本発明の表示装置用アレイは、フォトレジスト樹脂層が基板の表面に付着されるように、ポジティブ型フォトレジスト樹脂層が形成されているポジティブ型ドライフィルムレジストを支持体フィルムに付着することにより形成される。その後、基板の表面に付着されたフォトレジスト樹脂層から上記支持体フィルムを剥離し、上記樹脂層を露光してから、上記ポジティブ型ポジティブ型フォトレジスト層を現象して上記露光部分を除去する。 （もっと読む）

【課題】 高感度で、良好な現像マージンを有しており、優れた耐溶剤性、耐熱性、光透過率、比誘電率等を併せ備えた層間絶縁膜を形成でき、また優れた耐溶剤性、耐熱性、光透過率等を併せ備え、良好なメルト形状を有するマイクロレンズを形成しうる感放射線性樹脂組成物等を提供する。
【解決手段】感放射線性樹脂組成物は、〔Ａ〕（ａ１）不飽和カルボン酸（無水物）と、（ａ２）（テトラヒドロ）フラン環構造、（テトラヒドロ）ピラン環構造あるいは下記式（１）で表される構造を有する不飽和化合物と、（ａ３）前記以外の不飽和化合物とからなるアルカリ可溶性共重合体、並びに〔Ｂ〕１，２−キノンジアジド化合物を含有する。

【化１】


（式中、Ｒは水素原子またはメチル基を示し、ｎは２〜１０の整数である。） （もっと読む）

【課題】 パターン形成材料の製造工程において、塗布液が一時的に滞留した状態に置かれ、溶存酸素濃度が低下した状態であっても、ゲル化発生が起きない安定性の高い塗布液が得られ、感度及び解像度も良好で、高精細なパターンが得られるパターン形成材料の製造方法の提供。
【解決手段】 バインダー、重合性化合物及び光重合開始剤を含む感光性組成物の塗布液を調製する塗布液調製工程と、前記塗布液中に、重合性化合物に対し、４００ｐｐｍ以上の重合禁止剤を添加させて、前記塗布液を配管により送液する塗布液送液工程と、該塗布液を支持体上に塗布して感光層を積層する感光層積層工程とを含むことを特徴とするパターン形成材料の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】 現像残渣の除去液による発泡、フィルター詰まりやノズル詰まりを起こさず、現像残渣の少ないカラーフィルターの製造法の提供。
【解決手段】 仮支持体上に感光性樹脂層を設けた転写フィルムを、疎水化処理した支持体に感光性樹脂層面で貼り付けた後、仮支持体を剥離してパターン露光・現像してカラーフィルター用パターンを得るカラーフィルターの製造法において、現像後、該支持体に高圧水を噴射し、その後アッシング処理することを特徴とするカラーフィルターの製造法。 （もっと読む）

【課題】 感光層の感度低下を効果的に抑制でき、かつ、より高精細なパターンを形成可能なパターン形成材料、並びに該パターン形成材料を備えたパターン形成装置及び前記パターン形成材料を用いたパターン形成方法の提供。
【解決手段】 支持体上に感光層を少なくとも有し、該支持体が、第一の形態ではヘイズ値が４．０％以下であり、第二の形態ではその少なくとも片面に不活性粒子が塗布され、該感光層を露光し現像する場合において、該感光層の露光する部分の厚みを該露光・現像後において変化させない前記光の最小エネルギーが、０．１〜１０（ｍＪ／ｃｍ^２）であることを特徴とするパターン形成材料、並びに該パターン形成材料を備えたパターン形成装置、及び該パターン形成材料を用いて露光するパターン形成方法である。 （もっと読む）

【課題】 画像の欠けが防止された液晶表示装置、及びこれを製造するためのパターン形成方法を提供すること。
【解決手段】 仮支持体上に少なくとも一層の感光性樹脂層を有する感光性転写材料を基板に転写する工程、所望のパターンで露光する露光工程、及び、現像処理により不要部を除去する現像工程、を含み、かつこの順で実施されるパターン形成方法であって、前記転写工程と前記露光工程との間に、前記感光性転写材料を転写した基板を加熱する基板加熱工程を含むことを特徴とするパターン形成方法。また、少なくとも一層のナフトキノンジアジド誘導体を含む感光性転写材料の転写工程の基板温度が１２０℃以上１８０℃以下、又はロール温度が１３０℃以上１６０℃以下又は搬送速度が１ｍ／分以上２ｍ／分以下であるパターン形成方法。また、熱可塑性樹脂と中間層がある場合には、前記転写工程と前記露光工程との間に、該熱可塑性樹脂層と該中間層とを除去する工程を含むパターン形成方法。 （もっと読む）

【課題】 レジストパターンの優れた解像度および密着性を維持し、かつ感光性樹脂積層体を基板にラミネートする際のラミエアーを抑制し、もって微細な導体パターンの製造に適した感光性樹脂積層体を提供する。
【解決手段】 少なくとも、（Ａ）支持層、（Ｂ）感光性樹脂層、（Ｃ）保護層をこの順に積層してなる感光性樹脂積層体であって、（Ａ）支持層が、少なくとも（Ａ−１）第一の有機ポリマーフィルム、（Ａ−２）熱可塑性樹脂層、（Ａ−３）第二の有機ポリマーフィルムをこの順に積層して一体とした積層体であり、（Ａ−２）熱可塑性樹脂層のガラス転移温度が（Ａ−１）第一の有機ポリマーフィルム及び（Ａ−３）第二の有機ポリマーフィルムのガラス転移温度より低く、（Ａ−３）第二の有機ポリマーフィルムが感光性樹脂層に接触し、厚みが１〜２０μｍであり、Ｂ）感光性樹脂層の厚みが０．１〜１５μｍである感光性樹脂積層体、を用いる。 （もっと読む）

【課題】 ラミネート時にフレキシブル基板と感光性樹脂組成物層の間にエアーが混入することを抑制し、パターン異常の発生が少ないＣＯＦ用配線板を製造する。
【解決手段】 少なくとも支持体と感光性樹脂組成物が積層された感光性樹脂積層体をフレキシブル基板にラミネートする方法において、感光性樹脂組成物層の厚みが０．５〜２０μｍであり、フレキシブル基板の厚みが２００μｍ以下であり、且つラミネートが減圧雰囲気下で行われることを特徴とする感光性樹脂積層体のラミネート方法。 （もっと読む）

【課題】 感度、解像度、密着性に優れ、サンドブラスト用のマスク材として被加工基材に微細なパターンを歩留まりよく加工できる感光性樹脂積層体、及びそれを用いたサンドブラスト表面加工方法を提供する。
【解決手段】 支持体（Ａ）、アルカリ現像可能な感光性樹脂層（Ｂ）、非感光性耐アルカリ性樹脂層（Ｃ）を順次積層してなるサンドブラスト用感光性樹脂積層体を用いて、サンドブラスト表面加工を行う。 （もっと読む）

【課題】ポジ型感光性樹脂を用いて、厚さの異なる画像を形成する方法を提供する。
【解決手段】基板と該基板上に形成されたポジ型感光性樹脂層とからなる感光性積層体に、第一の領域には、実質的に光の照射を行なうことなく、第二の領域には、当該領域の感光性樹脂層の表面側の一部の厚み部分までが変性するようなエネルギー量の光を照射し、そして第三の領域には、当該領域の感光性樹脂層の全てが変性するようなエネルギー量の光を照射する工程、及び、この光処理を行なったポジ型感光性樹脂層に現像液を接触させることにより、該感光性樹脂層の変性部分を溶解除去する工程からなる、基板上に、少なくとも、相対的に厚い樹脂層からなる凸部樹脂領域、相対的に薄い樹脂層からなる凸部樹脂領域、そして基板露出領域から構成される画像パターンを形成する方法。 （もっと読む）

【課題】 感光層の感度低下を抑制でき、かつ、解像度に優れ高精細なパターンを形成可能なパターン形成材料、並びに該パターン形成材料を備えたパターン形成装置及び前記パターン形成材料を用いたパターン形成方法の提供。
【解決手段】 支持体上に感光層を少なくとも有し、該感光層が、バインダー、重合性化合物、及び光重合開始剤を含み、かつ、該感光層を現像する場合において、第一の形態では現像後の現像液中に存在する粒状物の９５％以上が、粒径０．０１〜１．０μｍの粒状物であり、第二の形態では該現像後の現像液の静的表面張力が、３０〜４５ｍＮ／ｍであり、第三の形態では該現像後の現像液の１００秒後の動的表面張力が、４０〜５６ｍＮ／ｍであることを特徴とするパターン形成材料、並びに該パターン形成材料を備えたパターン形成装置、及び該パターン形成材料を用いて露光するパターン形成方法である。 （もっと読む）

【課題】品質の良い両面回路基板が低コストな装置で効率良く製造できる露光及び現像方法を提供すること。
【解決手段】表裏両面側に回路パターンを備える両面回路基板を枚葉基板から製造する際の露光及び現像方法であって、供給された複数の枚葉基板２０が互いに隣り合う枚葉基板２０同士で連接するように枚葉基板２０の表裏各面に長尺帯状のドライフィルムレジスト１０を貼り付けることにより、複数の枚葉基板２０の連接体である長尺帯状の枚葉基板連接体ＭＲを形成し、該枚葉基板連接体ＭＲに対して露光及び現像を行う。 （もっと読む）

【課題】本発明は、２つの異なる光画像形成膜組成物、特に、基板上に２つの異なるドライフィルム組成物を設ける方法に関する。
【解決手段】２つの光画像形成膜組成物は、現像後、光画像形成膜上層が光画像形成膜下層にオーバーハングするように、異なる現像速度及び／又は硬化速度を有するようにそれぞれ選択される。その後、金属層が基板の表面上に堆積される。オーバーハング形状は基板と光画像形成膜層との界面に沿って金属層が光画像形成膜層との密着を防ぐため、オーバーハング形状が次に配置される金属層に損傷を与えずに、光画像形成膜層の完全な除去が可能となる。 （もっと読む）

フレキソ印刷版を無溶剤現像および製造のための方法が開示されている。比較的薄い金属で裏打ちされたフォトポリマー層付きの印刷版要素は、化学線に対して選択的に露光され、少なくとも７０℃まで加熱され、次に吸い取られて、レリーフ像を形成する。この方法は、新聞および他の刊行物を印刷するためのフレキソ印刷版の製造に特に適している。 （もっと読む）