【課題】検査片の特性を検知し、分析してレベル情報を有する欠陥を識別する。
【解決手段】検査システムは、システム・パラメータの１組の初期閾値を用いてレベル情報を分析し、異常の初期部分を欠陥として捕らえる。捕らえた欠陥の概要を表示し、閾値パラメータに対する潜在的に捕らえられる欠陥の動作曲線も表示する。パラメータを選択的に変化させて修正閾値を形成し、この修正閾値を用いて、異常のレベル情報を分析する。レベル情報の直前の分析に基づいて、異常の更新部分を欠陥として捕らえ、捕らえた異常の概要を、再計算した動作曲線と共に表示する。閾値を選択的に変化させ、欠陥を捕らえ直すステップは、所望に応じて繰り返し、検査システムの処方に用いるために、修正した１組の閾値パラメータを記憶する。 （もっと読む）

【課題】作業者が管状物の展開画像を立体的に認識することが可能な管内壁面画像展開システムを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る管内壁面画像展開システム５０によれば、画像データＳｖｐに対し視点の異なる２つの第１サンプリング位置Ｐａ、第２サンプリング位置Ｐｂで第１画像データＳＰａ、第２画像データＳＰｂをサンプリングし２つの第１展開画像Ｓｆａ、第２展開画像Ｓｆｂを作成する。そして、同一位置の第１展開画像Ｓｆａ、第２展開画像Ｓｆｂを左右に並べて表示することで、作業者は第１展開画像Ｓｆａ、第２展開画像Ｓｆｂを一つの立体的な展開画像として認識することができる。 （もっと読む）

【課題】 ウエハの裏面欠陥をその表面に形成されたパターンと関連して検出する。
【解決手段】表面に複数の回路パターンが形成されたウエハＷの裏面の欠陥を検査する検査装置ＳＴ２が、ウエハＷの裏面を照明する裏面照明装置１２０と、裏面照明装置１２０により照明された照明光の正反射光が入射しない位置に配置された裏面撮像装置１３０と、この裏面撮像装置１３０により撮像されたウエハＷからの散乱光に基づく画像からウエハＷの裏面における欠陥の存在およびその位置を検出する画像処理検査部５０とを有して構成される。画像処理検査部５０は、ウエハの表面において回路のパターンを分割するダイシングラインの画像を裏面撮像装置１３０により撮像されたウエハ裏面画像に合成して合成画像を生成し、この合成画像に基づいて欠陥の位置を各回路パターン位置と対応させて検出する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、半導体ウエハの下面の外観異常箇所が、何れの半導体素子領域に存在しているかを正確に識別することができる外観検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 複数の半導体素子領域５２が形成された半導体ウエハ５０の下面５０ｂの外観異常を検査する方法であって、半導体ウエハ５０の下面５０ｂに各半導体素子領域５２を示す映像を投影した状態で、半導体ウエハ５０の下面５０ｂの外観異常箇所５６を目視で特定する検査工程を有する外観検査方法。 （もっと読む）

【課題】延びた状態のゆがみが生じることがない正常な方形画像を取得できる、筒表面を撮影し方形平面画像を取得する方法を提供すること。
【解決手段】加速して定速となり減速して停止する走査移動を伴うときは、加速領域の撮影データについて、定速領域の端の撮影データを起点とし加速零の方向へ、定速領域におけるプローブ到達位置のピッチ間隔で割り振ったときの各割振位置に近似する位置の１つのプローブ到達位置の撮影データを選択し、また減速領域の撮影データについて、減速領域との境となる定速領域の端の撮影データを起点とし減速して停止する方向へ、定速領域におけるプローブ到達位置のピッチ間隔で割り振ったときの各割振位置に近似する位置の１つのプローブ到達位置の撮影データを選択し、選択した加速時の撮影データと、定速時に撮影した撮影データと、選択した減速時の撮影データとを、撮影順に縦方向に並べて方形平面画像を取得する。 （もっと読む）

【課題】作業性を向上させることができる外観検査装置を提供する。
【解決手段】主制御装置１１０は、チップマップ上で任意の仮想チップが作業者によって指定されたとき、該仮想チップに対応する半導体チップを顕微鏡装置１０４の視野内に位置させるためのステージ１０１の位置情報を、半導体チップと仮想チップの位置関係が少なくとも３つ含まれている基準位置情報を参照して求め、該位置情報に応じてステージ駆動装置１０２を駆動制御するとともに、画像データからそれぞれ決定される半導体チップの外観品質を、チップマップにおける対応する仮想チップ上に表示させる。 （もっと読む）

【課題】樹脂成形塗装等の上面及び側面の検品が、精度良く且つ短時間でできる表面検査方法を提供すること。
【解決手段】上面と側面から成る上面視多角形状の成形塗装品のうち前記側面を、傾斜する鏡を用いて前記上面と平行又は略平行である鏡像を形成させるようにし、上面及び前記鏡像を撮像するものである。そして、光源からの光により、鏡像の明るさを上面の明るさと一致又は略一致させるようにしてある。 （もっと読む）

【課題】カメラ画像からワークの種類および姿勢を認識するときの処理時間を短縮する。
【解決手段】ワークＷｉは外面Ｆごとに方向性を有する識別可能なマークＣが付与され、ロボット１０は前記マークＣおよび前記ワークＷｉを撮像する撮像手段１２と前記マークＣが撮像されたマークマスタ画像Ｍを格納する第１マスタ画像格納手段４２と、前記ワークＷｉが撮像された前記ワークＷｉの姿勢ごとのワークマスタ画像Ｎを格納する第２マスタ画像格納手段４３とを有し、上記画像を取り込む画像入力工程Ｓ３と、前記マーク画像Ｐと前記マークマスタ画像Ｍとを比較する第１画像比較工程Ｓ４と、その結果から前記ワークＷｉの姿勢を判定する姿勢判定工程Ｓ５と、判定結果の姿勢に対応する前記ワークマスタ画像Ｎと前記ワーク画像Ｒとを比較する第２画像比較工程Ｓ６と、その結果から前記ワークＷｉの種類を判定する種類判定工程Ｓ７とを有するワーク識別方法。 （もっと読む）

【課題】積層体の内部に存在する欠陥を、金属層を積層した後の積層体において、その外部から欠陥の形態及び位置の情報を精度良く把握するという、欠陥の検出方法を提供する。
【解決手段】本発明の積層体における欠陥位置特定方法は、基材フィルム上に金属層を形成した際に前記金属層上で表示可能な欠陥検出用マークを形成する工程と、前記欠陥検出用マークを基準点として前記基材フィルムにおける欠陥の位置を示す欠陥マップを作成する工程と、前記基材フィルムと前記金属層とを積層してなる積層体の前記金属層上に表示された前記欠陥検出用マークを前記欠陥マップの基準点として前記積層体における欠陥の位置を特定する工程と、を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】様々な欠陥を含む可能性がある検査対象であっても、高精度の検査を実現する。
【解決手段】画像検査装置は、検査対象を撮影するＣＣＤカメラ３と、検査対象を撮影して得られた検査画像に存在するパターンの輪郭を抽出する輪郭抽出部４０３と、輪郭抽出部４０３によって得られた２値化画像においてパターンの輪郭を表す画素のうち、連結した画素の集まりを１つの連結成分とみなし、同一の連結成分の各画素に同一のラベルを与えることにより、連結した輪郭を抽出するラベリング処理部４０４と、ラベリング処理部４０４で抽出された連結した輪郭の数を数える計測部４０５と、計測部４０５で得られた輪郭の数と予め良品と判定された検査画像から求めた連結した輪郭の数とを比較して、検査対象の良否判定を行う判定部４０６とを備える。 （もっと読む）

【課題】管路内作業装置による作業を、確実に進めることができる管路内作業装置モニタシステムを提供する。
【解決手段】管路５内を移動可能であると共に、該管路５の内壁を対象とした作業を行う管路内作業装置１と、該管路内作業装置１の管路５内における現存位置を表示する画面２６を備えた地上装置２とで構成された管路内作業装置モニタシステムを、地上装置２は、画面２６に、管路内作業装置１の現存位置を示す現存位置指示画像を、管路５の内壁を撮影した画像データに基づいて作成された管路５の内壁面の展開画像である内壁面画像上で、現存位置が対応する位置に、重ねて表示するようにして構成する。 （もっと読む）

【課題】従来のガラス検査装置は顕微鏡を用いて人による目視によって検査されており、不良のガラス基板には油性インク等でマーキングして、後工程で判別できるように作業されていた。しかし油性インクのマーキングでは洗浄時に消えてしまうことがあり、また、次工程でもマーキングを判別する必要があった。
【解決手段】本発明ではガラス基板をチップ毎に外形検査カメラで測定し、判断部によって良否を判断し、良否のチップの位置を演算部でマッピングデータにし、記録部の記録媒体に記録するように構成した。このことによって次工程には記録媒体に記録されたマッピングデータを送信することでガラス基板の良否を自動で判別できるようにし、作業効率を向上させたものである。 （もっと読む）

【課題】一つの撮像手段による簡易な装置構成によって、デバイスの外観検査項目を網羅的に実施可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】撮像手段であるカメラ２と、照明手段３と、４つのミラー４とからなる。カメラ２は、ターンテーブルに設けられた吸着ノズルＮの垂直方向（Ｚ軸方向）に光軸を持つように、デバイスの底面に対向する位置に設けられている。ミラー４は、図２（ｂ）に示すように、搬送されてくるデバイスＤの停止位置において、そのデバイスの周囲を囲むように四方に設けられている。すなわち、デバイスＤのリードが設けられた２面に対して平行に２つのミラー４ａ及び４ｂを設け、さらに、リードが設けられていない２面に対して平行に２つのミラー４ｃ及び４ｄを設けている。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、高い検査精度を維持したまま検査時間の短縮化を可能とする環状部材の外観検査装置を提供すること。
【解決手段】環状の被検査体１００の内周面１００ａを照明する照明手段２０と、該照明手段２０によって照らされた前記被検査体１００の内周面１００ａの全面を映し出す反射面１０１を有する反射体１０と、該反射体１０に映し出された前記被検査体１００の内周面１００ａの全部を一時に撮像する撮像手段３０と、該撮像手段３０により撮像された画像に基づいて前記被検査体１００の内周面１００ａにおける欠陥の有無を判別する判別手段４０とを備え、前記照明手段２０および撮像手段３０は、前記被検査体１００の一方の端面側に設けられ、前記反射体１０は、前記被検査体１００の他方の端面よりも外側に配設されている。 （もっと読む）

【課題】検査結果の視認性を向上させた表面検査装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る表面検査装置は、略円盤状に形成されたウェハの周部または周部近傍を表面検査する検査部と、検査部による表面検査の結果に関するグラフを作成するグラフ作成部と、検査部による表面検査に関する情報を表示する表示部とを備え、表示部は、ウェハの形状を模した略円形の図形Ｃ１を表示するとともに、当該図形Ｃ１の周部に、グラフ作成部により作成された棒グラフＣ２を、検査部により表面検査されたウェハの周部の周方向位置と対応させて放射状に表示するように構成される。 （もっと読む）

【課題】境界線の誤検出を防止した表面検査装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る表面検査装置は、表面に薄膜が形成されたウェハのべベル部をウェハの周方向に沿って撮像可能な撮像部３０を備え、撮像部３０に撮像された周方向に沿って延びるべベル部の画像を用いてウェハの表面検査を行う表面検査装置であって、撮像部３０に撮像されたべベル部の画像において当該画像よりも小さい検出領域を設定する領域設定部４３と、領域設定部４３により設定された検出領域における画像信号の信号強度差を利用して、当該検出領域における薄膜とウェハとの境界線を検出する境界線検出部４５と、境界線検出部４５により検出された境界線の画像を表示する画像表示部とを有して構成される。 （もっと読む）

【課題】
欠陥候補から擬似欠陥を効率良く探し、できるだけ少ないレビュー回数で擬似欠陥を削除できるしきい値を求める。
【解決手段】
欠陥候補をレビューし欠陥か擬似欠陥かを選択し、その擬似欠陥の特徴量以下の欠陥候補をマップ上から削除または別記号表示することにより、擬似欠陥を視覚的に判断することが可能となる。また選択した擬似欠陥以下特徴量を持つ欠陥候補は、マップ上から削除または別記号表示となっているため、しきい値設定に不必要な欠陥候補をレビューすることがなくなり、従来に比べ大幅にレビューする欠陥候補数が低減できる。さらに上記作業を繰り返すことにより、しきい値が自動で算出され、そのしきい値での検査結果マップも表示されるため、再検査が必要なくなる。 （もっと読む）

【課題】印刷物の検査データを管理すると共に、印刷物の検査状況に応じて良否判定基準を設定できる検査群データ管理システムを提供することを目的とする。
【解決手段】印刷物の被検査面画像とマスタ画像とを比較して誤差を検出し、
検出された誤差画像と当該誤差画像の誤差値とを対応させて誤差データと、複数の誤差データを含む検査群データとを構成し、検査群データを識別する検査群識別情報を当該検査群データに対応させて記録し、選択対象の検査群の検査群識別情報に一致する検査群データを、複数の検査群データの中から選択し、良判定として許容される良否基準を設定し、選択された検査群データの各誤差データと良否基準とに基づいて印刷物の良否を判定し、記録する。 （もっと読む）

【課題】短い検査時間で被検査物の外観の状態を検査することが可能な外観検査装置およびその画像処理方法を提供する。
【解決手段】ボトルＢの被検査面にあるラベルの状態を検査するラベル検査装置１において、ボトルＢを自転させる検査テーブル５１２と、この検査テーブルを公転させるインデックステーブル５１１と、ボトルＢの１周分以上を順次撮像してそれぞれを走査画像として出力するラインカメラ５２と、ラインカメラ５２により走査画像を１周分より多く結合した画像を元画像とし、この元画像から１周分を切り出した切出画像を被検査面画像とし、被検査面画像に含まれる検査対象画像が分断されているか否かを判定し、検査対象画像が分断されていると判定されると、被検査面画像を前記被検査面の基準位置に対応する位置から２分割し、２分割した被検査面画像のそれぞれの位置を入れ替えて結合して検査画像とする画像処理部を有する制御部５３とを備えた。 （もっと読む）

複数のプロセスからのデータを空間的に同期化させるために、基準マークをウェブに適用する装置が記載される。本装置は、材料のウェブ上の少なくとも２つのフォーマットの基準マークを読み取るための基準マークリーダーと、ウェブ上に少なくとも２つのフォーマットの基準マークを書き込むための基準マークライターと、ウェブに沿って距離を測定するためのエンコーダと、を含む。本装置はいくつかの利点を提供することができる。例えば、本装置は、基準マークをウェブに適用したプロセスライン又は基準マークが適用された日付を示す基準マークをウェブに適用することができる。
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