【課題】デッドボリュームによる分離の悪化を抑制しつつ汎用性と噴霧効率を向上させること。
【解決手段】一端部に噴霧口（１２ｂ）が形成された筒状の外筒（１２）と、前記外筒（１２）の内部に同軸に配置され且つ前記外筒（１２）との間で噴霧用のガスが流れるガス流路（Ｒ１）が形成される筒状の中筒（１３）と、前記中筒（１３）の内部に同軸に配置され且つ前記中筒（１３）との間に隙間をあけて配置された筒状の内筒（１４）と、前記内筒（１４）の内部に形成され前記噴霧口（１２ｂ）に搬送されて噴霧される液体試料が流れる試料流路（Ｒ３）と、前記試料流路（Ｒ３）に支持されて前記液体試料に含まれる成分を分離する分離媒体（２６）と、を備えた噴霧器（３）。 （もっと読む）

【課題】噴霧効率を維持しつつ、塩の析出を低減すること。
【解決手段】一端部に噴霧口（１２ｂ）が形成された筒状の外筒（１２）と、前記外筒（１２）の内部に同軸に配置され且つ前記外筒（１２）との間で噴霧用のガスが流れるガス流路（Ｒ１）が形成される筒状の中筒（１３）と、中筒（１３）の内部に同軸に配置され且つ中筒（１３）との間に隙間をあけて配置された筒状の内筒（１４）と、内筒（１４）の内部に形成されて噴霧口（１２ｂ）に搬送されて噴霧される液体試料が流れる試料流路（Ｒ３）と、中筒（１３）の先端と外筒（１２）との間のガス出口（２４）に近づくに連れて、断面積が小さくなるように形成されたガス流路（Ｒ１）と、試料流路（Ｒ３）の一端に形成され且つガス出口（２４）と噴霧口（１２ｂ）との間に配置された試料出口（２５）と、を備えたことを特徴とする噴霧器（３）。 （もっと読む）

【課題】プラズマトーチ先端での炭素の析出を防止するとともに、逆火が起きた場合のチャンバや試料供給管路内での燃焼による破裂を防止する。
【解決手段】プラズマトーチ１を同軸四重管構造にし、最内管１ａにチャンバ９内で霧化した試料を流し、その次に外側の第１中間管１ｄに酸素を含む助燃ガスを流す。霧化試料と助燃ガスとは予混合されず、プラズマトーチ１の先端で拡散燃焼し、試料中の炭素は二酸化炭素や一酸化炭素となって発散する。最内管１ａやチャンバ９内には燃焼する助燃ガスは存在しないため、逆火発生の条件が整っても燃焼は起こらず、内部圧力の急上昇による破裂を回避することができる。 （もっと読む）

【課題】高マトリクス溶液試料をプラズマ化する前に希釈するのに適した新規の装置及び方法を提供する。
【解決手段】スプレーチャンバ２０から延出し、プラズマトーチ３０に連結される輸送管７０の途中に追加のガスＧ２による気流が提供される。霧化された分析試料は、輸送管７０を通過して、スプレーチャンバ２０内に導入されたガスＧ１によってスプレーチャンバ２０からプラズマトーチへ向けて移動するが、移動方向に対して交差する追加のガスＧ２の気流の存在によって、移動が妨害される。その際、霧を構成する液粒は、相互に結合し、比較的大きな径の粒となり、輸送管７０の途中の壁面に液滴を形成する。これによって、プラズマトーチ３０に達する試料の量を再現性良く制御して減らすことが出来る。 （もっと読む）

【課題】ＩＣＰ質量分析装置又はＩＣＰ発光分光分析装置等の元素分析装置にて高感度に元素分析を行うことができる試料の導入を行う試料導入装置を提供する。
【解決手段】サイクロンチャンバー１内に霧状の試料をネブライザ２が噴霧し、サイクロンチャンバー１の送出口１１から元素分析装置のプラズマトーチなどへ試料を導入する構成の試料導入装置に、ネブライザ２の噴霧口へ赤外線を照射して試料を加熱する赤外線照射器５を設ける。また、ネブライザ２へキャリアガスを供給する給気管４１を加熱部４２により加熱すると共に、サイクロンチャンバー１の送出口１１に連通する送出管１２及び導入管４６を冷却部４６が冷却する。これらにより、ネブライザ２が噴霧した試料の粒子サイズを小さくし、粒子サイズの小さい試料のみをプラズマトーチなどへ導入することができる。 （もっと読む）

【課題】 複数種類の液剤を高速に且つ正確に一箇所に投入することの出来る液剤投入装置、ランニングコストの低減、正確で高速な測定を可能とする蛍光検出装置を提供する。
【解決手段】 複数のノズル２６ａ，２７ａ，２８ａからピエゾ素子２３…の駆動により液剤を微細液滴にして所定位置に投入する液剤ジェットヘッド２０と、液剤投入位置へ励起光を照射してそこから発せられる蛍光量を検出する蛍光検出ヘッドとを備えた蛍光検出装置である。そして、各ノズル２６ａ，２７ａ，２８ａの先端部における流路が、これら流路をその接線方向に延長させたときに各流路が略一点で交わる向きに形成され、且つ、各ノズル先端の周辺面Ｓ０〜Ｓ２が当該ノズルの先端流路方向に対して略直交する角度に形成されている。 （もっと読む）

【課題】霧状試料の大径化及び水滴化を抑制し、安定性及び信頼性を有して、効率良く定性分析や定量分析を行い得るネブライザ及び試料液霧化装置を提供する。
【解決手段】ネブライザ３の試料液ノズル３１の外周側には、試料液ノズル３１と同心に、キャリアガスノズル３２が設けられている。さらに、キャリアガスノズル３２の外周側には、キャリアガスノズル３２と同心に、通ガス管３４が設けられている。通ガス管３４はホウ珪酸ガラス製であり、通ガス管３４の先端部は、試料液ノズル３１及びキャリアガスノズル３２の先端部よりも突出している。通ガス管３４の後端部には、アルゴンガス供給管３５が立設されており、アルゴンガスが通流される。 （もっと読む）

【課題】ウエットプロセス用被処理物搭載用治具、ＩＣＰ分析用スプレーチャンバー等の耐食性及び液体が残留しにくい性質が要求される装置用の材料の提供。
【解決手段】耐食性及び液体が残留しにくい性質が要求される装置の少なくとも表面を表面粗さ（Ｒａ）が１０μｍ以下のガラス状カーボンで構成する。装置がウエットプロセス用被処理物搭載用治具である場合には、接液面の純度を灰分で５０ｐｐｍ以下及び表面粗さ（Ｒａ）を０．１μｍ以下とし、装置がＩＣＰ分析用スプレーチャンバーである場合には、（Ｒａ）を０．１〜１０μｍとする。 （もっと読む）

【課題】有機溶媒を含有する試料の簡便かつ高感度な誘導結合プラズマ分析を可能とする新規な分析方法、および該分析方法の実施に適した装置を提供すること。
【解決手段】被測定物および有機溶媒を含む液状試料をネブライザ１で霧化して気化室２へと噴霧し、噴霧された液状試料をプラズマトーチ３に導入し、プラズマトーチ３内でプラズマにより被測定物を励起し、励起された被測定物を測定する誘導結合プラズマ分析法であって、
上記気化室の容積Ｘ（ｍｌ）と、液状試料を気化室へと噴霧する際の有機溶媒の気化室への導入量Ｙ（μｌ／ｍｉｎ）との関係が、
（１）１≦Ｘ≦８かつ５≦Ｙ≦４５、
（２）８＜Ｘ≦２５かつ５≦Ｙ≦４０、
（３）２５＜Ｘ≦７５かつ５≦Ｙ≦３０、あるいは、
（４）７５＜Ｘ≦１００かつ５≦Ｙ≦１０
のいずれかである、誘導結合プラズマ分析法。 （もっと読む）

【課題】 ネブライザにより試料液が噴霧されるチャンバのドレン溜まりに滞留するドレン液を水素化物の発生のために活用することにより、簡素な構成でありながら霧化試料と気化試料とを併せて生成することを可能としたＩＣＰ発光分析用の試料導入装置を提供する。
【解決手段】 サイクロンチャンバ１の内部に試料液Ｓをネブライザ２により噴霧し、霧化成分をサイクロンチャンバ１の天面の送出口11を経て送出すると共に、ドレン液を底部のドレン溜まり13に回収する構成とした試料導入装置において、サイクロンチャンバ１の内部のドレン溜まり13の上位置に、ドレン液を一旦滞留する中間溜まり16を設け、この中間溜まり16に塩酸導入管17により塩酸を導入し、またドレン溜まり13に水素化剤導入管19により水素化剤を導入して、ドレン溜まり13の内部において、中間溜まり16から流下するドレン液と塩酸との混合液と水素剤とを反応させて水素化物を発生させる。 （もっと読む）