【課題】対物レンズを切り替えることなく、細径の対物レンズを使用した実験小動物等の生きたままの観察において、広視野観察と高倍率観察とを切り替えて行うことを可能とする。
【解決手段】観察対象Ｂからの光を集光する対物レンズ８と、該対物レンズ８により集光された光を検出装置１０に結像させる結像レンズ９と、これら対物レンズ８と結像レンズ９との間の光路に挿脱可能に設けられた正パワーを有する補助光学系１１とを備える顕微鏡光学系１を提供する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成によって、光化学反応の発生を抑制することができ、光学部品に生じる曇りを低減できること。
【解決手段】光源装置１０２は、筐体２２ａ内に収容された波長選択光学系３０を介し、ランプ２４が発した紫外光を射出する光源装置であって、筐体２２ａに設けられ、筐体２２ａ内の換気を行う換気ファン３５と、換気ファン３５に筐体２２ａ内の気体を、この気体中の不純物とともに排出させた後、ランプ２４が発した紫外光を波長選択光学系３０に入射させる制御を行う制御部３２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】高精度に固定調整することで、上限リミットセンサ及び下限リミットセンサによって高精度に検出され、これによりステージ受け部を微細に位置調整でき、ステージ受け部の昇降範囲を正確にとらえることができる移動範囲調整装置を提供することである。
【解決手段】本発明は、ツマミ３０、バネ２５を有する遮断バー１２、バネ２５と当接し、ピン２４によって遮断バー１２と連結している予圧ネジ２３、を有する調整環２１と、調整環２１の回転を止めるストッパツマミを有する本体枠２６と、を備え、バネ２５によって遮断バー１２と予圧ネジ２３は突っ張りあい、ガタを一方に寄せてバックラッシをなくしているため、ツマミ３０によって調整環２１を回転させると、遮断バー１２が高精度に移動でき、リミット位置を調整することができる移動範囲調整装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 試料表面において液体等が流動している場合であっても表面情報を取得することが可能な表面情報取得装置及び表面情報取得方法を提供すること。
【解決手段】 表面から所定距離離れて浮遊するプローブ粒子Ｐを用いて試料Ｓの表面情報を取得する表面情報取得装置１Ａであって、光源２と、プローブ粒子Ｐの像（プローブ像）を得る結像装置３と、プローブ像を撮像してプローブ画像を得る撮像装置４と、プローブ画像からプローブ粒子Ｐの位置情報を取得し、当該位置情報から試料Ｓの表面情報を取得する画像処理装置１０とを備える。画像処理装置１０は、予め格納されたプローブ画像におけるプローブ粒子Ｐの大きさを規定する値である直径とプローブ粒子Ｐの試料Ｓ表面からの距離との関係を示す校正データと撮像装置４によって撮像されたプローブ粒子Ｐの直径とに基づいて、プローブ粒子Ｐの位置情報を得る。 （もっと読む）

【課題】システム拡張性に優れ、ケーブルの本数を最小限に抑えることができ、かつ耐ノイズ性が高く、組み立ての際の手間が少なくなる顕微鏡構成ユニットを提供する。
【解決手段】顕微鏡システムを構成し相互に接続可能な顕微鏡構成ユニットは、所定の通信方式により前記顕微鏡システムの制御装置との通信を可能とする通信インターフェースと、接続された他方の前記顕微鏡構成ユニットから、該他方の顕微鏡構成ユニットに関する情報である接続ユニット関連情報を取得する接続ユニット関連情報取得手段と、前記接続ユニット関連情報取得手段により取得された前記他方の顕微鏡構成ユニットの前記接続ユニット関連情報と、当該顕微鏡構成ユニット自身に関する情報である顕微鏡構成ユニット自身関連情報と、を前記通信インターフェースを介して前記顕微鏡の制御装置へ送信する制御手段と、を備えることにより、上記課題の解決を図る。 （もっと読む）

【課題】 不良観察画像を用いた半導体デバイスの不良の解析を確実かつ効率良く行うことが可能な半導体不良解析装置、不良解析方法、及び不良解析プログラムを提供する。
【解決手段】 半導体デバイスの不良観察画像Ｐ２を取得する検査情報取得部１１と、レイアウト情報を取得するレイアウト情報取得部１２と、半導体デバイスの不良についての解析を行う不良解析部１３とによって不良解析装置１０を構成する。不良解析部１３は、不良観察画像での輝度分布と、所定の輝度閾値とを比較することによって不良に起因する反応領域を抽出し、反応領域に対応して半導体デバイスの不良解析に用いられる解析領域を設定する解析領域設定部を有する。 （もっと読む）

【課題】光を照射することによる対象物への悪影響を排除すること。
【解決手段】使用者は、モニタに表示される画面上で観察対象とする対象物上の位置を指定する。制御装置１０５は、指定された位置を中心とした所定範囲にナビゲーション範囲を設定し、当該ナビゲーション範囲内で対物レンズ１０３を移動させながら対物レンズ１０３を通して入力される対象物の像をカメラ１０４で撮影する。対象物を撮影する際には、カメラ１０４による撮影時のみ対象物に光を照射するように透過光照明装置１０６およびシャッター１０７を制御する。制御装置１０５は、対物レンズ１０３を移動させながら撮影した複数の画像をつなぎ合わせて１枚の結合画像を生成して、ＰＣ１０９へ出力する。 （もっと読む）

ＡＴＲ測定を実施するように配置された顕微鏡に使用する付属品が、顕微鏡の可動ステージ（２０）上に取り付けられうるベースプレート（４０）を有する。ＡＴＲ結晶用の取付けアーム（１００）が、支持体の上に担持される。取付けアーム（１００）は、結晶が顕微鏡の軸上に整列する位置から、支持体の上に担持された試料が視覚的に観察されうる位置まで旋回されうるように、ベースプレート（４０）の上に旋回式に取り付けられることが好ましい。取付け台は、結晶が軸上にある、この取付け台の元の位置に確実にかつ再現可能に戻されうるように配置される。
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【課題】 視線の移動範囲を小さくして、素早く、しかも正確にモニタ内容を読み取ることができる検鏡者への負担を軽減した顕微鏡システム及び表示部取付け装置を提供する。
【解決手段】 試料３に照明光を照射し前記試料３の観察像を取得する対物レンズ６を有する顕微鏡本体１と、対物レンズ６からの観察像を観察する接眼レンズ９を有する三眼鏡筒８を有し、前記顕微鏡本体１の側方で、且つ接眼レンズ９の近傍に各種の情報を表示するモニタ１０を配置する。 （もっと読む）

【課題】検査工程において装置を停止させる頻度を低下させて生産効率を向上させる。
【解決手段】複数ヘッド顕微鏡装置１は、ガラス基板Ｗを搬送するステージ６を有し、ステージ６を跨ぐように門型フレーム２０が設置されている。門型フレーム２０には、２つの顕微鏡ヘッド３０，４０が移動自在に設けられている。各顕微鏡ヘッド３０，４０は、観察範囲４５内で移動可能であると共に、顕微鏡ヘッド３０は退避領域４６に、顕微鏡ヘッド４０は退避領域４７にそれぞれ移動させることができる。 （もっと読む）

本発明は、顕微鏡システムの物体平面（１）に配置可能な物体を結像するための顕微鏡システムであって、結像系（２６）と、変位装置と、制御装置（２８）とを含む顕微鏡システムを開示する。結像系（２６）は、物体平面（１）の結像フィールド（Ｆ）を結像するための少なくとも１つの結像光路（２ａ）を形成する。変位装置は、物体平面（１）において結像系（２６）の結像フィールド（Ｆ）を並進変位させるように適合されている。制御装置（２８）は、物体平面（１）における結像フィールド（Ｆ）の所望の変位を決定しかつ変位装置をこれに応じて制御するように適合されている。ここで、変位装置は、少なくとも１つの結像光路（２ａ）を偏向させるために少なくとも１つの結像光路（２ａ）に沿って配置された第１のミラー面（３）であって、制御装置（２８）によって決定された変位に応じて旋回可能な第１のミラー面（３）を含む。さらに、変位装置は、少なくとも１つの結像光路（２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ）を偏向させるために少なくとも１つの結像光路（２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ）に沿って配置された第２のミラー面（９）であって、制御装置（２８）によって決定された変位に応じて旋回可能な第２のミラー面（９）を含む。ここで、第１のミラー面（３）は、第１の旋回軸（Ａ）を中心として旋回可能であり、第２のミラー面（９）は、第１の旋回軸（Ａ）とは異なる第２の旋回軸（Ｂ）を中心として旋回可能である。 （もっと読む）

【課題】 光学素子の交換を不要とし、操作性や光刺激の位置再現性の向上を図る。
【解決手段】 観察用励起光源２と、刺激光源３と、観察用励起光Ｌ１を標本Ａ上で２次元的に走査する第１の走査手段４と、刺激光Ｌ２の標本Ａ上での２次元的な位置を設定する第２の走査手段５と、走査された観察用励起光Ｌ１と位置調節された刺激光Ｌ２とを同一の光路に入射させる光路合成手段６と、該光路合成手段６を通過した観察用励起光Ｌ１および／または刺激光Ｌ２を標本Ａに照射する一方、標本Ａから発せられた蛍光Ｆを集光する対物レンズ７と、集光された蛍光Ｆを検出する検出手段８とを備え、光路合成手段６が、第１および第２の走査手段４，５と光学的に共役な位置関係に配置されている走査型レーザ顕微鏡１を提供する。 （もっと読む）

【課題】無用に生体を傷つけることなく、簡易かつ確実に観察位置へ到達できる生体観察方法および生体観察装置を提供する。
【解決手段】蛍光観察および反射光観察が可能な生体観察装置で生体内を観察する方法であって、反射光観察により基準位置を設定する工程Ｓ４と、反射光観察から蛍光観察に切り替える工程Ｓ５と、基準位置から観察位置へ移動する工程Ｓ８とを含む観察方法である。 （もっと読む）

【課題】騒音および風等による振動の発生を防止することができる走査型プローブ顕微鏡を備える顕微鏡装置を提供することである。
【解決手段】原子間力顕微鏡１０および光学顕微鏡２０は、顕微鏡連結部材４０に取り付けられる。顕微鏡連結部材４０は、弾性部材５４ａ，５４ｂ，５４ｃ，５４ｄを介してベース筐体部５０により保持される。ベース筐体部５０には、原子間力顕微鏡１０、光学顕微鏡２０および顕微鏡連結部材４０を覆うように、フロントケース８００Ａおよびリアケース８００Ｂが取り付けられる。フロントケース８００Ａおよびリアケース８００Ｂは、原子間力顕微鏡１０、光学顕微鏡２０および顕微鏡連結部材４０に接触していない。 （もっと読む）

【課題】インジェクションの効率を向上し、装置構成を簡易にすること。
【解決手段】画像配置部４０３は、撮影位置取得部４０２によって取得された撮影位置に従って画像取得部４０１から出力される複数の画像を配置し、合成画像を生成する。合成画像加工部４０５は、得られた合成画像をモニタ１１１に表示させるに際して、種々の加工を行う。合成画像出力部４０７は、合成画像加工部４０５によって合成画像が加工されると、加工後の合成画像を制御部１１０へ出力する。中央画像加工部４０８は、画像取得部４０１から出力される観測用の画像をモニタ１１１に表示させるに際して、種々の加工を行う。中央画像出力部４０９は、中央画像加工部４０８によって中央画像が加工されると、加工後の中央画像を制御部１１０へ出力する。モニタ１１１は、合成画像と中央画像を並べて表示する。 （もっと読む）

【課題】マイクロミラーアレイを２次元の共焦点ピンホールとして使用しつつ軸外の像においても適正な合焦を得ることを可能とし、部品点数の削減および制御の簡易化を図るとともに、走査をさらに高速化する。
【解決手段】対物レンズ６と、該対物レンズ６の像位置に配置されるマイクロミラーアレイ４と、該マイクロミラーアレイ４および対物レンズ６を介して標本Ａを照明する光源２と、マイクロミラーアレイ４上の標本像をリレーするリレーレンズ５，７と、該リレーレンズ５，７によりリレーされた標本像を撮像する撮像素子８とを備え、該撮像素子８の撮像面８ａが、リレーレンズ５，７の後側焦点面Ｆ_２に対して、リレーレンズ５の前側焦点面Ｆ_１に対するマイクロミラーアレイ４の傾斜方向とは逆方向に傾斜して配置されている共焦点顕微鏡１を提供する。 （もっと読む）

【課題】試料の振動を防止することができる走査型プローブ顕微鏡を備える顕微鏡装置を提供することである。
【解決手段】原子間力顕微鏡は、ＡＦＭスキャナおよび試料載置台を備える。試料載置台は、移動プレート、Ｚ方向移動機構およびＸＹ方向移動機構３０ｃを含む。ＸＹ方向移動機構３０ｃは、２つのモータＭａ，Ｍｂ、Ｙ方向移動機構３８０およびＸ方向移動機構３９０を有する。Ｙ方向移動機構３８０およびＸ方向移動機構３９０には、あり溝ガイド方式が用いられている。 （もっと読む）

【課題】撮像素子へ入射する光の光軸中心と撮像素子の中心とのずれを検出する撮像装置を提供する。
【解決手段】撮像装置は、顕微鏡本体１１からの観察光１８を撮像する撮像素子１を備えた撮像部２と、撮像素子１により撮像された観察光１８の画像から、撮像素子１の中心の位置と撮像素子１へ入射した観察光１８の光軸中心の位置とを検出するＰＣ３と、その撮像素子１の中心の位置と撮像素子１へ入射した観察光１８の光軸中心の位置とを表示するモニタ４を備える。 （もっと読む）

【課題】振動の発生を防止することができる走査型プローブ顕微鏡を備える顕微鏡装置を提供することである。
【解決手段】原子間力顕微鏡１０および光学顕微鏡２０は、顕微鏡連結部材４０に取り付けられる。顕微鏡連結部材４０は、弾性部材５４ａ，５４ｂ，５４ｃ，５４ｄを介してベース筐体部５０により保持される。顕微鏡連結部材４０に、おもりＷが取り付けられる。おもりＷの取り付け位置は、顕微鏡装置の各構成要素の重量、設置位置等を考慮して、各構成要素に発生する振動を確実に減衰できるように設定されている。 （もっと読む）

【課題】 分光光学系で光学部材の位置ずれが生じても、信頼性の高い断層画像や光学表面プロファイルを得る。
【解決手段】 参照光と測定光の反射光とを合成し干渉させる干渉光学系と、得られた干渉光を周波数毎に分光し，分光された干渉光を受光手段に受光させる分光光学系と、受光手段からの受光信号に基づいて被検眼の画像情報を取得する眼科装置において、分光光学系の各光学部材が所定の位置関係にある分光光学系に対して前記キャリブレーション用の光束を導光し，導光されたキャリブレーション用の光束を分光光学系を介して前記受光手段に受光させることによって得られる分光情報を予め基準分光情報として予め記憶し、基準分光情報が記憶された状態でキャリブレーション用の光束を受光手段に受光させることによって得られる分光情報と前記基準分光情報とに基づいて受光手段と分光光学系に設けられた他の光学部材との相対的な位置関係を調整する。 （もっと読む）