【課題】被検体を撮影する際に自動的に焦点を合せ、得られた画像から欠陥の有無を判断する欠陥検査方法及び欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】撮影して得られた画像から欠陥の有無を判断する欠陥検査方法において、撮像手段２の焦点を合せる自動焦点調節ステップと、被検体における欠陥の有無を判断する画像解析ステップとを具備し、自動焦点調節ステップは、被検体と撮像手段２との距離又は撮像手段２の焦点距離を複数回変更して撮影し、得られた各画像から被検体の輪郭を抽出処理し、各輪郭抽出画像に対して離散フーリエ変換処理を用いることで周波数領域に変換し、周波数領域における輝度値の総和を算出し、輝度値の総和が最大となる被検体と撮像手段２との距離又は撮像手段２の焦点距離を特定し、特定された被検体と撮像手段２との距離又は撮像手段２の焦点距離に調節する、とした。 （もっと読む）

【課題】迅速且つ高精度に合焦点位置を設定可能な電子部品実装装置の焦点位置設定装置を提供する。
【解決手段】この焦点位置設定装置は、被撮像物の撮影画像から所定の領域を抽出して得られたコントラスト曲線の異なる左右の勾配の急な側に偏倚した合焦点位置を求める。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で液体レンズによるフォーカス機能とズーム機能を備えた光学的情報読取装置を提供する。
【解決手段】光学的情報読取装置１は、電圧の印加で境界面の形状が変化する液体レンズ２０Ａ，２０Ｂが、境界面の形状を変化させることで焦点距離が変化し得る所定の間隔を開けて配置されると共に、少なくとも１個の光学レンズ２７が配置されたレンズモジュール２と、レンズモジュール２を透過した光信号を光電変換するイメージセンサ３０と、各液体レンズ２０Ａ，２０Ｂの温度を検知するサーミスタ２６Ａ，２６Ｂと、コード記号５までの距離を測定する測距部３１と、測距部３１で測定された距離情報と、サーミスタ２６Ａ，２６Ｂで検知された温度情報に基づき、フォーカス制御及びズーム制御を行うＡＳＩＣ４０を備える。 （もっと読む）

【課題】焦点検出部として従来とは異なる範囲に対する十分な分解能を有し、表面までの範囲（距離）の全体を検出することができ、設計上あるいは範囲要件の制限を解消できる焦点センサを提供すること。
【解決手段】焦点センサ１００は、照明光源１０からの照明光束１３を、コリメータレンズ１５、第１光束分割面２０、第２光束分割面２５、対物レンズ３０を経てワーク表面４０で反射させる。反射光束１３’は逆の経路を進み、第１光束分割面２０を透過して二重範囲焦点検出装置１１０に入射される。二重範囲焦点検出装置１１０は、高分解能焦点検出装置として高分解能サブ開口レンズ１２０Ａ，１２０Ｂおよび高分解能光検出器１３３Ａ，１３３Ｂを備え、広範囲焦点検出装置として広範囲サブ開口１２５および広範囲光検出器１３５を備える。二重範囲焦点検出装置１１０の入射部分にはリレーレンズ装置を設けてもよい。二重範囲焦点検出装置の代わりに単一拡張範囲のシャックハルトマン焦点検出装置を用いてもよい。 （もっと読む）

【課題】高速近似焦点用システムおよび方法を提供する。
【解決手段】いくつかの後続する検査動作をサポートするために十分に焦点合わせされた、近似的に焦点合わせされた画像を提供する高速近似焦点動作である。これらの動作は、平面ワークピースを検査する場合に主流である連続検査動作用の画像を提供するために用いられる場合に特に有利である。検査スループットの改善がもたらされる。なぜなら、従来の自動焦点動作とは対照的に、高速近似焦点動作は、最良の焦点合わせされた画像を決定するための基礎として実行モード中に画像スタックを取得しないからである。より正確に言えば、学習モード中に特徴固有の代表焦点曲線および焦点閾値が決定され、実行モード中に用いられて、いくつかの検査動作を確実にサポートする近似的に焦点合わせされた画像を提供する。一実施形態において、許容可能な、近似的に焦点合わせされた検査画像が、２つの対応する画像を提供する２つの焦点調整移動の範囲内で提供される。調整移動は、学習モードにおいて提供される特徴固有の代表焦点曲線に基づいている。 （もっと読む）

【課題】光軸方向での走査範囲を可及的に少なくし得て、撮像装置の合焦位置を効率良く設定することができる電子部品実装装置用撮像装置の焦点調整方法および焦点調整装置を提供する。
【解決手段】この焦点調整方法は、認識対象物を撮像装置の視野内の一の位置で撮像する予備撮像工程と、その予備撮像工程で撮像された撮像画像の少なくとも二つの部分について非点収差による認識対象物の暈け具合の情報を算出する暈け情報算出工程と、その暈け情報算出工程で算出された少なくとも二つの部分の暈け具合の情報、および前記非点収差による光軸方向での焦点高さの差異の相関関係の情報に基づいて、撮像装置の光軸方向での合焦位置があるべき方向およびその範囲の少なくとも一方を設定する焦点位置設定工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】フォーカス面に段差のある対象物のフォーカス検出を行う場合であっても、装置を停止等すること無く、自動的に合焦位置を得ることができるオートフォーカス装置を提供する。
【解決手段】オートフォーカス装置１０００において、光源１０と、所定の間隔で配置された複数のレンズを備え、前記光源１０から出射される光ビームを透過させるフライアイレンズ４０と、前記光源１０と前記フライアイレンズ４０の間に配置され、前記フライアイレンズ４０に配置された複数のレンズのうち、一のレンズのみに前記光ビームを透過させるとともに、当該一のレンズを順次切り換える液晶シャッタ３０と、前記フライアイレンズ４０を透過した光ビームを対象物Ｗに集光させる対物レンズ６０と、を有する光学ユニット２と、前記光学ユニット２のフォーカス検出を行う第１検出器１１０、第２光検出器１２０と、等を備える。 （もっと読む）

【課題】対物光学系の光学的倍率を変更したときに合焦に要する時間を短縮する。
【解決手段】対物光学系の倍率変更直後では、ＡＦ制御部は、倍率変更後の倍率及び撮影画像の明るさと、倍率変更直前に撮影された被観察部位の形状との組み合わせに対応する評価値サーチ範囲を特定する。評価値サーチ範囲のＡＦ評価値となる範囲で合焦レンズが移動され、最大となるＡＦ評価値のレンズ位置に合焦レンズがセットされる。評価値サーチ範囲は、倍率，明るさ，形状に組み合わせに対して、ピントの合致が予想されるＡＦ評価値の範囲として、各組み合わせについて決められている。 （もっと読む）

【課題】画像の一部だけに明暗差がある場合でも、液晶パネル検査装置の焦点合わせを高速に、かつ、精度良く実施できるようにする。
【解決手段】液晶パネル１０を撮像装置１２で撮影して、Ｎ画素（例えば４００８×２６７２）の輝度データからなる全領域データを取得する。この全領域データをＭ個（例えば２０×２０＝４００個）の小領域データに分割する。小領域データのそれぞれについて、輝度データの分散を算出する。Ｍ個の小領域データの分散を合計して合計値を算出する。撮像装置の焦点合わせ条件を変更して、上述の動作を繰り返す。複数の焦点合わせ条件のそれぞれについて前記合計値を取得して、その合計値が最大となる焦点合わせ条件を最適な焦点合わせ条件であると決定する。 （もっと読む）

【課題】パターンの影響を抑制し、焦点調整動作の安定性を図ることができる焦点調整機構を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様に係る焦点調整機構は、パターンが形成された試料のパターン形成面に対して対物レンズ１３の焦点位置を調整するための焦点調整機構であって、パターン形成面の反対側の面に光を照明する下部光源３１と、パターン形成面の反対側の面からの反射光を検出して、試料のパターン形成面の反対側の面の高さを測定する位置検出器３４と、位置検出器３４で測定された試料のパターン形成面の反対側の面の高さと、試料の厚みとに基づいて、対物レンズ１３とパターン形成面の相対距離を制御する制御部とを備える。 （もっと読む）

【課題】パラメタ変化に応じ自動実行される焦点再探索で、焦点再探索に長時間を費やすことが無く、また、シーンが変わるたびにいたずらに焦点再探索が行われることが無いようにする。
【解決手段】オートフォーカス機構付き撮像システムを調整する方法及びシステムで、オートフォーカス手順の実行を求める指令４０を撮像システムのユーザから受け取ったとき、その指令で指定された第１焦点距離第２焦点距離間区間をオートフォーカス機構でスキャンさせる。そのスキャン中に撮像システムに一群の画像を撮影させ、それらの画像を処理することによって画像毎に合焦指標値を計算する４２。合焦指標値を解析することによって最適焦点距離を選択し、オートフォーカス機構で焦点距離を最適焦点距離に合わせる５０。 （もっと読む）

【課題】良好な焦点合わせが可能な測定装置、および焦点合わせ方法を提供する。
【解決手段】測定装置１は、被測定物Ａに対向して配設される対物レンズ２１２Ａを有するレンズ系を格納した本体部２１と、前記レンズ系により屈折される光のうち、前記被測定物Ａの設置位置から対物レンズ２１２Ａまでの距離が、対物レンズ２１２Ａの焦点距離と略一致する波長を選択する波長選択手段と、この波長選択手段にて選択された目標波長の光を撮像する撮像手段２２と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】好適に自動焦点合わせを行い、信頼性の高いくぼみの測定データを取得することができる硬さ試験機を提供することにある。
【解決手段】パターン投影手段（ＣＰＵ６１、パターン投影プログラム６３ａ、液晶パネル１３ａ、ＬＣＤドライバ１３ｂ）によって、試料Ｓの表面に形成されたくぼみＢ及びその近傍を覆うマスクＭを投影するとともに、試料Ｓの表面に所定パターンＧを投影し、自動焦点合わせ手段（ＣＰＵ６１、自動焦点合わせプログラム６３ｂ）によって、パターン投影手段により投影された所定パターンＧに基づいて焦点を合わせる。 （もっと読む）

【目的】反射率分布の影響による誤差や回折光の影響による誤差を低減させることを目的とする。
【構成】本発明の一態様の高さ検出装置１００は、照明光１０４を通過させる長方形の第１の開口部が形成された照明スリット２１０と、照明スリット２１０を通過した照明光を対象物１０１面に照明し、対象物１０１面からの反射光を結像する光学系２００〜２２２と、結像点の前後に設置され、長方形の短手方向が照明スリット像の短手方向より短く、長手方向が前記照明スリット像の長手方向より長くなるように第２の開口部が形成された検出スリット２３０，２４０と、検出スリット２３０，２４０を通過した反射光の光量をそれぞれ検出する光量センサ２５２，２５４と、光量センサ２５２，２５４の出力に基づいて対象物１０１面の高さを演算する演算回路２６０と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】段差や急傾斜面などの測定面を追従測定しても、位置検出手段の誤検出を防止できる光学式変位測定器を提供する。
【解決手段】フォーカシングレンズと、フォーカシングレンズを光軸に沿って移動させるアクチュエータ６と、フォーカシングレンズの位置を検出するリニアエンコーダ７とを備えた測定器において、フォーカシングレンズの速さを検出する速さ検出部１４と、フォーカシングレンズの移動方向を検出する移動方向検出部１７と、速さ検出部および移動方向検出部によって検出されたフォーカシングレンズの移動速度が予め設定された第１制限速度以上であるか否かを判定するオーバースピード判定部１８と、フォーカシングレンズの移動速度が第１制限速度以上と判定された際、アクチュエータを制御してフォーカシングレンズの移動速度を減速するブレーキ用電圧印加部１１とを備える。 （もっと読む）

フォーカスを維持しながら対象物を順次画像化する装置は、選択可能な画像取得モードを有するカメラと、上記カメラに光学的に接続された対物レンズと、上記対物レンズを通して動作する光学距離センサと、ストロボ照明器と、上記カメラと、上記照明器と、上記距離センサに接続されたコントローラを備えている。上記コントローラは、上記距離センサをシーケンシャルに作動し非作動にし、上記距離センサが非作動状態にある時にのみ、上記画像取得モードの選択と非選択を行ない、上記画像取得モードが作動している時にのみ、上記ストロボ照明器を作動し非作動にする。
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【課題】被検液中、特に尿中の有形成分に焦点を自動に合わせる機能を有することにより、精密性、正確性の高い尿中有形成分分類装置を提供する。
【解決手段】透光板上もしくはフローセル１中の被検液を撮像するＣＣＤカメラ５により、フローセル１中の尿中有形成分に対して有形成分の光強度を電気信号に変換し、光源２より焦点状態の検出を補助するための補助光を発し、フローセル１中の尿中有形成分から反射された補助光より距離を換算して算出された距離に基づいて焦点を自動調整する自動合焦機能を有する。 （もっと読む）

【課題】合焦面に大きなオフセットを加えることができ、所望の標本面を対物レンズの焦点面に確実に合焦できること。
【解決手段】自動合焦装置１００は、標本Ｓと対物レンズ３ａとの相対距離を変化させる焦準手段と、波長が異なる複数の計測光のうち１つを択一的に射出させる光源手段を有し、対物レンズ３ａを介して計測光を標本Ｓに投射するとともに、標本Ｓが反射した計測光を受光して標本Ｓの位置を検出する標本検出手段と、あらかじめ標本Ｓの種類ごとに計測光の波長を対応付けて記憶する設定条件記憶テーブル２６ａと、標本Ｓの種類を示す標本情報を取得する入力部２７と、標本情報が示す標本Ｓの種類に対応付けられた波長の計測光を射出させるとともに、標本検出手段の検出結果をもとに、焦準手段によって標本Ｓと対物レンズ３ａとの相対距離を変化させ、標本Ｓを対物レンズ３ａの焦点面に合焦させる制御を行うコントロール部２５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 焦点検出結果のバラツキを抑えた検査装置を提供する。
【解決手段】 本発明の検査装置は、検査試料に光を照射し、その反射光を瞳分割または瞳遮蔽して一組の瞳分割像を得る。検査装置は、この瞳分割像の光電変換信号に対して平滑化処理を施す。このときの平滑化処理の平滑化距離（平滑化の母集団の実効幅）は、検査試料の表面の層間隔または段差間隔によって光電変換信号に生じる位相変位と略一致するように設定される。このように平滑化された光電変換信号に基づいて一組の瞳分割像の位相差を検出し、検査装置の焦点状態を検出する。 （もっと読む）

【課題】投影光学系の結像特性を所望の状態に維持するために、投影光学系の光学部材の位置等を制御した際に、その光学部材の横シフトの影響を抑制する。
【解決手段】照明光でパターンを照明し、その照明光でそのパターン及び投影光学系ＰＬを介してウエハＷを露光する露光方法において、投影光学系ＰＬのレンズエレメント１３₁〜１３₆の光軸ＡＸ方向の位置及び光軸ＡＸに垂直な面内の２軸の回りの傾斜角を制御する工程と、レンズエレメント１３₁〜１３₆の光軸ＡＸに垂直な面内での横シフト量を計測する工程と、その計測結果に基づいてそのパターンの像とウエハＷとの相対位置関係を補正する工程とを有する。 （もっと読む）