膜と直交する表面に対して傾斜しているインタフェースにおいて互いに対して接触する。縦方向に圧縮されると、ピンはインタフェースに沿って摺動することで互いの方へ向かって直動する。この摺動は殆ど縦方向のものであって、僅かな望ましい横方向の成分はインタフェースの傾斜によって決まる。 （もっと読む）

【課題】信号用導電性接触子の構成を変更することなく、特性インピーダンスの値を補正可能な導電性接触子ホルダおよび導電性接触子ユニットを提供すること。
【解決手段】信号用導電性接触子１５を収容する開口部５２が形成されたホルダ基板４９と、誘電材料によって形成されると共に、収容される信号用導電性接触子１５の外周上に位置するよう形成され、信号用導電性接触子１５における特性インピーダンスを補正するインピーダンス補正部材４４，４５とを備える。これにより、信号用導電性接触子１５の構成を変更することなく、特性インピーダンスの値を補正することができる。 （もっと読む）

【課題】長期にわたって安定した検査を行うことができるコンタクトプローブおよびプローブユニットを提供する。
【解決手段】一端が先鋭化した柱状をなす第１接触部２１と、第１接触部２１の他端から第１接触部２１の長手方向に沿って略柱状をなして延び、外部からの荷重によって弾性座屈を生じる弾性座屈部２２と、弾性座屈部２２が延びる方向の端部であって第１接触部２１に連なる端部とは異なる端部から延びる方向に沿って柱状をなして延びる接続部２３と、接続部２３の端部から該接続部２３が延びる方向と異なる方向に延び、外部から加わる荷重に応じて弾性変形を生じる腕部２４と、腕部２４から弾性座屈部２２が延びる方向と略平行であって第１接触部２１から遠ざかる方向に突出し、先端が先鋭化した第２接触部２５と、を備える。 （もっと読む）