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Fターム[2H096CA16]の内容

感光性樹脂・フォトレジストの処理 (33,738) | 感光層の形成 (2,014) | 被覆方法 (337) | ラミネート (134)

Fターム[2H096CA16]に分類される特許

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【課題】ネガ型レジストを用いながら、非水溶性の有機溶媒を用いることなく、感光剤を含まないポリイミドのパターンを形成することができる方法を提供する。
【解決手段】(A)基板上にポリイミド前駆体層を形成する工程、(B)前記ポリイミド前駆体層上にネガ型レジスト層を形成する工程、(C)前記ネガ型レジスト層を選択的に露光するパターン露光工程、(D)前記ネガ型レジスト層の現像後または現像と同時に、下層のポリイミド前駆体層を選択的に除去しパターン化する現像工程、(E)前記パターン化されたポリイミド前駆体層を少なくとも部分的にイミド化することにより塩基性水溶液又は水溶性塩基性物質に対する溶解性を低下させる工程、(F)前記パターン化されたネガ型レジスト層を塩基性水溶液又は水溶性塩基性物質を用いて剥離する剥離工程、を有するポリイミドパターンの形成方法である。 (もっと読む)


【課題】高精細な無機パターンを簡便かつ効率的に形成することができる転写フィルムと、該転写フィルムを用いた無機パターンの形成方法とを提供する。
【解決手段】本発明の転写フィルムとしては、支持フィルム上に、レジスト層と、蛍光体層と、無機顔料層とがこの順で積層されたものが好ましい。また、前記転写フィルムの積層膜を、基板上に無機顔料層が当接するように転写して形成し、レジスト層を露光処理した後、現像処理してレジストパターンを顕在化させ、該レジストパターンに対応する無機顔料パターンおよび蛍光体パターンを形成し、焼成処理することにより、無機パターンを簡便かつ効率的に形成することができる。 (もっと読む)


【課題】 半導体ウエハ上の全面に積層されたドライフィルムレジストの上面に積層されたカバーフィルムの縁部にカッターによる切断時に生じたぎざぎざがあっても、カバーフィルムを剥離するとき、カバーフィルムがぎざぎざの部分で裂けにくいようにする。
【解決手段】 まず、剥離テープ貼り付けローラ6の右方向への移動により、幅狭の剥離テープ11をカバーフィルム3の上面の中心部を通る直線上に貼り付ける。次に、剥離テープ貼り付けローラ6を剥離テープ11の上からカバーフィルム11の上面に押し付けた状態において、剥離テープ11の右側をドライフィルムレジスト3の上面に対してほぼ垂直上方に引っ張り、これにより剥離テープ11に付着されたカバーフィルム11をドライフィルムレジスト3から剥離し、且つ、カバーフィルム11の剥離に応じて剥離テープ11に対する引っ張り力により剥離テープ貼り付けローラ6を剥離テープ11の上からカバーフィルム11の上面に押し付けた状態を維持しながら左側に移動させる。 (もっと読む)


【課題】難燃性の多層光画像形成性カバーレイ組成物およびそれに関連する方法の提供。
【解決手段】a.リン部分を有する最上層結合剤と、リン部分を有する最上層光開始剤とを含み、1ミクロンから75ミクロンの厚さを有し、i.2重量パーセントから10重量パーセントの範囲のリンと、ii.2重量パーセントから18重量パーセントの範囲の光開始剤と、iii.20重量パーセントから70重量パーセントの量の最上層結合剤とを含む最上層と、b.任意選択的にリン部分を有する最下層結合剤と、任意選択的に少なくとも1つのリン部分を有する最下層光開始剤とを含み、4重量パーセント以下の量でリンを含み、1ミクロンから75ミクロンの厚さを有する最下層とを含み、合計厚さが2ミクロンから150ミクロンの範囲にあることを特徴とする感光性多層回路カバーレイ組成物。 (もっと読む)


【課題】水系現像液で現像でき、かつ水性インキに対する耐性があり、画像再現性の良好な感光性樹脂組成物および感光性樹脂印刷用原版を支障なく得ること。
【解決手段】少なくとも水分散ラテックスから得られる疎水性重合体、親水性重合体、光重合性化合物、光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物において、光重合性化合物が一個の光重合性基を有する光重合性界面活性剤を含有することを特徴とするフレキソ印刷版用感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】 凹凸追従性と高解像度とが両立され、かつ、欠陥のない高精細なパターンを効率よく形成可能なパターン形成材料、並びに該パターン形成材料を備えたパターン形成装置及び前記パターン形成材料を用いたパターン形成方法の提供。
【解決手段】 支持体上にクッション層と感光層とをこの順に有し、該クッション層における全光線透過率が86%以上、かつ、ヘイズ値が10%以下であることを特徴とするパターン形成材料である。該パターン形成材料を備えたパターン形成装置である。該パターン形成材料を用いて露光するパターン形成方法である。 (もっと読む)


【課題】
製版工程における水現像性と画像再現性に優れた感光性樹脂組成物およびそれから得られる感光性樹脂凸版材を提供すること。
【解決の手段】
(1) 少なくとも可溶性合成高分子化合物、光重合性不飽和化合物、光重合開始剤を基本成分とする感光性樹脂凸版組成物であって、該可溶性高分子化合物が、(A) 主鎖に対してメチル基が分岐した炭素数が6〜9の脂肪族ジアミン、(B)ピペラジン環を有するジアミン及び(C)ジイソシアネート化合物との反応で得られる付加重合体であることを特徴とする感光性樹脂組成物。(2)前記可溶性高分子化合物が(A)成分を全ジアミン量[(A)+(B)]に対して20%〜50重量%含有することを特徴とする(1)に記載の感光性樹脂組成物。(3)(1)又は(2)に記載の感光性樹脂凸版組成物から得られる感光性樹脂凸版材。 (もっと読む)


【課題】製版工程における水現像性と画像再現性に優れた感光性樹脂組成物およびそれから得られる感光性樹脂凸版材を提供すること。
【解決手段】(1)少なくとも可溶性合成高分子化合物、光重合性不飽和化合物、光重合開始剤を基本成分とする感光性樹脂凸版組成物であって、該可溶性高分子化合物が、ジアミンとジイソシアネート化合物との付加重合体であり、且つ該付加重合体中にゲル化物含有率が0.5重量%以下であることを特徴とする感光性樹脂凸版組成物。(2)可溶性合成高分子化合物が有機酸存在下にジアミンとジイソシアネート化合物との付加重合によって得られる可溶性合成高分子化合物であることを特徴とする(1)に記載の感光性樹脂凸版組成物。(3)(1)又は(2)に記載の感光性樹脂凸版組成物から得られる感光性樹脂凸版材。 (もっと読む)


【課題】現像処理枚数の増加に伴う過現像及び現像残渣の発生を抑制し、パターンのムラを抑制する。
【解決手段】仮支持体上に熱可塑性樹脂層と、中間層と、感光性樹脂層とをこの順に積層してなる感光性転写材料を用いて支持体に転写を行う転写工程と、該支持体に転写された層を露光する露光工程と、露光後、現像を行う現像工程と、を有する表示装置用部材の製造方法であって、前記現像工程が、前記感光性樹脂層からなるパターンを形成するための第2工程と、現像残渣を除去するための第3工程とを有し、前記第2工程で用いる第2処理液が前記第3工程で用いる第3処理液に混入するように前記第2工程の処理と前記第3工程の処理とを連続して行い、第3処理液中の第2処理液の濃度が30体積%以下の条件下で第3工程の処理を行うことを特徴とする表示装置用部材の製造方法。 (もっと読む)


【課題】感度、解像度及び密着性が良好であり、テンティング性、耐サンドブラスト性に優れる特性を有する、感光性樹脂組成物及び感光性樹脂積層体を提供する。
【解決手段】(a)エチレン性不飽和付加重合性モノマーと、(b)アルカリ可溶性高分子と、(c)光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物において、(a)エチレン性不飽和付加重合性モノマーとして特定の化合物を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】感光性転写材料によって形成された感光性樹脂層を露光後に現像する場合、現像後の現像残渣の低減が可能な現像液とそれを用いた画像形成方法の提供。
【解決手段】転写された感光性樹脂層を露光後に、アルカリ現像液により現像して画像形成する工程を設け、前記アルカリ現像液に炭酸塩と陰イオン界面活性剤とを含有せしめ、前記炭酸塩がナトリウムイオン及び/又はカリウムイオンを含有させ、かつ、該炭酸塩の濃度を0.04〜0.5モル/kgとし、前記陰イオン界面活性剤に、ナフタレンスルホン酸誘導体塩(A)とポリオキシエチレンナフチルエーテル硫酸塩(B)とを含有させ、かつ、(A)と(B)の合計質量に対する(B)の質量の割合を20質量%〜60質量%とする。 (もっと読む)


【課題】ガラス基板のフッ酸エッチングでガラス基板との密着性に優れる特性を有する、感光性樹脂組成物及び感光性樹脂積層体を提供すること。
【解決手段】(A)カルボキシル基含有量が酸当量で100〜600であり、かつ、重量平均分子量が5000〜500000であるバインダー用樹脂、(B)少なくとも一つの末端エチレン性不飽和基を有する光重合性モノマー、(C)光重合開始剤及び、(D)オルガノシラン化合物を含有してなる感光性樹脂組成物であり、前記(D)成分が特定のオルガノシラン化合物であることを特徴とする感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】透明性が高く、印刷版としたときのオゾン耐性が高く、印刷時に白抜き線近傍に発生する端部カスレの高い抑制性能を同時に満たす感光性樹脂組成物の提供。
【解決手段】(a)アルキレン単位を含むブロック共重合体、(b)イソプレンを含む重合体ブロックを含有する、実質的に非水素添加のブロック共重合体、(c)光重合性モノマーおよび(d)光重合開始剤を含有し、ブロック共重合体(a)中のアルキレン単位が5〜45wt%で、且つブロック共重合体(a)とブロック共重合体(b)の質量比率(a)/(b)が、0.5〜10である感光性樹脂組成物及びそれを用いたフレキソ印刷用感光性樹脂構成体。 (もっと読む)


【課題】 350〜375nmのレーザー光に対して高い光重合能力を発揮できると共に、十分な深部硬化性が得られ、さらに熱安定性が優れたアルカリ現像型ソルダーレジスト及びその硬化物並びにそれを用いてパターン形成されたプリント配線板を提供する。
【解決手段】 (A)(a)1分子中に2つ以上の環状エーテル基又は環状チオエーテル基を持つ化合物に、(b)不飽和モノカルボン酸を反応させた後、(c)多塩基酸無水物を反応させた樹脂に、さらに(d)1分子中に環状エーテル基とエチレン性不飽和基を併せ持つ化合物を反応させ、再度(c)多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂、(B)オキシムエステル系光重合開始剤、(C)1分子中分子中に2個以上のエチレン性不飽和基を有する化合物、(D)熱硬化性成分を含み、波長350〜375nmにおける吸光度が、25μmあたり0.3〜1.2である。 (もっと読む)


【課題】簡単な工程及び構成で、積層体フイルムを高品質にハーフカットするとともに、カット屑の発生を可及的に阻止することを可能にする。
【解決手段】ハーフカット装置36は、感光性ウエブ22の幅方向に移動可能な移動機構52を備え、前記移動機構52には、第1カッタ機構56と第2カッタ機構58とが装着される。第1カッタ機構56は、保護フイルムの剥離方向後端部を構成する第1ハーフカット部位34aを形成する回転自在な回転丸刃66を設ける。第2カッタ機構58は、保護フイルムの剥離方向先端部を構成する第2ハーフカット部位34bを形成する回転不能に固定された固定丸刃72が設けられる。 (もっと読む)


【課題】感度が高く、良好なレジストパターン形状が得られ、かつ、絶縁信頼性に優れ、高精細なパターンを形成可能なパターン形成材料、前記パターン形成材料を用いたパターン形成方法、及び前記パターン形成方法により永久パターンが形成されるプリント基板の提供。
【解決手段】バインダー、重合性化合物、及び光重合開始剤、を少なくとも含む感光性組成物を用いて形成された感光層を有し、該感光層を、基板の表面に積層した後、該感光層に対して露光を少なくとも行うことにより形成されたパターンの膜厚1μm当たりの810cm−1の吸収が、0.02未満であるパターン形成材料である。また、該パターン形成材料を用いるパターン形成方法、及び前記パターン形成方法により永久パターンが形成されるプリント基板である。 (もっと読む)


本発明は、微小電気コンポーネント、微小機械コンポーネント、微小電気機械(MEMS)コンポーネント、又は微小流体コンポーネントを基板上にパッケージするための方法であって、容易に除去可能な第二基板上の架橋フォトレジストから作られた空洞を形成し、選択されたマイクロデバイスを含む第三基板に前記空洞を結合し、次に前記除去可能な第二基板を剥がすことによりパッケージする方法に関する。
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【課題】基材及び感光性樹脂層との接着力が強く、構成成分が基板へ移行することのない接着層形成用組成物、及びこれを用いた凸版印刷版、並びに凸版印刷版の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の接着層形成用組成物は、(a)カルボキシル基含有ポリマー、及び(b)オキサゾリン基含有ポリマーを含有する接着層形成用組成物である。本発明の接着層形成用組成物を用いて形成された接着層20は、凸版印刷版における基材10と感光性樹脂層30とを接着する接着層として好ましく用いることができる。 (もっと読む)


【課題】所望の界面で剥離可能であり、剥離性の良好な多層材料、剥離残りを効果的に抑制し、良好なパターンが得られる樹脂パターンの形成方法、及び液晶表示装置を提供する。
【解決手段】仮支持体と熱可塑性樹脂層と中間層と感光性樹脂層とを有し、前記熱可塑性樹脂層が、分子内に極性基を有すると共にエネルギー付与によって気体を発生したり構造変化を生じて該熱可塑性樹脂層を膨張させる化合物を含み、転写後エネルギー付与を行った場合には熱可塑性樹脂層と中間層との界面で剥離され、エネルギー付与を行わない場合には中間層と感光性樹脂層との界面で剥離される多層材料、並びに該多層材料を用い、エネルギー付与によって熱可塑性樹脂層を膨張させ、該熱可塑性樹脂層と中間層との界面で仮支持体を剥離する工程を有する樹脂パターンの形成方法、該形成方法によって樹脂パターンを形成した基板を備える液晶表示装置。 (もっと読む)


【課題】圧着時の圧力分布ムラを低減し、シワ及び気泡が発生しにくく、かつ高精細なパターンを形成可能なパターン形成方法の提供。
【解決手段】支持体上に感光層を少なくとも有するパターン形成材料を、回転軸方向幅が120cm以下の圧着ロールを使用して、基体上に圧着させて、該基体に積層した後、前記感光層に対して露光を行う。パターン形成材料と接する側の圧着ロールを2本以上同軸に並列した態様、パターン形成材料と接しない側の圧着ロールを、2本以上同軸に並列した態様、圧着ロールの回転軸方向幅をX、パターン形成材料の搬送方向と略直交する方向の幅をYとした場合に、Y/Xが0.5以上1以下である態様、などが好ましい。 (もっと読む)


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