複数のプロセスからのデータを空間的に同期化させるために、基準マークをウェブに適用する装置が記載される。本装置は、材料のウェブ上の少なくとも２つのフォーマットの基準マークを読み取るための基準マークリーダーと、ウェブ上に少なくとも２つのフォーマットの基準マークを書き込むための基準マークライターと、ウェブに沿って距離を測定するためのエンコーダと、を含む。本装置はいくつかの利点を提供することができる。例えば、本装置は、基準マークをウェブに適用したプロセスライン又は基準マークが適用された日付を示す基準マークをウェブに適用することができる。
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【課題】省スペース化を図りつつ、設定を簡素化することができるシュリンクラベル装着状態検査方法を提供する。
【解決手段】カメラで撮像したボトル画像を取り込み（Ｓ１）、このボトル画像に示されたキャップ像の外縁像又はボトル像の外縁像からボトル中心を算出する（Ｓ２）。ボトル中心を中心としたリング状の画像を直線状に極座標展開して展開画像を取得し（Ｓ３）、展開画像において設定範囲を設定する（Ｓ４）。シュリンクラベル像の全周分の端面像が設定範囲内にあるか否かを判断し（Ｓ５）、全周分の端面像が設定範囲内にある場合は良品と判断して当該判定処理を終了する。全周分の端面像の一部が設定範囲から外れる場合には装着不良と判断してＮＧ処理を実行する（Ｓ６）。 （もっと読む）

【課題】規定トルクが確保されているか否かを高い精度で判定することが可能なねじ良否判定方法及びねじ良否判定装置を提供する。
【解決手段】規定トルクを発生させることができるか否かに直接的に係るねじ長を、該ねじ長に比例するねじ部の山部の健全領域（ＯＫ領域）に置き換え、このねじ部の山部の健全領域をねじ部に照射したレーザ光の反射光強度に基き抽出して画像化し、抽出された健全領域の画像に基き、健全領域の面積とねじ部全体の面積とを比較し、健全領域が規定トルクを発生するのに必要な面積を確保していると判別した場合に、ねじ穴が良（ＯＫ）であると判定する。これにより、規定トルクが確保されているか否かを高い精度で判定することができる。 （もっと読む）

【課題】目視マクロ検査工程における作業時間の短縮による作業効率の向上と、欠陥が存在する基板の看過による次工程への流出防止を実現する。
【解決手段】基板搬送システム１１０を介して自動マクロ検査装置１３０や目視マクロ検査装置１４０と接続され、基板カセット３００を介して基板２００の授受を行う目視マクロ検査装置１４０において、基板受け払いシステム１１２に到来した基板カセット３００のカセットＩＤ２０１に基づいて、収容された基板２００のマクロ画像２０３をマクロ画像表示部１４３に表示して、目視検査員に目視検査が必要なマクロ画像２０３を選択させ、選択されたマクロ画像２０３に対応する基板２００のみを基板カセット３００から目視マクロ検査ステージ１４１ａに取り寄せて目視検査を行う。基板カセット３００内の基板２００の全てを検査する必要がなく、また欠陥２０５を含む基板２００が看過されることもない。 （もっと読む）

【課題】本発明は、干渉縞（モアレ）が発生しても、欠陥の正確な検出をすることができるパターンの検査方法、パターンの検査装置および電子デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】検査対象物上のパターンを撮像することにより検査を行うパターンの検査方法であって、撮像された画像を分割して複数の検査画像を作成し、前記検査画像が有する周期情報に基づいて参照画像を作成し、前記参照画像の位相を前記検査画像の位相に合わせ、前記位相を合わせた参照画像の振幅を前記検査画像の振幅に合わせ、前記振幅を合わせた参照画像をサンプリングすることにより前記検査画像を復元させることを特徴とするパターンの検査方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、自動的に部材表面の外観検査を行うことができ、検査時間を短縮して検査対象部材の検査効率を向上させることのできる部材の表面検査方法を提供することにある。
【解決手段】被検査部材の表面の異常を検出するための方法に関する。
投影部材を、検査面と一定の角度を有した状態で、検査面に近接させる第１の工程と、投影部材の、検査面との近接位置周辺を撮像し、投影された像を取り込む第２の工程と、投影部材と被検査部材との相対位置を変位させる第３の工程と、第３の工程において到達した位置において、検査面との近接位置周辺を撮像し、投影された像を取り込む第４の工程と、撮像された像を読み込み、検査面の状態を判定する第５の工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、検査条件及び検査領域毎に検出感度を表示することが可能となり、さらに検査領域毎に管理基準を設定することができ、歩留り管理の精度を上げることが可能となる異物検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、検査光を被検査物の検査領域へ照射する照射手段と、前記検査光の照射により前記検査領域から発生した反射光又は散乱光の強度を検出する強度検出手段と、反射光又は散乱光の検査領域内での位置を検出する位置検出手段と、分割された検査領域毎に設定されたしきい値とを比べて前記検査領域に存在する異物の有無を判定する判定手段とを有する異物検査装置において、前記しきい値を前記検査領域の全域に亘って表すしきい値画像と、前記しきい値画像から変換する検出感度画像とが表示できる表示手段を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】円筒体の検査において、目視検査により近い条件にて検査を行うことを可能とする外観検査装置を提供する。
【解決手段】円筒体外観検査装置において、回転部６は、円筒体被検査試料１を回転させる。照明部７は、円筒体被検査試料１の円筒面正常部をカメラ５により撮像した撮像画像に円筒体軸に平行となる縞模様が写るように配置される。カメラ５は、円筒体軸と光軸とが直角になるように配置され、縞模様を含む円筒面の領域を予め定められる周方向の分解能に応じた速度で撮像して画像データを出力する。画像処理装置は、カメラ５からの複数の画像データから複数の展開画像データを再構成する画素ラインの中で予め定められる画素ラインの画素を再構成して円筒面に対応する展開画像データを生成し、生成した展開画像データから円筒体被検査試料の円筒面の異常部を検出し検査する。 （もっと読む）

【課題】 フィルムの検査装置から得られた検査データをより利便性の高いものに加工することができる検査データ加工装置を提供する。
【解決手段】 フィルム上の欠陥の位置を示す欠陥マップ１９やフィルム上の欠陥の分布を示す欠陥ヒストグラム２１が表示されている。操作者の入力によりフィルム上の任意の領域３１が指定されると、検査データの中から任意の領域３１の検査データが抽出される。この抽出された検査データを基にした欠陥マップ１９や欠陥ヒストグラム２１が表示される。 （もっと読む）

【目的】 適正な精度で試料検査を行う方法および装置を提供することを目的とする。
【構成】 パターン形成された被検査試料の光学画像データを取得する光学画像取得部１５０と、前記被検査試料のパターン形成の基となる設計パターンに基づいて設計画像データを生成する展開回路１１１と、前記光学画像データと前記設計画像データとの比較を行なう比較回路１０８と、を備え、比較回路１０８において、所定の領域を示す、前記設計パターンの情報と同一フォーマットに作成された領域パターンの情報に基づいて生成される領域画像データを入力し、前記光学画像データと前記設計画像データとの比較を行なう場合に、前記領域画像データに基づいて判定条件を変更することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
小内径の円筒や孔の内面の傷や欠陥の状態を検査するために最適な内面の画像を得る。
【解決手段】
ファイバーを利用したスコープヘッド２の中心と円筒１の内面の中心を一致するように配置して、スコープヘッド２をスコープヘッド移動装置６により移動させながら円筒１の内面の画像を撮像し、撮像された画像情報を画像処理装置１０の画像取り込み部１１に取り込み、取り込んだ画像の中から、円周部画像切り出し部１２で異なる２つの半径の円で囲まれる同心円状の画像部分を切り出して、切り出した画像情報を円周部画像保存部１３で保存する一連の処理を順次行い、保存された画像情報から内面の画像を生成表示部１４で表示する。 （もっと読む）

【課題】 膨大なメモリや焦点深度の深いＴＶカメラを必要とせずに、ロール表面の汚れや傷を正確に検出できるロールの表面欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】 回転している被検査ロールに平行光を照射し、該被検査ロールから反射した光をスクリーンに投影させて、そこに結像された像の明暗から欠陥を検出するようにし、この検出を被検査ロールの複数回転を１単位として評価するようにした。 （もっと読む）