【課題】 平板状の可動板と、該可動板を回動可能に軸支する一対のトーションバーを有するプレーナ型アクチュエータであってミラー部以外での光の反射を低減する。
【解決手段】 平板状の可動板と、該可動板を回動可能に軸支する一対のトーションバーを有するプレーナ型アクチュエータであって、前記可動板に形成されたミラー部を有し、ミラー部以外の部分に反射防止膜を形成したプレーナ型アクチュエータとする。 （もっと読む）

【課題】
小型でありながらも高いバネ性能を有するヒンジ構造を提供すること。
【解決手段】
ヒンジ構造は、マイクロミラー装置における、少なくとも一つの回動軸周りに回動自在に構成された回動面と前記回動軸周りに非回動である非回動面との間に配設されるヒンジ構造であって、一本の線状体から構成され、一本の線状体は、第一つづら折り部と第二つづら折り部と結合部からなり、第一つづら折り部は、回動軸に平行な平行部が複数形成されるように連続して折り返され、最も外側に位置する一対の外側平行部のうち第一外側平行部は回動面に、第二外側平行部は結合部に結合され、第二つづら折り部は、回動軸に平行な平行部が複数形成されるように連続して折り返され、最も外側に位置する一対の外側平行部のうち、第三外側平行部は非回動面に、第四外側平行部は結合部に結合される構成にした。 （もっと読む）

【課題】
小型でありながらも高いバネ性能を有するヒンジ構造を提供すること。
【解決手段】
ヒンジ構造は、マイクロミラー装置における、少なくとも一つの回動軸周りに回動自在に構成された回動面と回動軸周りに非回動である非回動面との間に配設されるヒンジ構造であって、一端が回動面または非回動面に結合され、回動軸上をヒンジ構造の中心に向かって延出する二つの中央部と、回動軸と平行かつ所定幅の平行部が等間隔で複数形成されるように連続して折り返される四つのつづら折り部と、回動軸と直交する直交軸と平行な部分を有し、二つの中央部や四つのつづら折り部の端部をそれぞれ略直角に結合する複数の結合部と、を有し、四つのつづら折り部はそれぞれが回動軸および直交軸に対して略線対称な関係にあるように配設される構成にした。 （もっと読む）

【課題】 実体顕微鏡装置の視野をできるだけ遮らないように小型化することができ、しかも、非点収差を低減して高画質な画像を得る。
【解決手段】 光源と、該光源からの光を伝達する光伝達部材１７と、該光伝達部材１７により伝達された光を被検体に照射する装置本体１１と、被検体から装置本体１１および光伝達部材１７を介して戻る戻り光を検出する光検出器とを備え、装置本体１１に、該光伝達部材１７によって伝達された光を平行光にするコリメート光学系３６と、コリメート光学系３６から発せられた平行光を９０°より小さい偏向角度で偏向し、かつ、被検体において走査させる走査ミラー３０と、該走査ミラー３０によって走査された光を被検体に集光させる集光光学系と、該集光光学系と走査ミラー３０との間に配置される瞳投影光学系とが備えられている光走査型顕微鏡装置１を提供する。 （もっと読む）

本発明は、光源、変調器、および制御回路を１つのチップ上に組み込んだソリッドステート投影装置を指向する。例えば、投影装置は複数組のＶＣＳＥＬを含むことができ、各々がＭＥＭミラーのセットを伴い、制御回路に結合される。装置は、層を密閉し、傾斜させるため、様々なパイレックス（登録商標）層も含むことができる。装置はさらに、光源を伴う検出器を含むことができる。これらの検出器は、投影表面の形状および位置を決定し、ジェスチャ・インタフェースを構築して、プロクセルの操作性を決定する際に有用である。本発明は、画像の操作、ズームの形成、マスキング、反転像、位置決め、および台形補正などに装置を使用する方法にも関係がある。本発明は、投影ディスプレイ装置、携帯用ディスプレイ・装置、ヘッドアップ・ディスプレイ、網膜ディスプレイ、前面および背面投影ディスプレイ、その他のディスプレイ用として使用できる。
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【課題】 可動板とトーションバーの付け根付近でのエッチング不良を防止する。
【解決手段】 可動板１に形成された２層目コイル４ｂとトーションバー２に形成された引出し線１０ｂとの接続部１０ｃ角部周辺を被う絶縁膜１１ｂの形状を平面的に丸みを帯びた形状とする。絶縁膜１１ｂを形成する際には、形成しようとする絶縁膜１１ｂの形状に開口されたフォトマスクを用いて絶縁膜１１ｂとなるネガ型の感光性絶縁材料を紫外線露光する。即ち、フォトマスクに設けられた開口部の前記２層目コイル４ｂと引出し線１０ｂとの接続部１０ｃ角部に対応する部位は平面的に丸みを帯びているため、その部分での光（紫外線）の回り込みが抑制されて感光性レジストを所望のパターン形状にて正確に感光させることができる。 （もっと読む）

ＭＥＭＳは、基質材を使用しないでファイバーから作られる。装置は、ファイバーが基板のエッジに取り付けられる場所にのみ作ることが出来る（例えば、カンチレバー、ブリッジ）。動きは、弱い結合を有する複数のファイバー間の結合を調整することによって制御可能である（例えば、基礎部、先端、その中間）。駆動機構は、基礎部の加重（磁気、圧電、静電気）または先端の加重（磁気）を含む。光スキャナーを形成するために、ミラーがカンチレバーの自由端に形成される。 （もっと読む）

レーザープロジェクション装置（ＬＰＤ）に有用なスキャニングミラーが提供される。本発明によるスキャニングミラーは、スプリットヒンジによって互いに結合された可動反射領域およびベース領域を有する実質的に平面の構成要素を備える。基礎は、スプリットヒンジを経由して圧電素子の動きが可動反射領域へ伝達されるように、その間に延びる少なくとも１個の圧電素子によって、ベース領域に結合される。スキャニングミラーは、例えば、４個の圧電素子を有する。
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電子写真式プリンタは、光ビームを感光体上に走査させるよう動作可能なＭＥＭＳスキャナを備えた露光ユニットを含む。前記ＭＥＭＳスキャナは、一般に使用される回転ポリゴンスキャナの面の形状と類似した縦横比を有するミラーを含む。好適な実施例において前記走査ミラーは、回転軸に平行な方向に約７５０マイクロメートルの長さを有し、回転軸に直角な方向に約８ミリメートルの長さを有する。前記ＭＥＭＳスキャナは、約５ＫＨｚの周波数で、かつ約２０度の機械的片側振幅走査角で走査するよう動作可能である。
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MEMSスキャナ（１０２）のような、改善され、簡素化された駆動構想および構成を有するMEMS発振器である。駆動インパルスは、サポートアームを経てトルクの形態で発振部分に伝えられる。マルチ軸発振器のために、２以上の軸の駆動信号は、駆動回路によって重ね合わせられ、MEMS発振器に送られる。前記発振器はその軸の共振周波数に従って各軸で応答する。前記発振器はそのいくつかのあるいはすべての軸で共振的に駆動できる。改善された負荷分散は、結果として歪みを減少させる。簡素化した構造は、単一の運動体を使ってマルチ軸振動を提供する。他の構造は直接、複数の運動部分体を直接に動かす。他の構造は、１以上運動体からアクチュエータを不要とし、前記運動体は、それらのサポートアームで駆動される。
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共振ＭＥＭＳ走査システムは、その共振周波数でＭＥＭＳスキャナを動作させて、走査角を最大限にし、かつ消費電力を最小限にする。コントローラは、位相ロックループ、振幅サーボ制御ループ、および共振周波数サーボ制御ループを含む。マイクロプロセッサは、ループを制御し、起動のような状態の間オーバーライドを提供する。共振周波数は動的かつ熱的に調整されて、デバイスがより高いＱ値で操作されることが可能になる。位相ロックループはプレロック条件で動作して、より速い起動が可能になる。アイドルおよび起動の間、共振周波数は制御された開ループである。駆動電圧は、起動の間は高く設定されて、走査角の急速な増加が達成される。
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デバイスは、互いに噛み合わされた関係で半導体ウェハ上に形成され、深掘反応性イオンエッチングによって解放される。ＭＥＭＳスキャナは周囲を取り囲むフレームを有さずに形成される。取付パッドは、ねじりアームから外向きに延びる。隣接するＭＥＭＳスキャナは、その互いに噛み合わされた取付パッドを備えて形成されるので、デバイスの周りに正多角形が形成されれば必ず１以上の隣接するデバイスの一部分とも交差する。ＭＥＭＳスキャナは、金属層、小さな半導体ブリッジ、または組み合わせによって、その輪郭内に保持されてもよい。
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変調ライン像を発生させるライン像発生装置を備え湾曲表示面上に画像を表示させる表示装置において、そのライン像発生装置を、レーザ光源、直線型空間光変調器及び投射レンズから構成する。直線型空間光変調器は、レーザ光源にて発生した照射ビームを変調することによって、その照射ビームの一部次数の回折成分を変調ライン像として出射し、投射レンズはこの変調ライン像をライン像走査器へと送る。その光像が湾曲表示面の曲率中心付近に位置することとなるよう配置されたライン像走査器は、変調光ビームによる走査を繰り返すことで湾曲表示面上に二次元画像を形成する。
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電気力学的マイクロミラー配列素子は第１層と第２層を有する素子基板から成り、前期第１層上に配置された制御回路と、前記第２層上に配置された複数のマイクロミラーからなっている。そのようなマイクロミラー素子からなる配列素子が開示され、また、空間光変調器（ＳＬＭ）として使われる。配列素子は１次元と２次元の素子がある。マイクロミラー素子およびその素子からなる配列素子を製造する方法も開示される。この製造方法は、第１層上の制御回路を製作し、第２層上のマイクロミラーを製作することを含み、第１層および第２層からなる素子基板を提供する。 （もっと読む）

広角度走査用のミラーがシリコン基板と複数の層から成っていて、そのシリコン基板が平坦で磨いた面の側とエッチングされて粗になった面の側から成り、かつ、その複数の層には反射性媒体の一層が含まれ、基板のセクションの平坦で磨いた面の上にその平坦な面の曲げ歪みが最小限になるように配置される。そのミラーの製造方法は以下のステップから成る：片側を事前決定された平坦度まで磨き、他の側を事前決定された粗さにエッチングすることによりシリコン・ウエハーを調製すること；その基板のセクションをその調製されたシリコン・ウエハーから事前決定された形状で肉眼で見える大きさのサイズに切断すること；及び、その平坦で磨いた表面の上に複数の層を付けること。
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反射或いは屈折領域（１７）を有する可動部（１０）と、固定部（１４）と、前記可動部（１０）を固定部（１４）に接続（１３）し可動部（１０）のための回転軸（１２）を形成する手段と、回転を制御（１８）する手段とで出来たマイクロミラー又はマイクロレンズである。制御手段は軸（１２）のどちらの側にも配置した２以上のアクチュエータ（１９）を含み、それぞれに固定部（１４）の一部を形成する固定電極（２０）と、自由端（２１．１）と軸（１２）にほぼ平行で可動部（１０）から出現する被駆動アーム（２３）に接続された一端とを有する可動電極（２１）とが形成してある。可動電極（２１）は、アクチュエータ（１９）に電圧を印加したときにその自由端（２１．１）から固定電極（２０）に密着し、この密着は印加電圧の関数となる。光学系への応用分野がある。
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