【課題】
被検査物の検査により得られたパターン信号の飽和による欠陥の見逃しを防ぎ、早期に欠陥発生の原因究明ができる欠陥検査装置および欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】
パターンが形成された被検査物にレーザ光を照射し、該被検査物からの信号を検出して欠陥を検出する欠陥検査において、被検査物に関するレイアウトデータに含まれるパターン情報を入力し、該入力されたパターン情報から被検査物の複数の被検査領域毎に、配置，繰り返し性，粗密のうちの少なくともいずれかひとつを判定し、該判定結果に基づいて検出した信号の飽和レベルを予測し、該信号が飽和しないような透過率条件を決定する。 （もっと読む）

【課題】発泡体ローラーの表面部と内部に存在する欠陥を１度の検査で得る方法及び装置を提供する。
【解決手段】投光装置の光源及びシリンドリカルレンズ４を通した光を発泡体ローラー１に投光する。そして、発泡体ローラー１における反射光Ｐを撮像装置１１で撮像すると共に、発泡体ローラー１を透過した透過光を反射板２で反射させて、撮像装置１１で撮像する。 （もっと読む）

【課題】ムラ検査装置におけるラインセンサカメラの位置調整を容易に行う。
【解決手段】ムラ検査装置は、基板９ａが載置されるとともに移動可能なステージ２１、線状の照明領域に照明光を照射する光照射部３およびラインセンサカメラ４を備え、ラインセンサカメラ４の位置調整時には、基準撮像ライン８０ａの両側に、基準撮像ライン８０ａに向かって漸次幅が減少する暗部である複数の凸状領域を基準撮像ライン８０ａに平行に配列して有するチャート８が基板９ａ上に配置される。ラインセンサカメラ４による撮像ラインが基準撮像ライン８０ａに対して傾斜していたりずれている場合は、ラインセンサカメラ４の出力の輝度分布に幅の異なる、または、幅の広い低輝度部が現れる。これにより、ラインセンサカメラ４の傾きや前後位置のずれを容易に把握することができ、ラインセンサカメラ４の位置調整を容易に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】分解能の異なるカラー画像を生成する処理を、コストをかけずに効率良く行えるようにする。
【解決手段】ＣＭＯＳカメラ１を用いた基板外観検査装置に、あらかじめ、複数種の分解能毎に、その分解能のカラー画像を生成するためのルールとして、画像の読み出しおよび色データの補間処理に関するプログラムを登録する。また、ティーチングの際に、基板に割り付けられた検査対象領域毎に、検査のための計測に要求される分解能と、その領域に対応する撮像素子上の範囲を特定するための情報とを登録する。検査時には、カメラ１による撮像を行う都度、その時点の撮像対象領域に含まれる検査対象領域毎に、その領域につき登録された分解能に応じたプログラムを用いて、撮像素子の対応する範囲から画像データを読み出し、画素毎に色パラメータを補間して、検査のためのカラー画像を生成する。 （もっと読む）

【課題】
被検査体が移動していても、撮像手段のフォーカスを逐次調整することを可能とし、被検査体表面の欠点検査を高精度に行う表面欠点検査装置および方法を提供すること。
【解決手段】
被検査体に光を照射する光照射手段と、被検査体からの透過光または反射光を受光して被検査体を撮像する撮像手段と、撮像手段のフォーカスを調整するフォーカス調整手段と、撮像手段が撮像した撮像画像に基づいて被検査体の表面を検査する表面検査手段とを備えた表面欠点検査装置であって、撮像手段によって被検査体の所定領域を撮像し、得られた所定領域画像から画素値分布グラフを作成し、得られた画素値分布グラフに存在する、所定の凸形状の広がりを表現する特徴量に基づいて、撮像手段のフォーカスを調整するフォーカス調整量を算出する表面欠点検査装置。 （もっと読む）

【課題】欠陥検査装置では検出倍率を上げて微細欠陥検出感度を向上させるため、焦点深度が浅くなり、環境変動によって結像位置がずれ、欠陥検出感度が不安定になる課題がある。
【解決手段】被検査基板を搭載して所定方向に走査するＸＹステージと、被検査基板上の欠陥を斜めから照明し、その欠陥を上方に配した検出光学系で検出する方式で、この結像状態を最良の状態に保つために、温度及び気圧の変化に対して、結像位置変化を補正する機構を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。 （もっと読む）

【課題】反射率が大きな被写体でも自動調光が可能な調光方法及び調光装置を提供する。
【解決手段】映像の輝度レベルが所定の値になるように照明の光量を制御する調光装置であって、スリット最大位置ではスリットの中心がランプの軸上で、スリット最小位置ではスリットの中心がランプの周辺（光広がりの限界位置）となるようにしたスリット開口部の形状を用い、照明を通過する光量をスリットによって調整する調光装置において、スリットの移動に対応して、スリットを通過する光量が対数曲線で変化する。 （もっと読む）

【課題】従来の全焦点写真法では、高さ方向（Ｚ軸方向）を細かく分割して、手動または自動で高さ方向の位置を変え、各位置毎に画像を取り込んでいたため、画像取得時間が膨大にかかり検査に支障があった。
【解決手段】画像データの取得を、穴入り口部と穴底部の2箇所のみに手動で焦点を合わせて、それぞれコンピュータに指令するだけであるので、検査時間が従来の2枚写真検査法程度で、かつ穴の入り口部と底部の合成画像を得ることができる。 （もっと読む）

食品２０に混入した毛髪、虫等の異物を検出する異物検出装置１０において、前記食品２０を検出領域Ａに搬送する搬送コンベア１１と、前記検出領域Ａを挟んで少なくとも２方向から食品に対して照明光を照射する照明手段１４、１５と、検出領域Ａの一側から前記食品の表画像を撮像する撮像カメラ１２と、該撮像した表画像に対して２値化処理を含む画像処理を行い、異物を検出する画像処理手段１３と、を備え、前記画像処理手段１３が、前記撮像した表画像を２値化処理し、得られた２値画像のうち予め設定した黒色度の閾値を超える異常な１画素を検出した後に、該１画素に隣接する画素の異常の有無を検出し、異常画素が前記１画素を元に連続的に出現した場合に異物と判定する。このとき、異常画素が連続的な線状で出現した場合には毛髪等の繊維状異物と判定し、連続的な面積状に出現した場合には虫等の面積異物と判定する。
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【課題】 液晶表示装置（ＬＣＤ）のバックライト照明の導光板の画像処理検査装置において、検査時間内でワークである導光板の交換するステージを２つ持ち、交互に検査とワーク交換する構造とし、ワーク往復移動の撮像を最良にするためにカメラとワークとの角度を自動で変更する構造とする。
【解決手段】 ２つの、ワークである導光板の積載ステージは、高さの変更できるＺ軸モータとボールネジをＸ軸リニアモータ上の片側に持ち、ステージ下にカムフロアを持ち、撮像位置に２本のレールを持ち、ワーク交換位置では交換後に上位置から下位置に下降し、撮像手前位置に移動して上昇しレールに乗り、往復移動しながら撮像後、ワーク交換位置にそのまま移動し、２つのステージは干渉しないで、検査処理数を増大させる。２種のカメラがその構造体ごと一部域旋回移動し、ワークとの撮像角度を変更し最適な撮像データを撮り込み画像処理で良否判定の外観検査をする。 （もっと読む）

【課題】パターン検査装置で使用されるＴＤＩセンサのキャリブレーションを高速かつ高精度に行うことを目的とする。
【解決手段】検査対象となる試料１１３を載置するステージ１１４上に設置した補正用透過部および遮光部をセンサ１１６で撮像して得た電気信号により、該センサの動作条件を補正する第一の補正係数を求める第一の補正係数算出工程と、該試料１１３の一部を撮像して該第一の補正係数に基づいて補正した電気信号により第二の補正係数を求める第二の補正係数算出工程と、該第二の補正係数算出工程で得られた該センサ１１６の特性値に基づいて該センサ１１６の動作条件を設定する動作条件設定工程の各ステップによってキャリブレーションする。 （もっと読む）

【課題】 この発明は、熱圧着の際に生じる電極パッドの圧痕から電子部品の実装状態を検査する電子部品実装状態検査方法において、検査するものの個人差に依存すること無く、自動的に、熱圧着により電子パッド上に装着された電子部品の装着状態を検査することができる検査方法等を提供する。
【解決手段】 本発明に係る電子部品実装状態検査方法の一例では、まず、微分干渉顕微鏡１による透明な実装基板１０を介した電極パッド１０ａの観察像を、電子画像データとして得る。次に、当該得られた電子画像データに対し、特定方向の境界を強調する画像処理を施し、圧痕の強調処理値を求める。その後、予め用意している、圧着の際に印加される加圧力と圧痕の強調処理値との関係に基づいて、前述で求めた、圧痕の強調処理値から、圧着の際に印加された加圧力を求める。 （もっと読む）

【課題】この発明は、簡単な装置構成により仕様の異なる複数種類の光回折媒体を検査できる光検出装置を提供することを課題とする。
【解決手段】光検出装置１０は、開閉可能なスクリーンＳを有する暗箱２内にレーザ光源４および光吸収部材６を有する。光源４からのレーザ光が透明な底面２ａを介してホログラムＦに照射されて回折される。このとき、回折されずに反射された反射光が光吸収部材６にて吸収され、オペレータの目に直接入射することが防止される。 （もっと読む）

【課題】 半導体デバイスの表面で構成部品が空間的に上下に重なる場合でも、上側の部品に影響されず、下側の部品の撮像と検査を行なう。
【解決手段】 半導体デバイス１の被撮像面に対向する対物レンズ系５と、この対物レンズ系５と撮像素子４との間に配置された結像レンズ系６とを備え、対物レンズ系５のＦ値を１．５以下として、被撮像面を撮影し検査する。
また、被撮像面に対向する対物レンズ系５と、この対物レンズ系５と撮像面４ａとの間に配置された結像レンズ系６とを備え、前記結像レンズ系６が焦点距離の異なる複数のレンズ６ａ，６ｂを有し、所望の倍率に応じて光軸の所定の位置に前記複数のレンズのうち所定のレンズを配置し、他のレンズを光軸から退避させ、被撮像面を撮影し検査する。 （もっと読む）

【課題】 ワークの表側と裏側が同時に見えて、かつワークの移動方向とカメラの移動方向を一致させることができる見易い画像処理装置を提供する。
【解決手段】 複数台のＣＣＤカメラ１２，１３から入力された映像をディスプレイモニタ２１へ出力するための画像処理方法において、複数のＣＣＤカメラの一方１３から映像入力されたデータの横１ライン分を第１ラインメモリ１６に格納し、第１ラインメモリ１６から前記格納した内容をその書き込んだ順序と逆に読み出すと共に、この読み出し中に前記映像入力されたデータの次の横１ライン分を第２ラインメモリ１７に格納し、第２ラインメモリ１７から前記格納した内容をその書き込んだ順序と逆に読み出すと共に、この読み出し中に前記映像入力されたデータの次の横１ライン分を第１ラインメモリ１６に格納することを繰り返してＣＣＤカメラ１３から映像入力されたデータの反転映像を作成する。 （もっと読む）

【課題】 部品の形状や大きさに関わらずに、その部品の形態を正確に示す部品教示データを作成する部品自動教示装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 光を透過するガラス板１１２に載置された部品を含む周辺に対し、その部品から見てガラス板１１２と反対側（上方）から、青色又は赤色の光を照射するカバー１２０と、そのカバー１２０が照射している状態で、その部品をガラス板１１２を介してカラーで撮像することで、その部品のカラー画像を生成するスキャナ本体１１０と、スキャナ本体１１０によって生成されたカラー画像から、その部品の形態を特定して前記部品教示データを作成する制御部２２０とを備える。 （もっと読む）