【課題】構成を簡略化しつつもミラーの傾き角及び駆動力を十分に確保する。
【解決手段】第一の可動電極群の中の少なくとも一つをそれに近接した固定電極よりも上方に配置し、第一の可動電極群の残りの少なくとも一つをそれに近接した固定電極よりも下方に配置すると共に、第二の可動電極群の中の少なくとも一つをそれに近接した固定電極よりも上方に配置し、第二の可動電極群の残りの少なくとも一つをそれに近接した固定電極よりも下方に配置したマイクロミラーを提供する。 （もっと読む）

【課題】光源から射出される光ビームの出力を安定させて光ビームを被走査面上に走査させる。
【解決手段】走査レンズ系６６が有する２つのレンズ面のうち偏向器６５に最も近い最近接レンズ面ＲＳ1がパワーを有している。また、可動部材を静止させた状態で偏向ミラー面６５１により偏向される光ビームの主光線（第１主光線）ＰＲと走査レンズ系６６の光軸ＯＡとが主走査断面において互いに平行で且つ離間している。このため、静止状態の偏向ミラー面６５１により偏向された光ビームが最近接レンズ面ＲＳ1に入射する角度はゼロ以外となる。したがって、最近接レンズ面ＲＳ1で発生するゴースト光がレーザ光源６２に戻るのを確実に防止することができ、レーザ光源６２から射出される光ビームの出力を安定化することができる。 （もっと読む）

【課題】比較的軽量な複数の可動板でもって比較的大きな光偏向素子と同等な機能を遂行できて、光偏向素子の歪みを小さくすることができる光偏向器を提供する。
【解決手段】光偏向器は、平行に設けられた複数のねじり振動軸102、106の回りに夫々揺動振動可能に支持された複数の可動板103、105と、可動板103、105と一体的に揺動振動する様に複数の可動板103、105上に夫々設けられた光偏向素子（位相シフト板104）を有する。更に、可動板の振動振れ角に応じて、光偏向素子（位相シフト板104）を他の光偏向素子（可動板105）と平行状態を保ちつつねじり振動軸102、106と角度を成す方向に移動して、複数の光偏向素子（位相シフト板104、可動板105）からの光波間の位相関係を調整する位相調整手段を備える。 （もっと読む）

【課題】振動する偏向ミラー面によって主走査方向に光ビームを被走査面上に走査させる光走査装置および該装置を装備する画像形成装置において、偏向ミラー面の振動中心を高精度に調整して光ビームの走査性を向上させる。
【解決手段】積層圧電アクチュエータ部６５９ｄに対して駆動電圧が周期的に変動するミラー駆動信号が印加されると、該信号に応じて積層圧電アクチュエータ部６５９ｄが伸縮し、その結果、可動部材６５６が揺動軸ＡＸを中心として揺動する。また、オフセット電圧をミラー駆動信号に加えた信号を積層圧電アクチュエータ部６５９ｄに与えて偏向ミラー面６５１の振動中心を調整することが可能となっている。したがって、オフセット電圧に相当する量（補正角度量α）だけ偏向ミラー面６５１の振動中心を補正前振動中心から高精度に変位させることができ、光ビームの走査性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】 往路光ビームによるライン潜像書込と復路光ビームによるライン潜像書込とを交互に行う画像形成方法において、両ライン潜像の書込位置の相対的な位置関係を調整して高品質な画像を形成する。
【解決手段】 書込処理（ステップＳ３〜Ｓ９）を実行する前に書込タイミング補正処理（ステップＳ２）が実行される。この補正処理（ステップＳ２）では、光ビームを往復走査させながら第１検知信号が出力されてから復路側待機時間Ｔw2が経過し、さらに書込時間が経過した時点から復路光ビームをセンサが検知して第２検知信号が出力されるまでのセンサ到達時間が求められる。そして、往路側待機時間Ｔw1をセンサ到達時間Ｔbに変更して補正する。そして、補正された往路側待機時間Ｔw1に基づき往路ライン潜像の書込開始位置が調整されてライン潜像の相対的な位置ずれが解消される。 （もっと読む）

【課題】１つのセンサにより往路書込と復路書込とを行う画像形成方法において、両ライン潜像の書込位置の相対的な位置関係を調整して高品質な画像を形成する。
【解決手段】書込処理（ステップＳ３〜Ｓ９）を実行する前に書込タイミング補正処理（ステップＳ２）が実行される。この補正処理（ステップＳ２）では、光ビームを往復走査させながら第１検知信号が出力されてから復路側待機時間Ｔw2が経過し、さらに書込時間が経過した時点から復路光ビームをセンサが検知して第２検知信号が出力されるまでのセンサ到達時間が求められる。そして、該センサ到達時間と往路側待機時間Ｔw1とがほぼ一致するように復路側待機時間Ｔw2が補正される。このように復路側待機時間Ｔw2が補正されることで復路ライン潜像の書込開始位置が調整されてライン潜像の相対的な位置ずれが解消される。 （もっと読む）

【課題】 可動部を低速で安定に回動動作できるアクチュエータを提供する。
【解決手段】 剛性の高い材料で形成した可動部４の軸片部５Ｂを高剛性の樹脂製の軸部材５Ａに貫通させて軸部５を形成し、この軸部５を、枠状の下部ケース１に設けた軸受部３で軸支し、下部ケース１に対して可動部４を回動可能に軸支する。可動部４には、駆動コイル６を設け、永久磁石１１，１２の静磁界と通電により発生する駆動コイル６の磁界との相互作用により可動部４に電磁力を作用させて可動部４を回動駆動する。軸部材５Ａの周面には、板バネ８，８の端部を取付け、可動部４が回動したときに可動部４の回動方向と反対方向の復元力を軸部５に対して作用させる。 （もっと読む）

【課題】 可動部の周波数を自由に変更することで、可動部を一定の回転角速度で可動させ、副走査方向における分解能が均一となる光スキャナ素子を得る。
【解決手段】 弾性変位可能に支持され双方向に変位する可動部４５を備え、この可動部４５が変調機能を有する光スキャナ素子１００であって、可動部４５へ物理的作用力を加える駆動源を複数有し、この駆動源により可動部４５を第１の方向へ変位駆動させるに際し、可動部４５が第１の方向に遷移している間に、駆動源により可動部４５に対し第１の方向若しくは第１の方向と異なる第２の方向にさらに物理的作用力が加えられ、この動作を繰り返すことで可動部４５が一定の回転角速度で可動するよう構成した。 （もっと読む）

【課題】 静電駆動型のマイクロミラーは、揺動角度を大きくするためには、印加する周期的な電圧の最大電圧を大きくする必要がある。しかし、最大電圧を大きくする事は、電極間の耐圧や電源の耐圧を高くする必要があり、装置の大型化につながるという課題があった。
【解決手段】 駆動電圧として印加する周期的電圧が最大点から最小点に向かう期間に、別途電圧を印加する。この期間の電極間の電圧を下げる事で、揺動角度がゼロになる付近での静電引力を低くし、揺動運動への抵抗を低くすることで、ミラー部の揺動角度は大きくなる。本発明により周期電圧の最大値を大きくすることなく、揺動角度を大きくできる。 （もっと読む）

【課題】 共振型の振動ミラーにより走査される光ビームを光検出センサなどの検出手段で検出し、該検出結果に基づき振動ミラーを制御する光走査装置において、振動ミラーが破壊されるのを未然に防止する。
【解決手段】 光ビームが有効走査領域を走査する前後で走査光ビームが第１および第２光検出センサにより検出され、これらの検出結果により有効走査領域を光ビームが走査する時間Ｔp1，Ｔp2が計測される。そして、その計測時間Ｔp1，Ｔp2に基づき有効走査領域を走査した直後の光ビームの最大振幅角θmaxが予測され、該予想結果θmaxが破壊限界角θth以上となっている際には、直ちに偏向器の駆動が停止される。 （もっと読む）

【課題】 複数の被走査面を交互に走査しても、記録速度を落とすことなく、また、コストが低減され、組立効率を向上することができる光走査装置及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】 第１のねじり梁を回転軸とする可動ミラーが、画像情報に応じて変調する発光源からのビームを往復走査し、前記可動ミラーによって走査されたビームを被走査面に結像する光走査装置であって、前記第１のねじり梁と直交する第２のねじり梁を回転軸とし、前記第１のねじり梁を介して前記可動ミラーを可動板で軸支し、前記発光手段からのビームの、副走査方向における偏向角を、前記可動ミラーの往走査時と復走査時とで切り換えて、複数の被走査面を交互に画像を書き込むことにより、記録速度を落とすことなく、また、コストが低減され、組立効率を向上することができる。 （もっと読む）

【課題】ビーム光を用いて明るさむらが少ない高品質な大型画像を表示することが可能な画像表示装置等を提供すること。
【解決手段】画像信号に応じたビーム光により表示領域に画像を表示する画像表示装置１００であって、走査領域において光源部からのビーム光を第１の方向と、第１の方向に略直交する第２の方向へ走査可能に設けられた複数の光走査部１０１、１０２、１０３を有し、複数の光走査部１０１、１０２、１０３は、走査領域を第１の方向に並列させるように配置され、走査領域のうち第１の方向における略中央部分に位置する走査中央領域を合成させることにより表示領域を形成させる。 （もっと読む）

【課題】 反射板を広い角度範囲に回動でき、また、薄く形成できるようにする。
【解決手段】 固定部２１の枠内の一端側に第１駆動板２５を駆動軸２６、２７を介して回動自在に支持し、固定部２１の枠内の他端側に第２駆動板３０を駆動軸３１、３２を介して回動自在に支持し、第１駆動板２５の腕部２５ｂ、２５ｃの先端と反射板３５との間、第２駆動板３０の腕部３０ｂ、３０ｃの先端と反射板３５の間を、反射板軸３６、３７の各連結部３６ｂ、３６ｃ、３７ｂ、３７ｃを介してそれぞれ連結し、第１駆動板２５と第２駆動板３０を回動駆動して、反射板３５の角度を変化させる。 （もっと読む）

【課題】 ガルバノメータやテーブル駆動機構を用い、スキャン距離や加工パターンに影響されずに、小型、低コストで高速なスキャンが可能なレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】 ガルバノメータ１４を少なくとも２軸備え、レーザ発振器１０から第１のガルバノミラー１５ａおよび第２のガルバノミラー１５ｂを経て被加工物１７に至る光経路、ならびに第１のガルバノメータおよび第２のガルバノメータの配置、のうちの少なくとも１つにおいて、第１および第２のガルバノミラーのレーザビームが当たる部分の面積が小さくなるように、ビーム被照射サイズ抑制機構が設けられ、ビーム被照射サイズ抑制機構は、２つのガルバノミラーでのレーザビームの入射角および反射角を、第１および第２のガルバノミラーともに４５ｄｅｇ以下となるようにする。 （もっと読む）

【課題】 反射面の平坦性を維持し、光偏向器が実装されている実装部材から光偏向器の特性（反射面の平坦性、共振周波数、機械的な振動増幅比、破損）への影響を低減する構造を提案する。
【解決手段】 支持体は、前記第１揺動可動子と、１本の支持体ねじりバネのみで支持体ねじり軸を中心に、ねじり振動自在に弾性支持されている。 （もっと読む）

【課題】 温度が変化しても常に一定の振れ角でマイクロミラーを揺動させることが可能なマイクロミラースキャナを提供する。
【解決手段】 本発明に係るマイクロスキャナ１０は、揺動可能に支持されたマイクロミラー及びこれを静電力を利用して揺動駆動するための電極を具備するマイクロミラーデバイス１と、前記電極間に交流電圧を印加する交流電源２と、マイクロミラーに向けて照射したレーザ光Ｌの反射光Ｌ’がマイクロミラーの揺動に応じて走査される所定位置に配設された光検出素子３と、光検出素子によって反射光が検出されたタイミングと予め定めたタイミングとのずれ量を検出し、当該検出したずれ量をマイクロミラーの振れ角変動量に換算し、当該換算した振れ角変動量を補正するように前記交流電圧の電圧値を調整する演算制御装置４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】連結部に支えられたミラー基板端面から延長された櫛歯電極が大きな振れ角で高速動作させたときでも変形が発生しない。
【解決手段】ねじり梁１０２、１０３が結合されている側のミラー基板１０１側面の一部を分岐して、ミラー基板端面から延長された櫛歯型電極１０５との間を連結部１２１、１２２で連結する。この連結部１２１、１２２とミラー基板側面が補強部１２３、１２４によって結合される。連結部１２１、１２２が補強されることにより、振動時の櫛歯電極延長部の変形を抑える。 （もっと読む）

【課題】部材の加工精度のばらつきに起因して発生するミラーの共振周波数のばらつきを抑制し、ミラーの振れ角を一定にする。
【解決手段】ミラー部１の側面に慣性モーメントの変動を調整する凹凸部２０を設ける。
加工時に全体にオーバーエッチングがおこり、梁３の幅が細くなり、バネ定数が設計値ＫよりΔＫだけ小さくなる。また、ミラー１が全体に小さくなり、慣性モーメントが設計値ＩよりΔＩだけ小さくなるが、Ｋ／Ｉ＝（Ｋ＋ΔＫ）／（Ｉ＋ΔＩ）の関係がほぼ維持され、共振周波数は殆ど変化しない。 （もっと読む）

【課題】大きな振れ角での駆動が可能なアクチュエータを提供すること。
【解決手段】各支持部３と、各支持部３に支持される駆動部１、１１および可動部２と、
一対の第１の弾性連結部４、４と、一対の第２の弾性連結部５、５とを有し、交流電圧を印加することにより、駆動部１、１１が、回動中心軸４１を中心に回動し、それに伴い可動部２が回動するアクチュエータ１００であって、第２の弾性連結部５、５に対して、第１の弾性連結部４、４の、回動中心軸４１まわりのねじり剛性が大きいことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は圧電駆動型のアクチュエータおよびこれを用いた光線掃引装置に関し、光線掃引装置を小型化することを目的とする。
【解決手段】光源１から発せられた光線２を掃引させる圧電アクチュエータ６を、支持体７と、一端がこの支持体７に支持された第１のアーム８と、この第１のアーム８の他端に支持されるとともに第１のアーム８の一端から他端に至る延出方向とは逆向きに延出された第２のアーム９と、第１のアーム８に圧電薄膜１１からなる圧電駆動電極１０を設けた構成としたのである。 （もっと読む）