【課題】簡易な操作で遮光体の一部を開閉することができ、遮光体の一部を開放した状態で標本の交換と上方からの視認とを容易に行うことができること。
【解決手段】顕微鏡装置１００は、開閉自在な開閉部としての可動カバー２３を有し、この可動カバー２３が閉塞された状態で観察に不要な光に対して標本３を遮蔽する遮光体としての遮光カバー２１と、標本３を上方から視認可能にするとともに遮光カバーの外から交換可能にする開口部を遮光カバー２１に形成する可動カバー２３の開放動作をガイドするガイド機構としてのガイド部３１および回転軸３３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】光学構成要素を備え付ける光学検査装置の設計及び操作を単純化する、光学構成要素を提供することを目的とする。
【解決手段】光学検査装置、例えば顕微鏡用の変更装置は、第１の光学像用の２つの光路を含み、変更装置内に回転可能に配置された変更光学素子を備える。該変更装置は、例えば、変更光学素子の回転により変更装置の光路に任意選択的に切換え可能な例えば少なくとも２つ、ここでは３つの光路の対を有するガリレイ倍率変更器である。変更光学素子は、光路の各対に割り当てられた少なくとも１つ、ここでは２つの追加の光路を含む。変更装置は、少なくとも１つの、ここでは同様に２つの追加の光路を含む。変更光学素子は回転により、一対の光路が変更光学素子の光路内に挿入され又は取り除かれ、及びそれぞれの対に割り当てられる追加の光路が変更光学素子の追加の光路内に挿入され又は取り除かれることを同時に可能にするように設計される。 （もっと読む）

【課題】観測領域の特定が容易で、小型に構成できる顕微フォトルミネッセンス測定装置を提供する。
【解決手段】顕微鏡筒体１５１、１５２と、顕微鏡筒体から出た光を光分析手段に導くバンドルファイバ２０と、バンドルファイバの位置を調整する位置調整手段３３と、照明光源からの光を顕微鏡筒体内に導き、試料１４の反射光を観察する落射照明観察手段３４、３６と、試料を励起する励起光の励起光源と、励起光で励起されてフォトルミネッセンスを放出する試料の観測領域を選択する視野絞り３０とを備える。この装置では、試料の表面を落射照明観察手段で観察し、ＰＬ観測領域を視野絞り３０によって選択し、視野絞りで絞られた光束が適切にバンドルファイバ２０に入射するように、バンドルファイバの位置を位置調整手段３３で調整する。ＰＬ観測領域を高精度に特定することができ、その観測領域の最適状態での観測を容易に設定することができる。
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【課題】照明手段をその都度改めて調整することなく種々異なる方位角及び仰角からのフレキシブルな照明を可能にし、とりわけ手術顕微鏡において簡単かつ再現可能な態様で種々異なるコントラスト形成を実現可能にするための、複数の点状光源を用いた顕微鏡の照明装置の提供。
【解決手段】担持要素に配された複数の点状光源を用いる、顕微鏡のための照明装置において、複数の点状光源（４）を夫々受容する複数の担持要素（２）と、弧状の案内部（６）を有し顕微鏡（１０）に結合可能な支持部材（５）を備えること、該担持要素（２）は水平面内において該案内部（６）に沿って摺動可能に支持されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ケーブルの揺れがマイクロスコープシステムに影響を及ぼすのを抑制する。
【解決手段】支柱5の左側面の上下方向中間部分に設けたクランパ20は、支持ロッド35を介して、支柱5の側面から離間した位置に設けられたクランパ本体21を有する。クランパ本体21は、メインハンド22とサブハンド23の２分割構造を有し、サブハンド23は縦軸24を中心に開閉可能である。クランパ本体21にはクッション材30,31が設けられ、クッション材30,31を介してケーブル11が弾性的に保持される。 （もっと読む）

検査される試料（８）を光学検査装置（２）に対して位置決めするための試料位置決めステージ（４）。ステージは、検査される試料を支持可能な略平坦な第１の本体（１８）と、第１の本体に複数の軸受（４３，４５，４７）を介して直接的に接続された第２の本体（２０）とを備える。複数の軸受は、第１の本体と第２の本体との間に延び、第２の本体に対する第１の本体の移動を、第１の本体の平面と実質的に平行な第１の平面に制限する。第１のモードおよび第２のモードで選択的に動作可能な駆動システムも設けられる。第２のモードにおいて、駆動システムは、第１の本体に加わる外力による第１および第２の本体の前記平面内での相対移動に対して、第１のモードのときより少ない抵抗を与える。駆動システムは第１および第２のモードの両方で係合されている。ステージは、動作モードを第１のモードから第２のモードに変更するよう動作可能なセレクタを備える。
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光学的検査器具（２）に対して検査されるべきサンプル（８）を位置決めするサンプル位置決め用ステージ（４）である。ステージは、検査されるサンプルが支持され得る第１の概ね平らな本体（１８）と、第１の本体（１８）に直接に連結される第２の本体（２０）とを備え、第１の本体及び第２の本体の間に、少なくとも１つの剛性のベアリング（４３,４５）及び少なくとも１つの弾性的に従順なベアリング（４７）が介されている。少なくとも１つの剛性のベアリングと少なくとも１つの弾性的に従順なベアリングは、互いに概ね対向して配列されている。第１の本体及び第２の本体は、ベアリングを介して、第１の概ね平らな本体の平面にほぼ平行な方向で互いに対して予圧されている。ステージはさらに、第１の本体及び第２の本体を互いに対して第１の平面において位置入力装置から受け取られた要求相対位置に向けて駆動すべく作動可能な動力駆動システム(９８)を備えている。ステージはまた、第１の本体及び第２の本体の相対位置の測定値をもたらす位置検知装置を備えている。
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【課題】本発明の課題は、深紫外線などの特殊光のスポット照射と、結像性能を犠牲にしない光学観察の二つを、同時に実行できる顕微鏡システムを提供することである。
【解決手段】試料４を挟んで対向する位置に第一対物レンズ１４と第二対物レンズ１６を備える顕微鏡システムにおいて、第一対物レンズ１４は深紫外線を透過する対物レンズであり、第二対物レンズ１６は試料４からの観察光を収集する構成とした。 （もっと読む）

【課題】観察状態の切り替えを容易にして顕微鏡の操作性を向上させる。
【解決手段】視野絞り４、開口絞り５、観察法切り替えユニット６に取り付けられている各種のキューブ、レボルバ７に取り付けられている対物レンズ９、ＤＩＣプリズムユニット８、アナライザユニット１３などの光学部材は、電動により光路に対して挿脱し又は開閉することができる。この挿脱又は開閉の状態はセンサにより検出される。操作部１０４は各種の指示を取得する。制御部１０２にはメモリが備えられており、当該メモリは、観察状態の記録要求の指示を操作部１０４が取得したときにセンサで検出されていた光学部材の光路に対する挿脱又は開閉の状態を観察状態として複数記録する。制御回路１０２は、観察状態の設定要求の指示を操作部１０４が取得する度に当該挿脱又は開閉を制御して、観察状態を当該メモリに記録されている観察状態のいずれかへと切り替える。 （もっと読む）

【課題】広域画像の範囲を最低倍率の対物レンズで得られる視野に制限されない拡大画像観察装置等を提供する。
【解決手段】観察対象物を拡大表示する拡大画像観察装置であって、観察対象物の画像を取得するための光学撮像系と、観察対象物を低倍率で撮像した広域画像ＷＩを表示するための広域画像表示領域ＷＡと、高倍率で撮像した拡大画像ＭＩを表示するための拡大画像表示領域ＭＡを有する表示部と、複数の広域画像ＷＩを予め取得し、各々保持するためのメモリ部と、観察対象物を載置するための試料載置部２８と、試料載置部２８を光学撮像系に対して相対的に移動させるための移動機構とを備え、広域画像表示領域ＷＡに表示される広域画像ＷＩを切り替え可能に構成できる。これにより、複数枚の広域画像ＷＩを登録可能で、かつこれらを適宜切り替えて表示可能となり、一枚の広域画像の表示領域に制限されず、より広い範囲での視野探しが可能となる。 （もっと読む）

【課題】煩雑な清掃作業を行うことなく、長期間に亘って顕微鏡内蔵部品のメンテナンスを行う必要もない安価な顕微鏡を提供することを目的とする。
【解決手段】顕微鏡が有する開口部１ｄより侵入した塵埃若しくは内部で発生した磨耗粉などの微小粒を、微小粒の拡散経路中に配置した吸着シート１００，１０１やマグネットシート１０２などの捕捉部材の表面に落下させて停滞するように捕捉することで、顕微鏡内部で拡散しないようにした。 （もっと読む）

【課題】顕微鏡システムの省配線化と組み立ての自由度の向上と共に、組み立てミスによるシステム動作不具合の発生を低減させる。
【解決手段】バス接続スイッチ36,117は、顕微鏡システムの制御データを伝送するCANバスの途中に直列に接続されており、開かれたときにはCANバスをその位置で開放し、閉じられたときには接続する。拡張コネクタ35,114には、CANバスがバス接続スイッチ36,117の両側から導かれており、バス接続スイッチ42,92が閉じている拡張ユニット4,9が接続されると、CANバスが拡張ユニット4,9内のバスラインを介して接続される。拡張ポート3,11に設けられている検出回路は、拡張コネクタ35,114への拡張ユニット4,9の接続の有無を検出し、接続されていることを検出したときにはバス接続スイッチ36,117を開き、接続されていないことを検出したときには閉じる動作を行う。 （もっと読む）

物体（１０１）を結像させるためのデバイス（１００）、それにおいて、デバイス（１００）は、物体（１０１）を通じて透過させられた電磁的な放射のビーム（１０３）を操縦することに適合させられた対物系のレンズ（１０２）、対物系のレンズ（１０２）を通じて透過させられた電磁的な放射のビーム（１０３）を操縦することに適合させられたコリメーターレンズ（１０４）、並びに、対物系のレンズ（１０２）及びコリメーターレンズ（１０４）の間における電磁的な放射（１０３）のビームの伝播方向に対して本質的に平行な方向に及び本質的に垂直な方向に対物系のレンズ（１０２）を変位させることに適合させられたアクチュエーター（１０５）を含むと共に、それにおいて、対物系のレンズ（１０２）及びコリメーターレンズ（１０４）は、対物系のレンズ（１０２）及びコリメーターレンズ（１０４）の間における電磁的な放射のビーム（１０３）が、本質的に平行なものであるように、配置させられたものである。

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【課題】積層型半導体装置を製造するためには所定の回路が形成されたウェハを何層も積層する。この積層に際しては積層すべきウェハ間の位置あわせの為に、アライメントマークの位置を高精度に検出することが重要であり、製造の歩留まりに対して重要な要素となる。特に、既に積層されて層構造を形成するウェハ積層体に次のウェハを積層する場合にはアライメントマークの検出はウェハを通して行う必要が生じ、高精度に、迅速にマークを検出することが困難である。
【解決手段】マークを検出する顕微鏡にアクティブ方式ＡＦ光学系とパッシブ方式ＡＦ光学系の両方式のＡＦ光学系を取りつけ、マーク形成面の反対面の位置をアクティブ方式ＡＦ光学系により検出し、その結果を用いてマーク形成面をパッシブ方式ＡＦ光学系の動作範囲に移動させる。この時、パッシブ方式ＡＦ光学系には赤外線を用いる。これにより、迅速で、高精度にマーク検出が可能になり、貼り合わせの位置精度が確保される。
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サンプル１の表面２の様相を観察するための装置であり、この装置は、前記表面２を既定の方向から照光するための光源１１及び前記表面２を観察するための手段を有する。前記表面２を観察するための手段は、前記表面２に対し異なる方向に置かれた多数の実質的な平面鏡８を有する。前記手段はさらに、前記平面鏡８を観察するための光学系６、１４を有する。各平面鏡８は、前記サンプル１の前記表面２の画像を前記光学系６、１４の画像受信部６へ反射する。
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【課題】処理残り時間を報知して一連の観察処理を確実かつ効率的に実施できること。
【解決手段】観察装置１００は、インターバル期間を挟んで試料１を断続的に観察する一連の観察処理を行う観察本体部１０１と、一連の観察処理が行われる観察期間中、インターバル期間によって区分される処理期間ごとに処理経過時間を計時し、この処理経過時間と処理期間に対して予め定められた処理所要時間とに基づいて処理期間の処理残り時間を算出する計時部１８ａと、表示部１４および音声出力部１５の少なくとも一方によって処理期間ごとに処理残り時間を報知する報知制御部１８ｂと、を備える。 （もっと読む）

【課題】凹凸変化の激しい微細構造を持つ位相標本を観察して、部分開口の像が半径方向にずれた場合に、部分開口の形を半径方向に対して部分開口の面積変化が緩やかになるようにして、部分開口の像の移動に伴う背景の明るさやコントラストの変動を緩やかにすること。
【解決手段】開口板６の部分開口６ａは、その面積変動を小さくしつつ、透過光量を抑制する形状に形成してある。図中、黒は、透過率０％、白は、透過率１００％であり、開口板６の部分開口６ａは、その矩形の４個の角部を直線状に削除して、略八角形に形成してある。 （もっと読む）

【課題】多色画像を得る場合、単色の画像間の画素ずれを無くした分光光学ユニットを提供する。
【解決手段】複数の波長を含む光信号を入力して２つの波長の像に分離し、それぞれの波長の像を２台のカメラに取り込むようにした分光光学ユニットにおいて、前記２台のカメラのうちの少なくとも一台を光軸に対してＸＹ方向に駆動するカメラ駆動手段を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 被検体上に浸液による染み等が発生するのを防止することができる顕微鏡システムの提供。
【解決手段】乾燥系対物レンズ３，４により基板１０を観察する観察系Ａと、基板１０上の浸液４０と接する液浸系対物レンズ７により基板１０を観察する観察系Ｂと、液浸系対物レンズ７で観察した後の基板１０の浸液４０を蒸発させる蒸発機構とを備える。蒸発機構は、照明光を発生する光源１と、その照明光を基板１０へ導く対物レンズ４とを有する。 （もっと読む）

【課題】 観察中であっても対物ユニットの交換を容易にすることができる生体観察装置を提供する。
【解決手段】 本体９と、被観察物Ａにおける観察領域の振動を抑制する振動抑制部７と、振動が抑制された観察領域を観察する対物光学系５とを備え、対物光学系５および振動抑制部７は、本体９に備えられ、対物光学系５は、本体９に対して対物光学系５の光軸方向と交差する方向に着脱可能とされていることを特徴とする。 （もっと読む）