【課題】 アクチュエータの温度が変化した場合であっても、高速かつ高精度に移動体を位置決めすることができる移動体の位置決め装置及びこのような移動体の位置決め制御装置により移動体の位置を制御するレーザ加工装置を提供すること。
【解決手段】 電流制御回路の内部パラメータ推定器１７は、電流制御回路７がロータリ・アクチュエータ１のコイル１ｃに印加するコイル印加電圧信号Ｖｄと電流検出信号ｉｄとから推定トルク定数１８と推定コイル抵抗１９を求める。そして、温度推定器２０により、推定コイル抵抗値１９からコイル１ｃの温度を推定し、ねじり振動周波数の修正量ΔΩ１を求めてねじり振動周波数Ω１を補正すると共に、推定トルク定数１８を用いてループゲイン１０の値を修正する。 （もっと読む）

【課題】光の走査を安定して行うことが可能な光走査装置等を提供すること。
【解決手段】周期的に反射ミラー１０４を変位させることにより光を走査させる光走査装置１２０であって、反射ミラー１０４が変位する振幅を検出する検出部４０６と、反射ミラー１０４を駆動する周波数を制御する駆動周波数制御部４１１と、反射ミラー１０４を駆動する電圧又は電流を制御する駆動電圧／電流制御部４１２と、反射ミラー１０４の駆動を制御する駆動周波数制御部４１１と駆動電圧／電流制御部４１２とを切り換える切換部４１８と、を有し、切換部４１８は、目標値と、検出部４０６で検出された振幅との差が所定値以上である場合に、駆動周波数制御部４１１により反射ミラー１０４の駆動を制御し、目標値と、振幅との差が所定値より小さい場合に、駆動電圧／電流制御部４１２により反射ミラー１０４の駆動を制御するように切り換える。 （もっと読む）

【課題】ミラーの共振周波数のばらつきを調節し、ミラーの振れ角を一定にする。
【解決手段】光スキャナ１０用のステム２０には、調整用基板３０を設置するために凹部２２を形成する。凹部２２にトーションバー３と固着したとき、トーションバー３のバネとして働く部分が所定の長さになるように、調整用基板３０をあらかじめダイボンディングする。また、ステム２０に光スキャナ１０をダイボンディングするとき、調整用基板３０の上面にも接着剤を塗布しておく。これにより、光スキャナ１０のトーションバー３が所定の長さになり、共振周波数が調整される。 （もっと読む）

【課題】 可動部の上下方向の移動を規制してトーションバー等の破損を防止するための規制部を、適切な位置に容易に配置できるようにしたプレーナ型アクチュエータ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 可動部３と、可動部３を固定部１に対して回動可能に軸支するトーションバー２とを、半導体基板に一体形成し、可動部３をトーションバー軸回りに駆動する駆動コイル４及び永久磁石６Ａ，６Ｂからなる駆動手段を備えるプレーナ型アクチュエータにおいて、トーションバー２部分の下方に、可動部３の上下方向の移動を規制する規制部７を、固定部１と一体形成した。 （もっと読む）

【課題】 振動する偏向ミラー面により光源からの光ビームを走査させる潜像形成部を各トナー色ごとに装備した装置において、常に均一な濃度で画像を形成する。
【解決手段】 いずれの色成分についても、振動する偏向ミラー面によりレーザー光源からの光ビームを偏向させて主走査方向に往復走査させることが可能となっている。しかしながら、ここでは、主走査方向の第１方向（＋Ｘ）に走査される光ビームＳＬのみが感光体の有効画像領域に照射されて潜像が形成される。そして、該潜像が現像されてトナー像が形成される。このように第１方向（＋Ｘ）に走査される光ビームＳＬのみを用いて画像形成を行っているため、画像の種類にかかわらず均一な濃度で画像を形成することができる。また、すべての色成分について、光ビームＳＬの走査方向を第１方向（＋Ｘ）に統一しているため、各色成分のトナー像の間においても、画像濃度を均一に保つことができる。 （もっと読む）

【課題】 MEMSミラースキャナにおいて、ポリゴンミラースキャナと同等以上の高速スキャニングを実現でき、例えば、レーザープリンタ用途で高精度スキャニングを実現することを目的とし、特にスキャニングミラー自体の形状、寸法などの最適化を図った構成のMEMSミラースキャナの提供。
【解決手段】 入射角が浅く(小さく)なるほどかかる光経路の範囲を大きくする必要があり、光の入射角度が出射対象表面の直交方向に対して25°〜90°の範囲で、スキャニングミラーの揺動軸方向長さbと揺動軸に直交する方向長さaの比がa≧b,a:b=(1.0〜2.0):1) または(a<b,a:b=1:(1.001〜2)が必要であり、ミラー周辺の空間を入射側が小さく、出射側が大きくし、光透過窓は当該ミラーに対して入出射側で非対称の形状とすることで、高精度化と小型化が達成できる。 （もっと読む）

【課題】 MEMSミラースキャナにおいて、ポリゴンミラースキャナと同等以上の高速スキャニングを実現でき、例えば、レーザープリンタ用途で高精度スキャニングを実現することを目的とし、特にスキャニングミラー自体の形状、寸法などの最適化を図った構成のMEMSミラースキャナの提供。
【解決手段】 入射角が浅く(小さく)なるほどかかる光経路の範囲を大きくする必要があり、光の入射角度が出射対象表面の直交方向に対して25°〜90°の範囲で、スキャニングミラーの揺動軸方向長さYと揺動軸に直交する方向長さXの比が1:1.1〜1:1.9が必要であり、ミラー周辺の空間を入射側が小さく、出射側が大きくし、光透過窓は当該ミラーに対して入出射側で非対称の形状とすることで、高精度化と小型化が達成できる。 （もっと読む）

デバイスは、互いに噛み合わされた関係で半導体ウェハ上に形成され、深掘反応性イオンエッチングによって解放される。ＭＥＭＳスキャナは周囲を取り囲むフレームを有さずに形成される。取付パッドは、ねじりアームから外向きに延びる。隣接するＭＥＭＳスキャナは、その互いに噛み合わされた取付パッドを備えて形成されるので、デバイスの周りに正多角形が形成されれば必ず１以上の隣接するデバイスの一部分とも交差する。ＭＥＭＳスキャナは、金属層、小さな半導体ブリッジ、または組み合わせによって、その輪郭内に保持されてもよい。
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広角度走査用のミラーがシリコン基板と複数の層から成っていて、そのシリコン基板が平坦で磨いた面の側とエッチングされて粗になった面の側から成り、かつ、その複数の層には反射性媒体の一層が含まれ、基板のセクションの平坦で磨いた面の上にその平坦な面の曲げ歪みが最小限になるように配置される。そのミラーの製造方法は以下のステップから成る：片側を事前決定された平坦度まで磨き、他の側を事前決定された粗さにエッチングすることによりシリコン・ウエハーを調製すること；その基板のセクションをその調製されたシリコン・ウエハーから事前決定された形状で肉眼で見える大きさのサイズに切断すること；及び、その平坦で磨いた表面の上に複数の層を付けること。
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