【課題】縦分解能が高く、Ｓ／Ｎの高い光音響波を短時間で検出でき、イメージングの場合に処理時間の短縮及び画質の向上が図れる光音響顕微鏡を提供する。
【解決手段】観察対象物の吸収波長域の励起光Ｌを標本２１に照射させる対物レンズ１１と、標本２１に対する励起光Ｌの照射位置を走査させる走査部２０と、光音響波を検出する光音響波検出部１９と、励起光Ｌの照射により標本２１から発生される光音響波Ｕを光音響波検出部１９に導く超音波導波系と、を有し、超音波導波系は、対物レンズ１１の焦点位置に略一致させた焦点位置を有する超音波レンズ１６と、超音波レンズ１６の像側で、対物レンズ１１の焦点位置と略共役な位置に配置された共焦点絞り１７と、を有し、共焦点絞り１７を通過した標本２１からの光音響波Ｕを光音響波検出部１９に導く。 （もっと読む）

【課題】試料に対して高周波数の超音波を送出でき、高空間分解能で試料の内部を観察することができる超音波顕微鏡を提供する。
【解決手段】パルス光によって超音波を発生させて試料に照射し、試料で反射した反射超音波を用いて試料を観察する超音波顕微鏡１ａにおいて、パルス光を照射するパルス光照射手段５と、照射されたパルス光を吸収して熱弾性効果による超音波を発し、該超音波を試料に送出する超音波送波部４ａとを備える。超音波受波部６ａは、試料で反射した超音波である反射超音波を受波するとともに、その反射超音波から受ける応力に応じて量子特性を変化させる。超音波顕微鏡１ａに備わる特性変化検出手段７ａは、超音波受波部６ａの量子特性の変化を検出する。さらに、超音波顕微鏡１ａに備わる内部情報取得手段８は、検出された量子特性の変化を基に試料内部の情報を得て、試料内部における３次元方向の状態の分布を観測する。 （もっと読む）

【課題】高周波超音波の周波数に対応した高空間分解能で試料の内部を観察することができる超音波顕微鏡を提供する。
【解決手段】本発明の超音波顕微鏡１ａは、パルス光を照射するパルス光照射手段５と、照射されたパルス光を吸収して熱弾性効果による超音波を発し、当該超音波を試料Ｓに送出する超音波送波部４ａと、試料Ｓで反射した反射超音波を受波して内部に伝播させるとともに、伝播する反射超音波によって光弾性を発揮する光弾性部材６とを備えている。超音波顕微鏡１ａは、さらに、光弾性部材６を伝播する反射超音波の伝播経路を横切るように測定光を照射する測定光照射手段と、反射超音波の伝播経路を横切った通過測定光を受光するとともに、受光した通過測定光の強度変化を検出する測定光検出手段と、測定光検出手段が検出した強度変化を基に、試料Ｓの内部の情報を得る内部情報取得手段８と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】光音響ミラーを用いる測定装置において、光軸と音響センサの注目領域のずれを抑制する。
【解決手段】光源と、光源からの光を導く光学系と、光学系から照射された光を被検体に透過させ、透過した光を吸収した被検体から発生する音響波を、被検体の方向とは別の方向に反射する光音響ミラーと、光音響ミラーにより反射された音響波を取得する音響トランスデューサと、光音響ミラーを透過した光が、被検体において音響トランスデューサによる音響波取得対象領域に照射されるように、光学系から光音響ミラーに照射される光の光音響ミラーに対する角度または位置の少なくともいずれか一方を調整する調整機構を有する測定装置を用いる。 （もっと読む）

【課題】
試料にダメージを与えることなく、非接触で試料に超音波を励起し、試料内部の欠陥からの超音波を、試料表面の影響を受けることなく非接触かつ高感度に検出する内部欠陥検査方法及びその装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明は、超音波送信部から試料に向けて超音波を出射させて、試料から反射した超音波を結像形共通光路干渉計により干渉信号として検出し、前記干渉信号から超音波信号を得て、該超音波信号から試料内部の欠陥を検出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】生体組織の音響パラメータの測定を正確に行うことができる音響パラメータ測定装置用試料支持体を提供すること。
【解決手段】試料支持体９は、生体組織８の音響パラメータを求める超音波画像検査装置１に使用される。試料支持体９は、生体組織８を密着させて支持するための第１面９１を有し、その反対側に位置しかつ超音波伝達媒体Ｗ１を接触させるための第２面９２を有する。試料支持体９は、親水性材料であるポリビニルアルコールを用いて形成されており、１．７５×１０^６Ｎｓ／ｍ^３以上の音響インピーダンス値を有している。 （もっと読む）

【課題】 超音波顕微鏡において、音響レンズの収差を抑制しつつ高周波の超音波を用いてサブμｍオーダの空間分解能を実現する。
【解決手段】本発明の超音波顕微鏡１は、パルス光を照射するパルス光照射手段５から照射されたパルス光を吸収して熱弾性効果による超音波を発し超音波を試料に送出する超音波送波部４と、超音波送波部４から送出された超音波を試料に集約しつつ放射するレンズ面１０を備えた音響レンズ２と、を具備していて、超音波送波部４に送出されるパルス光の位相を変化させることで音響レンズ２の収差補正を行う収差補正部４０がパルス光照射手段５と超音波送波部４との間に設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】試料に対して高周波数の超音波を送出でき、高空間分解能で試料の内部を観察することができる超音波顕微鏡を提供する。
【解決手段】パルス光を照射するパルス光照射手段５から照射されたパルス光を吸収して熱弾性効果による超音波を発し、当該超音波を試料に送出する超音波送波部４と、超音波送波部４から送出された超音波を収束させつつ試料に放射するレンズ面を備えた音響レンズ２と、を具備する超音波顕微鏡１において、音響レンズ２のレンズ面１０を、楕円体の表面の一部で構成する。当該楕円体を、楕円の長軸又は短軸を回転軸として得られる回転体とする。レンズ面１０を、当該回転軸が、超音波の音響レンズ内での伝播方向と平行になるように非球面の凹形状に形成する。 （もっと読む）

【課題】半導体材料から成るインゴットブロックの機械的欠陥を検出にあたり、あらゆる種類の半導体材料に適用可能であり、空隙を有する半導体ウェハを早期に分別可能にする。
【解決手段】厚さ１ｃｍ〜１００ｃｍのインゴットブロック１における平坦面６が、流体状結合媒体３を介して結合された超音波ヘッド２により走査される。超音波ヘッド２は各測定点ｘ，ｙごとに、インゴットブロック１の平坦面６に向けて超音波パルス８を発生し、インゴットブロック１から発せられた超音波パルスのエコーを時間に依存して記録する。平坦面６のエコー９と、この面とは反対側の平坦面７のエコー１１と、場合によっては生じる別のエコー１０が検出され、この別のエコー１０から、インゴットブロック１における機械的欠陥４のポジションｘ_ｐ，ｙ_ｐ，ｚ_ｐが求められる。 （もっと読む）

【課題】試料表面の微細構造を確認することができ、さらに、試料の奥行き側の立体的な構造を容易に確認することができる超音波画像表示装置を提供すること。
【解決手段】超音波画像表示装置１において、超音波トランスデューサ１３は、樹脂プレート９の上面９１に超音波の焦点を合わせた状態で超音波伝達媒体Ｗ１及び樹脂プレート９を介して下面９２側から生体組織８に超音波の集束ビームを照射するとともに、生体組織８からの反射波を受信して電気信号に変換する。その生体組織８の表面からの反射波信号に基づいて音響インピーダンスが算出され、その算出値に基づいて組織表面の音響インピーダンス像が生成される。超音波の二次元走査による超音波焦点群を擬似的な点音源群とみなして信号処理を行うことにより、生体組織８の立体画像が生成される。 （もっと読む）

【目的】 超音波を用いて被測定対象物表面及び皮膜/基材界面などに存在するはく離部を非破壊的に検出し画像化する超音波診断装置を提供する。
【解決手段】 超音波信号発生部２により発生させた信号を超音波信号増幅部３で増幅後、超音波送信探触子４及び超音波送受一体化探触子６から被測定物３０に入射し、表面垂直反射波を探触子６で受信すると共に表面層を伝搬した表面波を超音波受信探触子５で受信し、受信増幅部８、波形記憶部１０に収録し、表面垂直反射波に対する表面伝搬波形の時間差を波形処理部１２で計算し、パーソナルコンピュータ９に内臓されたガイド波速度分散曲線計算ソフトウエア１１によるガイド波分散曲線と対比し、予め定めたしきい値の範囲から外れる伝搬時間差をカラー色調に替えて画像表示部１３により、表示することにより、皮膜・基材界面のはく離部と健全部を区別する。 （もっと読む）

【課題】エレクトレット膜を具備することによりＤＣバイアス電圧の低減を可能としながら、十分な出力及び感度を有する超音波トランスデューサ及び電子機器を提供する。
【解決手段】本発明の超音波トランスデューサは、基板の一方の面上に配置され、下部電極、前記下部電極上に配置された第１空隙部、及び前記第１空隙部上に配置された上部電極を有してなる超音波振動子セルと、前記基板の他方の面上に配置され、前記下部電極及び前記上部電極のいずれか一方と電気的に接続された第１導電層と、前記第１導電層上に配置されたエレクトレット膜と、前記エレクトレット膜上に配置された絶縁層と、前記絶縁層上に配置され、前記下部電極及び前記上部電極のうち、前記第１導電層と電気的に連結していない方の電極と電気的に接続された第２導電層と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】プロファイル機能付き走査型超音波顕微鏡を提供する。
【解決手段】超音波トランスデューサと、該超音波トランスデューサを上に取り付けられたモータアセンブリと、トランスデューサおよびモータアセンブリに電気的に接続され、サンプルに対する所定の一連の移動における経路に沿ってロータおよびトランスデューサを移動させるように適応されたコントローラと、を備える走査型超音波顕微鏡であって、コントローラは、超音波トランスデューサから音響エネルギの１つまたは複数のパルスを放出させるように、そしてサンプルによって反射された音響エネルギのパルスを表現するトランスデューサからの信号を処理することによってサンプルのプロファイル測定値を生成するように適応される、走査型超音波顕微鏡。 （もっと読む）

少なくとも部分的に正反射性の挙動を示し、露光領域内に位置する対象物（２）の構造細部の反射による観察のための装置であって、放射線の流れを放射する少なくとも２つの別個の領域（２６、２７）を有する放射面（６）を伴い、少なくとも１つの特性が１つの領域と隣の領域とで異なる少なくとも１つの放射線源と、露光領域に対して放射線源と一直線を成して放射線の経路に位置する光学投影系と、光学投影系の入口絞り（１４）と放射面（６）とを光学的にリンクさせるようになっている光学露光系（１８）と、露光領域内の対象物と光学的にリンクされるとともに、その受けられる放射線が対象物（２）における偏向に依存する投影面（１０）とを含む装置。 （もっと読む）

共焦点光音響顕微鏡システムは、光パルスを発するように構成されたレーザと、光パルスを受光してその光パルスを対象物の内部の領域に集束させるように構成された集束アセンブリと、光パルスに応じて対象物から発せられた音波を受信するように構成された超音波トランスデューサと、音波を処理して対象物の内部の領域の画像を生成するように構成された電子システムと、を含んでいる。集束アセンブリは、さらに、集束アセンブリの焦点が少なくとも１つの超音波トランスデューサの焦点と一致するように、光パルスを対象物に集束させるように構成される。
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【課題】エレクトレットを具備することによりＤＣバイアス電圧の供給を不要としながら、小型化が可能な静電容量型の超音波トランスデューサ、超音波トランスデューサの製造方法、超音波診断装置及び超音波顕微鏡を提供する。
【解決手段】基板上に形成された第１の電極と、該第１の電極上に空隙部を隔てて配設された振動膜と、該振動膜に支持された第２の電極とを具備して構成される振動子セルと、電荷を保持し、前記電極間に電位差を与えるエレクトレット膜と、を具備した超音波トランスデューサにおいて、前記エレクトレット膜を、超音波の送信方向から見た場合に前記振動子セルとは離間した領域において、前記第１の電極に電気的に接続された第１の導電層と、該第１の導電層上に対向して配設され前記第２の電極に電気的に接続された第２の導電層との間に介装する。 （もっと読む）

【課題】エレクトレットを具備することによりＤＣバイアス電圧の印加を不要としながら、十分な音圧及び感度により超音波を送受信することが可能な静電容量型の超音波トランスデューサ、超音波診断装置及び超音波顕微鏡を提供する。
【解決手段】第１の電極と、該第１の電極上に空隙部を隔てて配設された振動膜と、該振動膜に支持された第２の電極とを具備して構成される振動子セルと、電荷を保持し電極間に電位差を与えるエレクトレット層と、を具備した超音波トランスデューサにおいて、前記エレクトレット層を、前記振動子セルとは離間した領域において、前記第１の電極に電気的に接続された第１の導電層と、前記第２の電極に電気的に接続された第２の導電層との間に介装し、かつ、前記エレクトレット層を、超音波の送信方向から見て前記第１の導電層及び前記第２の導電層に対して露出するように配設する。 （もっと読む）

【課題】小型であり、かつ超音波の送信強度及び受信感度を低下させずに広帯域の周波数で超音波を送受信することが可能な静電容量型の超音波トランスデューサ、超音波診断装置及び超音波顕微鏡を提供する。
【解決手段】第１の電極と、該第１の電極上に空洞の穴部を隔てて配設された振動膜と、該振動膜に支持された第２の電極と、を具備した超音波トランスデューサにおいて、前記穴部を、前記第２の電極側から見た場合に異なる断面積を有する複数の空隙部を前記第１の電極から前記第２の電極へ向かう方向に連設して構成する。 （もっと読む）

【課題】 広帯域集束超音波の直接反射波の到達時間差を正確に検出して、表面から深さ方向への物体の硬さ分布を正確に測定する。
【解決手段】 物体１の表面１ａに向けて集束する広帯域超音波を発信する一定焦点距離の超音波センサ５を設けて、発信される超音波の集束点を表面１ａから異なる深さの二位置に設定することにより、表面１ａに広帯域超音波の表面波を、異なる二つの伝播距離で生じさせ、伝播距離の差とこの時生じる各周波数における超音波の位相差とから、各周波数における表面波の伝播速度を算出し、当該伝播速度に基づいて、各周波数に対応した深さにおける物体１の硬さの指標値を算出する方法において、伝播距離の差を、上記異なる深さの二位置へ発信された各超音波の、物体表面１ａにおける直接反射波の相関係数が最大を示す到達時間差より算出する。 （もっと読む）

【課題】被検査物の表面構造に加え、その奥行き側の内部構造を確認することができる超音波画像表示装置を提供すること。
【解決手段】超音波プローブ５により、生体組織表面での超音波の反射波信号が取得されるとともに、生体組織内部での超音波の反射波信号が取得される。生体組織表面での反射波信号に基づいて、生体組織の表面における音響インピーダンスが算出され、その音響インピーダンスに応じた表面画像の画像データが生成される。生体組織内部での反射波信号に基づいて、生体組織８の断層画像の画像データが生成される。表面画像及び断層画像の画像データに基づいて、生体組織８の立体画像が生成されその立体画像が表示される。 （もっと読む）