【課題】ＭＥＭＳミラーの必要径を最小限に抑えることができる光走査装置を提供する。
【解決手段】レーザー光源２５と、レーザー光源２５から出射される光ビームＬを偏向するＭＥＭＳミラーと、ＭＥＭＳミラーによって偏向された光ビームＬ１を感光ドラム（被走査面）２ａ上に結像させる走査レンズ３０，３１と、レーザー光源２５から出射してＭＥＭＳミラーによって偏向された光ビームＬ２を検知するＢＤセンサ（光検知素子）３２を備えた光走査装置１３において、ＭＥＭＳミラーからＢＤセンサ３２に向かう光路Ａをレーザー光源２５からＭＥＭＳミラーに向かう光路Ｂと走査領域Ｒで囲まれる領域外に配置するとともに、走査領域Ｒに対して光路Ｂと同側に配置し、光路Ａが設けられた側を書出側として感光ドラム（被走査面）２ａを片側走査するよう構成する。 （もっと読む）

【課題】センサ配線のノイズを低減し、ミラーの傾きを高精度に検出することが可能な光走査装置及び光走査制御装置を提供することを目的としている。
【解決手段】ミラー及び前記ミラー支持部を挟むように対をなして設けられた第１の駆動梁と、第１の駆動梁の片側を前記捻れ梁と連結する連結梁と、連結梁上に形成されており、第１の駆動梁に駆動電圧が印加されて前記ミラーが揺動しているとき、捻れ梁の軸周りの揺動による連結梁の変位を検出する第１の圧電センサを有し、第１の圧電センサ手段は、上部電極配線がミラー及びミラー支持部を挟む一方の第１の駆動梁に向かって引き出され、下部電極配線がミラー及びミラー支持部を挟む他方の第１の駆動梁に向かって引き出される。 （もっと読む）

【課題】光源からの出力エネルギーを増大させても、反射鏡の構造に弊害が生じるのを防止でき、その駆動条件に悪影響が及ぶのを防止できるようにする。
【解決手段】ミラー駆動制御部７は、第１LUT保持部１９から微小ミラー１の温度変化に係わる過去の履歴データを読み出す。読み出した過去の履歴データに基づき、現時点での微小ミラー１の温度を推定する。推定した微小ミラー１の温度を、現時点での微小ミラー１の温度P tempとする。P tempによって、微小ミラー１の水平（H）方向の振動（揺動）条件、垂直（V）方向の振動（揺動）条件が変更される。 （もっと読む）

【課題】エネルギー消費の小さいマイクロミラー用の制御装置および制御方法を提供する。
【解決手段】第１の傾斜軸を中心にするマイクロミラー（２０）の傾斜運動を符号化する第１の周波数（ｆ_ｈ）の第１の制御信号（Ｓ４）を形成するステップと、前記第１の傾斜軸に対して垂直の第２の傾斜軸を中心にする前記マイクロミラー（２０）の傾斜運動を符号化する、前記第１の周波数（ｆ_ｈ）よりも低い第２の周波数（ｆ_ｖ）の第２の制御信号（Ｓ２、Ｓ３）を形成するステップと、前記第２の制御信号（Ｓ２、Ｓ３）を、当該第２の制御信号（Ｓ２、Ｓ３）を前記第１の周波数によりバイナリ変調することにより変調するステップと、前記マイクロミラー（２０）の力入力素子（２１、２２、２３、２４）を、前記変調された第２の制御信号（Ｓ５）と前記第１の制御信号（Ｓ４）とで制御するステップと、を有するマイクロミラー（２０）の制御方法。 （もっと読む）

【課題】 反射面を揺動するときの回転角を減少させることなく、反射面の揺動を検知できる光偏向器を提供する。
【解決手段】 光偏向器１は、反射部２を支持する第１支持部４と、これを支持する第２支持部６と、一端が第１支持部４に、他端が第２支持部６にそれぞれ連結され、圧電駆動により第１支持部４を第２支持部６に対して第２軸Ｘ周りに揺動させる第２圧電アクチュエータ５１，５２とを備える。第２圧電アクチュエータ５１，５２の圧電駆動により、第２支持部６に伝達される振動を検知する検知部７１，７２が第２支持部６に配置される。 （もっと読む）

【課題】ミラー部の傾向量を大きくできる光走査装置及びミラー駆動装置を提供する。
【解決手段】異なる２方向に傾向駆動するミラー部３と、電気機械変換素子部と、電気機械変換素子部で発生する変位をミラー部３の傾向に伝達する弾性変形部１２と、を一体に形成し、電気機械変換素子部は、正電極と負電極で挟まれた電気機械変換素子層を複数層積層して構成され、正電極と負電極とが対向していない非活性部１７Ａ、１７Ｂを固定枠４に固定した構成の光走査装置２とし、この光走査装置２を用いたミラー駆動装置１とした。 （もっと読む）

【課題】光スキャナの走査精度を向上させることが可能な光走査装置を提供する。
【解決手段】この画像投影装置１００（光走査装置）は、水平方向の共振モードを２つ有する光スキャナ１０と、この光スキャナ１０を駆動する駆動装置とを備えている。駆動装置は、２つの共振モードのいずれか一方を選択して、選択した共振モードで光スキャナ１０を水平方向に駆動する。 （もっと読む）

【課題】消費電力を抑えることができる表示装置を提供すること。
【解決手段】表示装置１は、光を出射する光出射部３と、光出射部３から出射した光を反射させる光反射部４１１ｅ、４２１ｅが回動中心軸まわりに回動可能に設けられ、かつ、表示面９１上にて、光反射部４１１ｅ、４２１ｅで反射した光を水平方向に走査するとともに垂直方向に走査する光走査部４と、光反射部４１１ｅ、４２１ｅの回動の振幅を変更するとともに、光出射部３から出射される単位時間当たりの光量を調整する作動制御装置５とを有し、作動制御装置５が光反射部４１１ｅの回動の振幅を変更することにより、表示面９１の第１の領域に光を走査する第１の状態と、表示面９１の第１の領域と第１の領域に隣接する第２の領域とに光を走査する第２の状態とを切り換える。 （もっと読む）

【課題】消費電力を抑えることができる表示装置を提供すること。
【解決手段】表示装置１は、光を出射する光出射部３と、光出射部３から出射した光を反射させる光反射部４１１ｅ、４２１ｅが回動中心軸まわりに回動可能に設けられ、かつ、表示面９１上にて、光反射部４１１ｅ、４２１ｅで反射した光を水平方向に走査するとともに垂直方向に走査する光走査部４と、光反射部４１１ｅ、４２１ｅの回動の振幅を変更する作動制御装置５とを有し、作動制御装置５が光反射部４１１ｅの回動の振幅を変更することにより、表示面９１の第１の領域に光を走査する第１の状態と、表示面９１の第１の領域と第１の領域と異なる第２の領域とに光を走査する第２の状態とを切り換える。 （もっと読む）

【課題】製造コストが小さく、信頼性が高い光走査装置を提供する。
【解決手段】走査部１１は、２軸方向に揺動することにより光を走査する。梁部１２は、走査部１１が第１の方向の揺動可能なように、走査部１１を支持する。可動支持部１５は、梁部１２を支持する。駆動部１４は、走査部１１を第１の方向に揺動させるように駆動する。ワイヤ１７は、可動支持部１５が第１の方向と直交する第２の方向の揺動可能なように、一端側において可動支持部１５を支持し、駆動部１４と電気的に接続する。導電性材料３１は、ワイヤ１７の一端側と可動支持部１５とを固定する。固定支持部２１は、ワイヤ１７の他端側においてワイヤ１７を支持する。 （もっと読む）

【課題】映像投影に適した周波数を決めることができる電磁波の走査方法、映像投影装置および画像取得装置を提供すること。
【解決手段】電磁波の向きを変える偏向反射器２は、振動する独立した第一偏向方向xと第二の偏向方向yに電磁波を走査させる際、第二の偏向方向の分解能をY、走査領域全体の走査が完了するフレームレートをFとした時、第一の偏向周波数ｆ_xを、
【数０１】


としている。 （もっと読む）

【課題】光を反射する可動板の最大振れ角を変更しても、当該最大振れ角の検出精度を維持できる光走査装置を提供する。
【解決手段】光走査装置１は、板状体で構成され一方の面に設けられ表示光ＬＬ”を反射する光反射部３１１ｅを有し回動中心軸Ｊ１回りに回動し最大振れ角の大きさが可変である可動板３１１ａと、可動板３１１ａが最大振れ角で回動していることを検出する回動検出手段２と、を備えている。回動検出手段２は、光反射部３１１ｅに向かってレーザー光ＳＳを照射する光源２１と、光源２１からのレーザー光ＳＳが光反射部３１１ｅで反射した反射光を受ける受光部２２と、可動板３１１ａの最大振れ角に応じて光源２１の位置を変更する変位駆動部とを有している。 （もっと読む）

【課題】ミラーの走査角度の検出精度を向上させた２次元走査の光走査装置を提供する。
【解決手段】この光走査装置１０は、互いに異なる軸方向を有するミラー軸部１６および枠軸部１５と、ミラー軸部１６の回動によって回動するとともに、枠軸部１５の回動によって回動するミラー部１１と、ミラー部１１およびミラー軸部１６を囲み、枠軸部１５の回動によって回動する可動枠部１４と、枠軸部１５を介して可動枠部１４を振動させることで、ミラー軸部１６および枠軸部１５を中心軸としてミラー部１１を駆動させる駆動部１３とを備えている。そして、枠軸部１５の軸上であって、ミラー軸部１６の回動に対して逆位相となる対称な位置に、可動枠部１４の角度を検出する第１角度検出部１８ａおよび第２角度検出部１８ｂが設けられている。 （もっと読む）

【課題】ミラーの回動軸を支持する軸受の偏摩耗に起因する加工精度の低下を極力抑えることができるレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】コントローラは入力した印字データを基に座標データを作成し、座標データをガルバノ駆動データとしてヘッドユニットに送信してガルバノスキャナを制御する。このとき座標データを使用座標データとしてメモリに記憶する。非印字時期（例えば電源投入時）になると、使用座標データをメモリから読み出す（Ｓ１１）。使用座標データを基にガルバノミラーの回動軸を支持するボールベアリングを構成するボールの転動接触していない未使用領域データ（転動接触回数を度数とする度数分布曲線データ）を作成する（Ｓ１２）。そして、未使用領域を基にリフレッシュ用のガルバノ駆動データを作成し（Ｓ２３）、ガルバノ駆動データを基にガルバノモータを駆動させるリフレッシュ動作を行う（Ｓ２４）。 （もっと読む）

【課題】３倍波重畳振動を行うＭＥＭＳミラーを用いても、安価な構成で各振幅と位相差の誤差を高精度にモニターして補償制御を行うことによって高い走査性能を確保することができる光走査装置を提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳミラー２８は次式：θ（ｔ）＝Ａ_１ｓｉｎωｔ＋Ａ_３ｓｉｎ（３ωｔ＋φ）ここに、Ａ_１，Ａ_３：偏向角の振幅ω：角周波数ｔ：時間で表される偏向角θ（ｔ）で光ビームを偏向走査し、往復走査の何れにおいても偏向角θ（ｔ）が定められた角度θ_１，θ_２に達したときに信号を発生するＢＤセンサー（信号発生器）３３，３４を配置し、角度θ_１とθ_２は絶対値が互いに異なり、且つ、何れか一方の絶対値がＡ_１√３／２に略等しく、前記ＢＤセンサー３３，３４からの信号発生間隔を測定し、その測定結果に基づいてＡ_１,Ａ_３,φを調整制御する。 （もっと読む）

【課題】ミラーにおける反射面の平面精度の低下を抑制しミラーの回転角度を検出できる。
【解決手段】ミラー１２とトーションバースプリング１３との接続部分の近傍で検出部材１６ａ、１６ｂの固定端がミラー１２の端部の一部に接続される。各検出部材は片持ち状の梁の片面に圧電部材１６−１が積層され形成される。この各検出部材は、接続部分Ｃにおいて固定端１６−４によりミラー１２の一部の端部に接続されている。この各検出部材はミラー１２の回転軸と略直交する方向に延びている。ミラー１２が揺動すると固定端１６−４を介して検出部材１６の自由端がミラーの揺動による慣性力を受けて各検出部材１６ａ、１６ｂが揺動し圧電部材１６−１が伸縮する。圧電部材１６−１の上下面に電位差を生じこの電位差はミラー１２の変形とある一定の相関をもっている。よって、電位差信号を演算することでミラー１２の回転角度を検出することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】画像の描画を阻害せず、水平走査用ミラーの振れ角を精度良く検知することのできる画像形成装置を提供する。
【解決手段】画像形成装置１は、描画用レーザー光を射出する描画用光源ユニットと、描画用レーザー光を投影面に対して第１方向に走査するアクチュエーター４１と、アクチュエーター４１によって走査された描画用レーザー光ＬＬを第２方向に走査するガルバノミラーと、第１方向走査部が有する光反射面の振れ角を検出する検出手段とを有している。検出手段は、描画用レーザー光とは異なる光路でアクチュエーター４１の第１光反射面４１８に向けて検出用レーザー光ＬＬ’を射出する検出用光源ユニット５１と、アクチュエーター４１の第１光反射面４１８が所定の振れ角のときに第１光反射面４１８によって反射された検出用レーザー光ＬＬ’を受光する受光素子５２とを有している。 （もっと読む）

【課題】受光素子が使えないオープンシステムでも使用可能で、且つ、スキャンミラー近傍の磁石による検知を不要として、低コストに実現可能な偏向反射装置補正システムを提供する。
【解決手段】本発明の偏向反射装置補正システム４０は、ミラー１３を略中心部に保持してフレーム部分を構成する振動子１８、及び振動子１８に形成され、振動子１８を主走査方向、又は／及び、副走査方向に偏向させる駆動素子２、３、６、７、１０、１１並びに振動子１８の偏向量に応じた電圧を発生する検知素子１、４、５、８、９、１２から成る複数の圧電素子を備えた圧電アクチュエータ駆動検知素子と、各駆動素子に電圧を印加する駆動部５１と、各検知素子により検知した振動子１８の偏向量を検知する検知部５２と、検知素子に直流バイアス電圧Ｖｄｃを印加する直流電源１３と、直流電源１３の出力電圧を制御する直流制御部１４と、を備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】トーションバー部分に余計なダメージを与えることなくアクチュエータの立上げ動作を円滑に行えるアクチュエータ駆動制御装置を提供する。
【解決手段】電源ＯＮにより所定電流値の初期駆動電流を、その周波数を掃引して駆動コイルに供給し、振れ角センサの検出出力に基づいて可動部の振れ角が最大となる周波数を設定し（Ｓ１〜Ｓ３）、設定した可動部振れ角が最大となる周波数が可動部の共振周波数と一致するか否かを判定し、一致するよう駆動電流周波数を調整しながら振れ角センサの検出出力に基づいて可動部の振れ角が目標値になるよう駆動コイルに供給する駆動電流値を制御する（Ｓ４〜Ｓ９）。 （もっと読む）

【課題】製造プロセスが簡便で、安定した制御が可能な光走査素子を提供する。
【解決手段】梁部１３ａ，１３ｂは、光を反射するミラー部１４がＸ軸方向の揺動可能なように、ミラー部１４を支持する。アーム部１２ａ，１２ｂは、梁部１３ａ，１３ｂを支持し、駆動されることによりミラー部１４をＸ軸方向に揺動させる。フレーム部１１は、アーム部１２ａ，１２ｂを支持する。駆動用圧電膜２１ａ，２１ｂは、アーム部１２ａ，１２ｂのＸ軸方向における一端側に設けられ、変位することによりアーム部１２ａ，１２ｂを駆動する。検出用圧電膜２２ａ，２２ｂは、アーム部１２ａ，１２ｂのＸ軸方向における他端側に設けられ、変位されることによりアーム部１２ａ，１２ｂの駆動を検出する。駆動によるアーム部１２ａ，１２ｂの他端側の振幅は、一端側の振幅より小さい。 （もっと読む）