【課題】 保存安定性に優れ、高感度、かつ高解像度であり、テント性、パターン形状及び現像性に優れ、エッチング時の剥離性が良好で、高精細なパターンを形成可能であるパターン形成材料、並びに該パターン形成材料を備えたパターン形成装置及び前記パターン形成材料を用いたパターン形成方法の提供。
【解決手段】 支持体と、該支持体上に感光層とを少なくとも有し、該感光層がバインダー、重合性化合物、光重合開始剤、及び重合禁止剤を少なくとも含んでなり、該重合禁止剤が、Ａ）フェノール性水酸基を有する化合物と、Ｂ）フェノール基を有さない化合物とを含み、その質量比Ａ／Ｂが０．０１〜１００であることを特徴とするパターン形成材料、並びにパターン形成装置及びパターン形成材料及び方法である。重合禁止剤中のフェノール基を有さない化合物が、イミノ基を有する化合物である態様、重合禁止剤の含有量が、６５〜３００ｐｐｍである態様が好ましい。 （もっと読む）

【課題】 装置のコストアップや、露光速度の低下を招くことなく、露光性能を向上させることにより、かつ基体に対して凹凸追従性に優れたパターン形成材料を用いることにより、配線パターン等の永久パターンを高精細に、かつ、効率よく形成可能なパターン形成方法を提供する。
【解決手段】 支持体上に、クッション層と感光層とをこの順に有するパターン形成材料における該感光層に対し、光照射手段からの光を受光してパターン情報に基づいて変調する光変調手段により、前記光照射手段からの光を変調させ、前記光変調手段により変調された光を、結像手段と、焦点調節手段とを介して前記感光層の被露光面上に結像させて露光を行うことを少なくとも含み、前記露光が、前記光変調手段により変調された光を、前記結像手段の中央部を含む略矩形状の領域のみにおいて結像し、前記略矩形状の短辺方向を、前記感光層のうねり方向に向けて行われることを特徴とするパターン形成方法である。 （もっと読む）

【課題】 支持体のヘイズ値を規定しつつ、前記バインダーのＩ／Ｏ値及び増感剤の種類を規定することにより、最大で±４０％程度露光量を変えても、解像度、密着性、及びエッジラフネスの変動が抑制され、かつ、感度を向上させることができるパターン形成材料、並びにパターン形成装置、及びパターン形成方法を提供する。
【解決手段】 支持体と、該支持体上に、バインダー、重合性化合物、光重合開始系化合物、及び増感剤を少なくとも含む感光性組成物からなる感光層を少なくとも有し、
前記支持体のヘイズ値が５．０％以下であり、前記バインダーのＩ／Ｏ値が、０．３００〜０．６５０であり、前記増感剤が、縮環系化合物の少なくとも１種であることを特徴とするパターン形成材料である。前記パターン形成材料を備えたパターン形成装置、及びパターン形成方法である。 （もっと読む）

【課題】描画単位が２次元的に分布した露光ヘッドを備えるデジタル露光装置を用いた露光において、コストを抑えつつ、各描画単位の光量を均一化することにより、かつ基体に対して凹凸追従性に優れたパターン形成材料を用いることにより、微細なパターンを高精度に形成可能なパターン形成方法を提供する。
【解決手段】支持体上に、クッション層と感光層とをこの順に有するパターン形成材料における該感光層に対し、光照射手段から出射した光ビームを、光分布補正手段を有する集光光学系を介して照射し、前記光変調手段により変調された光ビームを照射して露光を行うことを少なくとも含み、該露光が、前記光照射手段から前記光変調手段に照射される光ビームの照射領域内での光量に分布を持たせ、前記光変調手段により変調された光ビームの光量分布が、前記感光層の被露光面上において均一となるように補正されて行われることを特徴とするパターン形成方法である。 （もっと読む）

【課題】 前記光変調手段を傾斜させて描画を行う露光を行うパターン形成方法において、凹凸追従性に優れたパターン形成材料を用い、かつ露光速度を低下させることなく、感光層の被露光面上にジャギーの発生が抑制された所望の描画パターンを形成することにより、配線パターン等の永久パターンを高精細に、かつ効率よく形成可能なパターン形成方法を提供する。
【解決手段】 クッション層と感光層とをこの順に有するパターン形成材料における該感光層に対し、前記描素部により形成された描画画素で再現されることにより生じるジャギーのジャギーピッチ及びジャギー振幅の少なくともいずれかが所定値以下となるよう、描画画素の配列ピッチ（ａ）、傾斜角度（ｂ）、描画ピッチ（ｃ）、及び位相差（ｄ）の少なくともいずれかを設定し、前記パターン情報に基づいて前記描素部を所定のタイミングで変調制御して露光を行うことを含むことを特徴とするパターン形成方法である。 （もっと読む）

【課題】 面状故障が少なく、発色剤による光カブリを防止でき、未露光膜の破れが少なく、解像度が高く、テント膜強度が強く、かつ、パターン形成後の剥離性が良好で、より高精細なパターンを形成可能であるパターン形成材料、並びに該パターン形成材料を備えたパターン形成装置及び前記パターン形成材料を用いたパターン形成方法の提供。
【解決手段】 感光層が、バインダー、重合性化合物、光重合開始剤、ヘテロ縮環系化合物、重合禁止剤、発色剤、及び有機溶剤を含み、
バインダーの酸価が、５０〜４００ｍｇＫＯＨ／ｇであり、かつ、質量平均分子量が、１０，０００〜１００，０００であり、
重合性化合物が、ウレタン基を有する化合物及びアリール基を有する化合物の少なくともいずれかを含有し、
有機溶剤が、ケトン類、アルコール類、及びエーテル類から選択される少なくとも１種であり、かつ、含有量が０．５質量％以下である。 （もっと読む）

【課題】 ４００〜４１０ｎｍの波長の露光光に対する感度分布が略一定で、パターン再現性に優れ、パターン形状のバラツキが極めて抑制され、明室環境下の取り扱いが可能なパターン形成材料、並びにパターン形成装置及びパターン形成方法を提供すること。
【解決手段】 支持体と、該支持体上に少なくとも感光層を有してなり、該感光層が、バインダー、重合性化合物、光重合開始剤、及び増感剤を含んでなり、該増感剤は、極大吸収波長が３４０〜５００ｎｍである増感剤を少なくとも２種含むことを特徴とするパターン形成材料である。また、該パターン形成材料を用いたパタン形成装置及びパターン形成方法である。 （もっと読む）

【課題】 露光速度を低下させることなく、感光層の被露光面上にジャギーの発生が抑制された所望の描画パターンを形成可能であり、かつ厚みが異なる所望のパターンを高精細に形成可能であり、スルーホールやビアホールなどのホール部を有するプリント配線板を効率よく形成可能なパターン形成方法を提供する。
【解決手段】 第一感光層と、前記第一感光層よりも硬化させるための光エネルギー量が少ない第二感光層とからなる前記感光層に対し、前記描素部により形成された描画画素で再現されることにより生じるジャギーのジャギーピッチ及びジャギー振幅の少なくともいずれかが所定値以下となるよう、描画画素の配列ピッチ（ａ）、傾斜角度（ｂ）、描画ピッチ（ｃ）、及び位相差（ｄ）の少なくともいずれかを設定し、前記パターン情報に基づいて前記描素部を所定のタイミングで変調制御して露光を行うことを含むことを特徴とするパターン形成方法である。 （もっと読む）

【課題】 コストを抑えつつ、各描画単位の光量を均一化することにより、微細なパターンを高精度に形成可能であり、かつ厚みが異なる所望のパターンを高精細に形成可能であり、スルーホールやビアホールなどのホール部を有するプリント配線板を効率よく形成可能なパターン形成方法を提供する。
【解決手段】 少なくとも第一感光層と、第二感光層とからなるパターン形成材料における感光層に対し、光照射手段から出射した光ビームを、光分布補正手段を有する集光光学系を介して照射し、前記光変調手段により変調された光ビームを照射して露光を行うことを少なくとも含み、該露光が、前記光照射手段から前記光変調手段に照射される光ビームの照射領域内での光量に分布を持たせ、前記光変調手段により変調された光ビームの光量分布が、前記感光層の被露光面上において均一となるように補正されて行われることを特徴とするパターン形成方法である。 （もっと読む）

【課題】感度が高く、良好なレジストパターン形状が得られ、かつ、テント膜強度が強く、高精細で高アスペクト比のパターンを形成可能な感光性組成物、該感光性組成物により形成された感光層を有するパターン形成材料、感光性積層体、並びにパターン形成装置、及びパターン形成方法を提供する。
【解決手段】バインダー、重合性化合物、光重合開始剤、及び下記一般式（Ｉ）で表される化合物を含む感光性組成物であって、該感光性組成物からなる感光層を露光し現像する場合に、前記感光層の露光する部分の厚みを該露光及び現像後において変化させない前記露光に用いる光の最小エネルギーが、０．１〜５０ｍＪ／ｃｍ^２である感光性組成物である。該感光性組成物からなる感光層を有するパターン形成材料、及び感光性積層体、並びに該感光性積層体を備えるパターン形成装置、前記感光層に対し、露光を行うことを含むパターン形成方法である。
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【課題】 機上現像性に優れ、かつ印刷工程での生産効率が高い、平版印刷版材料を用いる印刷方法を提供する。
【解決手段】 親水性表面を有する基材上に、熱又は光エネルギーにより親水性から疎水性に変化する感熱画像形成層を有する平版印刷版材料に、像様に熱又は光エネルギーを加えた後、現像処理工程を経ることなく印刷を行う平版印刷版材料を用いる印刷方法において、前記感熱画像形成層が含有する樹脂の酸価ａと、印刷に用いる湿し水のｐＨ値ｂの関係がａ／ｂ≦１０を満足することを特徴とする平版印刷版材料を用いる印刷方法。
尚、前記感熱画像形成層が含有する樹脂の酸価ａが６０以下であり、かつ印刷に用いる湿し水のｐＨ値ｂが６．０未満であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 高感度で、現像性に優れ、高解像度なパターンが得られるパターン形成材料、並びに該パターン形成材料を備えたパターン形成装置及びパターン形成方法の提供。
【解決手段】 支持体上に、バインダー、重合性化合物、及び光重合開始剤を含む感光層を有し、該感光層の感度が２０ｍＪ／ｃｍ^２以下であり、該感光層を、線幅１０〜４０μｍでライン／スペース（Ｌ／Ｓ）＝１／１及びＬ／Ｓ＝１／１００で露光し現像して得られたパターンの、前記Ｌ／Ｓ＝１／１の露光により形成されるラインパターンと、Ｌ／Ｓ＝１／１００の露光により形成されるラインパターンとの線幅の差が５μｍ以下であることを特徴とするパターン形成材料。前記バインダーのＩ／Ｏ値が、０．５〜０．８である態様、重合性化合物のＩ／Ｏ値が、０．５〜１．５である態様などが好ましい。また、前記パターン形成材料を使用するパターン形成装置及びパターン形成方法である。 （もっと読む）

【課題】 装置のコストアップや、露光速度の低下を招くことなく、露光性能を向上させることにより、微細なパターンを高精度に形成可能であり、かつ厚みが異なる所望のパターンを高精細に形成可能なパターン形成方法を提供する。
【解決手段】 少なくとも第一感光層と、第二感光層とからなるパターン形成材料における感光層に対し、光照射手段からの光を受光してパターン情報に基づいて変調する光変調手段により、前記光照射手段からの光を変調させ、前記光変調手段により変調された光を、結像手段と、焦点調節手段とを介して前記感光層の被露光面上に結像させて露光を行うことを少なくとも含み、前記露光が、前記光変調手段により変調された光を、前記結像手段の中央部を含む略矩形状の領域のみにおいて結像し、前記略矩形状の短辺方向を、前記感光層のうねり方向に向けて行われることを特徴とするパターン形成方法である。 （もっと読む）

【課題】顔料の粒子径を小さくしなくても透明度が高く、光の散乱が少ない青色着色塗膜を形成するための青色着色組成物の提供。さらに、高明度の青色カラーフィルターの提供。
【解決手段】
青色顔料および顔料担体を含有する熱および／または活性エネルギー線により硬化する青色着色組成物であって、４２０ｎｍ以上４６０ｎｍ以下の光波長領域における特定の波長を用いて測定したときの、青色顔料の屈折率と、顔料を除いた成分を熱および／または活性エネルギー線にて硬化した硬化物の屈折率との差が、０．０５以下であることを特徴とする青色着色組成物。 （もっと読む）

【課題】 本発明は新規なフォトレジスト及びそれに用いる染料化合物を提供する。
【解決手段】 本発明は、樹脂バインダー、光活性成分、特に酸発生剤、及び、１つ又はそれ以上の発色団を含有する染料物質からなる新規なフォトレジスト組成物に関する。本発明のフォトレジスト組成物は、照射線の望ましくない反射を減少させることができる。本発明の好ましい染料化合物は、遠紫外領域に吸収帯を有するアントラセンや他の多環式部分などからなる発色団を１つ又はそれ以上有する高分子物質である。 （もっと読む）

【課題】ポジ型感光性組成物に対して一般的に求められている高耐熱性、高耐溶剤性、高透明性、下地との密着性等の特性を満足し、かつ、高温での耐スパッタ性をも併せ持つポジ型感光性組成物のを提供すること。
【解決手段】上記課題は、オキセタニル基を有するラジカル重合性モノマー（ａ１）を１〜９７重量％、カルボキシル基を有するラジカル重合性モノマー（ａ２）を３〜９９重量％含有するラジカル重合性モノマーの混合物を重合させて得られる共重合体であるアルカリ可溶性重合体（Ａ）および１，２−キノンジアジド化合物（Ｂ）を含有するポジ型感光性組成物、この組成物を用いて製造される透明膜、絶縁膜、そのような透明膜又は絶縁膜を含む表示素子によって達成される。 （もっと読む）

【課題】 優れた物理的強度及び反発弾性を有するとともに、画像性、透明性に優れるフレキソ印刷用感光性樹脂組成物、及び該フレキソ印刷用感光性樹脂組成物が積層されてなるフレキソ印刷用感光性樹脂版材を提供すること。
【解決手段】 以下に示す（イ）〜（ハ）を必須成分としてなるフレキソ印刷用感光性樹脂組成物であって、（イ）熱可塑性エラストマーは、スチレン−イソプレン−スチレン共重合体又はスチレン−ブタジエン−スチレン共重合体から選択される一種以上とスチレン−イソプレン−ブタジエン−スチレン共重合体が混合されてなる熱可塑性エラストマーであることを特徴とするフレキソ印刷用感光性樹脂組成物とする。
（イ）熱可塑性エラストマー
（ロ）２以上のエチレン性不飽和基と結合する炭素原子を少なくとも１つ有する多官能エチレン性不飽和化合物
（ハ）光重合開始剤 （もっと読む）

【課題】本発明の感光性樹脂組成物及び感光性樹脂積層体は、現像液分散安定性に優れ凝集物を発生せず、現像後の解像性、及び密着性が良好で、テンティング性、良好なエッチング液耐性を有する感光性樹脂積層体を提供する。
【解決手段】（ａ）アルカリ可溶性高分子、（ｂ）特定の光重合性不飽和化合物、（ｃ）光重合開始剤、（ｄ）特定の塩基性塗料、（ｅ）特定の分散安定剤、からなる化合物を含む感光性樹脂組成物及びそれを用いた感光性樹脂積層体を作成する。 （もっと読む）

【課題】本発明の感光性樹脂組成物及び感光性樹脂積層体は、現像液分散安定性に優れ凝集物を発生せず、現像後の解像性、及び密着性が良好で、テンティング性、良好なエッチング液耐性を有する感光性樹脂積層体を提供する。
【解決手段】（ａ）アルカリ可溶性高分子、（ｂ）特定の光重合性不飽和化合物、（ｃ）光重合開始剤、からなる化合物を含む感光性樹脂組成物及びそれを用いた感光性樹脂積層体を作成する。 （もっと読む）

【課題】 高感度で現像処理適性が良好であり、得られる印刷版の耐刷性にも優れる平版印刷版材料を提供する。
【解決手段】 親水性支持体上に、少なくとも（Ａ）ガラス転移点（Ｔｇ）が１００℃未満、重量平均分子量（Ｍｗ）が５，０００〜１００，０００、酸価が２０〜１１０ｍｇ／ＫＯＨであるバインダーポリマー、（Ｂ）エチレン性不飽和結合を有する化合物、及び（Ｃ）ラジカル重合開始剤を含有する感光層を有することを特徴とする平版印刷版材料。
上記感光層の溶解度パラメーター（ＳＰ値）が２０．４６［ＭＰａ］^1/2以上であることは好ましい態様である。 （もっと読む）