【課題】液浸リソグラフィにおいて、レジストに含まれる酸発生剤の液体への溶出を防止して良好な形状を有する微細パターンを得られるようにする。
【解決手段】基板１０１の上に、極性基を有する環状オリゴマーと極性を有する酸発生剤とポリマーとを含むレジスト膜１０２を形成する。続いて、形成したレジスト膜１０２の上に液体１０３を配した状態で、レジスト膜１０２に露光光１０４を選択的に照射することによりパターン露光を行なう。続いて、パターン露光が行なわれたレジスト膜１０２に対して現像を行なうことにより、レジスト膜１０２から形状が良好なレジストパターン１０２ａを得る。 （もっと読む）

【課題】光に対して高感度で、ガラス基板への密着性が高く、高遮光性、高解像性を有するブラックマトリックス用光重合性樹脂積層体を提供する。
【解決手段】（ａ）重量平均分子量が３０００〜５００００で酸当量が１００〜６００である線状重合体を１〜７０質量％、（ｂ）エチレン性不飽和二重結合を少なくとも一つ以上有する光重合性化合物を５〜５０質量％、（ｃ）光重合開始剤を０．１〜２０質量％、（ｄ）着色物質を５〜７０質量％、それぞれ含有し、（ｃ）成分として、下記式（Ｉ）で示される化合物を０．１〜２０質量％含有する光重合性樹脂組成物を、厚みが５〜４０μｍである透明な支持フィルム上に、積層したことを特徴とするブラックマトリックス用光重合性樹脂積層体。 （もっと読む）

【課題】高い感度と、優れた分散安定性、パターニング性、耐薬品性等の物性の維持とを両立するカラーフィルタ用青色着色組成物、および該カラーフィルタ用着色組成物を用いて形成されるカラーフィルタの提供。
【解決手段】感光性透明樹脂、非感光性透明樹脂、3つ以上のエチレン性不飽和二重結合を有する多官能モノマー、および青色着色材を含有する青色着色組成物であって、該青色着色組成物中のエチレン性不飽和二重結合の重量モル濃度が、感光性透明樹脂、非感光性透明樹脂、および多官能モノマーの合計重量を基準として３．０×１０^-3mol/g 〜７．０×１０^-3mol/gであるカラーフィルタ用青色着色組成物、及び該カラーフィルタ用青色着色組成物から形成されるフィルタセグメントを具備することを特徴とするカラーフィルタ。 （もっと読む）

【課題】化学増幅型レジスト組成物及びそれを利用したフォトリソグラフィ方法を提供する。
【解決手段】ポリマー樹脂と、ＰＡＧと、ＴＡＧと、を含み、ポリマー樹脂の熱分解温度がＴＡＧの酸発生温度よりさらに高い化学増幅型フォトレジスト組成物である。フォトレジスト組成物は、フォトリソグラフィ工程に使われうる。フォトリソグラフィ工程では、フォトレジスト組成物層を光子露光してＰＡＧを酸に分解させる。光子露光されたフォトレジスト組成物層を熱処理してＴＡＧを酸に分解させる。熱処理されたフォトレジスト組成物層を熱処理時の温度より高い温度でＰＥＢする。 （もっと読む）

【課題】十分な色純度を有する着色層、及び十分な光遮蔽性を有するブラックマトリクスがパターン精度良く形成され、着色層及びブラックマトリクスの微細化が可能なカラーフィルタを得る。
【解決手段】加熱処理を施すことにより、その一部が解離して揮発し、その重量が加熱処理前の重量に対し、８０重量％以下に減少する樹脂を含有する樹脂組成物を用いて、着色層及びブラックマトリクスを形成し、加熱処理を施すことによって、その体積を加熱処理前の体積に対し８５体積％以下に減少させ、着色剤濃度を高くする。 （もっと読む）

【課題】 低露光条件下においても、感度、解像度、細線密着性、パターン形成性に非常に優れた感光性樹脂組成物及びフォトレジストフィルムを提供すること。
【解決手段】 カルボキシル基含有ポリマー（Ａ）、エチレン性不飽和化合物（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）、及び、下記一般式（Ｉ）で示される化合物（Ｄ）を含有してなる感光性樹脂組成物及びフォトレジストフィルム、それを用いたレジストパターン形成方法。
【化１】


（式中の記号は、明細書に記載の通りである。） （もっと読む）

【課題】
パターンを備えた基板、パターンを備えたガラス基板を低温の焼成温度で製造できる隔壁を備えたガラス基板の製造方法、及び、該ガラス基板の製造工程を含むプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供
【解決手段】
本発明は、アクリル系ポリマー鎖とポリオキシアルキレン鎖とを有する樹脂と光硬化型樹脂との樹脂混合物をバインダー樹脂とし無機粉末を含有する加熱消滅性光硬化型樹脂組成物を離型支持体上に塗布して転写シートを作製し、基板上に該転写シートを貼付したのち、離型支持体を剥がすかもしくは剥がさずに、あるいは転写シートのうえで所定のパターンを施したフォトマスクを介し露光し未硬化部分を洗浄除去して無機粉末を含有する硬化した加熱消滅性光硬化型樹脂組成物のパターンを形成する工程と、前記成形体を焼成して、前記加熱消滅性組成物を消滅させるとともに、前記無機粉末と前記基板とを一体化させてパターンを得る工程とを有するパターンを形成させた基板の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】 低露光条件下においても、感度、解像度、細線密着性、パターン形成性に非常に優れた感光性樹脂組成物及びフォトレジストフィルムを提供すること。
【解決手段】 カルボキシル基含有ポリマー（Ａ）、エチレン性不飽和化合物（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）、及び、３，４−ベンゾピレン、ペリレン、ナフト〔２，３−ａ〕ピレン、ジベンゾ〔ｂ，ｄｅｆ〕クリセン、９，１０−ジフェニルアントラセンから選ばれる少なくとも１種の化合物（Ｄ）、下記一般式（Ｉ）で示される化合物（Ｅ１）又は下記一般式（ＩＩ）で示される化合物（Ｅ２）を含有してなる感光性樹脂組成物及びフォトレジストフィルム、それを用いたレジストパターン形成方法。
【化１】


（式中の記号は、明細書に記載の通りである。）
【化２】


（式中の記号は、明細書に記載の通りである。） （もっと読む）

【課題】 感光層に含まれるバインダーのＩ／Ｏ値及びガラス転移温度が、ともに一定の数値範囲内であることにより、解像度及びテント性に優れ、しかも現像性にも優れ、かつレジスト剥離性に優れたパターン形成材料、並びに該パターン形成材料を備えたパターン形成装置及び該パターン形成材料を用いたパターン形成方法の提供。
【解決手段】 支持体上に感光層を少なくとも有し、該感光層が、バインダー、重合性化合物及び光重合開始剤を含み、該バインダーのＩ／Ｏ値が、０．３００〜０．６５０であり、かつ、酸価１３０〜２５０（ｍｇＫＯＨ／ｇ）であることを特徴とするパターン形成材料である。前記バインダーが共重合体を含み、該共重合体が、Ｉ／Ｏ値が０．３５以下の単独重合体を構成する単量体を３０質量％以上含むことが好ましい。前記パターン形成材料を備えたパターン形成装置及び前記パターン形成材料を用いたパターン形成方法である。 （もっと読む）

【課題】 現像特性が優れるブラックマトリックス用及びカラーフィルター用の顔料分散レジスト組成物を提供する。
【解決手段】 顔料、有機溶剤、アルカリ可溶性樹脂、光重合性化合物及び光重合開始剤を含有する顔料分散レジスト組成物において、上記アルカリ可溶性樹脂として、ａ）低分子量アルカリ可溶性樹脂：スチレン系単量体及びカルボキシル基含有不飽和単量体からなり、さらに全単量体に対するスチレン系単量体の含有量が５質量％以上である単量体成分を共重合して得られる、酸価２００〜３００ＫＯＨｍｇ／ｇ、重量平均分子量１，０００〜１０，０００の樹脂と、ｂ）高分子量アルカリ可溶性樹脂：カルボキシル基含有不飽和単量体とその他のラジカル重合性不飽和単量体を共重合して得られる、酸価５０〜２５０ＫＯＨｍｇ／ｇ、重量平均分子量２０，０００〜７０，０００の樹脂との二種類を、含有することを特徴とする顔料分散レジスト組成物。 （もっと読む）

【課題】耐水性に優れた表装材用感光性樹脂積層体を提供する。
【解決手段】(１) 少なくとも粘着防止層、感光性樹脂層、および接着介助層を有することを特徴とする表装材用感光性樹脂積層体であって、前記感光性樹脂層が、（Ａ）少なくとも２種類以上の水分散ラテックスから得られる疎水性重合体、（Ｂ）光重合性化合物、（Ｃ）光重合開始剤を含有し、前記（Ａ）成分である２種類以上の疎水性重合体がそれぞれ微粒子状で存在している感光性樹脂組成物を含有することを特徴とする表装材用感光性樹脂積層体。 (２)（Ａ）成分のうち一種の微粒子の平均粒径に対し、２倍以上の平均粒径を有する他種の微粒子が存在している前記(１)記載の表装材用感光性樹脂積層体。（３）さらに前記感光性樹脂層中に、（Ｄ）親水性重合体を含有した前記（１）記載の表装材用感光性樹脂積層体。 （もっと読む）

【課題】レジスト膜厚が薄くても、可とう性、レジスト剥離性（剥離速度及び剥離分散性）、更には密着性に優れた感光性樹脂組成物層及びフォトレジストフィルムを提供する。
【解決手段】
ガラス転移温度が３０〜１００℃で、重量平均分子量が４０，０００〜１００，０００で、酸価が１００〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇのバインダーポリマー（Ａ）、エチレン性不飽和化合物（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）を含有してなる感光性樹脂組成物層であって、かつ、感光性樹脂組成物層の厚みが５〜２０μｍであり、波長３６５ｎｍでの吸光度が０．３以上０．７未満であることを特徴とする感光性樹脂組成物層及びそれを用いたフォトレジストフィルム。 （もっと読む）

脱ガス現象を低減することができるシルセスキオキサン樹脂、ポジ型レジスト組成物、レジスト積層体、レジストパターン形成方法が提供され、またイマージョンリソグラフィーに好適なシリコン含有レジスト組成物及びレジストパターン形成方法が提供される。上記シルセスキオキサン樹脂は、下記一般式［式中、Ｒ^１及びＲ^２は、それぞれ独立に、直鎖状、分岐状又は環状の飽和脂肪族炭化水素基；Ｒ^３は単環又は多環式基を含有する炭化水素基からなる酸解離性溶解抑制基；Ｒ^４は水素原子、もしくは直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基；Ｘは、少なくとも１つの水素原子がフッ素原子で置換された炭素数１〜８のアルキル基；ｍは１〜３の整数］で表される構成単位を有する。

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【課題】２０ミクロンを越えるような厚膜で微細なパターン形成を行うことが可能であり、保護膜としての信頼性に優れた皮膜を提供可能な感光性樹脂組成物および硬化皮膜を提供する。
【解決手段】（Ａ）有機溶剤に可溶なポリイミド骨格を有する化合物において、その分子中に１級アルコールをアルコール当量３５００以下となるように有する重量平均分子量５，０００から５００，０００のポリイミド系高分子化合物、（Ｂ）ホルマリン変性されたアミノ縮合物、メラミン樹脂、尿素樹脂、あるいは、１分子中に平均して２個以上のメチロール基またはアルコキシメチロール基を有するフェノール化合物のいずれか１種あるいはその混合物、（Ｃ）２４０ｎｍから５００ｎｍの範囲の光照射によって酸を発生する光酸発生剤を含有することを特徴とする光硬化性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】 ディフェクトを低減することができるレジスト組成物の製造方法およびレジスト組成物を提供する。
【解決手段】（Ａ）酸の作用によりアルカリ可溶性が変化する樹脂成分、及び（Ｂ）露光により酸を発生する酸発生剤成分を含有するレジスト組成物の製造方法であって、同じ種類の構成単位からなり、かつ相互に接触角の測定値が異なる、複数種類の共重合体を混合して、（Ａ）成分を得ることを特徴とするレジスト組成物の製造方法。 （もっと読む）

【課題】レーザー加工特性、画像現像性、小さな文字でも鮮明な印刷性、親水性ポリマーを添加した場合には水現像性に優れた感光性印刷版材用ブロック共重合体、その組成物および感光性エラストマー組成物を提供する。
【解決手段】芳香族ビニル化合物を主体とする重合体ブロックと、共役ジエンを主体とする重合体ブロックからなり、芳香族ビニル化合物含量が１０〜４０重量％で、トルエン不溶分が３０ｐｐｍ以下で、タイプＡ硬度が８５以下で、共役ジエンを主体とする重合体ブロック中の、ビニル結合含有量が５０％以下である感光性印刷版材用ブロック共重合体、この感光性印刷版材用ブロック共重合体に対し、酸化防止剤がノニルフェノールを含有せず、リン系化合物、フェノール系化合物およびラクトン系化合物の群から選ばれた少なくとも１種を含む感光性印刷版材用ブロック共重合体組成物。 （もっと読む）

本発明は、ポジ画像形成性フォトレジストとして使用しうる組成物を提供する。これらの組成物は、ポジ画像形成性フォトポリマー系と粒子状材料とを含む。これらの組成物は、電子装置の製造に有用なフィルムおよびパターン化構造体を作製する厚膜法および他の方法で使用可能である。
（もっと読む）

【課題】 光感度、解像度、密着性、機械強度及び柔軟性が優れ、プリント配線の高密度化及び高解像化に有用である感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法及びプリント配線板の製造法を提供すること。
【解決手段】 （Ａ）重量平均分子量１０，０００〜９５，０００のバインダーポリマー、（Ｂ）分子内に少なくとも一つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物、及び（Ｃ）光重合開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物において、前記（BＢ）成分が（B1）一般式（I）
【化１】


（R¹は水素原子又はメチル基を示し、Xは炭素数2〜6のアルキレン基を示し、ｌ、ｍ、ｎはそれぞれ１〜７の整数である）で表される感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法及びプリント配線板の製造法。 （もっと読む）

【課題】適切な寸法安定性基板のカスタマイゼーションを提供する。
【解決手段】（ａ）無機バインダーの微粉砕粒子、
（ｂ）Ｃ_1-10のアルキルアクリレート、Ｃ_1-10のアルキルメタクリレート、スチレン、置換スチレン、またはそれらの組合せを含む非酸性コモノマー、およびエチレン性不飽和カルボン酸含有部分を含む酸性コモノマーを含む、コポリマー、インターポリマー、またはそれらの混合物を含み、このコポリマー、インターポリマーまたは混合物は、少なくとも１５重量％の酸分を有する有機ポリマーバインダー、 （ｃ）ポリマーバインダーに対する可塑剤の比が、４：２３から７：９の範囲である可塑剤、 （ｄ）光開始剤、 （ｅ）光硬化性モノマー、 （ｆ）有機溶媒 を含む有機組成物であり、 前記組成物は、化学線に像様露光した場合に、０．４〜２．０重量％の塩基を含有する希薄な塩基性水溶液内で現像可能である。 （もっと読む）

酸性基および分子内に３個以上のエチレン性二重結合を有するアルカリ可溶の感光性樹脂（Ａ）と、水素原子の少なくとも１つがフッ素原子に置換された炭素数２０以下のアルキル基（ただし、前記アルキル基はエーテル性の酸素を有するものを含む。）を有する重合単位（ｂ１）、およびエチレン性二重結合を有する重合単位（ｂ２）を有する重合体からなる撥インク剤（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）とを含有し、撥インク剤（Ｂ）におけるフッ素含有量は、５〜２５質量％であり、撥インク剤（Ｂ）のネガ型感光性樹脂組成物の全固形分における割合は、０．０１〜２０質量％であることを特徴とするネガ型感光性樹脂組成物。本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、基材密着性、撥インク性およびその持続性に優れ、さらにはアルカリ溶解性、現像性に優れている。 （もっと読む）