【課題】揺動駆動時における駆動電圧の低減と、ミラー歪みの低減とが可能な光スキャナを提供すること。
【解決手段】光スキャナ１００は、ミラー部１１０と、一組の第１梁１１１と、枠部１１２と、一組の第２梁１２０と、固定部１４０と、圧電駆動部１３０とを備える。一組の第１梁１１１は、揺動軸線ＡＲを含む平面上で、ミラー部１１０から離れる方向にミラー部から延出する。枠部１１２は、ミラー部１１０を囲むように配置され、一組の第１梁１１１が接続される。一組の第２梁１２０は、揺動軸線ＡＲに沿う方向に、枠部１１２から延出する。固定部１４０には、一組の第２梁１２０が接続される。ミラー部１１０の重心ＣＭは、一組の第２梁１１１を揺動軸線ＡＲに沿う方向に結ぶ第２梁延長線ＥＬ２に対して、揺動軸線ＡＲに直交する方向に離間する。 （もっと読む）

【課題】迷光の発生を防止することができる光偏向器、光偏向器の製造方法および画像表示装置を提供する。
【解決手段】可動板１１と、一端が可動板１１と連結され、回転軸Ｘの周りに可動板１１を回動可能に支持する弾性支持部１２と、弾性支持部１２の他端と連結された支持部材１３とを備え、弾性支持部１２、支持部材１３は、上面、下面、及び側面を有し、側面は、上面又は下面よりも外側に存在する１つ又は複数の斜面によって形成され、弾性支持部１２、支持部材１３の上面、下面、及び側面に、光吸収膜３０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】要求に応じて動作状態を変更することのできる光測距装置を提供する。
【解決手段】光測距装置１は、光反射面を有する可動部が揺動することで光反射面に入射される光を対象領域内でリサージュ走査できる光走査部５、可動部を第１方向、第２方向に揺動させる第１駆動信号、第２駆動信号を光走査部５に供給して可動部を揺動駆動する駆動部７、光反射面に向かってパルス光を出射する光源部９、パルス光の反射光を受光する受光部１１及びパルス光の出射タイミングと反射光の受光タイミングとに基づいてパルス光を反射した物体までの距離を計測する測距部１３を備える。駆動部７は、第１駆動信号と第２駆動信号との位相差を変更する位相差変更部７２、及び、第１駆動信号及び第２駆動信号を大きさ調整して可動部の揺動振幅を変更する振幅変更部７３の少なくとも一方を含む。 （もっと読む）

【課題】弾性支持部の破断を防止することができる光偏向器の製造方法を提供する。
【解決手段】反射膜１１を有する可動板１０を形成する工程と、可動板１０とは異なる部材で、可動板１０を取り付けるための取付部２１と、取付部２１に取り付けられた可動板１０を所定の軸の周りに回動可能に支持する弾性支持部２２とを有する軸部材２０と、軸部材２０と連結する支持部材３０とを一体で形成する工程と、軸部材２０と支持部材３０に丸め処理を施す工程と、取付部２１に可動板１０を取り付ける工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で可動板の撓みを抑制することができるとともに、迷光の発生を抑制することができ、被投影面に所望の画像を高品質に描画することのできる光スキャナおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナ１は、一方の面側に光反射性を有する光反射部２１１を備える可動板２１と、可動板２１を支持する支持部２２と、支持部２２に対して可動板２１を回動可能とするように、支持部２２と可動板２１とを連結する一対の連結部２３、２４とを有し、可動板２１には、可動板２１の回動による光反射部２１１の撓みを抑制する貫通孔２５、２６が形成されおり、貫通孔２５、２６は、可動板２１の光反射部２１１と反対側の面から光反射部２１１側の面に向けて横断面積が漸減するテーパ状をなしている。 （もっと読む）

【課題】外部衝撃による破損およびそれによるコストアップを抑制できるＭＥＭＳデバイス、およびその製造方法を提供する。
【解決手段】フレーム１１１と、フレームと同じ層に形成され、フレームに対して相対運動可能に一対のトーションバネ１１３によりフレームの内側に連結された駆動体１１５と、駆動体の高さ方向変位を制限する上昇ストッパ１４０および下降制限ストッパ１５０と、を備えたＭＥＭＳデバイスであり、駆動体は周辺部を備えており、外部衝撃が加えられて駆動体が急激に上昇する場合には駆動体の周辺部が上昇制限ストッパの一端部１４１にひっかかり、外部衝撃が加えられて駆動体が急激に下降する場合には下降制限ストッパの一端部１５１がフレームにひっかかることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 高速動作を可能とする。
【解決手段】 回転中心の周囲に回転可能で、回転方向に沿って第１の位置検出マークが形成されたシャフトと、シャフトに固定され、入射する光ビームを反射させるガルバノミラーと、シャフトを回転中心の周囲に回転させる回転機構と、シャフトの第１の位置検出マークに、光を入射させる発光器と、シャフトの第１の位置検出マークで反射した、発光器からの光が入射する受光器と、受光器に入射した光をもとに、シャフトの回転方向の位置を導出する回転位置導出部とを有するガルバノスキャナを提供する。 （もっと読む）

【課題】確実に、内部空間（可動板が設けられている空間）の気密性を確保することができるアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置を提供すること
【解決手段】アクチュエータ１は、内部空間Ｓを画成する壁部を有するパッケージ２と、内部空間Ｓに回動可能に収容された可動板３２と、可動板３２の一方の面側に設けられた永久磁石４１と、コイル（駆動用コイル４２、挙動検知用コイル５１）とを有し、前記コイルは、少なくとも一部がパッケージ２の壁部に埋設されており、永久磁石４１と対向するように、または永久磁石４１が内側に位置するように設けられている。 （もっと読む）

【課題】消費電力が小さく、走査レンズの温度上昇、光走査装置の温度偏差や振動を低減して画像の経時安定性を確保し、プリント画像の倍率誤差を低減する。
【解決手段】駆動信号とＰＤａとの位相差は位相比較器とカウンタにより計測し、基準となる共振周波数との差分を演算して、差分が許容値範囲外であれば駆動周波数を変化させ、共振周波数に一致させるように調整する。許容値設定は共振周波数の変動で生じる振幅低下を補正できる限界値から設定される。振幅低下を補正（振幅一定の制御）するために、駆動電圧を上昇させる駆動回路の耐圧、および振動ミラーの許容耐圧のどちらか低い方に差分の許容値を決める。共振周波数と駆動周波数の差異検出は、振動ミラー振幅を一定に制御した状態で行われ、駆動電圧の周波数調整タイミングは、偏向走査ビームの走査特性が変わるため、被走査面領域をレーザビームが走査していない非画像形成中のタイミングで行う。 （もっと読む）

【課題】 検出コイルの設置スペースを大きく確保することができ、Ｓ／Ｎ比を増大させて可動部の正確な位置検出を行うことのできるプレーナ型アクチュエータを提供する。
【解決手段】 デバイス基板に設置された枠状の固定部２と、固定部２の内側にトーションバー５を介して可動自在に支持され駆動手段により駆動される可動部６と、可動部６に設置され可動部６を駆動するための渦巻き状に形成された駆動コイル７と、駆動コイル７のコイル配線の間に沿って設置され可動部６の動作を検出する検出コイル９と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】 ２つのプレーナ型アクチュエータを適正に設置することができ、保持部材の干渉が生じることがなく、さらに配線の取り回しを容易に行うことのできるプレーナ型プレーナ型アクチュエータの取付けユニットを提供する。
【解決手段】 一次側アクチュエータ支持枠９と二次側アクチュエータ支持枠１０とを備えた取付けフレーム８を、一次側アクチュエータ支持枠９と二次側アクチュエータ支持枠１０とのなす内角が所定の角度に保持されるように一体化した。 （もっと読む）

【課題】可動部の揺動を検出するためのピエゾ抵抗素子によってトーションバーの幅が制約されることがなく、かつ、可動部の揺動に伴ってピエゾ抵抗素子の抵抗値を大きく変化させて、高い検出精度が得られるプレーナ型アクチュエータを提供する。
【解決手段】アクチュエータ１は、枠状の固定部２と、一対のトーションバー３ａ，３ｂと、可動部４とを備え、前記可動部４は、前記一対のトーションバー３ａ，３ｂを介して前記固定部２の開口部に揺動可能に支持される。前記固定部２のトーションバー３ａが接続される部分、及び、固定部２のトーションバー３ｂが接続される部分に、トーションバー３ａ，３ｂの軸を挟んで、ピエゾ抵抗素子１０ａ〜１０ｄを配置する。そして、ピエゾ抵抗素子１０ａ〜１０ｄの抵抗値変化によって出力電圧が変化するブリッジ回路を構成し、ブリッジ出力から前記可動部４の揺動を検出する。 （もっと読む）

【課題】可動板の質量を増やすことなく、配線が比較的な動歪補正手段を備えた光偏向器を提供する。
【解決手段】可動板２０１の裏面に動歪補正手段として、動歪補正用圧電素子２２０、２３０、２３１を設ける。そして、駆動梁２０４の裏面の駆動用圧電素子２１０の上部電極、下部電極をトーション梁２０３を通し、動歪補正用圧電素子２２０の上部電極、下部電極には電極逆転部２４０、２５０を介して接続し、動歪補正用圧電素子２３０、２３１の上部電極、下部電極にはそのまま接続する。可動板２０１上の動歪は、トーション梁２０３と平行な方向では駆動梁２０４の反り変形と同じ方向に発生し、トーション梁に直交する方向では駆動梁２０４の反り変形と逆方向に発生する。該動歪は、駆動用圧電素子２１０と同位相及び逆位相で動歪補正用圧電素子２２０、２３０を駆動することで軽減される。 （もっと読む）

【課題】比較的簡単な構成としつつ、周囲温度が変化した場合であっても可動部の揺動角度を精度よく検出することのできるプレーナ型アクチュエータ及びこれを用いた光走査装置を提供する。
【解決手段】プレーナ型アクチュエータは、枠状の固定部の内側にトーションバーによって揺動可能に支持された可動部を有し、該可動部を揺動駆動される。プレーナ型アクチュエータは、固定部又はトーションバーに形成され、可動部の揺動角度に応じて出力値が変化するブリッジ回路２１を構成する複数のピエゾ抵抗素子Ｒ１〜Ｒ５と、を備える。そして、ブリッジ回路２１の四辺のうちのいずれか一辺２１ａには、可動部の揺動動作による応力の影響を受ける位置に形成されたピエゾ抵抗素子Ｒ１と、可動部の揺動動作による応力の影響を受けない位置に形成されたピエゾ抵抗素子Ｒ５と、が直列に接続されて配置されている。 （もっと読む）

【課題】光源出力変動による、画像の色の変化を抑えるためにＡＰＣを行い、ＡＰＣを行う領域を画像形成領域として、光線により走査される領域を画像形成領域に限りなく近づけることを可能とし、画像の明るさを向上させる投影型画像表示装置を提供する。
【解決手段】レーザー光源２０−２２からの色が異なるレーザー光の光路を合成する光路合成素子２５と、光路合成素子２５から射出されたレーザー光を分離する光束分離素子２７と、光束分離素子２７により分離されたレーザー光により走査する走査ミラー２３と、光束分離素子２７により分離された各レーザー光を受光して各光源の各発光量を検出する光量モニタ用受光素子２６と、元画像データに基づき投影面Ｓにレーザー光のスポットが形成されるように走査ミラー２３を制御すると共に、元画像データに基づく色が再現されるように各光源を制御する制御回路２４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】可動部の共振周波数（振幅）を所定値に設定し、使用中にその設定から外れないように制御するミラーデバイス駆動制御装置を提供する。
【解決手段】ミラーデバイス１を駆動信号により駆動する駆動部２と、ミラーデバイス１の可動部の振幅および温度を検出し、検出に応じた検出信号を生成して出力する駆動状態検出部４と、可動部が所定範囲で振幅するように駆動信号の周波数の制御を行う制御部７と、制御部７の制御中に、可動部の周波数を変更する周波数変更部と、を備え、周波数変更部は、駆動状態検出部４の検出信号に基づいて可動部の振幅の周波数をうなり周波数ｆｂとして検出し、うなり周波数を検出したときのミラーデバイス１の駆動信号の周波数ｆと、うなり周波数ｆｂと、に基づいて所定の周波数ｆ１を求め、周波数ｆ１の駆動信号でミラーデバイス１を駆動させる。 （もっと読む）

【課題】回動軸における摩擦や不要な制動力を抑制でき、ミラーの回動性能を高めることができるミラーアクチュエータおよびこのミラーアクチュエータを搭載したビーム照射装置を提供する。
【解決手段】ミラーアクチュエータ１００は、マグネットユニット１３０と、マグネットユニット１３０に固定された支軸１１１と、支軸１１１に回動可能に軸支されたチルトユニット１１０と、チルトユニット１１０に固定され支軸１１１に垂直な支軸１２５と、支軸１２５に回動可能に軸支されたパンユニット１２０と、パンユニット１２０に装着されたミラー１４０とを備える。チルトユニット１１０とパンユニット１２０は、それぞれ、支軸１１１と支軸１２５を１ヵ所で軸受けする軸受部１１２と軸受部１２２を有する。 （もっと読む）

【課題】 ミラー部を駆動させると共にミラー部の動きを検出可能とし、かつ、従来よりも小型化が可能な光偏向器及びこれを用いた画像表示装置を提供する。
【解決手段】 光偏向器１は、外部から照射された光を反射する反射面Ａ２１及び上記光を通過させるピンホール２２ｂ，２２ｄを有するミラー部２１と、ピンホール光偏向器を通過した光を受光する受光部１１ｂ，１１ｄと、ミラー部２１を所定の回転軸２１ａで駆動させ反射面Ａ２１で反射した光を所定の方向に偏向させる駆動手段３０ａ，３０ｂと、を備える。受光部１１ｂ，１１ｄは回転軸２１ａに直交する方向に対して幅が異なる形状を有している。 （もっと読む）

【課題】色むらやにじみのない画像を表示する。
【解決手段】それぞれが、波長λ_ｎ（ただし、ｎ＝１，・・・，Ｎであり、Ｎは３以上の整数であり、λ_１・・・＞λ_ｎ・・・＞λ_Ｎ）の光を出射するＮ個の光源と、光源からの光をカップリングするカップリングレンズと、カップリングレンズからの光束を反射し走査する回動ミラーと、を有する画像表示装置において、回動ミラーで反射された光束を略平行である投影光として出射して投影面上に投影させる投影レンズを有し、投影レンズから出射された光束についてビームウエストが形成され、このビームウエストでのビーム径ｗ_ｎは、ｗ_１・・・＞ｗ_ｎ・・・＞ｗ_Ｎであることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】より確実に投影画像を補正することができるレーザプロジェクタを実現する。
【解決手段】レーザプロジェクタ１００は、スクリーンＳに画像を形成する投影区間ａにおいて、電磁駆動型走査ミラー４の左右の振り幅を第一の振り幅から第二の振り幅に調節することで、スクリーンＳ上の投影画像が長方形となるように補正することができる。特に、スクリーンＳに画像を投影する投影区間ａとなる直前の後期区間ｂ_２において、電磁駆動型走査ミラー４の左右の振り幅は投影区間ａの始端での振り幅に応じた第一の振り幅に維持されているので、後期区間ｂ_２から投影区間ａに移行した際に、速やかに第一の振り幅での走査ができ、容易に電磁駆動型走査ミラー４の左右の振り幅を第一の振り幅から第二の振り幅に調節して補正画像の投影が可能となるので、より確実に投影画像を補正することができる。 （もっと読む）