【課題】 導電性変化の感度を向上させる電極デバイスを用いて、ガス成分を高感度に検知できるガスセンサを提供する。
【解決手段】ガスセンサは、基板上に少なくとも２つの電極が対向している電極デバイスから構成され、該電極デバイスは、前記基板の表面を化学処理して親水性を調整した後、前記基板を収容する溶液中で導電性ポリマーの原料となるモノマーを金属粒子の存在下で化学重合させ、前記導電性ポリマーと前記金属粒子との複合体を前記電極間に形成させる工程を含んで作成される。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能であると共に検出開始時並びに検出対象ガスの濃度変化時の応答性に優れるガス検出装置を提供する。
【解決手段】ガス検出装置１は、支持体２、リード線５１，５２，５３、センサ素子６、及び有孔の防曝部材７を備える。前記支持体２は、絶縁性の部材と、この部材の表面上に形成された導体配線とを有し、且つ外部へ開口する配置空間８が形成される。前記リード線５１，５２，５３は、前記導体配線に接続されて、前記支持体２から前記配置空間８へ突出する。前記センサ素子６は前記配置空間８内で前記リード線５１，５２，５３によって支持されると共に前記リード線５１，５２，５３に電気的に接続される。前記防曝部材７が前記配置空間８を覆っている。 （もっと読む）

【課題】簡易な方法で、ガス中のフタル酸ジアルキルを検出できるガスセンサ及びガス検出方法を提供する。
【解決手段】メソポーラスシリカを充填した捕集カラム１と、捕集カラム１を加熱する加熱装置２と、ＳｎＯ_２を主成分としてなる金属酸化物の表面に、所定の細孔を持ったシリカマスクが形成されたセンサ素子４と、センサ素子４の電気抵抗値を測定する検出器５と、測定すべき空間から採取された空気を試料ガスとして、捕集カラム１に流通させると共に、同空気を脱離用ガスとして、捕集カラム１及び前記センサ素子４に流通させる空気流通手段とを備えているガスセンサを用いてガス中のフタル酸ジアルキルを検出する。 （もっと読む）

感度、選択性および長時間安全性を向上させることができる薄膜型高活性ガスセンサーを開示する。また、その薄膜型高活性ガスセンサーの製造方法であって、製造工程の単純化、薄膜化および小型化を図ることができるものを開示する。 （もっと読む）

【課題】 感度および応答速度を向上させることができる、検知対象ガスを電気抵抗の変化によって検知するガスセンサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 絶縁性の基材と、前記基材上に配置されたプラス側電極およびマイナス側電極と、前記プラス側電極および前記マイナス側電極と電気的に接続するように配置されたガス感応部とを備え、前記ガス感応部は、表面が金属酸化物層で覆われている金属粒子を含んでいることを特徴とするガスセンサ。 （もっと読む）

【課題】ガス検出素子のリード線と基台のステーとの接続部に絶縁皮膜を形成すること
【解決手段】リード線５を介してガス感応部４２に通電してジュール熱により昇温させてガスを検出するガス検出素子４と、リード線５を介してガス感応部４２に通電するとともにガス検出素子４を固定する導電性のステー３を備えた基台２とからなるガス検出器の製造方法において、ガス検出器１を高分子蒸気を含有する環境に収容して高分子の薄膜１０を形成する工程と、リード線５を介してガス感応部４２に通電してガス感応部４２を高分子の薄膜が気化、または分解する程度に加熱する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】高濃度雰囲気中で安定に動作する水素センサーを提供する。
【解決手段】基板２と、該基板２上に形成された希土類金属膜３と、該希土類金属膜３上に形成された保護膜５であって前記保護５膜はセラミックス材料１５中に水素透過性金属粒子１３を分散してなる保護膜５と、前記保護膜上に形成された一対の電極膜と前記保護膜５及び電極膜上に形成された撥水膜４とを有することを特徴とする水素センサー。
希土類金属膜３の厚さが５〜１０００ｎｍであり、保護膜５の厚さが５〜４０ｎｍであり、撥水膜４の厚さが０．０１〜１．５μｍであり、電極膜１６a、１６bの厚さが５〜１０００ｎｍであることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 簡便な合成プロセスにより合成でき、室温下で高い水素イオン伝導性をもちながら、低コストかつ低環境負荷な、炭水化物系高分子と金属微粒子の複合体の提供。
【解決手段】 金属微粒子を多糖類により包接してなる複合体とする。詳細には、酸性多糖類、塩基性多糖類、又は酸性多糖類と塩基性多糖類の会合体により包接してなる複合体とする。 （もっと読む）

【課題】 ガスを検出する感度を高められ、しかも、長期間に亘ってガスを検出する感度を高く維持できるガスセンサ用金属酸化物半導体材料の製造方法を提供する。
【解決手段】 攪拌中のアルカリ水溶液中に金属塩を滴下して酸化物前駆体が分散した水溶液を生成する。酸化物前駆体が分散した水溶液と貴金属コロイド溶液とを加えて酸化物前駆体と貴金属コロイドとがほぼ均等に分散された分散液を生成する。分散液の沈殿物を焼成して金属酸化物半導体材料を製造する。 （もっと読む）

たとえば、ＨＦ、ＮＦ_３等を用いたエッチング洗浄を受けている半導体処理ツールの排出物など、フッ素を含むガスにおけるフッ素含有種を検出するためのガス検出器およびプロセス。好ましい構造配置における検出器は、マイクロエレクトロメカニカルシステム（ＭＥＭＳ）ベースのデバイス構造、および／または、検知成分として、かつ任意に、高温検知が要求されるときには熱源として機能する独立金属要素を用いる。独立金属要素は、標準チップキャリア／デバイスパッケージに直接製造して、パッケージが検出器のプラットフォームとなるようにすることができる。
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【課題】 流体中のアナライトを検出するためのセンサアレイの提供。
【解決手段】 電気的測定装置に電気的に接続された少なくとも第１の化学的感受性レジスタと第２の化学的感受性レジスタとからなり、流体中のアナライトを検出するためのセンサアレイであって、それらの化学的感受性レジスタのそれぞれが非導電性有機ポリマー及びその非導電性有機ポリマーと組成的に異なる導電性物質の混合物を含み；それぞれのレジスタが非導電性有機ポリマー及び導電性物質の前記混合物を通る電気経路、第１の濃度で第１の化学アナライトを含む第１の流体と接触したときに第１の電気抵抗、及び第２の相異なる濃度で該化学アナライトを含む第２の流体と接触したときに第２の電気抵抗を与え；第１の化学的感受性レジスタの第１の電気抵抗と第２の電気抵抗との差が、第２の化学的感受性レジスタの第１の電気抵抗と第２の電気抵抗との差と相異なる；ことを特徴とするセンサアレイ。
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