【課題】結像性能に優れ、比較的小型な投影光学系を提供する。
【解決手段】第１物体１０１の像を第２物体１０２上に投影する投影光学系１００は、第１物体１０１の第１中間像を形成する第１結像光学系と、第１中間像からの光束に基づいて第１物体１０１の第２中間像を形成し、凹面鏡ＣＭ２１を有する第２結像光学系Ｇ２と、第２中間像からの光束に基づいて第１物体１０１の第３中間像を形成し、凹面鏡ＣＭ３１を有する第３結像光学系Ｇ３と、第３中間像からの光束に基づいて第１物体１０１の像を第２物体１０２上に形成する第４結像光学系Ｇ４と、第２結像光学系Ｇ２において光路に沿って第３結像光学系Ｇ３に最も近い屈折部材と、第３結像光学系Ｇ３において光路に沿って第２結像光学系Ｇ２に最も近い屈折部材との間に配置され、第２結像光学系Ｇ２からの光束を第３結像光学系Ｇ３に反射する平面ミラーＦＭ１と、を有し、第３結像光学系Ｇ３と第４結像光学系Ｇ４は光軸ＯＡ_２を共有することを特徴とする （もっと読む）

【課題】簡単な構成で広い観察画角を撮像素子上に撮像することが可能であり、小型で安価な光学系及びそれを用いた内視鏡を提供する。
【解決手段】後群透明媒体Ｌｂに入射する光束は、順光線追跡の順に、開口Ｓを通り、後群第１透過面２１を経て後群透明媒体Ｌｂ内に入り、後群第１反射面２２で像面５と反対側に反射され、後群第２反射面２３で像面５側に反射され、後群第２透過面２４を経て後群透明媒体Ｌｂから像面５側に外へ出る略Ｚ字状の第１光路Ａを構成し、第１光路Ａの少なくとも後群第１反射面２２と後群第２反射面２３の間は、中心軸２に対して片側のみで構成され、第１光路Ａ中に中間像が結像されることなく、中心軸２周りの物点を開口Ｓ近傍で中心軸２と１回交差して反対側に結像し、全体として像面５に円環状に結像され、後群Ｇｂの反射面のうち少なくとも１面は、中心軸上で不連続な回転対称な面で構成されている。 （もっと読む）

本発明は、レーザビームをポインティングするためのシステムにおいて、
−処理レーザビーム（ＦＳ１、ＦＳ２）をターゲット（Ｃ１）に向けて放射するための少なくとも１つの処理レーザ光源（Ｓ１）であって、前記処理ビーム（ＦＳ１）が、第１のミラー（Ｍ１）の非反射性ゾーン（ｚ１）を通って伝達され、前記ミラー（Ｍ１）は、ターゲットから反射した照明ビーム（ＦＲ２）を受光するように画像化システム（ＣＡ）に戻すことを可能にし、第１のミラー（Ｍ１）の前記低反射係数ゾーン（ｚ１）は、画像化システム（ＣＡ）に向かってシャドウゾーン（ＺＡ）を誘起する、処理レーザ光源（Ｓ１）；
−前記処理ビームを受光し、かつ前記処理ビームをターゲットに向けて反射させるための第２のミラー（Ｍ２）；
−照明ビーム（ＦＥ１）を用いて前記ターゲットを照明するための照明光源（Ｅ１）、
−ターゲットに向けて前記ポインティングシステムの向きを制御するための第１の制御回路（ＣＣ）、
−定められた角度だけ処理ビーム（ＦＳ１）を変位させる第２の制御回路（ＣＴ）であって、画像化システムによって取得した像に基づいてターゲットのゾーン（Ｐ１）の位置と処理ビームのスポットの位置との間の距離（Ｄ２）を測定し、次いで、前記測定した距離（Ｄ２）に対応する角度だけ照明ビームを反対側に変位させ、処理ビームの角度的な変位が、ターゲットの位置の測定がシャドウゾーンによって乱されないような振幅を有する、第２の制御回路（ＣＴ）
を含むことを特徴とするシステムに関する。
用途：レーザ画像化システム （もっと読む）

マイクロリソグラフィのための照明光学系、この種の照明光学系を含む照明系、この種の照明系を含む投影露光装置、構造化構成要素を製造する方法、及びこの種の方法に従って製造された構造化構成要素を提供する。マイクロリソグラフィのための照明光学系は、物体平面内で照明される物体視野（１９）に照明光を誘導するための光学アセンブリを含む。本発明の第１の態様によると、照明光学系（２６）は、照明光放射線束（３）を物体視野照明の異なる照明角度に割り当てられた複数の放射線部分束（２８から３０）に分割する。照明光学系（２６）は、物体平面から離間して重ね合わせが発生する物体平面内へ結像されない重ね合わせ平面（１６）内で放射線部分束（２８から３０）のうちの少なくとも一部が重ね合わされるように構成される。この重ね合わせは、重ね合わされる放射線部分束（２８から３０）の縁部（３２）が少なくとも部分的に一致するようなものである。本発明の別の態様によると、視野強度設定デバイス（２４）は、照明光（３）に露光された時に照明光（３）を少なくとも減衰させる複数の隣接する個々の絞り（２７）を含む。これらの個々の絞り（２７）は、照明光放射線束（３）内に物体変位方向（ｙ）に対して平行な方向に挿入することができる。視野強度設定デバイス（２４）の全ての個々の絞り（２７）は、照明光放射線束（３）に１つの同じ側から挿入することができる。 （もっと読む）

【課題】照明光学系１２をコンパクトに構成して装置全体をコンパクトに構成する。観察者の使用負担を軽減する。
【解決手段】照明光学系１２には、第１の反射面としての面２１ａが配置されており、接眼光学系４には、第２の反射面としての面３１ｂ・３１ｃが配置されている。したがって、光源１１から光学瞳Ｅに向かう光の光路は、照明光学系１２の面２１ａと、接眼光学系４の面３１ｂ・３１ｃとで折り曲げられる。このとき、面２１ａおよび面３１ｂ・３１ｃのそれぞれに対して、入射する中心画角主光線と射出する中心画角主光線とで作られる第１の平面Ｐ１と第２の平面Ｐ２とは交差しているので、これらの面により、中心画角主光線の光路は３次元的に折りたたまれる。これにより、光源１１および照明光学系１２を１つの系と考えたときの重心と接眼光学系４の重心とを３次元的に近づけることができる。 （もっと読む）

【課題】反射面に付着するデブリ等の微粒子の量を減少できる反射型の照明技術を提供する。
【解決手段】露光光ＥＬで被照射面を照明する照明光学装置は、曲面ミラー２４及び凹面ミラー２５を有し、曲面ミラー２４と凹面ミラー２５との間に実質的に被照射面と共役な位置を形成する照明光学系ＩＬＳと、曲面ミラー２４が配置される空間Ｂと凹面ミラー２５が配置される空間Ｃとを互いに異なる真空環境又は減圧環境に分離し、かつ露光光ＥＬが通過する開口５ａが形成された第２アパーチャ板５とを備え、開口５ａは露光光ＥＬの断面積が最も小さい位置又はその近傍に配置される。後続の光学系に対するデブリ等の微粒子の通過量を減少できる。 （もっと読む）

【課題】変倍における性能変動を抑え、コンパクトな構成で大きな変倍比を得ることができる投影光学系２を実現する。
【解決手段】投影光学系２は、非軸配置の反射面を少なくとも３面有しており、拡大側から負群Ｇ１、正群Ｇ２のパワー配置となっている。この構成により、負群Ｇ１よりも縮小側の光学系の有効範囲を小さくでき、コンパクトとなる。また、全系の変倍時に少なくとも負群Ｇ１のパワーを変化させることにより、全系のペッツバールを変化させることが可能となり、各変倍位置での像面の変動を抑えることが可能となる。また、負群Ｇ１のパワーを変化させて変倍することで、像トビを生じさせずに、上記パワー変化の際の光学素子の少ない移動量で大きな変倍を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 走査線湾曲及び像面ずれを良好に補正する、または十分に低減することができる光走査装置及びそれを用いた画像形成装置を得ること。
【解決手段】 光源手段１と、前記光源手段から出射した光束を偏向手段５に入射させる入射光学系ＬＡと、前記偏向手段により偏向走査された光束を被走査面８上に結像させる結像光学系７とを有し、前記入射光学系からの光束は、前記偏向手段の偏向面に副走査断面内において、前記偏向手段の回転軸に垂直な面に対し有限の角度で入射しており、前記結像光学系は、成形レンズを少なくとも１枚有している光走査装置において、前記少なくとも１枚の成形レンズのレンズ面のうち、少なくとも一面の子線断面内の形状は、非円弧で、光束通過領域内での子線曲率が極値を有すること。 （もっと読む）

【課題】ターゲットでの合焦された像と源の像との間で単位拡大またはほぼ単位拡大を達成し、それにより、ターゲットで最大の合焦強度を発生する。
【解決手段】コリメーティングリフレクタ３０および合焦リフレクタ４０は、以下からなるグループから選択されたコリメーティング／合焦リフレクタ対を含む：１対のリフレクタの各リフレクタは、源２０とターゲット６０上に合焦された像とを同じサイズとする単位拡大を達成するように、互いに対して対応のサイズおよび光学的配向を有し、コリメーティングリフレクタ３０および合焦リフレクタ４０の楕円面／双曲面対を含む１対のリフレクタであって、源２０に対してターゲット６０上に合焦された像を約０．５から約５の倍率のサイズとするほぼ単位拡大を達成するように、互いに対して対応のサイズおよび光学的配向を有する。 （もっと読む）

【課題】設計の自由度を増大させて投影光学系２をコンパクトに構成することができ、また、コンパクトな構成でも大きな変倍比を得ることができる、収差補正に優れた高性能な投影光学系２を実現する。
【解決手段】投影光学系２は、非軸配置の反射面を少なくとも３面有しており、これらの反射面により、軸上主光線の軌跡が少なくとも１回交差している。これにより、投影光学系２がコンパクトとなる。また、少なくとも２面の反射面を、互いに平行でない異なる軌跡で移動させ、表示素子１の表示面とスクリーンＳＣの位置をほぼ一定にしたまま変倍する。このような変倍方法により、投影光学系２の設計の自由度が増大する。さらに、この変倍方法では、２面の反射面間の距離だけでなく、各反射面のパワーも変化するため、像トビを生じさせずに、各反射面の少ない移動量で大きな変倍を行うことができる。 （もっと読む）

本発明は、一態様によると、非平面の光学的有効面を有し、通過する光に対して偏光状態の変化を引き起こし、かつ第１の部分要素によって光軸（ＯＡ）に沿って導入される最大有効リターデーションが光学系の作動波長の４分の１よりも小さい第１の部分要素（１１０，２１０）と、第１の部分要素及び第２の部分要素が互いに相補的な互いに対面する面（１１０ａ、１２０ａ；２１０ａ、２２０ａ）を有する第２の部分要素（１２０，２２０）とを有する少なくとも１つの偏光マニピュレータ（１００，２００）と、第１の部分要素（１１０，２１０）と第２の部分要素（１２０，２２０）の相対位置の操作のための位置マニピュレータ（１５０，２５０）とを含む光軸ＯＡ（ＯＡ）を有する光学系に関する。 （もっと読む）

【課題】精密なオーバーレイを可能にすることにより、高画質で画像取得することを実現すると共に、安価に構成することができる撮像装置を提供する。
【解決手段】複数のカメラ１，１０の光軸が略一致し、これら光軸が略一致するカメラ１，１０のうち、少なくとも１個のカメラ１０の光学系が、反射部材１１，１２，１３，１４のみで構成されている撮像装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】入射光学系で発生した迷光が感光体に到達することを十分に抑制する光走査装置を提供する。
【解決手段】感光ドラム３Ａ〜３Ｄ上にレーザ光を走査させて静電潜像を形成する光走査装置５であって、レーザ光を出射するレーザ光源３１と、当該レーザ光源３１から出射されたレーザ光を集光させるシリンドリカルレンズ３３とを含む入射光学系３０と、シリンドリカルレンズ３３を通過したレーザ光を反射して主走査方向に偏向および走査させるポリゴンミラー４１と、当該ポリゴンミラー４１により偏向および走査されたレーザ光を感光ドラム３Ａ〜３Ｄ上に結像させる走査レンズ４２とを含む走査光学系４０とを備え、入射光学系３０と走査光学系４０は、遮光壁２１によって仕切られている。 （もっと読む）

【課題】手術者が観察している状況と一致した映像を撮影でき且つその映像を手術者が術中に体勢を変えることなく確認することができるヘッドマウント型双眼ルーペ装置を提供する。
【解決手段】対物光学系９からズーム光学系１３を経て導いた光束ｂを、ビームスプリッタ１９により２つに分け、一方を接眼光学系３１へ、他方をカメラ３８へ導いているため、手術者Ａが視認している術部の状況と、カメラ３８により撮影される映像は正確に一致する。また、カメラ３８で撮影した電子映像を装置本体５内の左右一対の液晶パネル４８に表示し、その液晶パネル３８からの光束ｅを接眼光学系３１内へ取り込めば、手術者Ａは術中に体勢を変えることなくカメラ３８で撮影された映像を立体的に確認することができる。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成で広い観察画角を撮像素子上に撮像することが可能であり、小型で安価な光学系及びそれを用いた内視鏡を提供する。
【解決手段】 少なくとも１つの反射面を含む前群Ｇｆと、後群Ｇｂと、前群Ｇｆと後群Ｇｂの間に配置された開口Ｓとを有し、後群第１反射面２２と後群第２反射面２３のうち少なくとも１面は、中心軸上で連続な曲面で構成されており、後群透明媒体Ｌｂに入射する光束は、順光線追跡の順に、開口Ｓを通り、後群第１透過面２１を経て後群透明媒体Ｌｂ内に入り、後群第１反射面２２で像面５と反対側に反射され、後群第２反射面２３で像面５側に反射され、後群第２透過面２４を経て後群透明媒体Ｌｂから像面５側に外へ出る略Ｚ字状の第１光路Ａを構成し、第１光路Ａの少なくとも後群第１反射面２２と後群第２反射面２３の間は、中心軸２に対して片側のみで構成され、第１光路Ａ中に中間像が結像されることなく、像面５に円環状に結像されることを特徴とする （もっと読む）

結像光学系、投影露光装置、及び微細構造構成要素を生成する方法を提供する。結像光学系（８）の一実施形態は、ビーム誘導光学構成要素としてミラーのみを有する。結像光学系（８）は、少なくとも１つの物体平面（６）の少なくとも１つの物体視野（４，５）を少なくとも１つの像平面（１１）の少なくとも１つ像視野（９，１０）内に結像する。結像光学系（８）には、互いに空間的に分離された２つの物体視野であって、同様に互いに空間的に分離された２つの像視野（９，１０）が関連付けられた２つの物体視野（４，５）が存在する。これは、使用の柔軟性が増大した結像光学系をもたらす。 （もっと読む）

結像光学系、結像光学系を含む投影露光装置、投影露光装置を用いた微細構造構成要素の生成の方法、及び本方法によって生成される微細構造構成要素を提供する。結像光学系（７）は、複数のミラー（Ｍ１からＭ６）を有する。これらのミラーは、物体平面（５）の物体視野（４）を像平面（９）の像視野（８）内に結像する。結像光学系（７）では、ミラー（Ｍ１からＭ６）の反射面上の結像光（１５）の最大入射角と結像光学系（７）の像側開口数との比率は、３３．８°よりも小さい。これは、ミラーの反射コーティングに対して良好な条件を提供し、それによって特に１０ｎｍよりも短いＥＵＶ範囲の波長の結像光に対してさえも結像光学系を通過する際の低い反射損失を達成することができる結像光学系をもたらす。 （もっと読む）

結像光学系、反射結像光学系、更に別の結像光学系、この種の結像光学系を含む投影露光装置、この種の投影露光装置を用いた微細構造構成要素の生成の方法、及び本方法によって生成される微細構造構成要素を提供する。複数のミラー（Ｍ１からＭ１０）を有する結像光学系（７）は、物体平面（５）の物体視野（４）を像平面（９）の像視野（８）内に結像する。非掩蔽ミラー（Ｍ１からＭ８）間の光路では、結像光線（１５）は、物体平面（５）と平行に及び／又は像平面（９）と平行に配置された離間した平面の間の少なくとも１つの多重通過領域を通過する。結像光学系は、少なくとも１つの瞳平面（７６，７７，７８，１７）を有する。この瞳平面（７６，７７，７８，１７）は、非掩蔽ミラー（Ｍ１からＭ６）間の多重通過領域の外側に配置される。これは、容易な像誤差補正を提供する結像光学系をもたらす。相応に容易な像誤差補正を有する他の種類の結像光学系も同様に呈示する。 （もっと読む）

結像光学系、この種の結像光学系を含む投影露光装置、この種の投影露光装置を含む微細構造構成要素を生成する方法、及び本方法を用いて生成された微細構造構成要素を提供する。結像光学系（７）は、物体平面（５）の物体視野（４）を像平面（９）の像視野（８）内に結像する複数のミラー（Ｍ１からＭ８）を含む。ミラーの少なくとも１つ（Ｍ６，Ｍ７，Ｍ８）は掩蔽され、従って、結像光（１５）が通過するための貫通開口部（２１）を有する。像視野（８）の前の光路の最後から４番目のミラー（Ｍ５）は掩蔽されず、その光学的有効反射面の外縁（２２）により、結像光学系（７）の瞳平面（１７）に中心遮光をもたらす。最後から４番目のミラー（Ｍ５）と最後のミラー（Ｍ８）の間の距離は、物体視野（４）と像視野（８）の間の距離の少なくとも１０％である。像平面（９）に最も近い中間像平面（２３）は、最後のミラー（Ｍ８）と像平面（９）の間に配置される。結像光学系（７）は、０．９の開口数を有する。これらの措置は、その全てを同時に達成する必要はなく、改善された結像特性及び／又は低い生産コストを有する結像光学系をもたらす。 （もっと読む）

【課題】 広い範囲のＮＡ領域で良好な光学性能、所望の像側テレセントリック性、像高間ＮＡ均一性を達成する投影光学系及び露光装置を提供する。
【解決手段】 本発明は、第１物体の像を第２物体の上に投影する投影光学系であって、複数のレンズと、開口数を決定するための複数の開口絞りとを備える。複数の開口絞りは、第１の開口絞りと第２の開口絞りとを有し、第１及び第２の開口絞りは、第２物体に最も近い結像系に含まれるレンズの中で最大有効径を持つレンズよりも第２物体の側に配置されている。第１及び第２の開口絞りの少なくとも１つは、結像系の瞳又はその近傍に配置されており、第１の開口絞りによって決定される開口数の範囲は、第２の開口絞りによって決定される開口数の範囲よりも大きい。 （もっと読む）