【課題】本発明は、割断時の亀裂の検査をすることができる割断装置、およびフラットパネルディスプレイの製造方法を提供する。
【解決手段】被加工物に初期亀裂を形成する初期亀裂形成手段と、前記被加工物を局部的に加熱する加熱手段と、前記加熱手段により局部的に加熱された前記被加工物の領域に冷却媒体を噴射して局部的に冷却する冷却手段と、前記加熱手段によって加熱される領域および前記冷却手段によって冷却される領域を前記被加工物の割断予定領域に沿って相対的に移動させる移動手段と、前記被加工物に生じた亀裂を検査する亀裂検査手段と、を備え、前記亀裂検査手段は、前記亀裂に検査光を照射する投光手段と、前記被加工物の裏面で反射する前記検査光の一部が入射する受光手段と、を有することを特徴とする割断装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】素子の配列の正確度が向上した液晶表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】絶縁マザー基板を提供し、波長が３５５ｎｍ未満であり、絶縁マザー基板が１０％以上の吸光率を有するようなレーザ光を照射して、絶縁マザー基板の内部にアラインマークを形成し、形成したアラインマークを基準に絶縁マザー基板上に多数の素子を形成し、絶縁マザー基板をカットして複数の絶縁単位基板を形成することを含む液晶表示装置の製造方法。 （もっと読む）

【課題】電気光学装置の基板にキズが付く可能性を減少し、かつ粘着材等の残渣の残る可
能性を低く抑えることができる製造方法を提供する。
【解決手段】電気光学装置の製造方法は、基板１１の表面と、支持体１２の表面とを貼り
合わせる第１の貼り合わせ工程と、貼り合わせた基板１１と支持体１２のそれぞれの端面
において、貼り合わせ面に沿って、接着剤１３を設ける第１の接着工程と、基板２１の表
面と、の支持体２２の表面とを貼り合わせる第２の貼り合わせ工程と、貼り合わせた基板
２１との支持体２２のそれぞれの端面において、貼り合わせ面に沿って、接着剤２３とを
設ける第２の接着工程と、基板１１の表面とは反対側の表面と、基板２１の表面とは反対
側の表面とを貼り合わせる第３の貼り合わせ工程と、それぞれの端面に設けられた接着剤
１３，２３を除去する除去工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の破損や曲りを発生させることなく、液晶パネル等といった基板を容
易に薄く形成する薄型基板の製造方法を提供する。
【解決手段】透光性基板の平面領域であるパネル領域を選択的に薄く形成するガラス基板
パターニング工程Ｐ４と、薄く形成されたパネル領域内の少なくとも一方の表面に基板要
素を形成する基板要素形成工程Ｐ８と、基板要素形成工程Ｐ８の後に透光性基板のうちの
パネル領域以外の部分である外縁領域を除去する外縁領域除去工程Ｐ２２及びＰ２５とを
有する薄型基板の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の角部に衝撃を与えることなくガラス基板の角部を分離し、落下時の衝撃耐性を向上させたガラス基板の製造方法、及びこのガラス基板を備えた電気光学装置の製造方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】ガラス基板１と、ガラス基板１に対向する対向基板と、ガラス基板１及び対向基板に挟持された電気光学材料とを備えた電気光学装置の製造方法であって、ガラス基板１の第１主面の角を含む角部２近傍に、角から延びたガラス基板１の２本の稜線と交差する方向に直線状に延びる溝を形成する工程と、ガラス基板１の第１主面に支持体を貼着する工程と、ガラス基板１の第２主面にエッチング処理を行って、ガラス基板１を薄くすることで溝を貫通させ、ガラス基板１の角部２を、溝の形成位置で分離する工程とを含むことを特徴とする電気光学装置の製造方法とした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、電界印加徐冷法により強誘電性液晶を配向させて液晶表示素子を作製する場合に、製造コストを大幅に削減することが可能な多面付けＴＦＴ基板、および液晶表示素子の製造方法を提供することを主目的とする。
【解決手段】本発明は、基板上に複数のＴＦＴ基板領域が配置され、強誘電性液晶を用いた液晶表示素子に用いられる多面付けＴＦＴ基板であって、ゲート線およびソース線が絶縁されていることを特徴とする多面付けＴＦＴ基板を提供することにより、上記目的を達成するものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、レーザ光の進行方向において、改質領域を形成するべき部分よりさらに先の部分にまで、レーザ光が照射されることを抑制することができる、マザー複合基板の分割方法、レーザ加工方法、及び電気光学装置の製造方法を提供する。
【解決手段】マザー複合基板の分割方法は、マザー第一基板及びマザー第二基板を有するマザー複合基板を、第一基板と第二基板とを備える複合基板に分割するマザー複合基板の分割方法であって、改質領域をマザー第一基板又はマザー第二基板の平面方向に連続的に連ねた第一改質層を形成する改質層形成工程と、マザー第一基板と、マザー第二基板とを接合してマザー複合基板を形成する接合工程と、マザー複合基板の厚さ方向において、第一改質層に積層するように第二改質層を形成することによって、マザー複合基板の厚さ方向に、第一改質層及び第二改質層を積層して成る改質帯を形成する改質帯形成工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】液晶パネルの製作において、偏向フィルムを貼着したガラス基板を切断する方法を明らかにし、液晶パネルの生産性の向上を実現する。
【解決手段】ガラス基板１、２の間に、液晶セル４を縦横に並べて形成した大判の液晶ガラス元板３の一方のガラス基板２の外表面にスクライブ溝５を施してから偏向フィルム６を貼着し、該偏向フィルム６を超音波カッター７によって切断し、ガラス基板２をスクライブ溝５でブレイクし、他方のガラス基板１にスクライブ溝51を施してブレイクし、大判の液晶ガラス元板３を、各液晶セル単位の液晶ガラス板81に分断し、該液晶ガラス板81の偏向フィルム未貼着面に偏向フィルム61を貼着する。 （もっと読む）

【課題】素子基板上の端子部にほとんど損傷を与えることなく対向基板の一部を除去することが可能な電気光学装置の製造方法及び電気光学装置の製造装置を提供すること。
【解決手段】第１マザー基板１１と第２マザー基板１２とをシール材５３を介して貼り合わせ、第１マザー基板１１と第２マザー基板１２との間に液晶５４が配置されたウェハ１０を製造する。次に、第２マザー基板１２を、平行な２つのダイシングライン１４ａ，１４ｂに沿ってダイシングする。次に、ダイシングライン１４ａ，１４ｂに挟まれた小片１７の、ダイシングによって形成された２つの側面のうちの一方である側面１６にブローノズル３５から気体を吹き付ける（ａ）。さらに、小片１７吸引ノズル３６によって吸引し、ウェハ１０から小片１７を除去する（ｂ，ｃ）。最後に、ウェハ１０をスクライブ・ブレイクして液晶パネル５０を得る（ｄ）。 （もっと読む）

【課題】一対のマザー基板を切断して複数の電気光学装置を製造する際、一対のマザー基板を、平滑性の高い切断面を有するように切断する。
【解決手段】電気光学装置の製造方法は、一対のマザー基板（Ｓ１、Ｓ２）をパネル形成領域（８１０）毎に切断して、一対の基板（１０、２０）を備えた電気光学装置を製造する。更に、一方のマザー基板（Ｓ２）における他方のマザー基板（Ｓ１）に対向する面とは反対側の面に、パネル形成領域間の境界に位置する切断予定線（Ｌ２）に沿ってスクライブを施すことによりスクライブ溝（５１０）を形成する工程と、一方のマザー基板を他方のマザー基板に対向する面側から押圧することによりスクライブ溝を起点とするクラック（５２０）を形成する工程と、このクラックを形成する工程の後、ハーフダイシングを施すことによりダイシング溝（５３０）を形成する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】レーザ光を用いてスクライブするときに、レーザ光による損傷を受けにくい基板の分断方法及び電気光学装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】第１基板３４を分断予定面３４ｂに沿って切断する基板の分断方法に係る。第１基板３４の分断予定面３４ｂに沿って、一方の面に斜面３９ｂ、３９ｃを有する凹部３９を形成する斜面形成工程と、第１基板３４の分断予定面３４ｂに沿って、レーザ光２を照射して、改質部４１を形成する照射工程と、改質部４１に応力を加えて、第１基板３４を分断する分断工程とを有し、照射工程では、斜面３９ｂ、３９ｃが形成された面３４ｃと反対側の面から、斜面３９ｂ、３９ｃにレーザ光２の一部又は全部が照射されるように照射する。 （もっと読む）

【課題】光学素子を有する基板を所定の位置で分割できる基板の分割方法、当該基板を備えた電気光学装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の基板の分割方法は、基板としてのマザー基板Ｗ２の切断予定ライン上に位置するマイクロレンズ３の位置を計測する計測工程と、計測結果に基づいてレーザ光１１３のマイクロレンズ３に対する照射間隔を求める演算工程と、演算結果に基づいてマザー基板Ｗ２にレーザ光１１３を照射する照射工程と、レーザ光１１３が照射されたマザー基板Ｗ２を分割する分割工程とを備えた。照射工程では、マイクロレンズ３の内部に集光点を結ぶように所定の間隔Ｌｍでレーザ光１１３を照射し、集光点において多光子吸収を発生させ、改質領域２１を形成する。 （もっと読む）

【課題】基板母材の分断面を容易且つ高精度に形成する。
【解決手段】第１基板母材３１の表面に対し、シール部材１５を、第１基板母材３１の表面の法線方向から見て、分断領域５０を含むように格子状に形成するシール部材形成工程と、分断領域５０において貼合せ基板母材３４をシール部材１５と共に分断する分断工程とを行う。 （もっと読む）

【課題】 基板に対して斜めに蒸着粒子を蒸着し液晶配向膜とする従来法では、蒸着時の角度がばらつきやすく、均一な液晶配向が得られない。
【解決手段】 一対の基板の少なくとも一方にシリコン酸化物を含む膜を形成する配向膜形成工程と、前記一対の基板を間に液晶を挟んで対向して配置する液晶セル化工程と、を有する液晶光学装置の製造方法であって、
前記配向膜形成工程は、シリコンを含む材料をカソードとする真空アーク放電によってプラズマビームを発生させ、前記プラズマビームの経路に対して斜めに配置された基板上に、前記プラズマビームを照射する工程を含み、
前記プラズマビームが前記基板に照射されるときの前記プラズマビーム中のプラズマイオンは、前記基板上に堆積した後にカラム構造を有する膜になるよりも高い運動エネルギもしくは密度を有していることを特徴とする液晶光学装置の製造方法。 （もっと読む）

【課題】互いに貼り合わされた第１の基板集合体および第２の基板集合体を有するパネル集合体から、各々、パネル厚の小さい複数枚の液晶表示パネルを得るに際し、良品率の低下を招くことなく基板集合体の薄板化を行うことができ、もって、液晶表示装置の薄型化および狭額縁化に寄与できるようにする。
【解決手段】第１基板集合体２０Ａにおける第２基板集合体３０Ａとは反対側の基板面と、第２基板集合体３０Ａにおける第１基板集合体２０Ａとは反対側の基板面とに、それぞれ、相隣る液晶表示パネル領域間の境界線に沿ってスクライブ溝６０を形成し、しかる後、パネル集合体１０Ａをエッチング処理することにより、各基板集合体２０Ａ，３０Ａをそれぞれ薄板化するとともに、該各基板集合体２０Ａ，３０Ａ上のスクライブ溝６０をそれぞれ成長させて該パネル集合体１０Ａを複数枚の液晶表示パネル１０に分割する。 （もっと読む）

【課題】基板エッチング装置を製造ライン上に設置して自動で基板又は液晶パネルをエッチングすることにより、基板のエッチングを迅速に行うと共に液晶表示素子の製造を迅速に行うことのできる液晶表示素子製造ラインを提供する。
【解決手段】エッチングラインは、前の工程が終了した基板を収納して移送するカセットと、前記カセットに収納された基板を取り出す第１ロボットと、前記第１ロボットから搬送された基板が載置されて上下に移動する第２ロボットと、基板を支持する支持部及び基板を固定する固定手段を備え、前記第２ロボットによりローディングされた基板を固定するエッチングカセットと、少なくとも１つの前記エッチングカセットが固定され、設定された角度だけ回動して基板を地面と垂直に配置するカセット固定部と、前記カセット固定部により地面と垂直に配置された基板をエッチングするエッチング装置とを含む。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板に多面取りで複数の表示パネルを同時に作製した後に、ガラス基板をエッチングにより薄肉化する製造方法において、外部接続端子の腐食を抑制する。
【解決手段】ガラス基板１１０にゲート線１１ａ及び外部接続端子１２が構成されたセル単位を複数形成してＴＦＴ母基板ＡＢを作製し、ガラス基板１２０にセル単位を複数形成してＣＦ母基板ＣＢを作製し、ＴＦＴ母基板ＡＢ及びＣＦ母基板ＣＢを貼り合わせて貼合体を作製し、その貼合体の外面のエッチングによりガラス基板１１０及び１２０を薄肉化し、その薄肉化された貼合体をセル単位毎に分断する液晶表示パネルの製造方法において、貼合体をエッチングする際に、ＣＦ母基板ＣＢにおける各第２表示領域Ｄ２の外部に設けられた保護壁２２によって外部接続端子１２がエッチングから保護される。 （もっと読む）

【課題】局部的な強度低下を防止し、また偏光板の不用意な剥離を抑止できる液晶パネルを提供する。
【解決手段】液晶パネル３５０は、相互に貼り合わされて相互の間に液晶が封入された一対の基板セル３５１ａ、３５１ｂよりなり、各基板セル３５１ａ、３５１ｂの外面には、それぞれ偏光板３５２ａ、３５２ｂが貼り付けられ、基板セル３５１ａの一側が基板セル３５１ｂの一側よりも突出し、その突出部３５１ａａの内面には液晶パネル駆動用の接続端子３５３が形成され、偏光板３５２ａを突出部３５１ａａの外面にまで延在させる。また、各偏光板３５２ａ、３５２ｂにおける周縁の端面３５２ａａ、３５２ｂａが各基板セル３５１ａ、３５１ｂに向けて断面先細りとなっている。 （もっと読む）

【課題】表示パネルの基板の強度を上げることができる表示パネルの製造方法を提供する。
【解決手段】表示パネル１００は、大サイズの基板を切断することによって作製される。表示パネル１００は、上側基板３００と下側基板２００とに挟まれた空間であってシール材７００の外側の空間１０１には、毛管現象によって上昇するエッチング液５１を堰き止める堰き止め部７０１を備える。表示パネルをエッチングするときには、配線パターンが設けられる領域２０１および堰き止め部７０１をエッチング液５１の液面より高い位置に保ったまま、表示パネル１００をエッチング液に浸す。その結果、エッチングされた部分の傷の断面形状が滑らかになり、表示パネル１００の強度が上がる。 （もっと読む）

【課題】絶縁基板を割断する工程を含んだ液晶表示装置の製造でより高い歩留まりを実現するのに有利な技術を提供する。
【解決手段】本発明の液晶表示装置は、互いに向き合った基板ＳＵＢ１及びＳＵＢ２と、基板ＳＵＢ１及びＳＵＢ２間に介在した枠形封止樹脂層ＳＬと、基板ＳＵＢ１の基板ＳＵＢ２と向き合った第１主面を枠形封止樹脂層ＳＬの内側で被覆した配向膜ＡＬ１と、基板ＳＵＢ２の基板ＳＵＢ１と向き合った第２主面を枠形封止樹脂層ＳＬの内側で被覆した配向膜ＡＬ２と、基板ＳＵＢ１及びＳＵＢ２と枠形封止樹脂層ＳＬとに囲まれた空間を満たした液晶材料ＬＣと、配向膜ＡＬ１と同じ材料からなり、第１主面の周縁部を被覆して枠形封止樹脂層ＳＬを取り囲んだ剥離層ＡＬ１’とを具備したことを特徴とする。 （もっと読む）