【課題】本発明は、駆動装置と照明システムとを含む管を検査するための台車に関連する。
【解決手段】少なくとも２台のカメラ（１０，１１）が共通のハウジング（４）に配置され、少なくとも１台のカメラは視野角を変更するための手段を備える。本発明の目的は、多様な用途に使用できる台車と、台車を用いて管区分を検査するため、および／または検査の結果をディスプレイするための方法を提供することである。このため、少なくとも１本の軸（５）を中心として、特に台車の長手方向軸（６）に対して直交する軸を中心としてハウジング（４）を旋回および／または回転させるためのモータを有する手段（７，９，２）が、ハウジング（４）のカルダン(cardan)懸架装置として構成されている。
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パターン化と非パターン化ウェハの検査システムを提供する。１つのシステムは、検体を照明するように構成された照明システムを含む。システムは、検体から散乱された光を集光するように構成された集光器をも含む。加えて、システムは、光の異なる部分に関する方位と極角情報が保存されるように、光の異なる部分を個別に検出するように構成されたセグメント化された検出器を含む。検出器は、光の異なる部分を表す信号を生成するように構成されていてもよい。システムは、信号から検体上の欠陥を検出するように構成されたプロセッサを含むこともできる。他の実施形態におけるシステムは、検体を回転・並進させるように構成されたステージを含むことができる。１つの当該実施形態におけるシステムは、検体の回転および並進時に、広い走査パスで検体を走査するように構成された照明システムを含むこともできる。
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【課題】光学検査ツールによって与えられるヘイズデータを分析する方法および装置を提供する。
【解決手段】ヘイズデータは、試料表面に関連付けられた欠陥を検出するよう分析される。一般に、ヘイズデータは、試料上の低い周波数のバラツキに対応するバックグラウンドノイズが、そのようなヘイズデータの分析の前にヘイズデータから分離または除去されるよう、まず条件付けられる。具体的な実施形態において、試料表面における低い周波数のバラツキは、実質的には、入射ビームがその上に導かれる光学表面として特徴付けられる。ある例では、試料表面に対応するヘイズデータは、ゼルニケ方程式のような多項式で特徴付けられる。換言すれば、多項式方程式は、ヘイズデータの低い周波数の、つまりバックグラウンドのノイズにあてはめられる。この結果として生じる多項式方程式に合致するヘイズデータは、それから元のヘイズデータから引かれて、残差データを作り、ここで表面粗さにおける遅いバラツキが差し引かれ、残差ヘイズデータ中には可能な欠陥情報を残す。この残差ヘイズデータは、試料が欠陥を含むかを決定するために分析されえる。残差データを分析することによって欠陥の検出を向上させる技術も開示される。好ましくは、異なる検査ツール間で正規化されるように、結果として生じる残差データを較正する技術も提供される。 （もっと読む）

【課題】 欠陥の存在だけでなく試料表面の凹凸形状をに検出できる光分解能の光学式走査装置を実現する。
【解決手段】 光源１から試料４に向かう光ビームと試料から光検出器６に向かう反射ビームとを分離するビームスプリッタ２と、試料と光スポットとを相対的に移動させる手段とを具え、試料表面を光スポットにより走査し、試料表面からの反射光により試料の表面領域の情報を検出する光学式走査装置において、ビームスプリッタと光検出器との間の光路中に遮光板を配置し、試料表面における光スポットの走査方向と対応する方向の片側半分の光路を遮光する。遮光板を光路中に配置することにより、試料表面に欠陥の要因となる微小な傾斜面存在する場合、反射の法則により光スポットからの反射光は光軸から変位するので、遮光板により遮光される光量が変化する。この結果、光検出器からの出力信号により凸状欠陥及び凹状欠陥を判別することができる。 （もっと読む）

【課題】目視検査員が表面欠陥検査装置の検査情報を参照する場合に視点の移動を少なくする。
【解決手段】連続的に搬送される帯状の被検査体の移動量を検出する移動信号発生器１０５と、前記被検査体の表面に存在する欠陥を検査すると共に、移動信号発生器１０５からの信号に基づいて検出された欠陥の位置を検出する表面検査部画像処理部２０１と、前記被検査体の近傍或いは表面に欠陥がある旨の表示を行うモニタ１２１，画面投射器１２２と、前記画像処理部２０１により検出された欠陥の位置情報、及び前記移動量センサからの移動量情報に基づいて、前記表示部に対して前記欠陥がある旨の表示出力を指令する結果出力部２０７とを具備する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハや液晶パネル等に発生する色むらや傷等の欠陥を、高速かつ高精度で検査することができ、しかも被検査ワークの大型化への対応を、検査精度及び検査スループットを維持したままで容易に達成できる外観検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】被検査ワークＷの撮像及び検査画像の処理を行う撮像処理ユニット１を複数配置し、これら複数の撮像処理ユニット１を用いて被検査ワークＷの全面または一部を分割撮像するとともに、その各撮像処理ユニット１独立に撮像画像の検査処理を行い、それら検査処理結果に基づいて統合判定部３にて被検査ワークＷの良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】 外光を遮ってＳ／Ｎ向上させ、高精度に卵の内部異常を検査することができる検卵装置を提供する。
【解決手段】 遮光筒15の両端開口16，16は、卵形の上側の部分に長方形を連結して卵形フラスコ状になしてあり、両端開口16，16の口端は遮光筒15の上面と面一になしてある。遮光筒15の上面には、前記両端開口16，16の口端の間を結ぶ帯状の上部開口17が設けてあり、上部開口17は、遮光シート18，18によって遮光されている。遮光筒15の中央、即ち前述した出光孔19a と入光孔19b との間に卵Ｅが搬送されたとき、投光器１から出射され出光孔19a を通過して前記卵Ｅに照射された光は、該卵Ｅを透過し、その透過光が入光孔19b を通過して受光器２に受光される。このとき、遮光筒15の両端開口16，16は前記卵Ｅの前後の卵Ｅ，Ｅ及びアーム26，26で閉塞される。 （もっと読む）