【課題】さまざまな放射源タイプからの電磁放射に応答する赤外線センサー、または、すべての広帯域検出器のための較正システムを提供する。
【解決手段】ベース部材３０２に固定的に取り付けられた複数の放射源３０４、および、ベース部材に取り付けられた位置決め機構３０６を含み、各放射源は異なる温度に維持され、および、電磁放射を放出するように構成され、位置決め機構は、ベース部材、及び、可動部材３０８に配置される複数の光学部材３１０に対して１自由度を有する可動部材を含み、各光学部材は放射源の１つに対応し、及び、各光学部材は少なくとも較正位置と非較正位置との間で移動可能であるように構成され、光学部材が較正位置にある場合、光学部材はその対応する放射源からの電磁放射を受信し、および、電磁放射を検出器へ反射するように構成される。 （もっと読む）

【課題】被検物を高温に加熱することなく、被検物の放射率を測定する放射率測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】第１放射エネルギの赤外光を被検物に照射する赤外光照射工程と、前記赤外光を照射された前記被検物からの反射赤外光から第２放射エネルギを測定する測定工程と、前記第２放射エネルギと前記第２放射エネルギとに基づいて前記被検物の放射率を算出する算出工程と、を含む放射率測定方法である。 （もっと読む）

【課題】蛍光灯、電球、ＬＥＤ素子などの測定対象光源からの光の特性を、例えば、光源の色度、照度、演色性、波長、パワーなどをより簡易で、迅速に測定することのできる測光装置を提供する。
【解決手段】各光センサＳ１〜Ｓｎの分光感度特性を元に、各光センサＳ１〜Ｓｎの信号に重み付け係数を掛けて加算する演算部１０２は、測光装置の分光感度特性を、第一の組の重み付け係数を掛けて等色関数に近似した出力特性として、測定対象光源の色度を測定し、また、測光装置の分光感度特性を、第二の組の重み付け係数を掛けて演色性測定の試験色の分光放射輝度率と等色関数の積に合致させて、測定対象光源及び基準光源の色度を測定し、測定対象光源の演色性を測定する。 （もっと読む）

【課題】ワークピースの熱処理のための方法およびシステムを提供する。
【解決手段】１つの方法は、ワークピースの第１の表面から熱的に放射される放射の現在の強度を測定することと、現在の強度および第１の表面の少なくとも１つの先の熱特性に応答して、第１の表面の現在の温度を識別することと、を含む。ワークピースは半導体ウェハを含み、第１および第２の表面はそれぞれウェハの装置および基板側を含む、ことが望ましい。装置側の現在の温度は、装置側が、例えばウェハの熱伝導時間より短い持続時間を有する照射フラッシュによって照射されている間に識別されることが望ましい。装置側温度は、先の装置側温度に応答して識別してもよく、先の装置側温度とは異なる基板側の先の温度およびウェハの温度履歴に応答して識別してもよい。 （もっと読む）

【課題】本件は、建造物壁面の変状部を検出する変状部検出方法、変状部検出装置および変状部検出プログラムに関し、変状部の検出精度を向上させる。
【解決手段】異なる２つの時間帯における温度分布測定から得られる２つの温度分布画像のそれぞれから平均値を取り去って２つの差分画像（画像値Ｆ，Ｇ）を作成し、互いに対応する画素ごとにＤ＝Ｆ-Ｇ、Ａ＝｜Ｆ+Ｇ｜の双方を変数とする評価値Ｅ＝（Ｄ-Ａ）／２を求め閾値Ｔと比較して変状部を検出する。 （もっと読む）

【課題】対象分割領域の赤外線量検出を行うインライン型サーモパイルアレイチップを搭載したサーモパイルアレイセンサは、赤外線受光部となる微少面積の吸収膜と前記吸収膜上温接点とメンブラン周囲ヒートシンク上冷接点とを二種の物質で構成された熱電対により一定方向側に規定本数配列される為、前記吸収膜の赤外線検出量に伴う熱変換起電圧が微少であり、検出域の赤外線変化に追従する測定性能並びに微量な赤外線量検出精度が乏しいという欠点を有していた。
【解決手段】複数個の赤外線受光部を有する千鳥上２行配列されたサーモパイルアレイチップを形成し、四方向に熱電対本数を増設し赤外線検出時起電圧を増加させサーモパイル赤外線検出器として測定性能を向上させる構成を行う。また対象面に対して前記サーモパイルアレイ温度検出器を一軸方向へ走査駆動させる事により、測定対象全面の不感帯域を無くし赤外線検出精度の優れた温度計測機器を構築する。 （もっと読む）

【課題】赤外線検出装置において、赤外光の入射角の切り替えや検出信号の記憶などに必要な特別なハードウェア構成を追加することなく、欠陥素子からの出力信号を補完する。
【解決手段】信号判定スイッチＭ１ａ〜Ｍｎａにより、赤外線検出素子部１において走査選択された行の各画素から出力される検出信号Ｖ１〜Ｖｎが所定のしきい値以上であるか否か判定する。しきい値未満である場合、信号選択スイッチＭ１ｂ〜Ｍｎｂをオフにするとともに信号選択スイッチＭ１ｃ〜ＭｎｃおよびＭ２ｅ〜Ｍ（ｎ−１）ｅをオンにして、当該画素に隣接する画素を信号出力線に接続する。これにより、欠陥画素がある場合はその欠陥画素からの検出信号を補完して出力電圧Ｖｐに出力する。 （もっと読む）

【課題】成膜中における基板上の表面温度を正確に測定することができる表面温度測定方法及び表面温度測定装置を提供すること。
【解決手段】ウエハＷの放射光を所定波長領域にわたって複数の波長範囲に分ける分光器１４と、分光器１４によって得られた複数の波長範囲の光の強度をそれぞれ検出するアレイセンサ１５と、アレイセンサ１５によって検出された複数の波長範囲毎の強度を累積加算して放射強度の積分値を算出するとともに、温度と積分値との関係が予め関連付けられたリファレンスデータに基づいて積分値から表面温度を算出するコンピュータ１７とを具備するようにした。 （もっと読む）

【課題】被計測物を透過する透過光があったとしても、この透過光成分を検出して除去するための別置のセンサを不要とした簡易な構成でありながら精度よく被計測物の温度を計測することができる温度計測方法および温度計測装置を提供する。
【解決手段】被計測物の温度を変化させ、この被計測物に光を照射したとき、前記被計測物を透過する光の透過率および／または透過光強度の変化を求める特性測定工程と、この特性測定工程で得られた前記被計測物の透過率および／または透過光強度と前記被計測物の温度との相関関係を求める相関演算工程とを具備し、前記被計測物の温度を計測する際、前記被計測物の透過率および／または透過光強度が所定の値になる光の波長を求め、前記相関演算工程で求めた相関関係から前記被計測物の温度を求める温度演算工程を備える。 （もっと読む）

【課題】 ＣＶＤによる成膜に際し、プラズマに影響されずに基板温度を測定する。
【解決手段】 プラズマ輻射スペクトルの計測処理Ｓ１では、分光輝度計により、黒体輻射のない状態のプラズマ輻射スペクトルを測定する。フィッティングに要する波長領域の選定処理Ｓ２では、プラズマ輻射スペクトルのうち、フィッティングに適した領域を選定し、プラズマ輻射・スペクトルの決定処理Ｓ３でプラズマ輻射スペクトルを決定する。フィッティング処理Ｓ４では、プランクの放射則による理論式とプラズマ輻射スペクトルの和を最少自乗法によって測定スペクトルにフィッティングさせ、評価を行う。 （もっと読む）