【課題】 屈曲部を有したプローブ針をプローブハウジングに容易に挿入および交換でき、プローブ先端位置の精度が容易に維持される低コスト構造を備えたバーチカルプローブヘッドを提供する。
【解決手段】 本発明のバーチカルプローブヘッド１は、テスト端子５ａに接触して電気的に導通を有するプローブ先端２ａと、電気信号測定装置に信号を伝達するインターポーザ４の接続端子４ａと接触して電気的に導通を有するプローブ後端２ｂとを備え、プローブ下部２ｃとプローブ上部２ｄとの間に長手方向に沿って左右に屈曲する屈曲部２ｅを有するプローブ針２と、プローブ針をプローブ先端側から挿入可能な第１の開口３ａを有する上部スルーホール３ｃと、プローブ先端を電子デバイス側に突出させる第２の開口３ｂを有する下部スルーホール３ｄとを有するプローブハウジング３と、上部シリコン基板３ｅと、下部シリコン基板３ｆとを備える。 （もっと読む）

【課題】 微細化したプローブであっても、良好な導通性能を得るのに十分な針圧と、オーバードライブ時に要求されるストローク量とを同時に確保することができるとともに、隣り合うプローブ同士の干渉を抑制することができるプローブカードを提供する。
【解決手段】 第１面にプローブ電極１２１が形成されたサブ基板１２と、サブ基板１２の第１面に対向させて配置され、弾性ゴムからなる針圧制御板１５と、針圧制御板１５から突出する針先部１３１、及び、プローブ電極１２１と針先部１３１とを導通させる細長い薄板からなる導電部１３３を有する複数のプローブ１３により構成される。針圧制御板１５には、サブ基板１２と反対側の面に、面方向への弾性変形の伝搬を遮断する溝又はスリットからなる応力解放孔１９が形成されている。 （もっと読む）

【課題】簡易な部品で、その内部のインダクタンスを改善し、導電接触を確実にすることができ、製作及び保守を容易に行なうことができる検査治具と接触子を提供する。
【解決手段】プリント配線板などの電気検査のための検査治具１において、電極部４０は電極４１を電極板４２の表面に配設されてなり、接触子１０は導電性の接触針１１、圧縮コイルばね１２、中継部材１３からなり、同軸に配置して使用される。接触針１１は先端１１１、突出部１１２、大径部１１３、中継部１１４を有し、中継部材１３は円筒の中継端１３１、案内部１３２、電極端１３３からなる。電極端１３３は斜め角度の断面であり、曲げられて中心近傍に基端１３３ａがあり、接触子保持体３０に保持されて初期荷重を有する。電極４１の径は接触子１０の径より小さい。それにより、簡易な部品で、その内部のインダクタンスを改善し、導電接触を確実にすることができ、製作及び保守を容易に行なうことができる検査治具と接触子が実現する。 （もっと読む）

【課題】絶縁被覆プローブピンの検出端側の露出した部分同士が接触しにくくする。
【解決手段】絶縁被覆プローブピン１０は、導電体のプローブピン１１と、その検出端側の部分が露出するように外周を被覆する絶縁被覆１２とを備える。絶縁被覆１２は、プローブピン１１の検出端側の端部１２ａが全周に渡って接続端側の端部よりも厚肉に形成されている。 （もっと読む）

【課題】被検査基板の接触端子や電極基板の電極表面に打痕が生じるのを防止し、被検査基板の品質低下や電極基板の短寿命化を改善できるワイヤープローブ用治具を提供する。
【解決手段】複数本のワイヤープローブ３と、これらのワイヤープローブを軸方向へ摺動可能に挿通保持させるために複数のプローブガイド孔が設けられた複数枚の薄板プレート１１１，１１２，１１３を積層して成るプレート積層体１１と、前記プレート積層体１１に設けられ前記各プローブガイド孔にワイヤープローブを挿通した状態で保持させる保持手段１１５Ａと、前記プレート積層体の一方の面側に前記ワイヤープローブと電気的に導通した状態で設けられる電極基板２Ａと、前記プレート積層体の一方の面側と前記電極基板及び又は前記プレート積層体の他方の面側と前記被検査基板との間に設けられる弾性を有する異方向導電性シート１２と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】製造容易として安価に製造できるだけでなく保守も容易な、接触子と電極との導電接触を確実にすることと、接触子の電気特性を改善するプリント配線板に通電する検査治具及び接触子を提供することを目的とする。
【解決手段】接触子１０は導電性の接触針１１とコイルばね１２とが直列又は重合して配置されて接触子保持体２０に保持され、検査装置に接続される電極４１と被検査端子とに圧接されて導電接触する。コイルばね１２は中継端１２２、ばね定数部１２３、電極端１２１からなり、電極端１２１は端末において，中心方向に曲げられて中心近傍において切断されて電極４１と導電接触することを特徴とし、この接触子１０を保持する接触子保持体２０をコイルばね１２と同軸に電極４１を有する電極部４０に搭載する検査治具１ （もっと読む）

【課題】安定した組立を行うことができ、メンテナンスを簡単且つ安価に行うことが可能で、電気的測定の際に安定した接触抵抗を有し常に正常な測定を行うことができる長寿命のコンタクトブローブを提供する。
【解決手段】導電性のプランジャーと、プランジャーを軸方向に付勢する導電性のスプリングとを備え、プランジャーは嵌合部とボス部とを有しスプリングの一端または両端に配置されておりプランジャーの少なくとも１つがスプリング内に挿通される摺動部を有し、スプリングは粗巻き部と密着巻き部とボス部に係止する大ピッチ部分とを有し、スプリングの密着巻き部はプランジャーの摺動部が接触するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】プローブ交換を容易におこなうことができるプローブユニットの提供を目的とする。
【解決手段】プローブユニット１は、プランジャホルダ３０と、プローブホルダ４０を１対備える。プランジャホルダ３０は、複数のプランジャ１０を保持し、プローブホルダ４０は、プランジャ１０の各々に対応するプローブ２０を複数保持する。プローブ２０は、プローブホルダ４０の検査対象対向面４４から検査対象を臨むようにしてプローブホルダ４０に保持される。プローブ２０は、ネジやビスなどで固定されることなく、本体部をプローブ保持孔に挿通した状態で、プローブ収納凹室４５の底面に載置されるため、プローブユニット１は、極めて容易なプローブ交換作業を可能にする。 （もっと読む）

【課題】プローブカードの変形を防止することが可能なプローブカード保持装置を提供する。
【解決手段】プローブカード５０Ｂを用いてウェハ上に形成された半導体デバイスの電気的特性の試験を行うためのテストヘッド１０Ｂにおいて、プローブカード５０Ｂを保持するためのプローブカード保持装置は、プローブカード５０Ｂの裏面の中央部分に形成されたクランプヘッド５７と、テストヘッド１０Ｂに設けられ、クランプヘッド５７に係合してプローブカード５０Ｂを保持するスライドボディ８０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】 プローブの数を多くすることと、均一な押圧力を得ることとを両立できる、半導体チップの半導体検査装置を提供する。
【解決手段】 この半導体検査装置は、被試験体である半導体チップの上表面に接触させる複数の上プローブと、半導体チップの下表面に接触させる下部端子と、複数の上プローブの上端に当接または固定されたシートと、シートの上表面に接触しており、複数の上プローブよりも数が少ない、複数の上アームと、複数の上アームの各押圧力を同一の押圧力に調整する流体方式の圧力調整装置とを備えている。 （もっと読む）

【課題】電気的測定の際に安定した接触抵抗を有し、常に正常な測定を行うことが可能であり、長寿命なコンタクトブローブを提供する。
【解決手段】導電性のプランジャーと、該プランジャーを軸方向に付勢する導電性のスプリングとを備え、前記スプリングが密着巻き部と該密着巻き部の外径に比較して小さい値に設定されている粗巻き部とを有し、前記プランジャーは前記スプリングの一端または両端に配置されており前記プランジャーの少なくとも１つが前記スプリング内に挿通される摺動部を有し、前記スプリングの密着巻き部は前記プランジャーの摺動部が接触するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】 狭ピッチのパッドに対応可能で、かつ、安価なプローブ組立を提供すること。
【解決手段】 金属箔をエッチング加工して被検査半導体チップ電極と接触する垂直プローブと、前記垂直プローブと反対側の辺から突出して配線基板へ接触する出力端子と、断面形状の一部が概略四辺形である支持棒と嵌合する開口部とを有する薄板状プローブと、前記支持棒であって、前記開口部をガイドする第１のガイド溝と、前記垂直プローブをガイドする第２のガイド溝と、前記出力端子をガイドする第３のガイド溝を有することを特徴とするプローブ組立。 （もっと読む）

【課題】機器側接続端子を破損させることなく、検査用接続端子を確実に接触させる接続装置を提供する。
【解決手段】検査対象物側接続端子ｃと、検査用接続端子５１とを電気的に接続させる接続装置であって、垂直シャフトには前記垂直シャフトに沿って昇降可能な移動部材が配設され、前記移動部材には傾斜ガイド孔２４が設けられ、前記傾斜ガイド孔２４には傾斜シャフト４がスライド可能に挿通され、前記傾斜シャフト４の下端には端子保持部５が固定されており、さらに、前記移動部材を前記垂直シャフトに沿って昇降させる昇降機構を備え、前記昇降装置を作動させることによって、前記端子保持部５を一旦垂直に下降させた後に水平方向に移動させて、端子保持部の側面に露出させて配設された検査用接続端子５１と、前記保持手段に保持された検査対象物の検査対象物側接続端子ｃとを電気的に接続させるように構成した。 （もっと読む）

【課題】導電対象部の表面から異物を除去し、その表面を清浄な状態にしながら、導電対象部の電気的計測を安定的に精度良く行うこと。
【解決手段】プローブピン１は、先端の接触部２を導電対象部に接触させながら導電対象部の電気的特性を計測するために使用される。プローブピン１は、接触部２を導電対象部に加圧接触させることにより接触部２と共に可動ピン１２を回動させる回動機構を内蔵する。接触部２には、導電対象部の表面を清浄化するための表面清浄部２５と、清浄化により生じたかすを収容するためのかす収容部２７と、導電対象部に電気を導通するための電気導通部２６とが設けられる。プローブピン１は、接触部２の回動に伴い表面清浄部２５、かす収容部２７及び電気導通部２６を順次回動させながら少なくとも表面清浄部２５及び電気導通部２６を導電対象部に接触させるように構成される。 （もっと読む）

【課題】低コスト、かつ接続ピンの狭ピッチ化が可能なインターポーザの製造方法およびインターポーザを提供する。
【解決手段】ガイド板と、前記ガイド板を貫通した状態で配置された複数の接続ピンからなるインターポーザの製造方法であって、ース上に枠を設け、前記枠内に第１の樹脂を流し込み固定層を形成し、前記固定層に前記接続ピンの先端を埋め込み、複数の前記接続ピンを直立状態で配置し、前記接続ピンが埋め込まれた前記固定層の上に第２の樹脂を流し込み、前記第２の樹脂を硬化させて前記接続ピンを固定するガイド板を形成し、前記ガイド板を前記枠内から取り外すと共に前記接続ピンを前記固定層から剥離する。 （もっと読む）

【課題】芯材を除去した段階で、追加の工程を必要とすることなく、接続治具に取り付けられる絶縁被膜を有する接続端子を提供する。
【解決手段】対象物の対象点に電気的に接続される接続治具に組み込まれる接続端子である。その接続端子は、導電性材料のめっき層からなる円筒形状管を備え、円筒形状管が、その両端から対向する向きに所定の長さにわたる先端部及び後端部と、先端部と後端部との間に形成された、長軸方向のらせん状の壁面を有するばね部とを備え、ばね部が、らせん状の壁面に沿って形成される絶縁層を有し、さらに、円筒形状管の先端部及び後端部にサイドエッチングが存在する。 （もっと読む）

【課題】 プローブをプローブ基板に安定に保持させて、プローブの針先の相対的位置関係を安定させることにある。
【解決手段】 プローブカードにおいて、各プローブの取り付け部は、プローブ基板の貫通穴に通されて該貫通穴を形成する壁部に固定されていると共に、上端部において配線基板の接合部に固定されている。 （もっと読む）

【課題】 プローブをプローブ基板に安定に保持させて、プローブの針先の相対的位置関係を安定させること。
【解決手段】 プローブカードの製造方法は、各プローブの取り付け部をプローブ基板に少なくとも一列に設けられた第１の貫通穴の１つに通し、各プローブの前記針先部を、厚さ方向に合わされた板状の複数の位置決め部材のそれぞれに少なくとも１列に設けられた第２の貫通穴に通し、隣り合う位置決め部材を逆の方向に相対的に変位させて、前記プローブの針先部の二次元的な位置決めをし、その後導電性接合材を軟化させて、各プローブの取り付け部を第１の貫通穴に対し位置決める。 （もっと読む）

【課題】外側導体の両端部に設けられた接触部で発生する接触力を均等にできる同軸プローブを提供する。
【解決手段】同軸プローブ１は筒状の外側導体１０と外側導体の内側に配置される中心導体２０とを備える。外側導体は、筒状本体１１と、筒状本体の両端部の内側に位置し、筒状本体の軸線方向に動くことのできる２つの外側接触部１２Ａ，１２Ｂとを有している。また、同軸プローブは、２つの外側接触部の間に配置される絶縁性のホルダ３０Ａ，３０Ｂと、ホルダとともに２つの外側接触部の間に配置されるバネ４０とを備えている。ホルダとバネ４０は、筒状本体に対して軸線方向に移動可能となっている。 （もっと読む）

【課題】 プローブをプローブ基板に容易にかつ堅固に保持させて、プローブの針先の相対的位置関係を安定させることにある。
【解決手段】 プローブカードの製造方法は、導電性接合材の湿潤性が取り付け部に対するよりも高い材料で形成された第１及び第２の金属層を、それぞれ、取り付け部の上端部領域の外側面及び取り付け部の上端部領域に続く領域の相対する２つの面領域のそれぞれに有し、接合材層を上端部領域及び両面領域に第１及び第２の金属層を覆うように有するプローブを用いる。各プローブは、取り付け部をプローブ基板の貫通穴に挿入された状態で、接合材層の素材を溶融、固化させることにより、取り付け部においてプローブ基板に取り付けられる。 （もっと読む）