【課題】撮像光学系における絞り機構を改善することにより、フレアやゴーストを防ぎ、ダイナミックレンジの範囲を拡大することを可能にした撮像装置を提供することにある。
【解決手段】少なくとも、撮像光学系２と、撮像光学系２により被写体の光学像を結像する撮像素子５とを備える撮像装置１において、撮像光学系２は、その結像光学系において少なくとも１つを反射ミラー４、７で構成するとともに、反射ミラーの１つが絞り機能６、７、８を有することを特徴とする撮像装置である。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造を用いて温度変化による光学部材の位置の変化を抑制できる光学系を提供する。
【解決手段】鏡筒によってミラーＭ１〜Ｍ６を支持する投影光学系ＰＯにおいて、その鏡筒は、温度変化による熱変形によって、ミラーＭ１〜Ｍ６のうちのミラーＭ１をＺ方向に変位させる支持部材２２と、温度変化による熱変形によって、ミラーＭ１のＺ方向への変位が相殺されるようにミラーＭ１を変位させ、支持部材２２とは線膨張係数の異なる部分鏡筒１２Ａとを含む。 （もっと読む）

【課題】組み立て時での母線の曲がりを調整する際の操作性を向上させることができる構成を備えた光走査装置を提供する。
【解決手段】光学素子３０５を支持し、光軸周りに回転させる向きに揺動可能な支持部材３０１’の主走査方向端部に設けられた加圧手段３２６’において、支持部材３０１’に挿通され、先端がベース部材１０００に埋設されるロッド部材からなるガイドピン３２６Ａ’と、ガイドピン３２６Ａ’に挿嵌されてガイドピン３２６Ａ’の頭部との間に配置されるスプリング３２６Ｂ’の抜け止めを行う抜け止め３２６Ｃ’とをユニット構造とし、組み立て時の支持部材３０１’を光学素子３０５の母線の曲がり矯正の際に部品の分散脱落などを防止することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光学素子の波面収差を好適に維持できる光学素子位置調整装置、光学系、露光装置及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】光学素子位置調整装置は、ミラー３３，３５を保持し、且つ鏡筒２９に対してミラー３３，３５を６自由度方向に移動させるべく駆動する駆動部を有するミラー保持装置と、第６ミラー３５のＺ軸方向における位置を計測するための第６軸方向計測器６１Ｆと、第４ミラー３３のＹ軸方向における位置を計測するための鏡筒半径計測器６２及び間隔計測器６３と、各計測器６１Ｆ，６２，６３からの計測結果に基づきミラー保持装置を制御する制御装置とを備えている。 （もっと読む）

【課題】観察者の頭部に装着されたときのフレームの変形が、画像表示装置によって得られる画像と観察者の瞳との間の相対的な位置関係に影響を与えることのない頭部装着型ディスプレイを提供する。
【解決手段】観察者の頭部に装着される眼鏡型のフレーム１０及び２つの画像表示装置を備えており、各画像表示装置は、画像生成装置１１０Ａ，１１０Ｂ、及び、全体として画像生成装置よりも観察者の顔の中心側に配置され、画像生成装置から出射された光が入射され、導光され、観察者の瞳４１に向かって出射される導光手段１２０から構成されており、２つの画像生成装置１１０Ａ，１１０Ｂを結合する結合部材２０を更に有し、結合部材２０は、観察者の２つの瞳４１の間に位置するフレームの中央部分１２に取り付けられており、各画像生成装置１１４０Ａ，１１０Ｂは観察者の瞳４１よりも外側に位置している。 （もっと読む）

【課題】ミラーに振動を伝えることなくミラーを裏面側から効率的に変形及び／又は冷却できる装置を提供する。
【解決手段】ミラー装置は、ミラーＭ１の裏面に隔壁部３５ｄによって区分けされた複数の穴部３５ｃと、複数の穴部３５ｃの底面にそれぞれ固定された複数の薄膜圧電素子４１と、穴部３５ｃに差し込まれる複数の突部３６ａを有する放射温調板３６と、ミラーＭ１を変形させるために、その複数の薄膜圧電素子４１に加える電圧を個別に制御するミラー制御系４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】撮像光学系を改善することにより、フレアやゴーストを防ぎ、ダイナミックレンジを広範囲化することを可能にした広ダイナミックレンジ撮像装置を実現すること。
【解決手段】少なくとも、撮像光学系１と、撮像光学系１により被写体の光学像が結像される撮像素子４を備える広ダイナミックレンジ撮像装置において、撮像光学系１は、その結像光学系のすべてを反射ミラーで構成したことを特徴とする広ダイナミックレンジ撮像装置である。 （もっと読む）

【課題】撮像光学系における絞り機構を改善することにより、フレアやゴーストを防ぎ、ダイナミックレンジの範囲を拡大することを可能にした撮像装置を提供することにある。
【解決手段】少なくとも、撮像光学系２と、撮像光学系２により被写体の光学像を結像する撮像素子５とを備える撮像装置において、撮像光学系２は、その結像光学系において少なくとも１つが反射ミラーで構成され、該反射ミラーは、透明部材６と、透明部材６の入射面とは反対側の面に接する反射面を有すると共に、該反射面の反射面積を可変することにより絞り機能を有する流体材料７と、流体材料７の反射面積を可変する反射面積可変手段９，１０，１１とからなることを特徴とする撮像装置である。 （もっと読む）

光学装置は、ビーム（１０）を伝達することができる複数の光学素子（８、８’）を有するとともに、少なくとも１つの部分ハウジング（９、９’）を備え、少なくとも１つの部分ハウジング（９、９’）は、光学素子（８、８’）の表面から、ビームが光学素子（８、８’）から出射する方向、またはビームが光学素子に入射する方向に延在し、少なくとも１つの部分ハウジング（９、９’）の形状はビームの形状に適合し、少なくとも１つの部分ハウジング（９、９’）は、それ自体から機械的に分離された測定構造体（１１）によって少なくとも部分的に取り囲まれ、前記測定構造体（１１）は、少なくとも１つのセンサ（１２、１７）を有する。
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本明細書中では、レーザー（１１８）および付随する構成要素（１０６、１０８、１１０、１１２、１１４、１１６）が内部に挿入されている多重視野反射望遠鏡（１０１、１０１’）が記載されている。さらに、本明細書では、目標（例えば標的）を測距するかまたは目標（例えば標的）を指定−ハイライト表示する目的で多重視野反射望遠鏡を使用する方法（４００、５００）が記載されている。
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【課題】反射面を含む結像光学系を採用しつつ、色収差も補正可能で、歪みなく大画面を投射できる投射光学系を実現する。
【解決手段】画像を形成するライトバルブ１５に形成された画像を、投射光学系により拡大投射する画像投射装置において、ライトバルブ１５に形成された画像を平面の投影面２１に拡大投影する投射光学系であって、ライトバルブ１５の投影側に、ライトバルブ１５の側から第１、第２の順に配設される第１及び第２の光学系を有し、第１の光学系１７は１以上の屈折光学系を含み、正のパワーを有し、第２の光学系１９は正のパワーを有する反射面を１以上含み、正のパワーを有し、ライトバルブ１５により形成された画像を、第１及び第２の光学系１７、１９の光路上の空間に中間像として結像させ、中間像として結像した後の発散する光束を反射面１９で反射することで中間像をさらに拡大し、最終像として投影面２１に投射し、中間像の形状によって最終像の平面方向の形状が補正されていることを特徴とする。 （もっと読む）

結像光学系（７）は、複数のミラー（Ｍ１〜Ｍ６）を有する。結像光学系（７）は、物体平面（５）の物体視野を像平面（９）の像視野内に結像する。ミラー（Ｍ５，Ｍ６）の少なくとも１つは、結像光（３）の通過のための貫通開口部（１８，１９）を有する。ミラー（Ｍ１〜Ｍ６）の配列は、主光線が、物体平面（５）と下流の第１のミラー（Ｍ１）との間の結像光（３）のビーム経路内で平行に又は発散して進むようなものである。本発明の第１の態様では、結像光学系（７）は、物体平面（５）の前の５ｍ〜２０００ｍの範囲の結像光（３）のビーム経路内に位置する入射瞳平面を有する。本発明の第２の態様では、結像光学系は、物体平面（５）の前１００ｍｍ〜５０００ｍｍの範囲の結像光のビーム経路内に位置する入射瞳平面を有する。改善された結像品質を有する結像光学系がもたらされる。 （もっと読む）

画像を表示するため、及びボリュメトリックユーザインターフェースを実現するための方法及びシステムを開示する。一つの実施形態では、複数の観察者にコンテンツを表示するためのシステムであって、各々コンテンツの少なくとも一部分のものでありかつ各々がそれ自体の観察可能性空間から観察可能である複数のボリュメトリック画像を生成するためのユニットと、１つ以上の前記観察可能性空間の一部分を各々の観察者の瞳と制御する光学系とを含むシステムを提供する。別の実施形態では、第１空中浮遊ディスプレイの表示空間に第１画像を表示するステップと、第１空中浮遊ディスプレイの表示空間に実際の物体を挿入するステップと、第１空中浮遊ディスプレイの表示空間内の実際の物体の位置を突き止めるステップと、表示空間内で実際の物体を検知するステップと、空中浮遊ユーザインタフェースへの入力として位置を提供するステップとを含む、空中浮遊ユーザインタフェースを実現するための方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】 走査露光時の走査速度を高速化する。
【解決手段】 第１面（ＰＮ１）の像を第２面（ＰＮ２）に投影する投影光学系は、第１面と交差する所定平面（ｘｚ平面）に平行な第１光軸（ＡＸ１）を有する第１凹面鏡（ＣＭ１）および所定平面に垂直な第１平面鏡（ＦＭ１）を含み、第１面の第１領域（Ｒ１）と光学的に共役な第１共役面（Ｃ１）を形成する第１結像系（Ｇ１）と、所定平面に平行な第２光軸（ＡＸ２）を有する第２凹面鏡（ＣＭ２）および所定平面に垂直な第２平面鏡（ＦＭ２）を含み、第１面の第２領域（Ｒ２）と光学的に共役な第２共役面（Ｃ２）を形成する第２結像系（Ｇ２）と、第２面の第３領域（Ｒ３）と第１共役面とを光学的に共役にし、第２面の第４領域（Ｒ４）と第２共役面とを光学的に共役にする第３結像系（Ｇ３）とを備えている。 （もっと読む）

マイクロリソグラフィのための照明光学ユニットは、物体視野を照明光で照明するように機能する。第１のファセットミラー（１３）は、複数の第１のファセット（１９）を有する。第２のファセットミラー（１４）は、複数の第２のファセット（２０）を有する。第１のファセットミラーのファセットと第２のファセットミラーのファセットとをそれぞれ含むファセット対（１９，２０）は、物体視野を照明するための複数の照明チャンネルを予備形成する。照明チャンネルの少なくとも一部は、各場合に、それぞれの照明チャンネル内で誘導される照明光の個別偏光状態（ｘ−Ｐｏｌ，ｙ−Ｐｏｌ，ｘｙ−Ｐｏｌ，ｙｘ−Ｐｏｌ）を予備形成するために割り当てられた偏光要素を有する。その結果、下流の結像の高い構造解像度を保証する物体視野の照明がもたらされる。 （もっと読む）

【課題】光走査装置において、簡単な構成で、射出瞳を移動させる。
【解決手段】光走査装置は、光源１０１と、該光源からの光束のうち一部領域内の部分光束を走査する走査ユニット１０４と、該走査ユニットからの部分光束を集光する走査光学系１０５と、光源からの光束の幅内での上記一部領域の位置を変更する領域変更機構１１０とを有する。さらに、別の光走査装置は、走査光学系からの部分光束を、観察者の眼が配置される射出瞳１０７に導く接眼光学系１０６を有し、領域変更機構は、走査ユニットを、光源、走査光学系及び接眼光学系に対して移動させて上記一部領域の位置を変更する。
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【課題】装置全体の複雑化を抑制しつつ、光学素子の位置及び形状の調整を行うことができる光学素子保持装置、光学系、露光装置、デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】第１ミラー２６を保持する光学素子保持装置４０は、第１ミラー２６に設けられた被保持部４１，４２，４３を保持する３つの保持機構５１，５２，５３を備えている。各保持機構５１〜５３には、被保持部４１〜４３を６自由度方向に移動させることが可能なリンク機構５４，５５がそれぞれ設けられている。そして、制御装置からの制御情報に基づき各保持機構５１〜５３がそれぞれ駆動することにより、第１ミラー２６は、その位置及び形状の調整が実行される。 （もっと読む）

【課題】画角や画像の歪みの変動を少なくしつつ、観察者の瞳孔の位置に対する射出瞳位置の調整や、瞳孔の移動に追従した射出瞳の移動を可能とする。
【解決手段】走査型表示装置は、光源１０１と、該光源からの光束を走査する走査ユニット１０４と、該走査ユニットからの光束を集光する走査光学系１０５と、該第１の光学系からの光束を観察者の眼１０８が配置される射出瞳１０７に導く接眼光学系１０６とを有する。走査光学系から接眼光学系に進む光束はテレセントリック性を有する。接眼光学系は、走査光学系からの光束を射出瞳に向けて反射する第１の反射面１０６ｃを有する。接眼光学系を、走査光学系及び走査ユニットに対して、該走査光学系から接眼光学系への光束の進行方向に沿った方向に移動可能とする第１の機構１１０を有する。 （もっと読む）

【課題】放射線ビームをパターン化するために使用する個々に制御可能な素子のパターニング・アレイを垂直でない方向に照明するため放射線ビームを向けるのに使用するシステムおよび方法を提供すること。
【解決手段】個々に制御可能な素子は、放射線ビームのテレセントリック性を変えることができる。個々に制御可能な素子上への放射線ビームの投影は、凹状ミラーにより、または個々に制御可能な素子の対象物フィールド内に設置した折り畳みミラーを使用して行うことができる。別の方法としては、個々に制御可能な素子は、放射線ビームの光軸を変えることができる。 （もっと読む）

【課題】投影像が反転する露光装置と投影像が反転しない露光装置間におけるディストーションマッチングを正確に行い得るようにする。
【解決手段】第１パターンをその投影像が反転する第１投影光学系により投影した像又はこれに相当する転写像と、第２パターンをその投影像が反転しない第２投影光学系により投影した像又はこれに相当する転写像との差であるディストーション差を計測する第１工程（Ｓ１５）と、前記第１パターンの描画誤差と前記第２パターンの描画誤差の差である描画誤差差を計測する第２工程（Ｓ１６）と、前記第１工程で計測されたディストーション差から、前記第２工程で計測された前記描画誤差差を差し引いた値をディストーションマッチングデータとして管理する第３工程（Ｓ１７）とを備えている。 （もっと読む）