【課題】 堆積膜の軸方向の特性のムラが抑制された電子写真感光体の製造方法を提供する。
【解決手段】 （ｉ）円筒状基体を含む柱状電極が内部に設置され、柱状電極に離間して対向する対向電極を内部に含む減圧可能な反応容器の内部に、堆積膜形成用の原料ガスを導入する工程と、（ｉｉ）電源から柱状電極に電力を供給することで、周波数３ｋＨｚ以上３００ｋＨｚ以下の矩形波の交播電圧を対向電極と柱状電極の間に印加して、原料ガスを分解し、円筒状基体上に堆積膜を形成する工程と、を有するプラズマＣＶＤ法によって電子写真感光体を製造する方法において、工程（ｉｉ）において、柱状電極の一方の端部領域を経由する電力の供給と他方の端部領域を経由する電力の供給との切り替えを少なくとも１回行う。 （もっと読む）

【課題】 帯電極性が異なる電子写真感光体を製造する際に発生する感光体の品質上の不具合を防止した電子写真感光体の製造方法を提供する。
【解決手段】 正帯電用または負帯電用の如き帯電極性の異なる電子写真感光体を同一の反応容器内で製造する場合には、帯電極性の異なる電子写真感光体を製造する前に、反応容器の内壁の少なくとも円筒状基体に対向する部分を、液体を使って洗浄をする。 （もっと読む）

【課題】 複数の円筒状基体を積み重ねた状態で設置し、各円筒状基体上に堆積膜を形成する際に生じやすい堆積膜の端部の特性の周方向のムラが抑えられた電子写真感光体の製造方法を提供する。
【解決手段】 電極および円筒状基体の一方の電位に対する他方の電位が交互に正と負になるように、周波数３ｋＨｚ以上３００ｋＨｚ以下の矩形波の交播電圧を電極と複数の円筒状基体との間に印加して、原料ガスを分解し、円筒状基体上に堆積膜を形成して、電子写真感光体を製造するにあたり、前記正になるときの電極と円筒状基体の電位差の絶対値および前記負になるときの電極と円筒状基体の電位差の絶対値の一方が放電維持電圧の絶対値未満の値であって、他方が放電開始電圧の絶対値以上の値であるようにし、リング状部材を円筒状基体の内周面側に配置し、リング状部材によって円筒状基体の内径拡大部に外向きの力を加える。 （もっと読む）

【課題】 安価かつ簡便な手段によって電磁波の漏洩が確実に防止された堆積膜形成装置を提供すること。
【解決手段】 反応容器の中に導入された原料ガスに反応容器を通じて励起電力を印加して励起種を生成し基体の上に堆積膜を形成する堆積膜形成装置において、前記反応容器は反応容器本体と前記反応容器本体から電気的に絶縁された反応容器構成体とからなり、前記堆積膜形成装置は前記反応容器の外部を取り囲むように配置され且つ接地電位とされた電磁波遮蔽筐体を有し、電磁波遮蔽箔体が前記反応容器構成体と前記電磁波遮蔽筐体との間の空隙を塞ぐように且つ前記反応容器構成体と前記電磁波遮蔽筐体とを電気的に接続するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】堆積膜の均一性と特性の向上及び画像欠陥の抑制を同時に達成可能な電子写真感光体の製造方法を提供する。
【解決手段】減圧可能な反応容器の内部への円筒状基体設置工程と、反応容器の内部への堆積膜形成用原料ガス導入工程と、反応容器の内部にあって円筒状基体とは離間して配置された電極、および円筒状基体の、一方の電位に対する他方の電位が交互に正と負になるように、正弦波の交番電圧を電極と円筒状基体の間に印加して、原料ガスを分解し、円筒状基体の表面に堆積膜を形成する堆積膜形成工程と、を有するプラズマＣＶＤ法によって電子写真感光体を製造する方法において、交番電圧の周波数が１０ｋＨｚ以上３００ｋＨｚ以下で、電極と円筒状基体の一方の電位に対する他方の電位が、正であるときの電位差の絶対値の最大値、および負であるときの電位差の絶対値の最大値は、一方が放電維持電圧未満の値であって、他方が放電開始電圧以上の値である。 （もっと読む）

【課題】放電の均一性を上げて軸方向の電位ムラを改善し、濃度ムラのない高品位な画像が得られる電子写真感光体の製造方法を提供する。
【解決手段】円筒状の中心電極の少なくとも一部を兼ねる円筒状基体１０２を、減圧かつ電気的に接地された反応容器１０１の内部に設置し、電源１０７から前記中心電極の一方の端部領域を経由して電力を供給することで前記中心電極と反応容器１０１との間に交番電圧を印加し、前記円筒状基体１０２の上に堆積膜を形成する電子写真感光体の製造方法において、前記中心電極の端部領域であって前記電源に接続されている端部領域とは反対側の端部領域の内側に、電気的に接地された円筒状可動部材１０８を誘電体を介して挿入することでコンデンサーを形成し、前記円筒状可動部材の侵入部分１１３の長さを変化させることによって前記コンデンサーの容量を堆積膜形成処理中に変化させる。 （もっと読む）

【課題】 チャージアップの抑制および二次反応の抑制を高いレベルで両立する電子写真感光体の製造方法を提供する。
【解決手段】 電極および円筒状基体の一方の電位に対する他方の電位が交互に正と負になるように、周波数３ｋＨｚ以上３００ｋＨｚ以下の矩形波の交播電圧を電極と円筒状基体の間に印加して、原料ガスを分解し、円筒状基体上に堆積膜を形成して、電子写真感光体を製造するにあたり、基体ホルダーと補助ホルダーとによって円筒状基体を長手方向に加圧した状態で保持し、前記正になるときの電極と円筒状基体の電位差の絶対値および前記負になるときの電極と円筒状基体の電位差の絶対値の一方が放電維持電圧の絶対値未満の値であって、他方が放電開始電圧の絶対値以上の値であるようにする。 （もっと読む）

【課題】 チャージアップの抑制および二次反応の抑制を高いレベルで両立する電子写真感光体の製造方法を提供する。
【解決手段】 電極および円筒状基体の一方の電位に対する他方の電位が交互に正と負になるように、周波数３ｋＨｚ以上３００ｋＨｚ以下の矩形波の交播電圧を電極と円筒状基体の間に印加して、原料ガスを分解し、円筒状基体上に堆積膜を形成して、電子写真感光体を製造するにあたり、前記正になるときの電極と円筒状基体の電位差の絶対値および前記負になるときの電極と円筒状基体の電位差の絶対値の一方が放電維持電圧の絶対値未満の値であって、他方が放電開始電圧の絶対値以上の値であるようにする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、簡易に、特性の均一性と画像特性を同時に向上させる方法を提供する。
【解決手段】 リング状部材１００，２００の外周面には、周方向に３箇所以上の凸部１０２を有し、凸部１０２の外接円の直径ｄ０は、円筒状基体１０８、下補助基体１０７、上補助基体１１２の内壁面の内径より大きくする。リング状部材１００，２００の凸部１０２を円筒状基体１０８、下補助基体１０７、上補助基体１１２の内壁面にくい込ませた状態で、基体ホルダ１１８に円筒状基体１０８、下補助基体１０７、上補助基体１１２を設置する。 （もっと読む）

【課題】ホーニング処理による堆積膜等の付着物除去能力を高いレベルで維持しつつ、研磨材の残留防止及び被処理材から生じる微粉やバリの埋め込みや摺り込みを抑制して、清浄な被処理材表面を得るための表面処理方法を提供する。
【解決手段】ホーニング処理として、１つの処理容器内で１つの被処理材に対して少なくとも２つのホーニング処理のための噴射ガンを同時に用い、モース硬度が被処理材よりも大きい少なくとも１種以上の研磨材とモース硬度が被処理材よりも小さい少なくとも１種以上の研磨材を個別の噴射ガンから噴射し、モース硬度が大きい研磨材から順に被処理部に吹き付けて表面処理を行う。 （もっと読む）

【課題】基体ホルダー外周面に残留したダストが円筒状補助基体と円筒状基体の端面間の隙間から飛散することを防ぐことができる真空処理方法を提供し、画像欠陥の原因となる電子写真感光体の球状突起を低減することにある。
【解決手段】真空処理方法であって、チャッキング部材の一部と円筒状補助基体の円筒状基体とは反対側の端面とが接触することによりチャッキング部材が円筒状補助基体を加圧し、円筒状補助基体が円筒状基体を押圧して両者の端面同士を密着させる工程と、円筒状基体と円筒状補助基体の端面同士が密着した状態で、搬送容器内を真空排気する排気工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】膜厚や膜特性の均一性に優れた堆積膜を形成し、かつ簡単な構成でメンテナンス性に優れた堆積膜形成装置を提供する。
【解決手段】基体が装着された基体ホルダが反応容器内に設置されると、導電性棒状体が移動または伸張して、導電性棒状体の側面が反応容器のゲート弁の弁体に接触し、導電性棒状体が反応容器と電気的に接続されることを特徴とする堆積膜形成装置。 （もっと読む）

【課題】 膜の構造欠陥および膜特性ムラが低減された高品質の感光体を低コストで製造することができる電子写真感光体の製造装置を提供する。
【解決手段】 原料ガス導入管が、回転可能な機構および周方向に複数のガス放出孔を有し、且つガス放出孔のうち利用しないガス放出孔を塞ぐ手段を有して、回転可能な機構を用いて原料ガス導入管を回転させてガス放出孔を塞ぐ手段によって塞がれるガス放出孔を切り替えることによって反応空間の内部への原料ガス導入に利用するガス放出孔を切り替えることができる構成とする。 （もっと読む）

【課題】 膜質の均一性に優れた堆積膜を有する電子写真感光体を製造する方法を提供する。
【解決手段】 真空気密可能な反応空間を有する反応容器内に、導電性の基体ホルダーに保持された導電性の円筒状基体および導電性の円筒状補助基体を設置し、該反応容器内に堆積膜形成用の原料ガスと高周波電力を導入してプラズマを生成することにより、該円筒状基体の表面に堆積膜を形成する電子写真感光体の製造方法において、該円筒状基体の端部と該円筒状補助基体の端部とが導電性材料を介して相接している状態で、該堆積膜の形成を行う。 （もっと読む）

【課題】フランジとの嵌合精度を高めることで電子写真感光体の偏芯を抑え、画像濃度ムラを効果的に抑制した電子写真感光体の製造方法を提供する。
【解決手段】シリンダーの外周面を切削する外周面切削工程と、前記シリンダーの切削された外周面の上に感光層をプラズマＣＶＤを用いて成膜する成膜工程とを有する電子写真感光体の製造方法において、前記成膜工程の後に、前記シリンダーの端部の内周面を加工する端部加工工程を有することを特徴とする電子写真感光体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】安価にメンテナンス性の向上を可能とする処理容器の設置方法を提供する。
【解決手段】複数の部材から構成され、かつ減圧可能な手段と接続される処理容器の設置方法であって、少なくとも、以下の工程を順次行う。（ａ）大気圧力状態の前記処理容器を、前記複数の部材の少なくとも一部が固定されていない状態で、被処理基体の受け渡しが行われる場所に配置し、（ｂ）前記被処理基体を搬送する搬送容器を前記処理容器に、前記複数の部材の少なくとも一部が固定されていない状態のまま接続し、（ｃ）前記搬送容器に対して前記処理容器が所定の位置となるように、前記複数の部材の各位置を調整し、（ｄ）前記減圧可能な手段を用いて、前記処理容器の内部の減圧を実施して前記複数の部材の全てを固定し、（ｅ）前記処理容器と前記搬送容器を切り離す。 （もっと読む）

【課題】 比較的高い成膜速度で、特性ムラおよび欠陥の少ない良好な堆積膜を形成する。
【解決手段】 円柱状または円筒状の複数の基体の外周面に堆積膜を形成する堆積膜の形成方法であって、複数の前記基体を、各中心軸を平行にして、隣り合う前記基体間で前記外周面同士を間隙をおいて対向させた状態で、反応室内に配置する第１ステップと、該反応室内に前記堆積膜の原料ガスを連続的に供給するとともに排出する第２ステップと、隣り合う前記基体を前記中心軸回りに互いに逆方向に回転させて、前記間隙に流れ込む前記原料ガスの流れを生じさせる第３ステップと、対向する前記外周面間に電圧を印加して前記原料ガスを分解し、分解生成物からなる堆積膜を前記外周面に堆積させる第４ステップと、を含むことを特徴とする堆積膜の形成方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】 膜特性の均一性に優れた電子写真感光体を形成することができる電子写真感光体の形成方法及び形成装置を提供する。
【解決手段】 基体ホルダー１０２に円筒状基体１０１、補助基体１０３を順に設置し、円筒状基体１０１と補助基体１０３が装着された基体ホルダー１０２を減圧可能な反応容器の中の接地接続された受け台１０７に設置し、反応容器の中に原料ガスを導入し、円筒状基体１０１を取り囲むように設置された電極に高周波電力を印加することにより、円筒状基体１０１の上に堆積膜の形成を行う電子写真感光体の形成方法において、補助基体１０３を加圧手段（バネ１０６）により円筒状基体１０１の長手方向へ加圧し、補助基体１０３を円筒状基体１０１へ押圧した状態で堆積膜の形成を行う。 （もっと読む）

【課題】 肉厚の薄い円筒状基体においても円筒状基体の端部変形を緩和することを可能にし、画像濃度ムラが抑制された高品質な画像が得られる電子写真感光体の製造方法を提供する。
【解決手段】 円筒状基体を基体ホルダーに設置し、減圧可能な反応容器内に搬入して、前記円筒状基体の上に光導電層を形成する電子写真感光体の製造方法において、少なくとも前記円筒状基体の両端内周面側に、前記円筒状基体の内周面側から外周面方向へ力を付与するように前記円筒状基体と同じ線膨張率の材料で形成された装着部材を設けることを特徴とする。 （もっと読む）