【課題】 暗くなる箇所が発生することなく、どの箇所においても均等に照らすことができる表面検査用照明装置を提供する点にある。
【解決手段】 多数の発光体が線状に配置された線状光源１４の光照射側に集光手段１６を配置してなる照明部３の複数のそれぞれを、検査対象物のほぼ同一箇所に対して照射し、該照明部３の各発光体ＶＬ１が検査対象物を照射するそれぞれの位置と該別の照明部３の各発光体ＶＲ１が検査対象物を照射するそれぞれの位置とが照射する線状の発光体群の長手方向において異なるように複数の照明部３の各発光体ＶＬ１、ＶＲ１を配置したことを特徴とする。 （もっと読む）

【目的】被検体表面の塵埃，膜厚むら等の欠陥を単純な画像として観察することができ、従って画像処理装置と組合わせて自動欠陥検査装置を構成するのが容易になる表面欠陥検査装置を得ることにある。
【構成】表面に薄膜を有する被検体２１の直前に配置され、かつ２１の観察視野とほぼ等しい大きさであって、光源１からの光を略平行な光束として２１に照射するとともに、２１の表面からの正反射光を通過させるコリメータレンズ１２と、１２の焦点近傍に配置され、任意に選択可能な複数の中心波長を持ち、１２に光を入射する狭帯域光源２〜５と、この光源からの光を反射または透過により１２を通過させて２１に垂直に照射させるハーフミラー１１と、２１の表面からの正反射光を１２に通過させ、１１で透過または反射させ、光源２〜５と共役な位置に入射瞳を有し、２１の表面を観察する結像レンズ１３を具備したもの。 （もっと読む）

【課題】 透明な層間絶縁膜上の微細パターンおよび同一層の欠陥を感度良く検出する一方、下層のパターンおよび同一層の欠陥をデフォーカスした状態で検出し、本来検査したい工程の欠陥のみを検出可能とすること。
【解決手段】 本来同一形状となるべきパターンが複数規則的に配置された被検査物の検査装置において、解像度０．１８μｍ以下、より好ましくは０．１３μｍ以下となる照明波長と対物レンズ開口数の関係を備えた撮像光学系と、撮像光学系の結像位置に配置された光電変換器と 撮像光学系とは別に設けられた光路からなり入射角度８５度以上、より好ましくは８８度以上で照明する自動焦点光学系と、自動焦点光学系の検出信号に基づき撮像光学系の焦点位置を調節する手段と、光電変換器の電気信号を処理する手段とを、具備した構成をとる。 （もっと読む）

【課題】 レンズ表面の検査を効率良く行う。
【解決手段】 ＣＣＤカメラ２０とリング状光源２３とが、ファインダ１２を挟んで配される。ＣＣＤカメラ２０は、対物レンズ１５の表面に焦点を結ぶように撮像レンズ２２のピント合わせを行うとともに、ファインダ１２の光軸方向に移動する。リング状光源２３は、ファインダ１２の光軸方向に移動して、ＣＣＤカメラ２０の撮像範囲から退避する。ＣＣＤカメラ２０によって対物レンズ１５の表面が撮像される。得られた画像信号は画像処理装置２１に送られ、欠陥の有無についての判定が行われる。その後、ＣＣＤカメラ２０は、接眼レンズ１６の表面に焦点を結ぶように移動し、同様の処理を行う。ユニット本体１０を分解することなく２枚のレンズを検査できるため、検査作業が効率化する。 （もっと読む）

【課題】 被検査物２２をＴＶカメラ２４により撮影し、この撮影画像に対して画像処理を施すことにより被検査物２２の表面の欠陥を検出するようにした金属表面の欠陥検出方法において、面取り量の大きさに依存せず良好な検査が行えること、微小傷などの小さな欠陥も確実に検出できること、及び面粗さに依存せず良好な検査ができることを目的とする。
【解決手段】 被検査物２２の表面の検査領域を複数個の微小領域に分割し（ステップ３）、この微小領域のそれぞれにおいて輝度に関する標準偏差を測定し（ステップ５）、この標準偏差と予め測定し登録しておいた欠陥のないマスターワークにおける標準偏差との相関度を算出し（ステップ１２）、この相関度を予め設定しておいた欠陥検出用のしきい値と比較することにより（ステップ１４）、被検査物２２の表面の欠陥の有無を検出するようにした。 （もっと読む）

【課題】 外光を遮ってＳ／Ｎ向上させ、高精度に卵の内部異常を検査することができる検卵装置を提供する。
【解決手段】 遮光筒15の両端開口16，16は、卵形の上側の部分に長方形を連結して卵形フラスコ状になしてあり、両端開口16，16の口端は遮光筒15の上面と面一になしてある。遮光筒15の上面には、前記両端開口16，16の口端の間を結ぶ帯状の上部開口17が設けてあり、上部開口17は、遮光シート18，18によって遮光されている。遮光筒15の中央、即ち前述した出光孔19a と入光孔19b との間に卵Ｅが搬送されたとき、投光器１から出射され出光孔19a を通過して前記卵Ｅに照射された光は、該卵Ｅを透過し、その透過光が入光孔19b を通過して受光器２に受光される。このとき、遮光筒15の両端開口16，16は前記卵Ｅの前後の卵Ｅ，Ｅ及びアーム26，26で閉塞される。 （もっと読む）

【課題】 電子部品のパッケージの撮影画像に含まれるむらや捺印文字等の影響を受けず、真の欠陥のみを確実に判別できる、電子部品の外観検査方法、外観検査装置及び外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒体を提供する。
【解決手段】 撮像手段１０３と、撮影した画像を複数の単位領域に分割して、各単位領域毎に、撮影した画像の濃淡レベルの分布をそれぞれ求める手段１０６と、各単位領域内における濃淡レベルの分布中、最多頻度の濃淡レベルから予め設定されたオフセット値を差し引いて、各単位領域における二値化レベルを求める手段１０７と、撮影した画像の各座標における二値化レベルを、各単位領域における二値化レベルに基づいて補間演算により求める手段１０８と、撮影した画像の各座標における各濃淡レベルと、求めた二値化レベルとを比較して、欠陥の存在を判定する二値化手段１０７とを具備する。 （もっと読む）