説明

Fターム[2H025CB55]の内容

フォトレジストの材料 (104,520) | 結合剤・非感光性高分子 (11,324) | 物性で特定されるもの (1,148) | 分子量 (431)

Fターム[2H025CB55]の下位に属するFターム

Fターム[2H025CB55]に分類される特許

1 - 20 / 310


【課題】
高耐熱性・高解像度・高感度・高残膜率を両立したフォトレジスト用クレゾール樹脂および、それから得られるレジスト組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】
ビフェニレン基及びキシリレン基から選ばれる少なくとも1つの2価のアリーレン基を架橋基に持つクレゾール型重合体単位(nモル)と、クレゾール・ホルムアルデヒド重合体単位(mモル)を共に有し、両者の重合度のモル比(m/n)を97/3−70/30としたクレゾール樹脂および該樹脂を含有する組成物により解決される。 (もっと読む)


【課題】長期保存安定性、現像速度に優れ、さらに、光照射及び/または焼成によって硬化した後の塗膜が、耐熱性、基板との密着性、硬度、耐溶剤性、耐アルカリ性、複屈折性に優れた、カラーフィルタ等を形成するための感光性組成物に好適な重合組成物を提供すること。
【解決手段】スチレンと不飽和カルボン酸含有モノマーとを反応させてなり、重量平均分子量が30000以下で、固形分酸価が10〜150mgKOH/g、さらに、スチレン含有量が75mol%以上である重合組成物。 (もっと読む)


【課題】半導体素子及び電子・電気回路に悪影響を及ぼす塩化物や低分子化合物等を含有せず、安価に製造でき、それより得られる膜は電気絶縁性、耐熱性、機械的強度等に優れ、且つ高解像度のパターンが形成可能であり、特に半導体又はプリント基板等の回路基板の保護膜又は絶縁膜として有用な硬化膜を形成し得る、ポリヒドロキシウレア樹脂組成物を提供する。
【解決手段】(A)下記式(1)で表される構造単位を含み、重量平均分子量が3,000乃至200,000である少なくとも1種ポリヒドロキシウレア樹脂と、(B)光により酸を発生する化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。


(式中、Xは2価の脂肪族基、脂環式基又は芳香族基を表し、Yは少なくとも1つのヒドロキシ基で置換された芳香族基を含む2価の有機基を表し、Ra〜Rdは夫々独立して水素原子又は炭素原子数1乃至10のアルキル基を表す。) (もっと読む)


【課題】高い放射線感度を有し、現像工程やラビング工程においてパターンが剥離することがなく、液晶表示素子に使用したときに「焼き付き」を起こさないスペーサーまたは保護膜を形成することができ、しかもスリット塗布方式において塗布ムラの低減が可能であり、保存安定性に優れた感放射線性樹脂組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)重合性不飽和化合物、および(C)感放射線性重合開始剤を含有し、(A)アルカリ可溶性樹脂が、重合性不飽和カルボン酸および/または重合性不飽和カルボン酸無水物を含む単量体を、下記式(1)で表される化合物の存在下で重合する工程を経て製造された共重合体を含む感放射線性樹脂組成物によって達成される。
【化1】


〔式(1)において、ZおよびZ2 は相互に独立に炭素数4〜18のアルキル基または置換されていてもよいベンジル基を示す。〕 (もっと読む)


【課題】絶縁膜を形成する際の基板の反りが抑えられ、且つ優れた解像性、電気絶縁性等を有するポジ型感光性絶縁樹脂組成物、及びこれが硬化されてなる硬化物を提供する。
【解決手段】本発明のポジ型感光性絶縁樹脂組成物は、(A)下記式(1)で表される構造単位(a1)と、下記式(2)で表される構造単位(a2)とを有するブロック共重合体、(B)架橋剤、(C)キノンジアジド基含有化合物、(D)溶剤、を含有する。


[式(1)のRは水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基を表す。また、式(2)のR及びRは炭素数1〜4のアルキル基を表す。] (もっと読む)


【課題】放射線に対し高い感度を有し、密着性、高耐熱性、解像度、高透過率、高信頼性の層間絶縁膜を形成でき、またマイクロレンズの形成に用いる場合にあっては高い透過率と良好なメルト形状を有するマイクロレンズを形成でき、保存安定性に優れた感放射線性樹脂組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、(A)共重合体、(B)1,2−キノンジアジド化合物を含有する感放射線性樹脂組成物であって、(A)共重合体が、(a1)不飽和カルボン酸及び/又は不飽和カルボン酸無水物、並びに(a2)エポキシ基含有不飽和化合物を含む単量体を、下記式(1)で表される化合物の存在下で重合する工程を経て製造された共重合体を含む感放射線性樹脂組成物によって達成される。
【化1】



〔式(1)において、ZおよびZ2 は相互に独立に炭素数4〜18のアルキル基または置換されていてもよいベンジル基を示す。〕 (もっと読む)


【課題】絶縁膜を形成する際の基板の反りが抑えられ、且つ優れた解像性、電気絶縁性等を有するネガ型感光性絶縁樹脂組成物、及びこれが硬化されてなる硬化物を提供する。
【解決手段】(A)下記式(1)で表される構造単位(a1)と、下記式(2)で表される構造単位(a2)とを有するブロック共重合体、(B)分子中に2個以上のアルキルエーテル化されたアミノ基を有する化合物(b1)、オキシラン環含有化合物(b2)及びオキセタニル環含有化合物(b3)から選ばれる少なくとも1種の化合物、(C)光感応性酸発生剤、(D)溶剤を含有するネガ型感光性絶縁樹脂組成物。
(もっと読む)


【課題】感度、解像度、密着性、レジスト形状及び硬化後の剥離特性がいずれも良好な感光性樹脂組成物、並びにこれを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法を提供すること。
【解決手段】(A)バインダーポリマー、(B)光重合性化合物及び(C)光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物であって、(B)が式(1)の化合物を含む感光性樹脂組成物。
[化1]


[式中、R及びRは水素原子又はメチル基を示し、Yは炭素数3〜9の脂環式環を示し、2個のベンゼン環は上記脂環式環の同一炭素に結合し、−(AO)−及び−(OB)−は、(ポリ)オキシエチレン鎖、(ポリ)オキシプロピレン鎖、又はエチレンオキサイドとプロピレンオキサイドとの共重合鎖を示し、オキシエチレン基の総数は1〜40であり、オキシプロピレン基の総数は0〜40である。] (もっと読む)


【課題】絶縁膜を形成する際の基板の反りが抑えられ、且つ優れた解像性、電気絶縁性等を有するポジ型感光性絶縁樹脂組成物、及びこれが硬化されてなる硬化物を提供する。
【解決手段】(A)下記式(1)により表される構造単位(a1)と、下記式(2)により表される構造単位(a2)とを有するブロック共重合体、(B)架橋剤、(C)キノンジアジド基含有化合物、(D)溶剤、を含有するポジ型感光性絶縁樹脂組成物。


[式(1)のRは水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基を表す。式(2)のRは炭素数1〜4のアルキル基を表す。] (もっと読む)


【課題】絶縁膜を形成する際の基板の反りが抑えられ、且つ優れた解像性、電気絶縁性等を有するネガ型感光性絶縁樹脂組成物、及びこれが硬化されてなる硬化物を提供する。
【解決手段】(A)ヒドロキシスチレン系構造単位(a1)と、アルキルビニルエーテル系構造単位(a2)とを有するブロック共重合体、(B)分子中に2個以上のアルキルエーテル化されたアミノ基を有する化合物(b1)、オキシラン環含有化合物(b2)及びオキセタニル環含有化合物(b3)から選ばれる少なくとも1種の化合物、(C)光感応性酸発生剤、(D)溶剤、を含有するネガ型感光性絶縁樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】ピクセルサイズが微細になっても、現像残膜、残渣がない良好なパターン形状の形成が可能な染料含有ネガ型硬化性組成物を提供する。
【解決手段】(A)有機溶剤可溶性染料と、(B)光重合開始剤と、(C)重合性化合物と、下記一般式(1)で表される構造を側鎖に有する(D)アミノ基含有アルカリ可溶性樹脂と、(E)有機溶剤と、を少なくとも含む染料含有ネガ型硬化性組成物。


(一般式(1)中、R及びRは互いに独立して、水素原子又は1価の有機基を表し、RとRは互いに連結して環構造を形成してもよい。) (もっと読む)


【課題】形成されるスペーサの柔軟性が高く、バンプと同時に形成することが可能であり、高さの異なるスペーサを容易に形成できるポジ型のスペーサ形成用ポジ型感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】下記一般式(a−1)で表される構成単位(a1)と、架橋性基を有する構成単位(a2)と、を含み、前記構成単位(a1)の割合が、40モル%を超え、かつ質量平均分子量が60000以上であるアルカリ可溶性樹脂、及びキノンジアジド基含有化合物を含む、質量平均分子量が60000以上であるポジ型感光性樹脂組成物を用いる。アルカリ可溶性樹脂において、構成単位(a1)の割合が、50モル%〜80モル%であり、構成単位(a2)の割合が、20モル%〜50モル%であることが好ましい。 (もっと読む)


【課題】本発明は、高さの異なる付加構造体の一括形成に用いた際、微細加工精度良く形成することが可能な樹脂組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】上記課題を解決するために、本発明は、半透過膜またはi線波長での解像限界以下の遮光膜パターンを有するフォトマスクを介して露光され、少なくともバインダー樹脂、光重合性モノマー、光重合開始剤、および溶剤からなる液晶表示装置用感光性樹脂組成物において、該感光性樹脂組成物が、バインダー樹脂/光重合性モノマーの重量比が40/60以上80/20以下、バインダー樹脂の重量平均分子量が10000以上100000以下、かつバインダー樹脂の酸価が50mgKOH/g以上75mgKOH/g以下であることを特徴とする感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】感度、解像度、密着性、レジスト形状及び硬化後の剥離特性がいずれも良好である感光性樹脂組成物、並びにこれを用いた感光性エレメント及びプリント配線板の製造方法を提供すること。
【解決手段】(A)バインダーポリマー(B)式(1)の化合物を含む光重合性化合物及び(C)光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物。
【化1】


[式中、R及びRは水素原子又はメチル基を示し、Rは水素原子又は一価の有機基を示し、Rは置換又は無置換の環式炭化水素基を示し、−(XO)−及び−(OY)−は、(ポリ)オキシエチレン鎖、(ポリ)オキシプロピレン鎖、又はエチレンオキサイドとプロピレンオキサイドとのブロック共重合鎖若しくはランダム共重合鎖を示し、−(XO)−及び−(OY)−に含まれるオキシエチレン基の総数は2〜40であり、オキシプロピレン基の総数は0〜40である。] (もっと読む)


【課題】レジストパターンの形状悪化、解像性の低下、現像時のレジスト残渣の発生を抑えつつ、耐クラック性を高めたポジ型レジスト組成物を提供する。
【解決手段】本発明に係るポジ型レジスト組成物は、(A)アルカリ可溶性ノボラック樹脂、(B)アルカリ可溶性アクリル樹脂、及び(C)感光剤を含有し、(B)アルカリ可溶性アクリル樹脂が下記一般式(B−1)で表される(b1)構成単位を有することを特徴とする。


[一般式(1)中、R1bは水素原子又はメチル基を示し、R2bは置換基を有していてもよい炭素数5以上の直鎖状又は分岐鎖状のアルキル基を示す。] (もっと読む)


【課題】 充分に高い耐熱性及び耐熱衝撃性を備えたソルダーレジストを形成でき、かつ、充分に優れた貯蔵安定性を示すドライフィルムを形成できる、弱アルカリ現像可能な感光性樹脂組成物に使用可能なポリマーを提供することを目的とする。
【解決手段】 下記一般式(1)で表わされる構造を含むポリマー。



[式中、Xは四価の有機基を示し、Y、R及びRは各々独立に二価の有機基を示し、Rは水素原子、フェニル基又は炭素数1〜5のアルキル基を示し、nは1以上の整数を示す。] (もっと読む)


【課題】基板密着性が良好で、感度が高く、微細なパターンを成形できる黒色硬化性組成物を提供し、それを用いて赤外領域の遮光性が高い遮光性カラーフィルタおよびその製造方法を提供し、ノイズ発生が防止され、画質が向上した固体撮像素子を提供することを目的とする。
【解決手段】(A)チタンブラック、(B)重量平均分子量が2万〜10万の範囲であるアルカリ可溶性樹脂、(C)溶剤、(D)光重合開始剤、及び、(E)エチレン性不飽和二重結合を含有する化合物、を含む黒色硬化性組成物。 (もっと読む)


【課題】 充分に高い耐熱性及び耐熱衝撃性を備えたソルダーレジストを形成でき、かつ、充分に優れた貯蔵安定性を示すドライフィルムを形成できる、弱アルカリ現像可能な感光性樹脂組成物に使用可能なポリマーを提供することを目的とする。
【解決手段】 下記一般式(1)で表わされる構造を含むポリマー。



[式中、X、Yは二価の有機基を示し、Rは水素原子、フェニル基又は炭素数1〜5のアルキル基を示し、nは1以上の整数を示す。] (もっと読む)


【課題】 本発明の課題は、低温(250℃以下)で硬化可能であって高濃度にもかかわらず、低粘度であるポリイミド前駆体組成物、それから得られる良好な物性を有するポリイミド塗膜、さらに前記ポリイミド前駆体組成物を用いた感光性樹脂組成物を提供することにある。
【解決手段】 少なくとも、分子内に少なくとも2つのイミド結合を含有し、重量平均分子量が1000以上15000以下であり、酸価が50〜150mgKOH/gである酸末端化合物及び鎖延長剤とを含むポリイミド前駆体組成物により、上記課題を解決する。 (もっと読む)


【課題】溶媒として水を含み、水又は希アルカリ性溶液で現像可能な被膜を形成することができ、且つ充分に高い可撓性、離型性、並びに基板に対する密着性を併せ持つ乾燥被膜及び硬化被膜を形成することができ、特にレジストインクとして有用な水系感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】(A)重合性不飽和結合を有するカルボキシル基含有樹脂、(B)重量平均分子量100000〜10000000の、重合性不飽和結合を有しないカルボキシル基含有樹脂、(C)アミン化合物、(D)重合性不飽和化合物、(E)光重合開始剤及び(F)水を含有する。前記カルボキシル基含有樹脂(A)の含有量が組成物全量に対して10〜60質量%であり、前記カルボキシル基含有樹脂(B)の含有量が組成物全量に対して0.1〜10質量%である。 (もっと読む)


1 - 20 / 310