【課題】 検査用プローブの先端部を正確な位置に保持することにより、微小な検査点の所定の位置に正確にその検査用プローブの先端を当接させる。
【解決手段】 検査治具は、被検査物の電気的特性を測定するための測定装置に用いられ、各々が、被検査物の所定の対象部に接触させるための先端部と、測定装置に電気的に接続される後端部とを有する複数のプローブと、複数のプローブの先端部が挿通される孔を有するヘッドプレートと、複数のプローブの後端部を測定装置に電気的に接続するための電極を備えるベースプレートと、ヘッドプレートとベースプレートとの間に設けられていて、ヘッドプレートを第１の位置から第２の位置まで軸線方向に沿って移動可能とし、少なくとも第１の位置においてヘッドプレートを所定の位置に保持する位置確定手段を備える支持棒とを備える。 （もっと読む）

【課題】 安定した電気的接続を可能にし、かつ、突起状接続電極の突起頂点にスクラブ跡を付けることのないプローブ針のガイド部材、カンチレバー型プローブカード、並びに、半導体装置の試験方法を提供することを課題とする。
【解決手段】 プローブ針先端部の移動をそのスクラブ方向に沿った直線方向にガイドする直線状の側部を備えたガイド孔を有し、当該ガイド孔が、上記プローブ針ガイド部材が突起状接続電極に対して使用位置に位置決めされたとき、突起状接続電極の突起頂点を通るスクラブ方向に沿った中心線から外れた頂点周辺部と対向する位置に開口するガイド孔であるプローブ針ガイド部材、そのようなプローブ針ガイド部材を備えたカンチレバー型のプローブカード、並びに、そのようなプローブ針ガイド部材を用いる半導体装置の試験方法を提供することによって解決する。 （もっと読む）

【課題】測定の安定性、再現性を向上させたプローブヘッドを実現する。
【解決手段】底部に所定の角度でハ字状に形成された孔を有する容器と、該容器の底部と開口部を２分する仕切板と、前記底部に対向し前記仕切板に固定された取付板と、該取付板に一端が固定され先端に向かって側面が先細りとなるように形成された台形状の台座と、該台座の両側面に回動可能に取付けられた円板状のベアリングと、該ベアリングの側面に固定された棒状のシャフトと、Ｌ字状に形成された一端が前記ベアリングの中心部に固定され他端は自由端とされた先端ピンと、前記棒状のシャフトに一端が係合し他端が前記容器の外面に位置するように配置されたスライドレバーを備え、前記容器の外面に配置された前記スライドレバーを直線方向に移動させることにより前記棒状のシャフトを介して前記ベアリングを回動させ、前記先端ピンのピッチを変更可能とした。 （もっと読む）

【課題】被検査体の電気的特性の検査において、被検査体と接触子との接触を安定させつつ、検査を適切に行う。
【解決手段】検査時にウェハＷに接触する複数の接触子１０を支持する、弾性を備えた接触子支持板１１上に、ウェハＷとの間で検査用の電気信号を送受信する複数のテスタチップ１２と接触子１０とを電気的に接続する導電部１３が設けられている。テスタチップ１２は導電部１３上であって接触子１０に対応する位置に設けられている。導電部１３は柔軟性を備え、複数の接触子１０に所定の接触圧力を付与する流体チャンバ４２により押圧される。 （もっと読む）

【課題】 プローブ基板を配線基板に固着させる際の位置合わせを容易化し、プローブ基板の実装精度を向上させることができるプローブカード及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 プローブ基板２００にマスクアライメント孔２１０を貫通させるステップと、パターニングされたプローブ用マスクをマスクアライメント孔２１０に基づいて位置合わせし、プローブ用マスクを用いてプローブ基板２００の第１面上にコンタクトプローブ１１を形成するステップと、パターニングされた連結部用マスクをマスクアライメント孔２１０に基づいて位置合わせし、連結部用マスクを用いてプローブ基板２００の第２面上に連結部１４を形成するステップと、連結部１４をＳＴ基板２０上に形成された連結部２２と結合させることによってプローブユニット１０の位置合わせを行い、当該プローブユニット１０をＳＴ基板２０に固着させるステップにより構成される。 （もっと読む）

【課題】 貫通孔が増えてもプローブを固定するための基板の変形が少なく、プローブが半導体チップとなる部分の電気的特性を正確に測定することができるようにするためのプローブカード用基板，プローブカードおよびこれを用いた半導体ウエハ検査装置を提供する。
【解決手段】 酸化アルミニウムの含有量が98.5質量％以上のセラミックスからなり、セラミックスは、酸化カルシウム，酸化珪素および酸化マグネシウムを含み、酸化カルシウム，酸化珪素および酸化マグネシウムの合計100質量％に対して、酸化カルシウムおよび酸化珪素の含有量はそれぞれ20質量％以上37.5質量％以下であって残部が酸化マグネシウムであるとともに、酸化アルミニウムの平均結晶粒径が2.5μｍ以下（但し、０μｍを除く。）であるプローブカード用基板である。 （もっと読む）

【課題】プローブ要素の先端の配向を，プローブカードの一を変更する事なく可能にする。
【解決手段】プローブカード・アセンブリ５００が、プローブカード５０２と、間隔変換器５０６であり、接触構造（プローブ要素）５２４を有する間隔変換器と、間隔変換器とプローブカードの間に配設される介在体５０４とを含む。間隔変換器と介在体とを「積み重ね」，間隔変換器の配向を調整して、どのぐらいの調整をすべきかを決定するための適切な機構５３２、５３６、５３８、５４６が開示される。半導体ウェーハ５０８上の多数のダイ・サイトに、開示の技法を用いて容易にプローブが当てられ、プローブ要素は、ウェーハ全体のプローブ当てを最適化するように配列可能である。 （もっと読む）

【課題】スプリングピンの交換を容易としたプローブカードを提供する。
【解決手段】延伸方向に弾性を与える弾性領域４４ａを有する筒形状の導電性金属部材を含んでなる胴部４４と、胴部４４の端部に配置された導電性を有する第１プランジャ４０とを備え、第１プランジャ４０の一部は胴部４４の筒内に挿入されてなる。 （もっと読む）

【課題】回路基板の電気的特性を検査するためのピンボードを検査する方法を提供する。
【解決手段】ピンボード２０の検査方法は、回路基板の電気的特性を検査するピンボード２０であって、回路基板を位置決めする位置決めピン２４と回路基板の電極パッドに当接するプローブピン２６を備えるピンボード２０を検査する方法である。この検査方法は、ピンボード２０を平面視したときの位置決めピン２４の位置に対するプローブピン２６の相対位置を計測する計測工程と、計測した相対位置を、回路基板における位置決めピン用孔に対する電極パッドの相対位置の設計値と比較する比較工程とを備えている。この検査方法は、位置決めピン２４の位置を基準とするプローブピン２６の相対位置を用いてピンボード２０を検査することで、ワークを模擬した専用冶具を用いることなく、ピンボード２０自体の精度を正確に検査することができる。 （もっと読む）

【目的】 本発明の目的は、ガイド板に対して負荷がかかり難し、低コスト化及び軽量化を図ることができるプローブカードを提供する。
【構成】 プローブカードは、上面及び下面を有するガイド板３００と、ガイド板３００の上面側に間隔を空けて平行に配置されるメイン基板１００と、ガイド板３００とメイン基板１００を接続し且つ中間部４３０が略く字状に曲げ加工された接続ピン４００と、ガイド板３００の下面に設けられたプローブ８００とを備えている。接続ピン４００は、一端部４１０がメイン基板１００の接続パッド１１０に、他端部４２０がガイド板３００の接続パッド３２０に半田接続されている。 （もっと読む）

【課題】接続端子が接続されるパッドの狭ピッチ化及び基板の薄型化を図るとともに、端子整列用の治具を必要とせずに接続端子の整列を容易に行えるようにし、接続端子の基板への実装の効率化に寄与すること。
【解決手段】接続端子２０は、基板１０のパッド１２Ｐに接合された接合部分２１と、該接合部分に対向配置され、被接続物に設けられたパッドに接触する接触部分２２と、接合部分２１と接触部分２２との間に介在するスプリング部分２３と、板状部材３０に設けられたスリット３１の一部に係合して接続端子２０の姿勢を安定化させる係合部分２４とを有し、各構成部分２１〜２４は一体的に成形されている。板状部材３０は、所定の箇所に形成された凹部３２を有し、この凹部３２に接続端子２０の接合部分２１が係止された状態で基板１０のパッド１２Ｐに電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】プローブ支持板に複数の貫通孔を効率よく形成しつつ、当該プローブ支持板の質量を軽減する。
【解決手段】プローブ支持板１２には、複数の金属板３０と表面が研磨された絶縁板３１が積層されている。各金属板３０と絶縁板３１には、プローブ１１を挿通させるための貫通孔４０、４１がそれぞれ形成されている。貫通孔４１の径は貫通孔４０の径より大きく、貫通孔４０、４１は、プローブ支持板１２の厚み方向に貫通している。プローブ支持板１２には、厚み方向に貫通する中空部５０が形成されている。中空部５０は、金属板３０に形成された穴５１と絶縁板３１に形成された穴５２を連結して形成されている。最上層の金属板３０ａの穴５１ａ、最下層の金属板３０ｂの穴５１ｂ、中間層の一の金属板３０ｃの穴５１ｃは、中間層の他の金属板３０ｄの穴５１ｄの径より小さい径を有している。 （もっと読む）

【課題】 基板上の電極に接合されたコンタクトプローブが傾き、或いは、倒れるのを抑制することができるプローブカードを提供する。
【解決手段】 電極パッド１２が設けられたプローブ基板１０と、ビーム部４２の一端にコンタクト部４１が形成され、前端及び後端を有するベース部４３がビーム部４２の他端に形成されたコンタクトプローブ１１と、電極パッド１２に接合されたベース部４３の一端を覆う硬化した樹脂からなる補強部材１５により構成される。 （もっと読む）

【課題】 プリント配線板等に設けられた配線回路の電気的接続の検査において、ソケットが無い仕様（ソケットレス）の基板検査用治具であっても、プローブと電極端子との接点数を増やし、電気的接触を改善し、検査を安定化させ、検査の信頼性を高めることができる基板検査用治具および基板検査方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係る基板検査用治具は、プローブと電極端子との間に、導電性粒子を含有する異方性導電ゴムシートを配設した構成を基本構成とし、本発明に係る基板検査方法は、前記異方性導電ゴムシートを介して、プローブと電極端子との電気的接続を行うことを基本の方法とする。 （もっと読む）

【目的】 本発明の目的は、ネジの取付スペースを考慮することなく、プローブを省スペースで配置することができるプローブカードを提供する。
【構成】 このプローブカードは、ＳＴ基板３００と、ＳＴ基板３００の上面側に間隔を空けて平行に配置されたメイン基板１００と、ＳＴ基板３００の下面に設けられたプローブユニット８００と、ＩＣピン４００と、補強枠５００とを備えている。補強枠５００は、ＳＴ基板３００の上面に樹脂Ｒ１で固着され且つ略平行に配置された第１、第２の補強部材５００ａ、５００ｂを有する。ＩＣピン４００は、第１、第２の補強部材５００ａ、５００ｂの間に配置され、ＳＴ基板３００とメイン基板１００との間を接続する。 （もっと読む）

【課題】 プローブホルダに対するプローブの変位量の差を可能な限り小さくして、正しい試験を可能にすることにある。
【解決手段】 プローブ装置は、先端針先及び後端針先を有する複数のプローブを左右方向に間隔をおいて前後方向へ伸びる状態にプローブホルダに配置したプローブ組立体と、該プローブ組立体を支持する支持体と、該支持体の下側に配置された配線シートであって、左右方向に間隔をおいた複数の接続部を下面に備える配線シートと、各後端針先が前記接続部に接触された状態に、プローブ組立体を支持体の下側に組み付ける組み付け具とを含む。プローブホルダ及び各プローブのいずれか一方は、前後方向におけるいずれか一方の側に突出する凸部を備え、またプローブホルダ及び各プローブの他方は、前後方向における他方の側にされた凹部であって、前記凸部が嵌合された凹部を備える。 （もっと読む）

【課題】 プローブホルダに対するプローブの変位量の差を可能な限り小さくして、正しい試験を可能にすることにある。
【解決手段】 プローブ装置において、結合ブロックを支持ブロックの下側に組み付ける組み付け装置は、結合ブロック及び支持ブロックのいずれか一方に形成された凹所と、該凹所に嵌合された連結部材と、該連結部材を結合ブロック又は支持ブロックに組み付ける第１のねじ部材と、連結部材を上下方向に貫通して、結合ブロック及び前記支持ブロックの他方に螺合された第２のねじ部材とを備える。 （もっと読む）

【課題】プランジャーとバーレル間の接触電気抵抗が安定し、耐久性に優れるコンタクトプローブ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】コンタクトプローブは、プランジャー、バーレル及びコイルばねを備える。また、プランジャーの外周面には溝が形成され、バーレルの内周面には溝に係合するような突部が設けられている。溝は、周方向に連続して形成される複数の単位パターン50cを備え、単位パターン50cは、往路溝51cとこの往路溝に連結される復路溝52cとを有する。往路溝51cは、プランジャーの後退に伴って突部と溝が摺動することで、プランジャーを回転させるように形成され、復路溝52cは、プランジャーの進出に伴って突部と溝が摺動することで、プランジャーを回転させるように形成されている。そして、プランジャーが進退を繰り返す毎に、突部が、隣接する単位パターンに移行される。 （もっと読む）

【目的】 本発明の目的は、プローブ基板のプローブ除去領域に簡単に設置することができる交換用プローブ、プローブカード及びプローブカードのプローブの交換方法を提供する。
【構成】 交換用プローブは、板状のベース部１２０と、ベース部１２０の長さ方向の一端部１２１に設けられたダブルビーム構造であり且つ片持ち梁構造のプローブ部１１０と、ベース部１２０の長さ方向の他端部１２２に設けられたタブ部１３０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 製作が容易でプローブの位置が正確なプローブカードを提供する。
【解決手段】 ガイドプレート５は２枚のプレートメンバ５１、５１を貼り合わせて形成され、これら２枚のプレートメンバの貼り合わせ面には溝部５２と凸部５３が交互に等ピッチで形成され、これら溝部５２と凸部５３が相手方のプレートメンバ５１の凸部５３及び溝部５２に対向している。そして、前記溝部５２は幅Ｔ１と深さＤ１とが等しい断面正方形状をなし、また前記凸部５３の幅Ｔ２も溝部５２の幅及び深さと寸法が等しくなるようにしている。 （もっと読む）