【課題】 例えば間隔を隔てた２つのパターンの像を所定領域内に並列的に形成する双頭型の投影光学系。
【解決手段】 第１面（Ｍａ）の像を第３面（Ｗ）に形成する投影光学系は、第１結像光学系（Ｇ１）と、第３結像光学系（Ｇ３）と、第１結像光学系からの光を第３結像光学系へ導く第１偏向部材（Ｍ１）とを備えている。第３結像光学系においてパワーを有するすべての光学素子は屈折光学素子である。 （もっと読む）

【課題】すべての像方向に沿ったゆがみ誤差をほぼ補正することができる大開口数で作動可能なＥＵＶ投影レンズを提供する。
【解決手段】極紫外線（ＥＵＶ）スペクトル領域からの電磁放射を用いて物体平面上に配置されたパターンを像平面上に結像する投影レンズであって、反射コーティングを有して投影レンズの光軸を定める幾つかの結像鏡が、物体平面および像平面間に配置されており、各々の鏡がその鏡に特徴的な入射角範囲にわたって照射されるように、複数の鏡が相互に構成および配置されており、少なくとも最大入射角範囲を有する鏡が、コーティング軸に関して回転対称であるフィルム厚さ勾配を有する非中心性漸変反射コーティングを有しており、コーティング軸が投影レンズの光軸とほぼ一致している投影レンズ。 （もっと読む）

【課題】高ＮＡで、部材の配置スペースを確保でき、優れた像性能を有する８枚以上の反射面を有する投影光学系を提供する。
【解決手段】投影光学系は、物体面ＭＳ上のパターンを像面Ｗ上に縮小投影する。該投影光学系は、物体面からの光を順に反射する、凹面形状の第１反射面Ｍ１、凸面形状の第２反射面Ｍ２、凹面形状の第３反射面Ｍ３、第４反射面Ｍ４、第５反射面Ｍ５、第６反射面Ｍ６、第７反射面Ｍ７、及び第８反射面Ｍ８を有する。第１反射面と第２反射面との間の光路上に開口絞りＡＳが配置され、さらに第４反射面と第５反射面との間の光路上に中間像ＩＭが形成される。 （もっと読む）

【課題】 光源から射出される光を効率よく利用することのできる光学ユニットを提供すること。
【解決手段】 光学ユニットが、仮想面を挟んで２つの反射面が対向して配置されている光学ユニットであって、一方の側の反射面は、半球状の第１反射面と、放物面であってその頂点近傍に第１開口部を有する第２反射面を備え、他方の側の反射面は、放物面であってその頂点近傍に第２開口部を有する第３反射面を備え、第１反射面の周辺部が第１開口部と接するように設けられ、第２反射面の放物面頂点が第３反射面の放物面焦点位置と一致し、第３反射面の放物面頂点が第２反射面の放物面焦点位置と一致するように第２反射面と第３反射面が配置され、第１反射面の曲率中心が第２反射面の放物面頂点と一致するように第１反射面と第２反射面が配置され、仮想面よりも第１反射面側に設けられた第１屈折面と、仮想面よりも第３反射面側に設けられた第２屈折面を有すること。 （もっと読む）

【課題】第１、第２光変調素子間でのモアレによる表示画質の低下を抑制でき、装置の信頼性を確保できる画像表示装置を提供する。
【解決手段】本発明の画像表示装置は、光源２と、第１光変調素子（輝度変調用ライトバルブ３４）と、第２光変調素子（色変調用ライトバルブ３２）と、第１光変調素子の光学像を第２光変調素子に伝達するリレー光学系と、を備え、リレー光学系が、入射側と反対側に第１光変調素子による光学像の像を形成する透過型像形成素子（マイクロミラーアレイ２５）を有し、光源から射出され透過型像形成素子の第１の面で反射した第１の光、光源から射出され透過型像形成素子の反射面で反射せずに貫通孔を通過した第２の光の少なくともいずれか一方の光を透過型像形成素子に向けて反射させる再帰反射素子（コーナーキューブアレイ４５，４６）が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 サイズが小さいまま、像面湾曲を補正することで、高性能な小型の表示装置を提供する。
【解決手段】 照明光を出射する出射機構１、３１と、画像を形成する表示素子２０とを備える表示装置１０、３０であって、表示素子２０は、中心から周辺部に向かって出射方向に突き出ていく出射面を有することを特徴とする。また、表示素子２０の出射面は、曲面形状であることが好ましく、表示素子２０は、反射型表示素子又は透過型表示素子であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】走査速度及び走査精度の向上を図る。
【解決手段】ポリゴンミラー１０４の偏向面の、副走査方向の断面曲線要素の平均長さＲＳｍを、偏向面に副走査方向に隣接して形成される光ビームのスポット間の距離ｂよりも小さくする。これにより、ポリゴンミラー１０４の偏向面に生じた面うねり等により、各光ビームのスポット形状が不均一になることを回避することができ、被走査面を短時間に精度よく走査することが可能となる。特に、一度に走査する光ビームの数が多い場合には、最終的に形成される画像を構成するドットサイズが一定となるため、粒状性の劣化を効果的に回避することができる。 （もっと読む）

【課題】
直視型液晶表示装置に用いられる照明光を調光する調光部のサイズは、画像表示用液晶パネルとほぼ同サイズとなり、高価となる。
【解決手段】
光源(110)から射出された光量を可変する調光部として、画像表示用液晶パネルのサイズに較べて小さい、映像信号に対応して入射光の強度を変調する液晶パネルで構成された光変調部(150)を用いる。そして、光変調部で映像信号に基づき画素毎に調光された光束を、投写部(10)により画像表示用液晶パネル(170)に拡大投写する。これにより、低コストでコントラストが向上された映像を表示可能な表示装置を提供できる。 （もっと読む）

【課題】比較的大きな透過を有し高い開口数で動作可能な従来の系よりも高いウェハ処理量を有するＥＵＶ投影光学系を提供する。
【解決手段】光学系は、放射線を結像する複数の要素を有し、該要素は放射線経路に位置決めしたミラー要素を含む。ミラー要素のうち少なくとも１つは、瞳面または瞳面付近に配置された瞳ミラーである。瞳ミラー以外のミラー要素のうち少なくとも１つは、残りのミラーの入射角範囲の最大値と、平均入射角の最大値のうち少なくとも１つが生じる位置に配置された高負荷のミラーである。瞳ミラー面は多層スタックを含む一次元的な漸変コーティングの反射コーティングによって形成され、該層は第１勾配関数に応じて第１方向に変動し、第１方向に垂直な第２方向では実質的に一定である幾何学的な層厚さを有する。高負荷のミラーのミラー面は、第２勾配関数に応じて漸変コーティングとして設計された反射ミラーコーティングで被覆される。 （もっと読む）

【課題】光路長を確保しつつ、装置を小型化することが可能な光走査装置を提供する。
【解決手段】このレーザスキャナユニットＵでは、フレーム２の中央にポリゴンミラー３を設けるとともに、このポリゴンミラー３の左右の側方に該ポリゴンミラー３に近接してｆθレンズ８２を設けている。そして、ｆθレンズ８２の前方に位置するフレーム２の前面２２に一対の発光ダイオード６を配設するとともに、各発光ダイオード６からフレーム２の後方に向けて発射された光をポリゴンミラー３へと導くための第１光学系を、ｆθレンズ８２の近傍に設けている。第１光学系は、発光ダイオード６からの光を反射してポリゴンミラー３に入射させる折返しミラー７６を含んでおり、この折返しミラー７６へと向かう各光路ＲＭ，ＲＣが、ｆθレンズ８２の光軸８２ａに略直交するとともに、光軸８２ａの上下に振り分けられている。 （もっと読む）

【課題】 画像を光学系により変倍して観察者に提示する場合に、変倍後の画像に対する違和感（歪み感）を軽減させるための技術を提供すること。
【解決手段】 枠領域２０３ｂを遮蔽するために、枠状の遮蔽部材５０１を、ＬＣＤ２０３から距離Ｌだけ離間してＬＣＤ２０３に重ねる。光学系の焦点距離をｆ、人の瞳径として統計的に予め測定された値をＤ、枠領域の幅をＢ、遮蔽部材の一辺によって遮蔽する対象の枠領域の一辺において、遮蔽できていないであろう幅として予め統計的に測定された値をＡとすると、距離Ｌは次の式を満たす。距離Ｌ＜２×（Ｂ−Ａ）×ｆ／Ｄ。 （もっと読む）

【課題】光により被走査面上を安定して走査する。
【解決手段】シリンダレンズ２０４ａからの光Ｂｋ及びシリンダレンズ２０４ｂからの光Ｂｃは、いずれもポリゴンミラー１０４の偏向反射面の法線方向ＲＨに対して−Ｚ側に傾斜してポリゴンミラー１０４に入射するように設定する。また、シリンダレンズ２０４ｃからの光Ｂｍ及びシリンダレンズ２０４ｄからの光Ｂｙは、いずれもポリゴンミラー１０４の偏向反射面の法線方向ＲＨに対して＋Ｚ側に傾斜してポリゴンミラー１０４に入射するように設定する。すなわち、ポリゴンミラー１０４の−Ｘ側に入射する光及び＋Ｘ側に入射する光は、少なくとも副走査方向に関して、ポリゴンミラー１０４の法線方向に対して互いに反対側に傾斜している。 （もっと読む）

【課題】投射光学系の瞳収差に起因する画面上の輝度ムラを抑えた高性能で薄型の背面投射装置を提供する。
【解決手段】背面投射装置は、中心主光線がスクリーンＳＣに対して斜めに入射するように、非軸対称な投射光学系ＰＯで画像投影を行う。投射光学系ＰＯは回転非対称な自由曲面から成る反射面を少なくとも１面有し、スクリーンＳＣは回転対称なフレネルレンズを有する。フレネルレンズは、そこから射出する光束の主光線が互いに略平行になるように、投射光学系ＰＯの瞳収差を打ち消す収差を持つ。 （もっと読む）

【課題】収差を補正する対策として、設計が簡単で、視野一定プロファイルおよび視野依存性プロファイルのどちらを用いても可能である投影対物レンズを提供する。
【解決手段】リソグラフィ用投影対物レンズは、物体平面Ｏと像平面Ｂとの間に光学素子の光学的構成１２を備える。構成１２は、少なくとも１つの中間像平面Ｚを有し、構成１２は、収差を補正するための少なくとも２つの補正素子Ｋ_１，Ｋ_２をさらに有し、そのうち第１補正素子Ｋ_１は、光学的に少なくとも瞳孔平面Ｐの近傍に配置され、かつ第２補正素子Ｋ_２は、瞳孔平面Ｐにも視野平面Ｆにも光学的に近くない領域に配置される。 （もっと読む）

【課題】マイクロリソグラフィ用の投影露光装置が複数の鏡（Ｍ１からＭ６）とともに結像光学系（６）を備える。これらの鏡により、像平面（８）内の像視野に物体平面（４）内の物体視野を結像させる。
【解決手段】これらの鏡のうちの１つ（Ｍ６）は、結像光（３）が通過するスルーホール（２３）を備える。少なくとも１つの鏡（Ｍ１からＭ６）の反射面は、回転対称関数では記述できない自由曲面の形態である。投影露光装置は、照明光と結像光（３）用の光源、及び照明光（３）を結像光学系（６）の物体視野に照明光（３）を当てるためのレンズ系を備える。レチクル及びウェハを備えることにより、またレチクル上の構造をウェハの感光層上に投影することにより、又はウェハ上に微細構造を形成することで、投影露光装置により微細構造構成要素を形成する。物体平面及び像平面が入れ替わる対応する結像光学系を顕微鏡レンズとして使用することができる。 （もっと読む）

【課題】投影露光システムの単純な設計により、投影光学系の少なくとも１つの屈折サブユニットの構成要素を効率的に利用することが可能になるように、投影露光システムのための投影光学系を改良すること。
【解決手段】少なくとも１つの曲面ミラーＭ１〜Ｍ６を含む投影光学系６は、物体視野を像平面８内の像視野にマップする。投影光学系６は、物体平面４と像平面８との間の結像ビーム・パス内に少なくとも１つの屈折サブユニット２７を有する。投影光学系６の少なくとも１つのミラーＭ１〜Ｍ６の反射面が回転対称関数によって説明不可能な静的自由曲面として構成されている。 （もっと読む）

【課題】小型、軽量の望遠鏡や双眼鏡に好適な望遠鏡光学系を提供すること。
【解決手段】対物レンズ１と、樹脂製部材のミラーからなる少なくとも一つの光学素子３、４とを有し、前記対物レンズ１と前記光学素子３との間に、前記光学素子の前記ミラー面で発生する非点収差を補正するための収差補正レンズ２を配置した望遠鏡光学系１０。 （もっと読む）

【課題】より低いコストで光学性能の劣化を低減することが可能な投射光学系の提供。
【解決手段】パワーを有する少なくとも一つの光学素子を含むと共に物体と共役な像を被投射面に向かって投射する、投射光学系において、該パワーを有する少なくとも一つの光学素子における該光学素子に入射する光束の断面積の最大値よりも小さい面積を有する開口を備えた部材、及び、前記開口の少なくとも一部を覆うと共に前記被投射面に向かって投射される光を透過させる光透過性部材を含むことを特徴とする投射光学系。 （もっと読む）

【課題】ゲート３１の位置を工夫することにより、接眼プリズム２２を基準面Ｓに対して略対称な形状に成形し、高い成形精度を実現する。
【解決手段】接眼プリズム２２の入射面（面２２ａ）、反射面（面２２ｅ）、射出面（面２２ｂ）の各面の稜線部のうちで、上記各面を横切る基準面Ｓと交差する稜線部のいずれか（例えば稜線部２２ａ₁）に、金型に樹脂を流し込む際の入口となるゲート３１を設ける。そして、このゲート３１を介して金型に樹脂を流し込み、該樹脂を硬化させる。このように位置するゲート３１を介して金型に樹脂を流し込むことにより、基準面Ｓに対して両側に均等に樹脂を流し込むことができ、対応する金型を用いて、全体の形状が基準面Ｓに対して略対称な接眼プリズム２２を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】複数の投影光学系を用いてマスクのパターンの拡大像を物体上に形成する場合に、そのマスクのパターンをより小さくする。
【解決手段】マスクＭＡと基板ＰＴとを相対的に移動して、マスクＭＡのパターンの拡大像を基板ＰＴ上に形成する投影露光装置であって、同一の拡大倍率を有し、それぞれマスクＭＡのパターンの像を基板ＰＴ上に形成する投影光学系ＰＬ１，ＰＬ２を備え、投影光学系ＰＬ１，ＰＬ２のマスクＭＡ上の視野点ａ，ｂを結ぶことで得られる第１線分と、それらの視野点の基板ＰＴ上での共役点Ａ，Ｂを結ぶことで得られる第２線分とに着目した場合に、第１線分と第２線分とがその拡大倍率を倍率比として用いた２つの相似形の対応する辺を構成している。 （もっと読む）