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Fターム[2H025AA19]の内容

フォトレジストの材料 (104,520) | 目的 (13,098) | 導電性 (40)

Fターム[2H025AA19]に分類される特許

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【課題】抵抗値が低いパターンを形成可能な、安価なアルミニウム含有感光性樹脂組成物、および該感光性樹脂組成物を用いたパターン形成方法を提供すること。
【解決手段】(A)アルミニウム粉末、(C)(メタ)アクリル酸由来の構成単位を5〜20重量%、アクリル酸エステル由来の構成単位を25〜95重量%、およびメタクリル酸エステル由来の構成単位を0〜70重量%の範囲で有するアルカリ可溶性樹脂、(D)多官能(メタ)アクリレート、ならびに(E)光重合開始剤を含有することを特徴とするアルミニウム含有感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】ガラス基板に対して薄膜で密着強度が高く、抵抗値が低く、高精細なパターンを形成可能な、安価なアルミニウム含有感光性組成物を提供すること。
【解決手段】アルミニウム粉末およびアルミニウム合金粉末から選択される少なくとも1種の金属粉末(A)、アルカリ可溶性樹脂(C)、多官能(メタ)アクリレート(D)、光重合開始剤(E)、ならびにジヒドロターピネオールおよびテキサノールから選択される少なくとも1種の溶剤(F)を含有し、該金属粉末(A)の平均粒径D50が1〜20μmであることを特徴とするアルミニウム含有感光性組成物。 (もっと読む)


【課題】導電パターンの断線が発生することを防ぎながら、高精細なパターンを高速かつ自由度高く形成することができるパターン形成方法を提供することを目的とする。
【解決手段】超微粒子を含むコロイド材料5を接触させた基板4上にエネルギービームを照射してパターン形成を行うパターン形成方法であって、エネルギービームの進行路途中にエネルギービームを遮蔽する遮蔽手段を設け、遮蔽手段は少なくとも基板4上に完全なパターン6を形成するためのエネルギー値より大きいエネルギービームを遮蔽することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】安価で、かつガラス基板に対して薄膜で密着強度が高く、抵抗値が低く、高精細なパターンを形成可能な感光性ペースト組成物を提供すること。
【解決手段】アルミニウム粉末(A)、ガラス粉末(B)、アルカリ可溶性樹脂(C)、多官能(メタ)アクリレート(D)および光重合開始剤(E)を含有し、該アルミニウム粉末(A)の、熱重量分析により測定される25〜600℃における重量変化率(但し、25℃における重量を基準とする。)が+7.0%以下であることを特徴とする感光性ペースト組成物。 (もっと読む)


【課題】アルミニウム粉末と感光性成分とを混合してもゲル化を起こさず、安価で高精細かつ低抵抗なパターンを形成することができる感光性ペースト組成物を提供する。
【解決手段】アルミニウム粉末およびアルミニウム合金粉末から選択される少なくとも1種の金属粉末(A)、アルカリ可溶性樹脂(C)、多官能(メタ)アクリレート(D)、光重合開始剤(E)、溶剤(F)、ならびに下記式(1)で表される化合物および特定のアゾ化合物から選択される少なくとも1種の化合物(G)を含有する感光性ペースト組成物。
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【課題】アルミニウム粉末と感光性成分とを混合してもゲル化を起こさず、安価で高精度かつ低抵抗なパターンを形成可能な材料を提供すること。
【解決手段】アルミニウム粉末(A)、アルミニウムの標準電極電位よりも低い標準電極電位を有する金属の酸化物を10〜50重量%含有し、軟化点が350〜700℃であるガラス粉末(B)、アルカリ可溶性樹脂(C)、多官能(メタ)アクリレート(D)、および光重合開始剤(E)を含有する感光性ペースト組成物。 (もっと読む)


【課題】 十分なチクソトロピー性を有し、印刷特性および現像性が良好で、しかも、電気抵抗値が低い導体パターンが得られる感光性ペースト組成物を提供する。
【解決手段】 上記の課題は、(A)導電性粒子、(B)アルカリ可溶性重合体、(C)多官能(メタ)アクリレート化合物、(D)光重合開始剤、および(E)平均粒径が1〜1000nmである酸化銀粉末を含有してなることを特徴とする感光性ペースト組成物によって解決される。 (もっと読む)


【課題】安価で、低抵抗、高精細かつ基板に対して薄膜で密着強度が高いパターンを形成することが可能な感光性ペースト組成物を提供すること。
【解決手段】アルミニウム粉末(A)、ガラス粉末(B)、アルカリ可溶性樹脂(C)、多官能(メタ)アクリレート(D)および光重合開始剤(E)を含有し、該アルミニウム粉末(A)の平均粒子径が2〜20μm、平均円形度が0.7以上、該粉末粒子の長径と短径との比(長径/短径)の平均値が5以下であり、該アルミニウム粉末(A)およびガラス粉末(B)の合計100重量%に対する、該ガラス粉末(B)の含有量が10〜30重量%であることを特徴とする感光性ペースト組成物。 (もっと読む)


【課題】
電子線レジストの上層に用いられる帯電防止膜形成組成物とそれを用いたレジストパターン及び半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 水溶性樹脂及びイオン液体を含む電子線レジストの上層に用いる帯電防止膜形成組成物。水溶性樹脂が非イオン性樹脂、アニオン性樹脂、又はカチオン性樹脂である。イオン液体が、イミダゾリウム、ピリジニウム、ピロリジニウム、フォスフォニウム、アンモニウム、及びスルホニウムからなる群より選ばれるカチオンを含む。イオン液体が、ハロゲン、カルボキシレート、サルフェート、スルホネート、チオシアネート、アルミネート、ボレート、ホスフェート、ホスフィネート、アミド、アンチモネート、イミド、及びメチドからなる群より選ばれるアニオンを含む。 (もっと読む)


【課題】 荷電粒子線によるレジストパターン形成において、PED、PCD等によって影響を受けることなく、微細で、かつ、正確なレジストパターンを形成するための方法を開発すること。
【解決手段】 基板に塗布されたレジスト上にスルホン酸基またはカルボキシル基を有する水溶性導電性ポリマー(A)および25℃における解離定数pKaが10以下である塩基性化合物(B)を含む導電性組成物を塗布して導電体を形成する導電性組成物塗布工程と、導電体を70〜140℃で加熱する加熱工程と、次いで導電体が形成された基板に荷電粒子線によりレジストパターンを形成する荷電粒子線照射工程を含むレジストパターン形成方法。 (もっと読む)


【課題】
本発明は、より高解像度が実現できる感光性導電ペーストを提供することを目的とする。
【解決手段】
感光性有機成分を含む有機成分と導電性粉末を含有する感光性導電ペーストであって、該導電性粉末が粒子径2μm以下の導電性粉末を30〜50質量%の範囲内で含み、さらに、該有機成分が不飽和脂肪酸を含み、感光性導電ペースト中の該不飽和脂肪酸の含有量が0.5〜5質量%の範囲内であることを特徴とする感光性導電ペーストにより達成される。 (もっと読む)


【課題】従来の製造方法と比べて、実質的に作業性を向上することができ、金属膜の厚膜形成時でも製造効率の優れたパターンの製造できる転写フィルム、およびパターンの形成方法を提供する。
【解決手段】支持フィルム上に、(A)レジスト層、(B)金属層、および(C)粘着層が積層されていることを特徴とするパターン形成用転写フィルム。 (もっと読む)


【課題】化学増幅系レジストにおけるかぶりや膜減り現象防止に優れた帯電防止剤、該帯電防止剤を用いた帯電防止膜及び被覆物品を提供することを目的とする。
【解決手段】水溶性導電性高分子、溶媒及びポリペプチド構造を有する水溶性高分子を含み、感荷電粒子線樹脂上に被覆するための帯電防止剤。安価で簡単にレジストへの塗布性を付与できる界面活性剤を用いても、塗布性を維持しながら、レジストへの影響(レジストの溶解やレジストの現像の結果生じるレジストのかぶりや膜べり現象)を抑止できる。界面活性剤を含有させることにより塗布性を向上させた帯電防止剤は、化学増幅系レジスト、および非化学増幅系レジストに対するミキシング抑制に効果がある。 (もっと読む)


【課題】量産性高く、良好な耐薬品性とともに十分な導電性、信頼性を得ることが可能な電極パターンを提供する。
【解決手段】カルボキシル基を含有する有機バインダー(A)100質量部に対して銀粉(B)400〜800質量部、ガラスフリット(C)0.1〜70質量部、平均粒径0.1〜2μmの無機酸化物(D)0.1質量部〜10質量部、光重合性モノマー(E)20〜100質量部、光重合開始剤(F)1〜30質量部を含有する感光性銀ペーストを用いて、銀ペーストパターンを形成し、この一部を被覆するように導電性ペーストパターンを形成し、同時焼成する。 (もっと読む)


【解決手段】無機粉体、結着樹脂、光重合性モノマー、光重合開始剤、および疎水性シリカからなるチクソトロピー剤を含有することを特徴とする無機粉体含有樹脂組成物、この組成物を用いたパターン形成方法、およびこのパターン形成方法を用いたFPD構成要素の製造方法。
【効果】本発明の無機粉体含有樹脂組成物は、チクソトロピー性を有するので、作業性が良く、無機粒子等の成分の沈降が発生せず、保存安定性が良好である。本発明の無機粉体含有樹脂組成物を用いてパターンを形成すると、現像性が良好である。またパターンの欠けは認められず、パターン形状の優れたFPDの構成要素を製造することができる。本発明の製造方法によれば、高精細パターンの形成が可能でかつ表面の均一性に優れたFPDの構成要素を形成することができる。 (もっと読む)


【課題】導電性が高く、しかもパターンの精度が高い導電性回路を簡便に形成できる導電性回路の形成方法を提供する。
【解決手段】本発明の導電性回路の形成方法は、基材上に導電性高分子溶液を塗布して導電性塗膜を形成する塗膜形成工程と、前記導電性塗膜をパターン露光した後、現像液を用いて現像して導電性回路を形成する回路形成工程とを有し、導電性高分子溶液が、π共役系導電性高分子と水溶性ポリアニオンと水溶性アクリル化合物と非水溶性アクリル化合物と溶媒とを含み、非水溶性アクリル化合物が、導電性高分子溶液中の全アクリル化合物100質量%に対して4.2〜66.6質量%であり、導電性高分子溶液中の全アクリル化合物の質量が、π共役系導電性高分子と水溶性ポリアニオンの合計に対して1.7〜16.6倍であり、現像液が、水及び/又は水溶性溶媒を含む液である。 (もっと読む)


【課題】液晶表示装置で、配向分割垂直配向方式(MVA方式)の液晶表示装置において、ある形状の模様を長時間表示しておくと、その後全体に均一な表示をしようとしても先の模様が残って見えてしまう表示焼き付きといった現象が発生する不具合を、その液晶表示装置に用いるカラーフィルタの構造を工夫することで改善する、信頼性に優れたカラーフィルタを提供すること。
【解決手段】液晶の配向を制御するための突起物を形成するための感光性材料において、その硬化物の誘電正接が10〜50Hzの周波数範囲において0.014以下であることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】多層感光性印刷用原版の製造に用いられる粘着防止層形成用組成物であって、これにより形成される粘着防止層と保護層であるカバーフィルムとの密着性が高く、取り扱いの際にカバーフィルムの剥離等が生じない粘着防止層形成用組成物、当該粘着防止層形成用組成物を用いた多層感光性印刷用原版の製造方法、及び当該多層感光性印刷用原版の製造方法により製造される多層感光性印刷用原版を提供すること。
【解決手段】支持体上に、少なくとも感光性樹脂層、粘着防止層、及び保護層が積層されてなる多層感光性印刷用原版に用いられる粘着防止層形成用組成物であって、有機溶剤に可溶なバインダー樹脂、及びポリエチレンイミンを含有する粘着防止層形成用組成物。 (もっと読む)


【課題】 安定したパターン形成を可能にする、導電性パターン形成方法の提供。
【解決手段】
a) 金属微粒子、この金属微粒子を分散媒体中で分散状態に維持する分散剤、光酸発生剤及び分散媒体を含む感光性パターン形成用組成物を用意する段階、
b) 前記感光性パターン形成用組成物を基材上に塗布、乾燥して、基材上に前記組成物からなる膜を形成する段階、
c) 段階b)で得られた膜に放射線を照射して潜像を得る段階、
d) 段階c)で得られた潜像を含む膜を熱処理する段階、及び
e) 段階d)からの熱処理した膜を現像液で処理してパターンを得る段階、
を含む、導電性パターン形成方法。 (もっと読む)


【課題】メッキ法のような環境負荷の大きな手段を用いることなく、簡便に作製しうる電磁波シールドフィルムの製造方法、及び、前記製造方法により作製された電磁波シールドフィルムを提供する。
【解決手段】透明支持体上に、金属微粒子を含有する幾何学パターンを形成し、形成された幾何学パターンを熱処理して、該幾何学パターンの表面抵抗率を10Ω/□以下にする。 (もっと読む)


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