【課題】構成が簡単で、製造コストを低減できる三次元磁界センサを実現する。
【解決手段】三次元磁界センサ１は、平面である素子配置面４０ａを有する基板４０と、基板４０の素子配置面４０ａ側に配置されて基板４０と一体化されたＭＲ素子１０，２０，３０を備えている。ＭＲ素子１０は、磁化固定層１１、非磁性層１２および自由層１３を有し、ＭＲ素子２０は、磁化固定層２１、非磁性層２２および自由層２３を有し、ＭＲ素子３０は、磁化固定層３１、非磁性層３２および自由層３３を有している。自由層１３，２３，３３の磁化の方向は、外部磁界Ｈの方向に応じて変化する。磁化固定層１１の磁化の方向は、素子配置面４０ａに平行なＸ方向に固定されている。磁化固定層２１の磁化の方向は、素子配置面４０ａに平行であってＸ方向に直交するＹ方向に固定されている。磁化固定層３１の磁化の方向は、素子配置面４０ａに垂直なＺ方向に固定されている。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、使用環境が厳しい状態であっても使用することが可能な磁気センサを提供することを目的とする。
【解決手段】 磁気センサ１であって、セラミック基板２と、セラミック基板２上に設けられた、内部にコイル３を有する矩形状のセラミック基体４と、を備え、コイル３は、セラミック基板２の上面に対して垂直方向の第１軸に巻かれた第１コイル３ａと、セラミック基板２の上面に沿った平面方向の第２軸に巻かれた第２コイル３ｂと、第１軸および第２軸の両軸に直交する方向の第３軸に巻かれた第３コイル３ｃと、を含んでいるとともに、第１コイル３ａ、第２コイル３ｂおよび第３コイル３ｃのそれぞれは、各コイル３の一端および他端が、セラミック基板２にまで延在している。 （もっと読む）

【課題】空間磁界を簡便な方法で明瞭に視覚化すること。
【解決手段】平面(または立体的)マトリックス状に分離配置された独立セル内に棒状磁性部材マグロッドを各１個（または複数個）封入することにより、その移動範囲をセル内に限定して磁性部材の凝集を防ぎ、さらに、各セル中にマグロッドの平均密度とほぼ等しい密度の透明液体を封入することによりマグロッドが大きな抵抗を受けることなく、弱い磁界中でもマグロッドが一斉に磁界方向に配向する。このマグロッドの配列パターンを観察することで、観察対象の空間（平面）磁界を容易かつ明瞭に可視化できるようにした。
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【課題】 特に固定磁性層をセルフピン止め型とした構成において、Ｔａ保護層の膜厚を適正化し、従来に比べて安定して優れた軟磁気特性を得ることが可能な磁気検出素子及びそれを用いた磁気センサ、並びに磁気検出素子の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 本実施形態の磁気検出素子１は、固定磁性層３とフリー磁性層５とが非磁性材料層４を介して積層された積層膜を備え、前記固定磁性層３は、第１磁性層３ａと第２磁性層３ｃとが非磁性中間層３ｂを介して積層され、前記第１磁性層３ａと前記第２磁性層３ｃとが反平行に磁化固定されたセルフピン止め型であり、前記積層膜の最上層は、Ｔａからなる保護層６であり、前記保護層６の成膜時における成膜時膜厚は５５Å以上であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】マルチ軸センサを製造する方法を提供する。
【解決手段】第１のアプリケーション・エレクトロニクスを備えた第１の活性化表面１１４を有する第１のダイ１０２を製作するステップと、第２のアプリケーション・エレクトロニクスを有する第２の活性化表面１１５、および、第２のアプリケーション・エレクトロニクスから第２の活性化表面と隣接している第２のダイ１０４の側面インタフェースまで伸びる少なくとも一つの電気的接続を有する第２のダイを製造するステップと、第１の活性化表面と同一平面上の側面インタフェースを整列配置するステップと、複数の電気的接続１１９と第１の活性化表面との間に少なくとも一つの電気的接続を形成するステップとを有する。 （もっと読む）

【課題】外部の感度測定用磁界発生源を用いることなく磁気センサの各軸方向の感度を測定する機能を有する磁気センサ及びその感度測定方法を提供すること。
【解決手段】感度測定装置では、感磁部（３１）による検出された磁束密度は、切換部（３２）によって各軸の磁界強度情報が抽出され、増幅部（３３）を介して、感度演算部（３４）に入力される。感度演算部（３４）は、感磁部（３１）からの各軸に関する磁界強度情報に基づいて感度を演算する。感度演算部は、感磁部（３１）からの磁束密度を各軸の磁気成分に分解する軸成分分解部（３４ａ）と、軸成分分解部（３４ａ）からの磁界強度の各軸成分を基準値と比較して感度を判定する感度判定部（３４ｂ）と、感度判定部（３４ｂ）からの感度情報に基づいて感度補正を行う感度補正部（３４ｃ）とを備えている。センサ診断部（３９）は、感度情報に基づいて磁気センサの感度良否を自己診断し、自己感度補正(調整)をする。 （もっと読む）

【課題】３軸センサの支持位置と角度調整もしくは磁界測定値の補正のための磁界を形成する。
【解決手段】Ｙ軸を間に挟んで、互いに鏡像の関係になるように、磁石片を支持するための回転テーブル５６を備える。回転テーブル５６は、Ｙ軸に直角に交わる公転軸芯７０に垂直な支持面５７を持つ。磁石片は、回転テーブルの支持面に着脱可能な支持台５０により支持されている。支持台５０はＹ軸と公転軸芯７０を通る面に平行な対向面６３と、回転テーブル５６の支持面５７に平行で対向面６３に直角に交わる一対の支持側面６５を有する。これら一対の支持側面６５のうちのいずれの面を支持面５７に接するように支持台５６を支持しても、自転軸芯７８が対向面６３の同一位置にあるように、支持台５０を支持面５７に固定する位置決め機構（６４と６６）を設けた。 （もっと読む）

【課題】鉄心の所定領域内の磁束を視覚的に確認することのできる磁気観測装置を提供することを目的とする。
【解決手段】磁気観測装置１は、磁束流に対して垂直方向に貫通する複数の貫通穴３を、固定子鉄心２Ａの観測対象領域内に満遍なく設け、その貫通穴３に磁気に反応する検出体（針１２）を配設することで構成されている。
これによれば、固定子鉄心２Ａに流れる磁束が貫通穴３内に漏れ、この漏れ磁束に検出体が反応する。このため、この貫通穴内に配設された検出体の挙動を観測することで、視覚的に磁気を観測することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 磁気センサを用いて、球技装置に備えられた磁気機構部から発せられた磁界であるか、違法な磁石の接近であるかを識別できる球技装置用の磁界検知装置を提供する。
【解決手段】 磁気ベクトルを検知する３つの磁気センサが用いられ、Ｘ軸センサ３がＸ軸に設置され、Ｙ軸センサ４がＹ軸に設置され、Ｚ軸センサ５がＺ軸に設置されている。制御部において、それぞれのセンサ３，４，５から得られる検知出力の合成値を演算する。３軸の合成値の線図α、βの変化の特性の違いによって、磁気機構部からの磁界であるか、違法な磁石による磁界であるかを識別する。 （もっと読む）

【課題】低コストで実現することができ、かつ生産性を向上させることができる、方向検出ホールＩＣの検査工程を含む方向検出ホールＩＣの製造方法を提供する。
【解決手段】ヘルムホルツ・コイル３０が生成する磁界のうち、磁束密度勾配を有する周辺領域（検査位置Ｐ１、Ｐ２）に、方向検出特性検査対象のホールＩＣ５ａ、５ｂが配置され、均一な磁束密度を有する中心領域（検査位置Ｐ３）に磁界検出特性検査対象のホールＩＣ５ｃが配置される。当該状態でヘルムホルツ・コイル３０に通電して磁界を発生させるとともに当該磁界による磁束密度を変動させて、ホールＩＣ５ａ、５ｂの方向検出特性とホールＩＣ５ｃの磁界検出特性が同時に測定される。測定完了後に搬送ライン６２を一方向に移動させ、各ホールＩＣを検査位置Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３のそれぞれで測定が行われる。 （もっと読む）

モバイル局は、地磁場の測定される特性を使用しておおよその緯度を決定する。おおよその経度もまた決定されることができる。モバイル局は、決定される場合には、おおよその緯度および経度を使用し、例えば、衛星信号のサーチおよび捕捉の間に衛星測位システム（ＳＰＳ）における可視衛星のリストを決定することによって、及び/または、位置計算においてシード位置としておおよその位置を使用することによって、モバイル局についてのポジション・フィックスを決定することにおいて支援する。地磁場の特性は、例えば伏角または垂直強度であってもよく、３次元磁気計と３次元加速度計からのデータを使用して決定されることができる。磁場の瞬間値は、モーションの影響および大きなメタリックマスの存在を減らすために平均化されることができる。
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【課題】 特に、磁石と磁気抵抗効果素子を有する非接触式の磁気センサとを備え回転方向を検知できる回転検出装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 基準状態では、固定部側である磁気センサ１３は回動部１０の回動中心から重力方向上に配置され、回動部１０に支持された磁石１１，１２は、回動中心から磁気センサ１３の左右両側に離れた位置に配置されている。基準状態から時計方向あるいは反時計方向の回転に伴って回動部１０が重力方向に向けて回動して重力方向に一定の姿勢を保つ。このとき、磁気センサ１３の磁石１１，１２との相対位置が近づくことで磁気センサ１３が磁石から外部磁界を受けて磁気抵抗効果素子の電気抵抗値が変化し、この電気抵抗変化に基づく磁気センサ１３からの出力により回転方向を知ることができる。 （もっと読む）

平面内の磁界方向を測定するための磁界センサは、回転ホール素子として作動することができる２つの検出構造（１Ａ；１Ｂ）を含む。２つのホール素子は反対方向に離散ステップで回転する。このような磁界センサは、導体（１５）中を流れる一次電流を測定するための電流センサとして使用することができる。 （もっと読む）

【課題】高出力、高精度で動作温度範囲の広い角度センサ及び角度検出装置を提供する。
【解決手段】強く反強磁性的に結合した２層の強磁性膜からなるセルフピン型強磁性固定層を用いたスピンバルブ磁気抵抗効果膜から第一から第八のセンサユニット５１１，５２２，５２３，５１４，５３１，５４２，５４３，５３４を作製する。それぞれのセンサユニットは、９０°異なる角度に着磁した薄膜形成とパターニング、絶縁膜形成を経て作製する。強磁性膜にはキュリー温度の近いＣｏＦｅ及びＦｅＣｏ膜を用いて磁化量の差分をゼロにすることで、高い外部磁界耐性と広い温度適応範囲、高い出力を実現する。 （もっと読む）

【課題】磁気を安定して精度良く検出し、かつ消費電力の少ない磁気センサ素子を提供する。
【解決手段】磁気センサ素子１は、磁性コア材８の周囲に薄膜コイルが巻回された構成を備える。磁性コア材８は、１つの検出部８ａと、２つの励磁部８ｂと、検出部８ａと励磁部８ｂのそれぞれの両端をつなぐ磁気結合部８ｃとを備えて構成され、全体として８の字状の形状を有する。磁性コア材８の２つの励磁部８ｂには、それぞれ、薄膜コイルである励磁コイル４が巻回されて励磁部５を形成する。また、磁性コア材８の検出部８ａには、薄膜コイルである検出コイル１２が巻回されて、検出部１３を形成する。
これにより、検出コイル１２と励磁コイル４のそれぞれの巻数を多くすることができ、磁気を安定して精度良く検出し、かつ消費電力の少なくすることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】多軸の磁場または他の場の感知装置および多軸の磁場または他の場の感知装置の製造方法を提供する。
【解決手段】一体型３軸場センサの例として３軸磁気サンサの例を示す。３軸磁気センサ２０はダイ３０の一方の平面内（Ｘ軸、Ｙ軸）に、１つまたは２つの磁気感知素子３２を備え、ダイ３０の反対側の平面外（Ｚ軸）に磁気感知素子３４を備る。ダイ３０は相互接続バンプ３８により回路板６０に接続し、磁気感知素子３２と回路板６０はボンディングワイヤ４０より接続する。 （もっと読む）

【課題】３軸方向の磁界を精密に測定する。
【解決手段】互いに直交する３軸方向の磁界を個別に測定できる検出素子１２を搭載した３軸センサ１４を、一対の基準点２２間を結ぶ基準線２４に沿って直線的に移動させ、基準線２４と直交する交差直線２５上に、基準線２４を間に挟んで第１固定点３０と第２固定点３２とを設定し、そこに支持した磁石片２８の磁界を測定する。基準線２４の方向の磁界測定値のゼロクロス点４４を比較し、両者が一致しないときは、３軸センサ１４の基準線２４の方向と交差直線の方向の磁界測定値を補正する補正係数４６を選択して、両者が一致する補正係数４６を、基準線２４の方向と交差直線の方向の磁界測定値を求めるための補正係数４６に設定する補正係数４６演算手段とを備えた。 （もっと読む）

【課題】精度良く地磁気センサの出力を補正することができる方位検出装置の提供。
【解決手段】本発明は、移動体に搭載され、地磁気センサと、ＧＰＳ信号受信手段と、ＧＰＳ信号を用いて移動体を測位する測位手段とを備える方位検出装置であって、前記ＧＰＳ信号受信手段により受信されるＧＰＳ信号レベルが所定レベルより小さい場合には、前記地磁気センサの出力値を用いて最小２乗法によりゲイン補正量を算出し、ＧＰＳ信号レベルが所定レベル以上の場合には、ＧＰＳ信号から得られる情報に基づいて偏角補正量及び／又は伏角補正量を算出して、前記地磁気センサの出力値を補正することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能で、生産・組立性を向上させることが可能な磁気センサを提供する。
【解決手段】外部磁界を検出する感磁部３ａ，３ｂは、フェライトチップ４ａ，４ｂとフェライト基板２ａ，２ｂでそれぞれ挟まれている。これら感磁部３ａ，３ｂは、フェライト基板２ａ，２ｂを介して磁性基板１上に所定間隔だけ隔てて配置されている。感磁部３ａ，３ｂとして、例えば、ホール素子を用いることができる。感磁部３ａ，３ｂからの出力の和および差をとることにより、感磁面に対して垂直方向および水平方向の磁束密度を算出することができる。 （もっと読む）