【課題】近接投影を行う場合に、投影面全体で解像度を一定にすることができる光走査装置および画像形成装置を提供する。
【解決手段】レーザービームを出射する光源３と、レーザービームを第１の軸を中心に回動する第１光反射部により反射して第１方向に沿って走査する第１光偏向部と、第１光偏向部によって偏向されたレーザービームを第２の軸を中心に回動する第２光反射部により反射して第２方向に沿って走査する第２光偏向部と、第１方向に沿う走査軌跡ラインが第２方向に並ぶときの第２方向のライン間隔が一定になるように、第２光反射部１ｂの単位時間あたりの回動角変化量を制御する駆動制御部７と、駆動制御部７によって決定された回動角度に従って第２光反射部を圧電素子３１の伸縮を利用して回動駆動させる駆動部２ｂと、を備える。 （もっと読む）

【課題】共振周波数のばらつきの発生を抑制しつつ、折れ難いカンチレバーと、捩り回転時にカンチレバーが折れ難く、ミラーの振れ角が大きい。
【解決手段】カンチレバーの端部の厚み方向に曲線をつけ、カンチレバーの固定端部が最も厚い厚さ分布をもたせる。これにより、引っ張り応力の集中が緩和される。カンチレバーと捩り梁を同一のＳｉ基板に形成し、捩り梁の板厚をＳｉ基板と同じ厚さとし、カンチレバーはそれよりも薄く形成する。 （もっと読む）

【課題】被走査面上の走査位置による反射光の明るさの差異を低減させることのできる光走査装置及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】光を反射する光反射部材２１と、光反射部材２１を軸Ａ回りに揺動可能に支持する支持部材２６とを含む走査部２を有し、光反射部材２１が揺動することにより、光反射部材２１によって反射された反射光を半球面スクリーンＳＣ１上に走査可能な光スキャナー１０と、光スキャナー１０が設けられ、軸Ａに垂直な軸Ｂ回りに回動可能に構成された中空モーター７０と、を備え、光スキャナー１０は、半球面スクリーンＳＣ１上における反射光の所定方向の走査速度を変更するために、走査部２の半球面スクリーンＳＣ１に対する空間的位置を変更するＺステージ８を有する。 （もっと読む）

【課題】ミラー部の偏向角度を大きく設定する。
【解決手段】固定支持される第１端部、及び自由端であり第１端部よりも幅が狭いか又は厚みが薄い第２端部をそれぞれ有する一対の第１アーム部１２ｅ，１２ｅと、固定支持される第３端部、及び自由端であり第３端部よりも幅が狭いか又は厚みが薄い第４端部をそれぞれ有し、一対の第１アーム部に対向して配置された一対の第２アーム部１２ｅ，１２ｅと、一対の第１アーム部の第２端部と一対の第２アーム部の第４端部との間に配置され、外部から照射された光を反射するミラー部１２ｉと、一対の第１アーム部の第２端部とミラー部とをそれぞれ連結する一対の第１捩じりバネ部１２ｇ，１２ｇと、一対の第２アーム部の第４端部とミラー部とをそれぞれ連結すると共に、一対の第１捩じりバネ部に対向して配置された一対の第２捩じりバネ部１２ｈ，１２ｈと、を備えている光偏向子１２Ａを提供する。 （もっと読む）

【課題】被走査面上の走査位置による反射光の明るさの差異を低減させることのできる光学デバイス、光走査装置及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】光を反射する光反射部材２１と、光反射部材２１を軸Ａ回りに揺動可能に支持する支持部材２６とを有し、光反射部材２１が揺動することにより、光反射部材２１によって反射された反射光を被走査面上に走査可能な走査部２と、被走査面上における反射光の所定方向の走査速度を変更するために、走査部２の被走査面に対する空間的位置を変更するアクチュエーター３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】互いに直交する２軸の周りに電磁力によって可動部を揺動させることが可能な光学装置において、電磁石部分を含む光学装置全体を小型化することと、消費電力の増大を抑制することとを両立させる。
【解決手段】光学装置は、ミラー部と、第１電磁石と、第２電磁石とを備えている。このミラー部は２軸駆動型であって、第１磁性体および第２磁性体を備えている。第１電磁石と第２電磁石の少なくとも一方の少なくとも一部がミラー部設置領域内に存在しているため、電磁石を小さくしても、可動部を揺動させるための駆動力を確保できるために、コイル巻き数、コイルに通電する駆動電流を大きくする必要がない。電磁石部分を含む光学装置全体を小型化することと、消費電力の増大を抑制することとを両立させることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】画像形成装置に組み付けられた状態でＭＥＭＳミラーの取付角度を外部から調整することができる光走査装置を提供すること。
【解決手段】光源から出射される光ビームを偏向するＭＥＭＳミラー２８をハウジング２６に収容して成る光走査装置において、前記ＭＥＭＳミラー２８を支持部３４と板バネ３５によって前記ハウジング２６に傾動可能に保持させるとともに、前記ハウジング２６に螺合挿通する複数の調整ビス３６，３７の先端を前記ＭＥＭＳミラー２８の筐体３０に当接させ、該調整ビス３６，３７を前記ハウジング２６の外部から回転させることによって前記ＭＥＭＳミラー２８の取付角度を調整可能とする。 （もっと読む）

【課題】安価な構成でＭＥＭＳミラーの偏向状態を高精度にモニターすることができる光走査装置を提供すること。
【解決手段】光源から出射される光ビームを偏向するＭＥＭＳミラーと、該ＭＥＭＳミラーを一定の周期で駆動する駆動手段と、前記光源から出射される光ビームを検知する光検知素子（ＢＤセンサ）を備えた光走査装置において、前記駆動手段に入力される駆動位相信号の位相と前記光検知素子の検知信号の位相との関係から前記ＭＥＭＳミラーの偏向状態を求める。例えば、駆動位相信号が出力されてから光検知素子の検知信号が出力されるまでの時間Ｔを検出し、この時間Ｔと光検出素子の設置偏向角θ_０ 及びＭＥＭＳミラーの偏向周波数νを用いて次式：
θ_ｍ ＝θ_０ ／ｓｉｎ（２πνＴ−π／２）
にてＭＥＭＳミラーの最大偏向角θ_ｍを求める。 （もっと読む）

【課題】ミラーを２軸駆動してレーザ光を走査させる場合に、ミラーの駆動制御を精度よく行うことができるビーム照射装置を提供する。
【解決手段】レーザ光を水平方向斜めからミラー１１３に入射させた状態で、ミラー１１３を支軸１１１、１１２と支軸１２４、１２５の回りに回動させて、レーザ光を水平方向に走査させる。このとき、支軸１１１、１１２の回りの前記ミラー１１３の回動位置に応じて、支軸１２４、１２５の回りの前記ミラー１１３の制御量を変化させる。具体的には、支軸１２４、１２５の回りにおいて前記ミラー１１３を制御するためのＰＩＤ制御回路２８からの制御信号の大きさを、ゲイン調整回路２９におけるゲインを調整することで変化させる。 （もっと読む）

【課題】回動軸方向の幅が有限な可動板に捻り梁が接合された端面においては、幅が無限な可動板における理論的な動たわみとは異なる形状の複雑な動たわみが発生する。当該動たわみを抑制することができる光偏向素子、光偏向器、及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】光偏向素子は、光束が反射される反射面が形成された反射手段が固定されており板状の形状を有する可動板と、一端が可動板の端面に接続されており、可動板を反射面に平行な回動軸回りに回動可能に支持する弾性支持梁と、弾性支持梁の一端の反対側の一端が接続されており、弾性支持梁を支持する支持枠と、可動板の側面から反射面に平行な方向に突出し、回動軸に垂直な方向において可動板の先端より回動軸に近い範囲に配設された可動板突起と、を備える。光偏向器は、当該光偏向素子を備え、画像形成装置は、当該光偏向素子又は当該光偏向器を備える。 （もっと読む）

【課題】ねじれモードおよび垂直モードの動作を同時に行わせることで装置の小型化を可能とするプレーナ型アクチュエータを提供する。
【解決手段】一対のトーションバー３を介して枠状の固定部２に固定された可動部４を揺動してねじれモードで駆動するための可動部４上に形成された駆動コイル５と、可動部４を垂直モードで駆動するための、前記一対のトーションバー３上に設置された垂直駆動用圧電体６とを備えた構造にすることで、垂直方向の往復動とトーションバー３を回動軸としたねじれ運動を同時に行わせることを可能にする。 （もっと読む）

【課題】光偏向器にミラーデバイスの温度を調整するための温度調整手段を配設することによってミラーデバイスの製造工程やパッケージへの組み込みに影響をあたえることを抑制できる光偏向器、光偏向素子の温度調整方法、光偏向器の製造方法、及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】光偏向器は、光束が反射される反射面が形成された反射手段が固定されており板状の形状を有する可動板と、一端が可動板に接続されており、可動板を反射面に平行な回動軸回りに回動可能に支持する弾性支持梁と、弾性支持梁の一端の反対側の一端が接続されており、弾性支持梁を支持する支持枠と、を備える光偏向素子と、光偏向素子を収容可能な素子室を有する筺体本体を備える素子筺体と、光偏向素子の温度を調整可能な温度調整手段と、を備え、温度調整手段は、筺体本体に配設されている。 （もっと読む）

【課題】複雑な製造工程を必要とせずに、窓部の入射面と反射面とを傾かせることができる光偏向器、光偏向器の製造方法、及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】光偏向器は、反射面が形成された反射手段が固定されており板状の形状を有する可動板と、可動板を回動軸回りに回動可能に支持する弾性支持梁と、弾性支持梁を支持する支持枠と、を備える光偏向素子と、光偏向素子を収容可能な素子室に配設されており、支持枠を支持する素子支持部を有する筐体本体と、反射面に入射する入射光が透過する窓部を有し、素子室の開口を封止する蓋部材と、を備え、支持枠と素子支持部とが第一の当接位置と第二の当接位置とにおいて当接することによって、支持枠が素子支持部に支持されており、入射光が窓部に入射する入射面に垂直な方向における入射面からの距離、又は反射面に垂直な方向における反射面からの距離が、第一の当接位置と第二の当接位置とで異なる。 （もっと読む）

【課題】網膜走査ディスプレイ装置などの画像表示装置において、画像の画質を保つよう、画像光の水平走査方向と垂直走査方向とを精度良く直交させるために、走査光を測定し、２次元走査系における２つの走査方向の間の位置関係を精度良く求めることができる走査光測定装置、並びに走査光を測定することで、画像の表示を制御する画像表示制御装置、及び画像表示制御方法を提供する。
【解決手段】撮像部６により第１走査部４、及び第２走査部５のうちのいずれかにより走査されたビームＢＭが撮像される。第１走査部４により第１方向に走査されたビームＢＭの傾きと第２走査部５により第２方向に走査されたビームＢＭの傾きとが算出される。算出された傾きから撮像範囲ＩＡ内における第１方向と第２方向との間の角度が算出される。 （もっと読む）

【課題】２つの回動軸に関して、充分な回動角度を得ることができる光スキャナを得る。
【解決手段】印加電圧が０Ｖから増加していくと、接地されているミラー部２１０と第３及び第４の内側裏分割電極４１３、４１４並びに内側表分割電極との間、及び接地されているジンバル部２２０と第２の外側裏分割電極４２２及び外側表分割電極との間に電圧差が生じ、この電圧差によりミラー部２１０と第３及び第４の内側裏分割電極４１３、４１４並びに内側表分割電極との間、及びジンバル部２２０と第２の外側裏分割電極４２２及び外側表分割電極との間に静電引力が生じる。ミラー部２１０は、第３及び第４の内側裏分割電極４１３、４１４並びに内側表分割電極からの静電引力に加えて、第２の外側裏分割電極４２２及び外側表分割電極からの静電引力によりＹ軸時計回りに回動する。交流電圧が１３０Ｖになると、ミラー部２１０は、アイドル状態から１５度回転する。 （もっと読む）

【課題】無効領域を可及的に低減するとともに、高精度な走査が可能な光スキャナを提供する。
【解決手段】判断部６７は、検出部６により検出された揺動波形が、調整部６９により生成された調整波形と一致するか否かによって、検出された揺動波形が復元部５によりミラー部２に対し復元力が加えられていない際に検出部６により検出された揺動波形の揺動振幅の最大値と等しい振幅の最大値を有する略三角波形であるか否かを判断する。復元信号生成部７０は、判断部６７の判断結果に基づき、復元部５によりミラー部２に対し復元力が加えられていない際に検出部６により検出された揺動波形の揺動振幅の最大値と等しい振幅の最大値を有する略三角波形でミラー部２が揺動するように、復元部５を駆動するための復元信号ＲＳを生成する。 （もっと読む）

【課題】ミラーの一方向への揺動と他方向への揺動とが異なる種類の駆動方式により行われる異種駆動方式の構成を有する、高精度な駆動制御が可能な２次元光スキャナを提供する。
【解決手段】光スキャナ１は、ミラー部２と一対の第１駆動部３Ａ、３Ｂとを有する可動部４と、第２駆動部５と、基台６と、設置部７と、を備える。第１駆動部３Ａ、３Ｂが圧電駆動方式により駆動され、可動枠４２に軸線ＡＸ１を節とする定在的な波形の変形が生じる。第２駆動部５が電磁駆動方式により駆動され、外枠４３がＺ軸方向に運動し、可動部４は、軸線ＡＸ２回りに揺動する。この結果、ミラー部２が軸線ＡＸ１回りに揺動されつつ、可動部４が軸線ＡＸ２回りに揺動されることで、光スキャナ１は、ミラー部２の反射面２１に入射した光束を反射して、２次元走査する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、迷光が被投影面に照射されるのを防止することのできる光スキャナおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナ１は、光反射部２１１を備える可動板２１と、光透過性を有する光透過窓３２を備え、可動板２１を回動可能に収容するパッケージ３とを有している。また、光スキャナ１は、光透過窓３２から入射する入射光のうち、光透過窓３２により反射された光が、光反射部２１１により反射された光の走査領域に侵入することを防止する遮蔽部５３を有し、遮蔽部５３は、壁状をなし、可動板２１の平面視にて、入射光が光透過窓３２を通過する領域と、出射光が光透過窓３２を通過する領域との間に設けられており、入射光側の側壁および出射光側の側壁が、それぞれ、非駆動状態の可動板２１の厚さ方向に対して、入射光側に傾いている。 （もっと読む）

【課題】落下等の衝撃によって破壊されることを抑制可能とする光スキャナ装置を提供する。
【解決手段】光スキャナ装置１は、レーザ光Ｌを発振するレーザ光源３と、レーザ光Ｌを平行なビーム光Ｌａに整形するレンズ４と、ビーム光Ｌａを所定の方向に偏向走査する光偏向器１０と、レーザ光源３を駆動するレーザドライバ部２と、光偏向器１０を駆動するための駆動信号Ｄｈを光偏向器１０に出力する制御回路部５と、レーザドライバ部２及び制御回路部５を制御する演算処理回路部７と、演算処理回路部７に加速度検出信号Ａｃを出力する加速度センサ６と、を備えている。演算処理回路部７は、加速度センサ６から入力された加速度検出信号Ａｃに基づいて落下状態にあるか否かを判断し、落下状態にあると判断したときに制御回路部５を制御して光偏向器１０によるビーム光Ｌａの偏向走査を停止させる。 （もっと読む）

【課題】ミラー部を備えた可動部の正確な駆動とミラー部の正確な角度測定が可能なミラーデバイスおよび製造コストの低減したミラーデバイスの製造方法を得ること。
【解決手段】ミラー部１０を備えた可動部３０が回転軸Ａを中心に回転することによって、可動部３０に設けられた第１電極５０の第１の面５１と枠体４０に設けられた第２電極６０の第２の面６１とで形成される容量が変化する。容量は、第１の面５１と第２の面６１との対向する面積で大部分が幾何学的に決まるので、温度変化等の影響を少なくできる。したがって、ミラー部１０を備えた可動部３０の正確な駆動とミラー部１０の正確な角度測定が可能なミラーデバイス１００を得ることができる。 （もっと読む）