【課題】電子部品の電極の導電性積層膜の膜厚を安価な装置で高速に測定する。
【解決手段】絶縁膜１上に上下に積層された導電層２，３（積層膜、例えばＮｉ層およびその上のＡｕ層）からなる半導体基板の電極に対して、段差を触針で測る場合やレーザ光を用いる場合など公知の方法で導電層２，３の厚さ（電極高さ）を測定するステップと、４端針法により電極の表面抵抗を測定するステップとを有し、二つのステップから得られた積層膜の膜厚（電極高さ）と表面抵抗値から、上下に積層した導電層２，３からなる電極の上部皮膜である導電層３の膜厚を計算式から算出する。 （もっと読む）

【課題】４端子対法による計測が行える回路基板検査装置において、プローブのコンタクトチェックのための専用回路が不要であり、また、測定中においても適宜コンタクトチェックが行えるようにする。
【解決手段】高電位側電圧プローブＰ３および低電位側電圧プローブＰ４に接続される各同軸ケーブルＣの内部導体ＩＬと外部導体Ｓとの間に、高周波領域で定在波が発生しないように、インピーダンスマッチング用の抵抗素子Ｒ０とスイッチＳＷ２とを含む直列回路２２を接続し、スイッチＳＷ２がオフであるときの内部導体ＩＬと外部導体Ｓ間の第１の電圧値と、スイッチＳＷ２がオンであるときの内部導体ＩＬと外部導体Ｓ間の第２の電圧値とに基づいて、各電圧プローブＰ３，Ｐ４の接触状態の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】保守作業の効率化を図ることができる４探針抵抗率測定装置を提供すること。
【解決手段】少なくともプローブユニット６及び測定ユニット７を含む複数のユニットにより構成される４探針抵抗率測定装置であって、ユニット毎に複数の不揮発性メモリを搭載し、パーソナルコンピュータ１により、この不揮発性メモリに当該ユニットに関する保守情報を定期的に書き込み、上記保守情報を不揮発性メモリから読み出すものである。 （もっと読む）

【課題】
低抵抗体の良否を簡素な回路構成で高精度に判定可能な低抵抗体の良否検査装置を提供すること。
【解決手段】
被測定抵抗Rxの電圧降下を4端子法で計測し、それと時間順次に所定の一乃至複数の基準抵抗の電圧降下を独立に計測し、得られた複数の電圧降下の電圧増幅値を演算することにより、低抵抗値をもつ被測定抵抗の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】電流供給用端子がシールド付き電線で電流源に接続されている測定装置において、電流供給端子とシールドとが接触したとしても電流制限回路が流れる電流を制限して装置を保護することができ、しかも、通常状態では、電流制限回路で無駄な電力が消費されず、無駄な熱が発生しない測定装置を提供する。
【解決手段】インピーダンス測定装置１は、電流供給端子Ｈｃ，Ｌｃを介して測定対象体（ＤＵＴ）に測定用電流Ｉ_DUTを供給する電流源２と、ＤＵＴに生じた電圧を検出する電圧検出回路３とを備え、測定用電流Ｉ_DUT及び電圧検出回路３の検出電圧に基づいてＤＵＴの電気的特性を測定するインピーダンス測定装置１であって、一対の電流供給端子Ｈｃ，Ｌｃが各々シールド付き電線Ｗ１，Ｗ２で電流源２に接続され、シールドには、所定電位を付与すると共に、流れる最大電流を制限可能な電流制限用の抵抗Ｒｐ１が接続されているものである。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の複素インピーダンスの周波数特性に基づいて等価回路の各素子定数を推定する際に、素子定数の一部を任意の値に固定して、他の残りの素子定数を推定することができる等価回路解析装置及び等価回路解析方法を提供する。
【解決手段】等価回路解析装置は、測定対象物の複素インピーダンスの周波数特性を測定する測定部と、複数の電気素子を組み合わせた所定の等価回路の各素子定数を任意の値に設定する操作が可能な設定ボタン１３ｂと、素子定数Ｃを固定する操作が可能な固定ボタン１４ｂと、測定部の測定した測定対象物の周波数特性に基づいて、固定ボタン１４ｂによって固定された素子定数Ｃを変更せずに、他の素子定数Ｒ，Ｌの推定を行う推定部とを備えるものである。 （もっと読む）

【課題】従来の検査装置では、シートを一定量ずつ間欠的に搬送しながら検査を行うものであるため、シートを連続的に搬送するインライン式の装置には適用することが困難であるという問題点があった。
【解決手段】連続して水平方向に搬送される電極シートＳの上面に回転接触するローラ状の上部電極子２１と、電極シートＳの下面に回転接触するローラ状の下部電極子２３と、電極シートＳに接触した上下の電極子２１，２３間の通電により電極シートＳの厚さ方向の電気抵抗を測定する厚さ抵抗測定手段６０Ａを備えた検査装置Ｃ２とした。電極シートＳの厚さ方向の電気抵抗測定を連続して速やかに行うことができ、電極シートＳを連続的に搬送するインライン式の装置に好適なものとした。 （もっと読む）

【課題】Ｘ−Ｙ型回路基板検査装置で４端子対法による測定を行うにあたって、各可動アームの離間距離をより広げられるようにする。
【解決手段】４端子対法による計測を行うため、電流プローブＰ１，Ｐ２および電圧プローブＰ３，Ｐ４の測定部２０に至る電気配線に同軸ケーブルＣ１〜Ｃ４を用い、同軸ケーブルＣ１〜Ｃ４の外部導体Ｓ同士を導通手段７０を介して相互に接続し、可動アーム３１，３２のＸ−Ｙ方向の動きに追従して伸縮するパンタグラフ構造の伸縮手段６０を介して可動アーム３１，３２の間のほぼ中間位置に支持される同軸ケーブル保持手段５０により同軸ケーブルＣ１〜Ｃ４を束ねた状態で保持し、同軸ケーブルＣ１〜Ｃ４の各内部導体ＩＬをそれぞれ変形可能な例えば板バネ８１からなる電気的中継手段８０を介して対応するプローブＰ１〜Ｐ４に接続する。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の直流抵抗の高低によらず、所定の直流バイアス電圧を測定対象物に印加しつつインピーダンスを測定することができるインピーダンス測定装置を提供する。
【解決手段】インピーダンス測定装置１は、直流電圧を重畳させた交流電圧を、所定の直流出力抵抗Ｒ０でＤＵＴ９０に出力する信号源２と、ＤＵＴ９０に流れる電流を検出する電流検出部３と、ＤＵＴ９０の両端電圧を検出する電圧検出部４と、電流検出部３及び電圧検出部４の出力を読み込んで、ＤＵＴ９０のインピーダンスを演算する演算処理部５とを備え、直流電圧のみを信号源２から出力させた状態で、演算処理部４と信号源２とが、所定の直流バイアス電圧をＤＵＴ９０に印加させるフィードバック関係で接続されるものである。 （もっと読む）

【課題】一対のワニ口クリップを正しいかみ合わせのもとでゼロアジャストが行えるようにする。
【解決手段】四端子抵抗測定装置に用いられる電気測定用プローブで、ともに被測定抵抗体の所定部位を挟む一対の挟持片を有する２つのワニ口クリップ１，２を備え、ワニ口クリップ１，２の各一方の挟持片が電流供給用のソースプローブとして定電流源のＨｉ側とＬｏ側とに接続され、各他方の挟持片が電圧検出用のセンスプローブとして電圧測定手段のＨｉ側とＬｏ側とに接続される電気測定用プローブにおいて、ワニ口クリップ１，２の各一方の挟持片のうち、定電流源のＬｏ側に接続されるソースＬｏ側挟持片２１ａ（１０２）の反挟持面側に絶縁被覆１０２Ａを設けるとともに、各他方の挟持片のうち、電圧測定手段のＨｉ側に接続されるセンスＨｉ側挟持片１２ａ（２０１）の反挟持面側に絶縁被覆２０１Ａを設ける。 （もっと読む）

【課題】メガリングフィルタを使用した送電線の絶縁抵抗等の測定において迅速かつ容易に測定作業を行う。
【解決手段】絶縁抵抗測定器１００は、送電線の絶縁抵抗を測定する場合にメガリングフィルタのアース端子が接続されるアース接続端子１１４と、送電線の絶縁抵抗を測定する場合にメガリングフィルタのライン端子が接続されるライン接続端子１１６とを備えている。アース接続端子１１４およびライン接続端子１１６は、メガリングフィルタの平型のアース端子およびライン端子が接続し易いようにねじ型の端子で構成されている。絶縁抵抗の測定時に、作業員の負担を軽減することができ、作業の大幅な迅速化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】コンタクトチェック及び測定を高速に行うことのできる４端子式測定器を提供する。
【解決手段】４端子式測定器１は、測定レンジに対応させた電流検出抵抗Ｒ１１〜Ｒ１５の一端が、電流供給端子Ｌｃに接続されると共に差動増幅回路５の反転入力端子に接続され、電流検出抵抗Ｒ１１〜Ｒ１５とペアになるように抵抗選択用のスイッチＳＷ１１〜ＳＷ１５の一端が接続されており、スイッチＳＷ１１〜ＳＷ１５の他端が差動増幅回路５の出力端子に接続されている構成を含む電流検出部３を備え、スイッチＳＷ５，ＳＷ１１〜１５の各々が、直列接続された２つのアナログスイッチ、及びその直列接続点と基準電位との間に接続されたアナログスイッチの計３つのアナログスイッチで構成されており、オフにするときは直列接続された２つのアナログスイッチをオフに制御すると共に基準電位間に接続されたアナログスイッチをオンに制御する。 （もっと読む）

【課題】検査精度を向上させつつ検査効率を向上させる。
【解決手段】検査対象の抵抗器１００に交流定電流Ｉｍを供給して抵抗器１００の抵抗値Ｒｍを測定する測定処理を実行する測定部１４と、上下限値Ｒａ，Ｒｂと抵抗値Ｒｍとを比較して抵抗器１００に対する良否検査を実行する制御部１９とを備え、制御部１９は、測定部１４によって測定処理が実行される測定レンジの上限値が規定値Ｒｒ３以下のときには、良品サンプル１００ａが回路基板に搭載されている状態において測定されるべき第１抵抗値Ｒｒ１と測定部１４によって測定された良品サンプル１００ａの第２抵抗値Ｒｒ２との差分値を補正値Ｒｃとして求め、抵抗器１００の抵抗値Ｒｍを補正値Ｒｃで補正する補正処理を実行し、補正後の抵抗値Ｒｍを用いて良否検査を実行する。 （もっと読む）

【課題】リレーの数を減少すると共に検査時間を短縮することができる絶縁性検査装置を提供する。
【解決手段】対象物に電源を供給して電圧または電流を測定する測定器３０と、測定器３０と対象物との間を電気的に接続するバス配線線路５０-１、５０-２と、該対象物の測定ポイントと該バス配線線路とを選択的に接続する測定ポイント変換リレー部１０と、該測定器と該バス配線線路とを選択的に接続する測定器変換リレー部２０とを含む。 （もっと読む）

【課題】Ｘ−Ｙ型回路基板検査装置で４端子対法による測定を行うにあたって、各可動アームの離間距離をより広げられるようにする。
【解決手段】電流プローブＰ１，Ｐ２および電圧プローブＰ３，Ｐ４の測定部２０に至る電気配線に同軸ケーブルＣ１〜Ｃ４を用い、一方の可動アーム３２のプローブ支持部３２ａに第１電流プローブＰ１と第１電圧プローブＰ３とを、また、他方の可動アーム３１のプローブ支持部３１ａに第２電流プローブＰ２と第２電圧プローブＰ４とを支持させ、例えば可動アーム３２側にプローブ支持部３１ａ，３２ａの上方に配置されるケーブル支持基板３３を設け、各同軸ケーブルＣの一端側を、それらの外部導体Ｓを所定の導通手段により接続してケーブル支持基板３３に固定するとともに、各同軸ケーブルＣの内部導体ＩＬを、変形可能な電気的中継手段５０を介して対応するプローブＰに接続する。 （もっと読む）

【課題】端子間の直流オン抵抗を高精度で測定可能な半導体スイッチ及びその測定方法を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、第１のスイッチ素子と、第２のスイッチ素子と、制御回路と、を備えた半導体スイッチが提供される。第１のスイッチ素子は、第１の端子及び第２の端子を含む複数の高周波端子のそれぞれと共通端子との間に接続される。第２のスイッチ素子は、前記第１の端子と接地用端子との間に接続される。前記制御回路は、前記第１のスイッチ素子及び前記第２のスイッチ素子をそれぞれオンまたはオフさせる制御信号を出力し、端子切替信号に応じて、前記共通端子を前記複数の高周波端子のいずれか１つに接続する通常動作モードと、前記共通端子を前記第１の端子と前記第２の端子と接地用端子とに接続するテストモードと、を実行することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】Ｘ−Ｙ型回路基板検査装置で４端子対法による測定を行うにあたって、各可動アームの離間距離をより広げられるようにする。
【解決手段】４端子対法による計測を行うため、電流プローブＰ１，Ｐ２および電圧プローブＰ３，Ｐ４の測定部２０に至る電気配線に同軸ケーブルＣ１〜Ｃ４が用いられ、一方の可動アーム３２側に、第１の電流プローブＰ１と第１の電圧プローブＰ３とを、それらの各同軸ケーブルＣ１，Ｃ３の外部導体Ｓ間をリード線５により電気的に接続した状態で取り付けるとともに、他方の可動アーム３１側に、第２の電流プローブＰ２と第２の電圧プローブＰ４とを、それらの各同軸ケーブルＣ２，Ｃ４の外部導体Ｓ間をリード線５により電気的に接続した状態で取り付け、同軸ケーブルＣ３の外部導体Ｓと同軸ケーブルＣ４の外部導体Ｓとを金属製のコイルバネ５ａを介して互いに電気的に接続する。 （もっと読む）

【課題】インダクタンス成分等が純抵抗成分に接続されている測定対象の純抵抗値を誤測定する事態を回避する。
【解決手段】測定対象８に交流定電流Ｉを供給し同期信号Ｓｔを出力する電流供給部２と、測定対象８の両端間に発生する交流信号Ｓ１を検出して出力する電圧検出部３と、同期信号Ｓｔの半周期毎に交流信号Ｓ１を反転させて出力することによって同期整流信号Ｓｒｅを生成しこれを平滑して同期整流電圧Ｖｒを出力する同期整流部４と、同期整流電圧Ｖｒを電圧データＤｖに変換するＡ／Ｄ変換部５と、電圧データＤｖで表される交流信号Ｓ１の電圧値と交流定電流Ｉの電流値とに基づいて測定対象８の純抵抗の抵抗値Ｒｘを算出する処理部６とを備え、同期整流部４は、同期整流信号Ｓｒｅの波形のうちの同期信号Ｓｔの後半の半周期における波形についての負極性側の振幅をこの負極性側の交流信号Ｓ１の最大振幅よりも小さい規定値Ｖｄ１以下に制限する。 （もっと読む）

【課題】電圧検出経路に発生する誘導起電力を相殺電流による誘導起電力で相殺しつつ、相殺電流経路の一部として利用するビアの個別設定を不要とする。
【解決手段】プローブユニット２，３にそれぞれ配設されて、プローブユニット２，３のプローブ２ａ〜２ｄおよびプローブ３ａ〜３ｄが対応する各接触ポイントＴＰ１〜ＴＰ４に接触したときに、互いに直接接触する一対の接触端子２ｅ，３ｅと、一対の接触端子２ｅ，３ｅに接続されて相殺電流Ｉ２を出力する相殺電流供給部５とを備え、処理部８は、相殺電流供給部５を制御して、一対の接触端子２ｅ，３ｅを含む相殺電流経路に相殺電流Ｉ２を供給させて、電流供給プローブ２ａ，３ａおよび検査対象とするビア３１を含む測定電流経路に測定電流Ｉ１が流れることに起因して検査対象とするビア３１および電圧検出プローブ２ｂ，３ｂを含む電圧検出経路に発生する誘導起電力を相殺する相殺起電力を発生させる。 （もっと読む）

【課題】突入電流の流入に起因する火花の発生を回避すると共に消費電力の増大を抑制する。
【解決手段】第１端子２２ａ，２２ｂを介してバッテリ１００に測定電流Ｉｍを供給する電流供給部２と、測定電流Ｉｍの供給時におけるバッテリ１００の内部抵抗Ｒｘを測定するＣＰＵ９と、第１端子２２ａ，２２ｂおよびバッテリ１００の接続を検出する接続検出部３とを備え、電流供給部２は、バッテリ１００に測定電流Ｉｍを供給する電流源１１と、電流源１１および第１端子２２ａの間に直列に接続されたコンデンサ１２および抵抗１３と、抵抗１３の両端間を短絡可能に構成されたスイッチ回路１４とを備え、ＣＰＵ９は、接続検出部３によって第１端子２２ａ，２２ｂおよびバッテリ１００の接続が検出されると共に所定条件が満たされたときに、スイッチ回路１４を制御して抵抗１３の両端間を短絡させた後に内部抵抗Ｒｘを測定する。 （もっと読む）