【課題】色収差が十分に除去されており、かつ球面収差を制御して集光点を形成できる。
【解決手段】光ビーム拡張レンズ系34と集光レンズ系38とを備える多焦点光学系である。光ビーム拡張レンズ系は、凹レンズ10と分割レンズの組20（20-1〜20-4）との組み合わせレンズ系であり、分割レンズのそれぞれは共軸光学系を構成するように光軸に沿って互いに異なる位置に配置されている。分割レンズの組は光軸に沿って移動させて凹レンズからの距離を調整することが可能とされている。 （もっと読む）

【課題】温度補償されたジッターが少ない走査光学装置を提供する。
【解決手段】走査レンズ（ｆθレンズ６）の主走査方向の像側主点から像点までの距離をｓ′、走査レンズの主走査方向の焦点距離をｆｍとして、０．２≦１−ｓ′／ｆｍ≦０．５ を満たし、入射光学系（回折レンズ２）は、回転対称回折面とアナモルフィック屈折面とを備えたレンズからなり、主走査方向の焦点距離をｆｉ［ｍｍ］として、１０≦ｆｉ≦２２を満たし、光学系全体の主走査方向の横倍率をｍＭ、副走査方向の横倍率をｍＳとして、ｍＭとｍＳの比ｍＭ／ｍＳがｍＭ／ｍＳ≧１．３８を満たし、入射光学系の主走査方向の屈折パワーφｎ、回折パワーをφｄとしてφｎとφｄの比φｎ／φｄが、ｇ２（ｆｉ）≦φｎ／φｄ≦ｇ１（ｆｉ），ｇ１（ｆｉ）＝０．０１５ｆｉ＋１．０７３，ｇ２（ｆｉ）＝−０．０１ｆｉ＋１．１８４を満たす。 （もっと読む）

【課題】光源から射出された複数の光束の被走査面上におけるビームスポット間隔の変動を抑制することができる光走査装置を提供する。
【解決手段】 光源、偏向器前光学系、ポリゴンミラー、及び走査光学系などを備えている。走査光学系は、第１走査レンズ２１、第２走査レンズ２２、第３走査レンズ２３を含んでいる。第１走査レンズ２１と第２走査レンズ２２は、樹脂製の走査レンズであり、第３走査レンズ２３は、ガラス製の走査レンズである。第３走査レンズ２３は、Ｚ軸方向に関してのみ正のパワーを有している。そして、副走査対応方向に関して、第１走査レンズ２１及び第２走査レンズ２２の焦点距離の絶対値は、第３走査レンズ２３の焦点距離よりも短いか等しい。 （もっと読む）

【課題】広視野かつ高解像の撮像装置において、視野全体にわたり良好な収差補正を行うことが可能な技術を提供する。
【解決手段】撮像装置が、撮像部と、試料の像を拡大して前記撮像部に導く結像光学系と、制御手段と、を備える。前記撮像部は、前記試料の像を複数の小区画に分けて撮像するための複数の撮像素子ユニットを有しており、前記複数の撮像素子ユニットのそれぞれは、撮像する小区画の像に含まれる収差を補正する収差補正手段と、前記収差補正手段により補正された像を撮像する撮像素子と、を有し、前記制御手段は、撮像する小区画の位置に応じて各撮像素子ユニットの収差補正手段の補正量を個別に制御する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、レーザー加工等に用いられるチルト誤差の影響を受けにくい非球面ホモジナイザーを提供する。
【解決手段】平行でエネルギー分布がガウシアン分布である入射ビームを屈折縮小させて、入射ビームの直径よりも小さい直径の範囲において像面に均一エネルギー分布のビームを形成するための１枚のレンズからなるホモジナイザーにおいて、前記レンズが、両面非球面又は片面が非球面、もう一方の面が凹の球面である非球面ホモジナイザー。 （もっと読む）

【課題】平行光ビームを入射し平行光ビームを出射するビームエクスパンダにおいて、入射した平行光ビームの直径に対する出射した平行光ビームの直径の比率であるビーム径拡張率を比較的大きくすることができ、しかも、ビームエクスパンダの全長を比較的短くすることができるビームエクスパンダを提供することを目的とする。
【解決手段】平行光ビームを球面光ビームに変えるＰ−Ｓコンバータと、上記Ｐ−Ｓコンバータが出射した球面光ビームを平行光ビームに変えるＳ−Ｐコンバータとを有し、上記Ｐ−Ｓコンバータの仮想点光源位置と上記Ｓ−Ｐコンバータの仮想点光源位置とを一致させるように、上記Ｐ−Ｓコンバータに対して、上記Ｓ−Ｐコンバータの光軸上の位置が設定されているビームエクスパンダである。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の強度分布を任意の強度分布に整形するレーザ光整形用光学系において、レーザ光を拡大又は縮小するために光学レンズの加工時間が増加することを抑制するレーザ光整形用光学系を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係るレーザ光整形用光学系１は、入射レーザ光の強度分布を変換して所望の強度分布に整形する強度変換レンズ１１と、強度変換レンズ１１からの出射レーザ光の位相を揃えて平面波に補正する位相補正レンズ１２と、強度変換レンズ１１と位相補正レンズ１２との間に配置され、強度変換レンズ１１からの出射レーザ光を拡大又は縮小する拡大縮小光学系２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の強度分布を任意の強度分布に整形することと、レーザ光の波面を制御することとを両立するレーザ光整形及び波面制御用光学系において、レーザ光を拡大又は縮小するために光学レンズの加工時間が増加することを抑制するレーザ光整形及び波面制御用光学系を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係るレーザ光整形及び波面制御用光学系１は、入射レーザ光の強度分布を変換して所望の強度分布に整形する強度変換レンズ１１と、強度変換レンズ１１からの出射レーザ光を変調して波面制御を行う光変調素子１２と、強度変換レンズ１１と光変調素子１２との間に配置され、強度変換レンズ１１からの出射レーザ光を拡大又は縮小する拡大縮小光学系２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】スキャナを用いて照明光による走査を行ないながら標本を観察する場合に、スキャナの位置と対物レンズの瞳位置とのずれにより生じる影響を低減させる。
【解決手段】光源２２からの照明光は、コリメートレンズ２３乃至第１対物レンズ３０を通って標本１２に照射される。このとき、走査ユニット２７により照明光が偏向されることで、照明光で標本１２の観察面が走査される。照明光を互いに直交する２方向に偏向させようとすると、走査ユニット２７を構成する２つの走査ミラーのうち、少なくとも一方は第１対物レンズ３０と共役な関係とはならなくなるので、照明光により第１対物レンズ３０の瞳が満たされなくなる場合がある。そこで、ビームエクスパンダ２４により照明光のビーム幅を広げることにより、照明光の偏向角度によらず常に瞳が満たされるようになる。本発明は、走査型顕微鏡に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】 光路レイアウトの自由度を高め、副走査方向について小型化し、良好な光学特性を有し、そして光学素子の部品点数を低減して、低コスト化を実現する。
【解決手段】 光走査装置は、異なる被走査面に対応する少なくとも２個の光源１１を備え、各光源１１から射出される光ビームは、主走査方向に回転する複数の反射偏向面を有する光偏向器１４の反射偏向面の法線に対し副走査方向に角度を持って、光偏向器１４の同一の反射偏向面により反射偏向され、全ての光ビームで共用される少なくとも１枚の走査レンズ１５により各対応する被走査面に集光される。走査レンズ１５の少なくとも１面は、副走査方向に並ぶ複数の屈折面を有し、各屈折面は、副走査方向に正の屈折力を持ち、各屈折面の面頂点を、それぞれの屈折面を通過する光束に対して、走査レンズ１５の副走査方向の中心側に偏心させて、配置される。 （もっと読む）

【課題】光情報記録媒体へのホログラフィック記録多重度を上げるために参照光ビームの入射角度ピッチを小さくした場合に生じる、多重記録された各ページデータ間でのクロストークを低減し、良好な品質のページデータを再生する。
【解決手段】参照光ビーム２２３の光路中にその波面（等位相面）形状を互いに異なる複数の形状に逐次可変制御できる参照光ビーム波面変換装置２３０、２３１を設け、ページデータ多重記録時に参照光ビーム２２３の入射角度と共に、その波面（等位相面）形状を逐次変化させるようにした。これによりホログラフィック記録方式が持つ参照光ビーム角度選択特性と波面形状選択特性の両方の特性を利用でき、ページデータ間のクロストークをより効果的に低減することができる。 （もっと読む）

【課題】エネルギー損失が少なく、よりコンパクトな構成で、入射光束の強度分布を均一な分布に変換できるようにする。
【解決手段】入射面２１と射出面２２の曲率半径とコーニック定数が負となるようにし、射出瞳半径をD_expとして、ビーム整形光学系１１の光軸からの各高さｈの位置における、入射面２１と射出面２２のサグ量の差分が０＜ｈ＜D_expにおいて常に正であり、かつ少なくとも１つの変曲点をもつとともに、変曲点のうち、光軸からの高さが最も小さい変曲点の光軸からの高さをh_inflとし、ビーム整形光学系１１の入射瞳半径をD_entとしたときに、h_infl／D_ent＜0.6を満たし、さらに、サグ量の差分の一次微分値が２つの変曲点をもつように、ビーム整形光学系１１を構成する。これにより、１つのレンズ素子により、入射光束の強度分布を均一な分布に整形することができる。本発明は、非球面レンズに適用することができる。 （もっと読む）

【課題】アパーチャによるビームの光量の減衰を低減できる光走査装置を提供する。
【解決手段】光走査装置２３は、光源６１から出射されたビームＬＢを光偏光器６８によって偏光し、偏光されたビームＬＢで被走査体（感光体ドラム２１）を走査する。光走査装置２３は、ビームＬＢを出射する光源６１と、光源６１から出射されたビームＬＢを整形する開口部６３ａが設けられたアパーチャ６３と、アパーチャ６３で成形されたビームＬＢを縮小する縮小光学部６４と、光源６１から縮小光学部６４までの間に配置され、ビームＬＢを平行化するコリメータ６２とを備える。縮小光学部６４は、入射したビームＬＢを平行光として出射する。アパーチャ６３および縮小光学部６４は、光源６１から光偏光器６８までの間に配置されている。 （もっと読む）

【課題】一対の非球面レンズを備えるレーザ光整形用光学部品であって、より高精度にレーザ光の強度分布を任意の強度分布に整形することが可能なレーザ光整形用光学部品の設計方法を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係るレーザ光整形用光学部品の設計方法は、入射レーザ光の強度分布を計測し、計測した入射レーザ光の強度分布を分布方向に分割して複数の入射光分割領域を求め、所望の強度分布に応じて複数の入射光分割領域それぞれの高さを調整すると共に分布方向の幅及び位置を調整して複数の出射光分割領域を求め、入射側非球面レンズにおける複数の入射光分割領域の分布方向の位置と出射側非球面レンズにおける対応の複数の出射光分割領域の分布方向の位置とから光路を特定し、光路から一対の非球面レンズの形状を求める。 （もっと読む）

【課題】長短軸方向ビームサイズを方向別に変更可能とするとともに、均一な強度でビームを照射することができるようにする。
【解決手段】長軸方向及び短軸方向それぞれの方向に対応して配置され、各レンズ間の間隔が可変のシリンドリカルアレイレンズ群１０ａ，２０ａと、長軸方向及び短軸方向のうち一方向に対応して配置され、各レンズ間隔が可変のシリンドリカルテレスコープレンズ群３０ａと、を含み、光源１から入射した平行光の直交する２軸方向のサイズを変更するビームサイズ可変光学系を備えたビームサイズ可変照明光学装置であって、前記シリンドリカルアレイレンズ群１０ａ，２０ａ及び前記シリンドリカルテレスコープレンズ群３０ａのいずれか一方のレンズ群のレンズ間隔を変更し（Ｄｂ）、投影面９上の長軸方向又は短軸方向のビームサイズを方向別に変更する。 （もっと読む）

【課題】光源からの発散光の光強度分布を均一化すると共に光利用効率を向上させ、光源のＮＡの違いを容易に吸収し、かつローコストな光強度分布補正光学系およびそれを用いた光学顕微鏡を提供する。
【解決手段】平面のＸＹ方向で大きく発散角が異なる入射光の強度分布を平坦な強度分布に補正する光強度分布補正光学系は、前記入射光の大きな発散角の方向に正の屈折力を持ち、その直角方向に屈折力を持たない少なくとも１つのシリンドリカルレンズから成る第１レンズ群４２と、この第１レンズ群４２の後段に配置され、前記入射光の小さな発散角の方向に正の屈折力を持ち、その直角方向に屈折力を持たない少なくとも１つのシリンドリカルレンズから成る第２レンズ群４３とを有し、平面のＸＹ方向で大きく発散角が異なる点光源４１からの入射光をコリメートすると共に、各レンズ群４２、４３の球面収差により前記入射光の強度分布を平坦にして出射する。 （もっと読む）

【課題】 短時間で回折格子を作製することができると共に、回折格子の回折面の断面形状を直線で加工しても位相誤差（スポット劣化）の発生が少ない光学素子及びそれを用いた光走査装置を得ること。
【解決手段】 回折面の断面形状が直線で形成されている回折格子からなる回折光学面を少なくとも一面に有する光学素子であって、回折光学面において、軸上に集束する光束が受ける回折パワーと、回折格子が形成されている屈折面の屈折パワーをそれぞれφDO、φrefとするとき、回折パワーφDOと屈折パワーφrefの符号は逆符号で、かつ
0＜φDO＜1.8×10^-3(1/mm)
なる条件を満足すること。 （もっと読む）

【課題】光走査光学装置を低価格化、小型化、軽量化することが課題である。
【解決手段】レーザ光を照射する光源と、レーザ光を偏向し、被走査面上で主走査方向に走査させる走査光学手段と、レーザ光の走査速度を等速にする走査光学系と、レーザ光を線状光にし、反射面に結像させる線状集光素子と、を備え、線状集光素子は、レーザ光が入射する又は出射する面のうち一方の面に回折効果を有する回折部を備え、周囲温度変動に起因する前記回折部のパワー変化が、副走査方向における周囲温度変動起因の焦点位置変化を補正するように回折部は形成され、回折部は、第１の回折面と第２の回折面とを含むブレーズド格子形状をなし、第１の回折面は、平面状に形成され、第２の回折面は、曲面状に形成されることを特徴とする光走査光学装置。 （もっと読む）

【課題】斜入射方式の光走査装置をより簡素化し、波面収差の増大を有効に抑制して、良好な光走査を可能とする。
【解決手段】斜入射方式において、走査レンズ５は、同一の偏向反射面により偏向された複数の走査ビームに共通で、単一のレンズ体であり、偏向反射面の側は単一の入射面５０をなし、被走査部側の面は、各被走査部に対応して副走査方向に分離した複数の射出面５Ａ、５Ｂをなし、入射面５０は、主走査方向の周辺に向かって、副走査方向の屈折力が減少する特殊面として形成され、射出面５Ａ、５Ｂは、主走査方向・副走査方向ともに正の屈折力を持つ面として形成されている。 （もっと読む）

【課題】 副走査断面内の像面湾曲や歪曲（DIST)などの収差を良好に補正し、良好なる光学性能を得ることができる走査光学装置を得ること。
【解決手段】 複数の発光部を有する面発光型のレーザ光源から射出された複数の光束を集光する集光素子を含む第１の光学系と、第１の光学系から射出された光束を偏向する偏向手段と、偏向手段により偏向された光束を被走査面上に結像させる第２の光学系とを有し、第２の光学系を構成する１つの結像光学素子の光学面の形状は副走査断面内において非円弧形状であり、複数の発光部の発光部の数Ｎ、集光素子の焦点距離Ｆｃｏｌ(mm)、集光素子の有効最大イメージサークルＩＳ(mm)、第２の光学系の副走査方向の結像倍率β_Ｆθ、複数の光束の被走査面上における副走査方向のビーム間隔ＤＰＩ(mm)を適切に設定し、レーザ光源と偏向手段との間に配置した絞りに隣接した光学素子の光学面は、副走査断面内において非円弧形状であること。 （もっと読む）