【課題】簡便で且つ簡素に形成された基準基板を利用することによって行う基板検査治具の位置合わせ方法の提供。
【解決手段】検査対象となる基板の一方面に設定される複数の検査点と夫々導通接触する複数の第一接触部を有する第一基板検査用治具と、該基板の他方面に設定される複数の検査点と夫々導通接触する複数の第二接触部を有する第二基板検査用治具を備える基板検査装置において、第一接続手段５の第一接続部５１と基準基板ＳＷの一方の面に設定された第二基準部ＳＷ２に当接させた後、第二接続手段７の第二接続部７１が基準基板ＳＷの他方の面に設定された第一基準部ＳＷ１と当接するように位置合わせを行う。第二基準部ＳＷ２は、第二配線部ＳＷ５、孔部ＳＷ３と第一配線部ＳＷ４を介して第一基準部ＳＷ１と電気的に接続されているので、電源手段からの電気信号を判定手段が検出することで位置合わせを行うことができる。 （もっと読む）

【課題】ユニット保持部によってプローブユニットが保持されていない状態においても、移動機構によるユニット保持部の移動に際して生じる位置ずれをキャンセル可能な補正情報を取得する。
【解決手段】移動制御情報Ｄｐに従って移動機構を制御して、位置特定用マーク６ｍが設けられたテストヘッド保持部６を「第２の撮像処理」の実行位置に移動させると共に（ステップ５６（５６ａ））、カメラ５を制御して、テストヘッド保持部６を撮像して撮像データＤ２を出力する「第２の撮像処理」を実行させ（ステップ５７）、かつ、撮像データＤ２に基づいて特定されるマーク６ｍの位置と「保持部マーク位置情報」に基づいて特定されるマーク６ｍの位置との位置ずれ量および位置ずれの方向を、「プロービング処理」において使用する移動制御情報Ｄｐを補正するための補正情報Ｄｒとして取得して記憶部に記憶させる（ステップ５８，５９）。 （もっと読む）

【課題】所望の検査点に各検査用プローブを正確に接触させ得る補正情報を取得する。
【解決手段】補正情報取得処理における位置ずれ状態特定処理において、直線Ｌ１に沿って配設された検査用プローブＰのプロービングによって形成された打痕Ｍ１〜Ｍ９のうちの打痕Ｍ２〜Ｍ９を直線近似した近似直線Ｌａ１と、直線Ｌ２に沿って配設された検査用プローブＰのプロービングによって形成された打痕Ｍ２２〜Ｍ２６，Ｍ１のうちの打痕Ｍ２２〜Ｍ２６を直線近似した近似直線Ｌａ２とが交差する交点Ｃａ１を特定して、直線Ｌ１，Ｌ２とが交差する交点Ｃ１を特定可能に記憶部に記憶された基準位置情報と、特定した交点Ｃａ１の位置情報とに基づいて位置ずれ量および位置ずれ方向を特定する。 （もっと読む）

【課題】複数のポートの各々がプローブを介して検査対象の基板と電気的に接触する位置を特定する接触位置特定方法を提供する。
【解決手段】複数の直線状の配線（１５１〜１５５）が平行に並んで形成されたテスト用の基板１５が基板配線検査装置にセットされて、これらの配線（１５１〜１５５）と検査信号の各ポートとの導通状態が検査される。この検査は、配線（１５１〜１５５）が基板装着面のＹ軸と平行になるように基板１５が治具にセットされた場合と、配線（１５１〜１５５）が基板装着面のＸ軸と平行になるように基板１５が治具にセットされた場合のそれぞれについて行われる。 （もっと読む）

【課題】大きさが異なる複数種類の回路基板の中心部が予め規定された位置に位置するように位置決めする。
【解決手段】Ｘ方向に沿ってスライド可能なスライダ２１ａ，２１ｂと、第Ｙ方向に沿ってスライド可能なスライダ２２と、スライダ２１ａ，２１ｂおよびスライダ２２を連結するリンク部材２４ａ，２４ｂと、スライダ２２をスライドさせる駆動部２５とを備えて、スライダ２１ａ，２１ｂが規定位置Ｐｒを中心として対称にスライドする第１位置決め機構１２ａ、並びにＹ方向に沿ってスライド可能なスライダ３１ａ，３１ｂと、Ｘ方向に沿ってスライド可能なスライダ３２と、スライダ３１ａ，３１ｂおよびスライダ３２を連結するリンク部材３４ａ，３４ｂと、スライダ３２をスライドさせる駆動部３５とを備えて、スライダ３１ａ，３１ｂが規定位置Ｐｒを中心として対称にスライドする第２位置決め機構１２ｂを備えている。 （もっと読む）

【課題】検査効率を向上させる。
【解決手段】一方の面に形成されているフィデューシャルマーク１０２ａの撮像結果および他方の面に形成されているフィデューシャルマーク１０３ａの撮像結果に基づいてプロービング位置を補正しつつ検査用プローブをそれぞれプロービングさせる第１プロービング機構および第２プロービング機構と、各検査用プローブを介して入出力する電気信号に基づいて電気的検査を実行する検査部と、一方の面におけるパターン形成領域２０１ａと他方の面におけるパターン形成領域２０２ａとの相対的な位置ずれ量Ｇｒ１ｘ，Ｇｒ１ｙを特定する処理を実行する処理部と、位置ずれ量Ｇｒ１ｘ，Ｇｒ１ｙと基準値とを比較して回路基板１００の良否を判定する判定部とを備え、処理部は、撮像結果に基づいて測定した第１基準パターンおよび第２基準パターンの各測定位置に基づいて位置ずれ量Ｇｒ１ｘ，Ｇｒ１ｙを特定する。 （もっと読む）

【課題】検査用プローブ同士を接続するケーブル、プローブ保持部および検査用プローブの破損を防止する。
【解決手段】プローブ保持部１３ａ，１３ｂによって保持されている検査用プローブ４１を基板１００にプロービングさせるプロービング部３と、プロービング部３を制御する制御部と、各検査用プローブ４１を介して入出力する電気信号に基づいて電気的検査を実行する検査部と、各検査用プローブ４１間の第１距離Ｌｍ１が第１上限距離Ｌａ１以上となる状態および各検査用プローブ４１間の第２距離Ｌｍ２が第２上限距離Ｌａ２以上となる状態（離反状態）を検出する検出部とを備え、制御部は、各プローブ保持部１３ａ，１３ｂを基板１００の表面に沿って移動させる際に、検出部による離反状態の検出結果に基づいてプロービング部３を制御して、第１距離Ｌｍ１が第１上限距離Ｌａ１未満でかつ第２距離Ｌｍ２が第２上限距離Ｌａ２未満となる状態を維持させる。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の電気的検査の信頼性を向上させる。
【解決手段】ソケット１２が有する位置決めピン１３ｂにより可動台座１５が複数の第２コンタクトピン１３ａの配列方向に対して位置決めされた状態で、第１コンタクトピン１４ａを下段パッケージ２の配線基板５のプリスタックランド５ｃに接触させ、かつ複数の第２コンタクトピン１３ａを半田ボール７に接触させて基板導通テストを行うことで、第１コンタクトピン１４ａ側と第２コンタクトピン１３ａ側とを精度良く位置合わせして電気的検査を行うことができ、電気的検査の信頼性を向上できる。 （もっと読む）

【課題】 可撓性の薄板状の被処理物を載置台に確実に密接させることができるとともに、被処理物の載置台に対する正確な位置を認識することができ、さらに、部品点数を少なくして小型化することができる被処理物処理装置を提供すること。
【解決手段】 プリント基板６３を載置台６４に載置する。上側検査プローブ側部材６５は、載置台６４に対して近接または離間する方向に移動し、近接する方向に移動してプリント基板６３の電気的な導通の状態を検査する。プリント基板６３の載置台６４に対する位置を画像撮影装置２１で認識する。画像撮影装置２１により認識したプリント基板６３の位置に基づき、載置台６４上の所定の位置にプリント基板６３を移動させる。画像撮影装置２１によりプリント基板６３の位置を認識する際に、プリント基板６３を押圧子４５により直接押圧して載置台６３に密接させる。 （もっと読む）

【課題】検査効率を向上しつつプロービングの精度を向上させる。
【解決手段】プローブ５ａおよびカメラ４ａが取り付けられている取付部１４ａを移動させてプローブ５ａをプロービングさせるプロービング処理を実行するプロービング機構と、カメラ４ａによる撮像結果に基づいてプロービング処理の実行時における取付部１４ａの移動量の補正値を特定する制御部とを備え、制御部は、基準位置Ｐｓ１を示すデータに基づいて基準位置Ｐｓ１の対向位置にカメラ４ａが位置するように取付部１４ａを移動させたときのカメラ４ａの撮像領域の中心Ｃと基準位置Ｐｓ１との間の位置ずれ量を求めると共に、対向位置にカメラ４ａが位置しているときにプローブ５ａが位置する基準プローブ位置Ｐｐにおける補正値をカメラ４ａとプローブ５ａとの間の距離Ｌｘ１，Ｌｙ１および位置ずれ量に基づいて特定する補正値特定処理を複数の基準プローブ位置Ｐｐについて実行する。 （もっと読む）

【課題】検査すべき基板のたわみを自動的に解消させ、かつ特に熟練者でなくても短時間で簡単に基板とピンボードとの位置調節が可能な基板検査装置を提供する。
【解決手段】ピンボード１１、１２の出し入れを許容する開口を有し、基板２の周縁部を上下から挟圧する上、下枠体１５、１６と、上、下枠体１５、１６を、基板２を挟圧した状態で移動させて、基板２と上、下ピンボード１１、１２とを位置合わせする位置調節機構１８とを備える。 （もっと読む）

【課題】測定や検査に要するコストを低減する。
【解決手段】複数の接触子Ｐａ（Ｐｂ）が相互に接続されて矢印Ａａ（Ａｂ）の向きに沿って配列された接触子列Ｌａ（Ｌｂ）が矢印Ａｂ（Ａａ）の向きに沿って並んだ測定用治具２０を使用し、電気的パラメータを測定する両測定点Ｐ１，Ｐ２に対して各接触子列Ｌａ，Ｌｂのうちの１つにおける各接触子Ｐａ，Ｐｂのうちの少なくとも１個（接触子Ｐａ２）および各接触子列Ｌａ，Ｌｂのうちの他の１つにおける各接触子Ｐａ，Ｐｂのうちの少なくとも１個（接触子Ｐａ４）がそれぞれコンタクトする第１および第２の条件と、両測定点Ｐ１，Ｐ２に対して同じ接触子列Ｌａ，Ｌｂに属する接触子Ｐａ，Ｐｂがコンタクトしない第３の条件とを満たす位置関係で測定用治具２０および検査対象基板１００が対向するように測定用治具２０を回転させる。 （もっと読む）

【課題】一方の基板の位置補正に要する時間を他方の基板の検査時間内に吸収し、全体的な処理時間の短縮を図った基板検査方法及び基板検査装置を提供する
【解決手段】並んで配置された第１，第２の搬送レール１１，１２にそれぞれ搬入されて所定の検査位置に停止した基板２１，２２に対し、各基板２１，２２の表面に沿って二次元的に移動するプローブ１ａ〜１ｄを用いて電気的検査を行う基板検査方法において、一方の搬送レール１１の検査位置にある基板２１をプローブ１ａ〜１ｃにより検査している期間に、他方の搬送レール１２に搬入された基板２２の位置を位置検出カメラ４ｄにより検出して基板２２を検査位置に停止させる処理を完了し、基板２１の検査終了後に、プローブ１ａ〜１ｃを移動させて直ちに基板２２の検査を開始する。 （もっと読む）

【課題】高精度な寸法精度で製造する必要がなく、基板を搭載する際に高精度に基板の位置や姿勢の制御を行う必要がなく簡便に搭載することができるにも関わらず、基板を正確に位置固定することができる基板固定機構を提供する。
【解決手段】基板固定機構は、ピストン断面積が同じピストン２１，２２がシリンダ室２３を挟んで逆向きに配置された空気圧シリンダ２と、駆動体５を介してピストン２１に引かれて基板と反対方向に移動可能な載置爪３と、ピストン２２に押されて基板方向に移動可能な基板押爪４と、基板押爪４を基板の反対方向に付勢する押爪用付勢体７と、さらに大きな付勢力で載置爪３を基板方向に付勢する載置爪用付勢体６と、載置爪３に付された係合部３１ａ，３１ｂと、所定の幅だけ載置爪３が基板押爪４よりも突き出したときに係合部３１ａ，３１ｂに当接する基板押爪４に付された係合当接部４１とを有する基板クランプ１ａが配置されている。 （もっと読む）

【課題】コネクタが基板の中央部にあっても当該コネクタにプローブを接触可能で、かつコネクタに対する位置合わせの際に検査員の視認性が良好なコネクタ接続用検査治具を提供する。
【解決手段】ガイド３０は、基板１と当接し且つコネクタ２の側縁と係合することで自身のコネクタ２に対する位置決めが可能である。ガイド３０に取り付けられたボス３５ａ,３５ｂと、プローブ保持体１０のガイド溝１１ａ,１１ｂとにより、プローブ保持体１０とガイド３０とが連結される。プローブ保持体１０及びガイド３０は、ガイド３０がコネクタ２に対して位置決めされたときにプローブ１７の先端がコネクタ２に接触する第１の相対位置と、ガイド３０がコネクタ２に対して位置決めされたときに、プローブ１７の先端が基板１から離間すると共に基板１と垂直でコネクタ２を通過する仮想線から離間した第２の相対位置との間で相対移動可能である。 （もっと読む）

【課題】位置決めの再現性を高い状態に維持しつつ、２つの部材間の位置を簡易に調整する。
【解決手段】Ｙ軸方向に沿って配列された一対の第１孔１１で構成される複数の第１基準孔７ａ〜７ｄが第１配列でベース部２の各取付け位置Ｇに形成され、一対の第２孔２４で構成され各第１基準孔７ａ〜７ｄに一対一で対応する複数の第１位置決め孔２３ａ〜２３ｄが、第１位置決め孔２３ａを第１基準孔７ａに一致させた状態において、他の第１位置決め孔２３ｂ〜２３ｄが対応する第１基準孔７ｂ〜７ｄに対してＸ軸方向に第１単位長ずつ異なる距離だけ離間する第２配列で各第１連結部材５の第１板体２１に形成され、第１位置決め孔２３ａ〜２３ｄのうちから選択した１つの第１位置決め孔と対応する１つの第１基準孔とを一致させて一対の第１連結部材５をベース部２に取り付けた状態で、２つの部材としてのベース部２およびピンボードを連結する。 （もっと読む）

【課題】オフセット量を正確かつ容易に取得する。
【解決手段】第１の位置情報に基づいて特定される位置Ｏｂ上にビーム照射部が位置するように移動させた後に、照射部をＸ方向（矢印Ａ１，Ａ２の向き）に移動させながらレーザービームを照射させたときのレーザービームの反射光量の変化、およびＹ方向（矢印Ｂ１，Ｂ２の向き）に移動させながら照射させたときの反射光量の変化に基づいてマーク２１の位置Ｍｘ１，Ｍｘ２，Ｍｙ１，Ｍｙ２を取得すると共に、位置Ｍｘ１，Ｍｘ２，Ｍｙ１，Ｍｙ２と、第２の位置情報とに基づいて基板保持機構によって保持されているオフセット量取得用基板におけるマーク２１の位置Ｍｂを特定し、位置Ｍｂ，ＯｂのＸ方向に沿った位置ずれ量Ｘｂ、およびＹ方向に沿った位置ずれ量Ｙｂを、照射部のＸ方向に沿った移動量、およびＹ方向に沿った移動量をそれぞれ補正するためのオフセット量として特定する。 （もっと読む）

【課題】比較的簡易な構成でありながら、基板の配線に対してプローブピンを正確に接触させることができる配線検査治具を提供する。
【解決手段】第１ガイド孔７１１及び第２ガイド孔７２１の中心位置が異なる複数種類の第１ガイド部７１及び第２ガイド部７２を用いることによって、撮像カメラやアクチュエータ等を必要としない簡易な構成でありながら、治具本体１５に対するプリント基板２００の位置を細かく調整することができる。特に、縦や横への平行移動だけでなく、水平面内での回転も可能になるため、製造ばらつきに伴うプリント基板２００のあらゆる種類の位置ずれに対して幅広く対応することができる。 （もっと読む）

【課題】プロービング処理においてプローブを移動させる移動距離を補正するための補正値を高精度に算出する。
【解決手段】プロービング機構と、制御部と、理論上のプロービング位置（Ｐｔ１）と実際のプロービング位置（Ｍ１）との間の離間距離（Ｌｄｘ１，Ｌｄｙ１）に基づいてプロービング処理において指定するプローブの移動量を補正するための補正値を算出する演算部とを備え、制御部は、Ｘ１の向きに沿った移動距離Ｌｔｘ１およびＹ１の向きに沿った移動距離Ｌｔｙ１を指定してプロービング機構に対して第１プロービング処理を実行させると共に、Ｘ２の向きに沿った移動量およびＹ２の向きに沿った移動量を指定してプロービング機構に対して第２プロービング処理を実行させ、演算部は、第１プロービング処理および第２プロービング処理における離間距離の平均値を補正値として算出する。 （もっと読む）

【課題】検査精度を低下させることなく、検査対象基板を短時間で容易に検査する。
【解決手段】検査用プローブ３２ａ，３２ｂを別個独立して移動させてプロービング位置にプロービングさせて検査対象基板１０を検査するフライングプローブ式検査装置３と、プローブユニット５２を検査対象基板１０に向けて移動させて各検査用プローブを検査対象基板１０にプロービングさせて検査対象基板１０を検査する治具型プローブ式検査装置５と、基板保持部６３が設けられたインデックステーブル６２を回転させることで検査対象基板１０を搬送する回転式基板搬送装置６と、搬送装置６、検査装置３，５を制御する制御装置とを備え、搬送装置６が、検査装置３によって検査対象基板１０が検査される第１検査位置、および検査装置５によって検査対象基板１０が検査される第２検査位置に検査対象基板１０を搬送可能に構成されている。 （もっと読む）