【課題】 光の漏れ、もしくはノイズの発生を防ぐＣＷＤＭフィルタを提供する。
【解決手段】 少なくとも２つのファブリ・ペロットキャビティー構造を含む第１部分と、該第１部分上に高、低屈折率のフィルム層を交互に積層した複数層の非４分の１波長フィルム層構造を含む第２部分とによってＣＷＤＭフィルタを構成する。 （もっと読む）

【課題】 大きさの制限を受けることなく基板レスフィルタを製造することができる基板レスフィルタの製造方法を提供する。
【解決手段】 フラーレンからなる剥離層２０をガラス基板１０上に形成する。次に、剥離層２０の上にスパッタリングによって多層膜３０を形成する。その後、剥離層２０を介して多層膜３０が形成されたガラス基板１０を真空中で４００℃で２時間加熱する。その結果、剥離層２０を形成するフラーレンが昇華し、多層膜３０が基板１０から分離される。 （もっと読む）

【課題】 短時間で基板のない光学フィルタを製造することができる光学フィルタの製造方法を提供する。
【解決手段】 真空蒸着によってガラス基板１０上にＷＯ₃ からなる剥離層２０を形成した後、剥離層２０の上にスパッタリングによって光学フィルタ多層膜３０を形成する。光学フィルタ多層膜３０及び剥離層２０を積層方向へ切断した後、ＮａＯＨ水溶液に浸漬させて剥離層２０を溶解し、光学フィルタ多層膜チップ３０ａを得る。 （もっと読む）

入射光を異なる特性を有す第１の部分及び第２の部分に分離する光学分離フィルタ。この分離フィルタは、漏斗状構造体（Ｆ１）に構成される反射型フィルタ（ＦＲ）を有する。構造体（Ｆ１）の各々は、入射光を受ける入口領域（ＩＡ１）と、入口領域（ＩＡ１）よりも小さく反射した入射光（ＲＬ）を出口領域（ＯＡ１）に向けて集中させる出口領域（ＯＡ１）とを有する。構造体（Ｆ１）は、第１の特性（Ｃ１）を有する光をそれぞれの第１の出口領域（ＯＡ１）に向けて反射し、第２の特性（Ｃ２）を有する光をそれぞれの第２の出口領域（ＯＡ２）に向けて透過させるように構成された漏斗状構造体（Ｆ１）の第１のグループを有する。
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本発明は、堆積工程中に基板 (72)に形成された薄膜被覆の選択された光学的特性を光学的に監視し、それに応答した堆積工程を制御する方法及び装置に関する。
一面では、本システムは、基板搬送器(70)、監視点(71)、検出器、逆反射したビームの選択された特性が測定される前に基板及び薄膜被覆を通じて薄膜被覆と基板によって送り返される電磁気ビーム(75)を反射する為の逆反射体(50)を包含している。
本システム及び方法は、測定されたビームのノイズ特性に対する信号を改善する。
本発明は、被覆、或いは、基板のアレー用のシステムに使用されてもよいし、また、特に堆積工程に適している。堆積工程では、基板は、堆積する材料の源を通り過ぎて変形し、そこでは、基板上の監視ビームの入射角は、基板がビーム源を通り過ぎて変形するように変化する。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】
反応性スパッタ堆積によってルチル相の二酸化チタンの薄膜を形成する装置（１００）及びプロセス。一態様においては、スパッタリングターゲット（１０２、１０４）と補助プラズマ発生器（１１０、１１２）とが、スパッタリングチャンバ（１０１）内の被覆ステーション内に配置され、被覆チャンバ内を通る基板上に堆積されたチタンが、プラズマ発生器（１１０、１１２）によって生成されスパッタプラズマと混合された補助プラズマに曝露することによって酸化される。プラズマは、ルチル型二酸化チタンの形成を支援する単原子酸素を含むことができる。また、ターゲット又は１対のターゲット（１０２、１０４）をパルス直流電源又は交流電源によって動作させることができる。 （もっと読む）

ガラス基板（４１０）、ガラス基板に接合された単結晶シリコン層（４０２）、及び単結晶シリコン層の表面に形成された熱的に調整可能な薄膜光フィルタ（４２０）がある光デバイス。
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実数の屈折率および／または虚数の屈折率をそれぞれ有する複数の層を有する光学干渉フィルターが提供される。前記実数の屈折率および前記虚数の屈折率の値は、外部電界の強度に依存する。各層の材料の屈折率および厚みならびにそれらの組み合わせは、入射光の少なくとも一つの偏光状態に対するスペクトルの少なくとも一領域において干渉の極値がもたらされるよう、選ばれている。少なくとも一つの層は、電気光学材料からなり、それは、異方性でありかつ少なくとも一つの芳香族有機材料から作られている。前記芳香族有機材料の分子または前記分子のフラグメントは、平板状構造を有する。前記電気光学材料の層の少なくとも一部は、光軸に沿った分子間間隔が３．４±０．３Åである結晶構造を有する。 （もっと読む）

積層物において使用するのに適した、少なくとも一つのグレージング要素を含む光学シート。この光学シートは、複数の光学層を有する非金属多層光学フィルムを含み、たとえば、太陽エネルギー反射フィルム（たとえば、赤外線反射フィルム）であり得る。この多層は、少なくとも光学フィルムの周辺端の全部、実質的に全部、または少なくとも実質的な部分に沿って、熱的におよび／またはその他の方法で融合させて、それにより、光学フィルムの周辺端の全部、実質的に全部、またはかなりの部分に沿う、多層の層剥離の発生または程度を防止するかまたは少なくとも実質的に抑制する。グレージング要素に接合させたときに、少なくとも光学フィルムの周辺端の全部、実質的に全部、もしくは少なくともかなりの部分が、その光学シートを接合させる相手のグレージング要素の周辺端の対応する部分と同延にあるかまたは実質的に同延にあるように、位置決め出来るように、少なくともその光学フィルムの寸法決めをすることができる。
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【課題】透明基板に積層された誘電体の薄膜の応力による基板の反り幅をより低減することにより、光学的歪を防止した光学多層膜フィルタ及び光学多層膜フィルタの製造方法を提供する。
【解決手段】透明基板に誘電体の薄膜を積層した光学多層膜フィルタの、透明基板の一方の面に高屈折率材料層と低屈折率材料層が交互に積層された誘電体多層膜が形成され、前記透明基板の他方の面に誘電体単層膜が形成され、誘電体単層膜は、透明基板の屈折率と実質的に同一の屈折率の誘電体材料で形成されている。 （もっと読む）

光学フィルタ１は、入力として高密度波長分割多重化光入力信号を受信する。フィルタ１は１ｎｍ未満の帯域幅を有する単一チャネルを出力するように適合されている。フィルタ１は複数のキャビティ４を有し、それらは結合層８によってフィルタに接続されている。一つ以上のキャビティ４は７μｍより厚いスペーサ５を含んでいる。各々のスペーサ５は複数の薄層７が各々の上に配置されている２つの対向面６を画定している。好ましくはキャビティ４毎の薄層７の総数は３５未満である。また、光学インタリーバも開示した。
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【課題】携帯機器用カメラモジュールを小型化すると共に、製造コストを低減する。
【解決手段】イメージセンサ・チップ２０の表面にレンズ１０を貼り付け、更にレンズ１０の表面に多層薄膜から成るフィルター部材３０を被着した。フィルター部材３０はレンズ１０への入射光から所定の波長領域の光を遮断するためのものフィルターであり、例えば赤外線カット用のＩＲフィルターである。更に、フィルター部材３０が被着されたレンズ１０上にアクリル・フィルムやポリオレフィン・フィルム等のフィルムから成る絞り部材３１が貼り付けられている。 （もっと読む）

【課題】 反りが抑制されかつ所望の赤外線カット特性が得られた状態の赤外線カットフィルタが形成された光学ローパスフィルタを提供する。
【解決手段】 基板１０１の一方に、二酸化シリコン（ＳｉＯ₂）からなる低屈折率層１２２と、五酸化ニオブ（Ｎｂ₂Ｏ₅）からなる高屈折率層１２３とを交互に２０層積層した入射側多層膜１０２を備え、基板１０１の他方に、二酸化シリコン（ＳｉＯ₂）からなる低屈折率層１３２と、五酸化ニオブ（Ｎｂ₂Ｏ₅）からなる高屈折率層１３３とを交互に１９層積層した出射側多層膜１０３を備える。 （もっと読む）

【課題】 反射光の選択性が高くノイズの少ない多層膜光フィルタを提供することにある。
【解決手段】 中央部の多層膜群７の両側に、高屈折率層２の膜厚ｄ１が段階的に小さくなり、低屈折率層３の膜厚ｄ２が膜厚ｄ１の減少分だけ段階的に大きくなる両端の多層膜群８を付加する。また好ましくは基板１と低屈折率層３の屈折率を略同一とし、最外層に反射防止膜５を積層する。 （もっと読む）

【課題】 波長４００〜５５０ｎｍの透過帯域の透過率が９０％以上で、透過帯域の長波長側から不透過帯域まで透過率が緩やかに減衰する、透過率特性を変化させてもほとんど厚さが変わらず、光軸方向のスペースを最小限にできる赤外線カットフィルタを提供する。
【解決手段】 波長４００ｎｍ以上５５０ｎｍ以下の透過帯域と波長７５０ｎｍ以上１０５０ｎｍ以下の不透過帯域を有し、透過帯域と不透過帯域に挟まれた波長領域の透過率が透過帯域側から不透過帯域側にかけて漸減する透過率特性を有するように多層膜４の光学膜厚を設計し、この光学膜厚になるように透明基板１上に高屈折率材料２からなる透明薄膜と低屈折率材料３からなる透明薄膜とを交互に複数積層する。 （もっと読む）