アクティブレーザエネルギ供給システムは、リレーイメージングシステムを備える。レーザエネルギを受け取るよう配置された入力光学装置、入力光学装置に対する入射角が調節可能な伝送ミラー、光学組立品を含むロボット搭載加工ヘッドが、レーザエネルギを移動可能なターゲット像平面に向けるように構成されている。レーザエネルギは、伝送ミラーから受光ミラーまでの、長さ及び入力光学装置に対する角度が変更可能な基本的に一直線の区間を含む光学経路をたどる。加工ヘッドに搭載された診断用装置によって処理が容易となる。
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本発明の一実施例に従って、改良されたコントラストを有するデジタル・マイクロ・ミラー・デバイス及びそのための方法が提供される。デジタル・マイクロ・ミラー・デバイスは、基板（２１４）の上側表面上の複数の電流供給導電体であって、各々が上側表面を有する電流供給導電体（２１０）と、電流供給導電体の上側表面上に配置される低反射率金属（２０８）と、基板の上方に開口を形成する第１及び第２のマイクロ・ミラーとを含み、電流供給導電体の上側表面上に配置された低反射率金属（２０８）は、開口を介して電流供給導電体が受ける光の反射を低減させる。
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【課題】
【解決手段】 モノリシック光電子フィードバック構造の使用を介して、ＳＯＩベースの光電子システムの信頼性と寿命を改善する。この構造は、光電子システム内の一またはそれ以上の光信号をモニタして、選択した光学デバイスの動作パラメータを調整する電気フィードバック信号を提供する。例えば、入力信号結合方向を制御することができる。代替的に、光学モジュレータ、スイッチ、フィルタまたは減衰器の動作は、本発明のモノリシックフィードバック構造によるクローズドループフィードバック制御下にあっても良い。フィードバック構造は、また、制御電子機器に接続されたキャリブレーション／ルックアップテーブルを具えて、システムの性能を解析するのに使用するベースライン信号を提供することができる。 （もっと読む）

微小電気機械システム（１００、２００、３００、４００及び５００）は、屈曲部（１２０）を含み、屈曲部（１２０）はアモルファス材料で作成される。同様に、微小電気機械システム（１００、２００、３００、４００及び５００）を形成する方法は、基板（１１０，２１０）を形成することと、アモルファス屈曲部（１２０）を形成することとを含み、アモルファス屈曲部（１２０）は、基板（１１０，２１０）に結合されている。
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本発明は、画像を投射スクリーン（２６，５６，８６）上に投射するための投射ディスプレイ装置（１０，４０，６０，７０）に関する。装置は、光変調素子（１８，４８，７８）の配列を含む空間光変調器（１６，４６，６２，７６）と、変調器を照明するよう配置された光源（１２，４２，７２）とを含む。装置は、変調器の各光変調素子が、少なくとも一次元に発散する光によって照明され、その光は変調器によって空間的に変調され、投射スクリーン上に投射される。本発明に従った投射ディスプレイ装置を用いる利点は、投射ディスプレイ装置を極めてコンパクトに実現し得ることである。本発明は、さらに、そのような投射ディスプレイ装置を含むハンドヘルド装置に関する。
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選択的に整形された波面を有する多色光を生成するシステムは、少なくとも２つの波長λ_１、λ_２の光ビームを生成する光源を含む。ビームは、λ_１波面及びλ_２波面を形成する複数の連続した部分ビームで構成されている。光源から光は１つ又は複数のアレイを含むことができる光移相デバイスの方に向けられ、各アレイは複数の要素を有している。機能的には、特定のアレイ内で、各要素は、対応する部分ビームの光経路長を選択的に変えるように独立に調整可能である。２つの波長λ_１、λ_２を有する光の場合、第１のアレイ構成は、λ_１波長光を整形し直すために使用され、第２のアレイ構成は、λ_２波長光を整形し直すために使用される。波面を整形し直し後に、λ_１及びλ_２波長光は、共通ビーム経路に向けられ、ここで見るか、像を形成するか、又はさらに処理することができる。
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【課題】ガス又は蒸気を含む侵入を検出するため視野（ＦＯＶ）を含む空間の体積モニターする空間安全装置を提供する。
【解決手段】ＦＯＶから集められた赤外線（ＩＲ）エネルギー光線を反射するためのミラーアレイ状のミラー要素を有する微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）及びＭＥＭＳアレイで反射されたＩＲエネルギーを検出しかつＩＲエネルギーを出力信号に変換するＩＲエネルギー検出器を備えるように構成する。プロセッサーは、制御された信号を変化させることによって又は一から他の合焦要素へ切り替えることによってＭＥＭＳミラーアレイの要素の角度を調整する。方法は、ＩＲ検出器の活性要素にＩＲ信号を反射するようにＭＥＭＳミラーアレイを位置決めすること、及びＦＯＶのｉ^ＴＨ部分からＩＲエネルギーを集めることによって空間の体積における検出をすることを含む。
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微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）ミラーアセンブリは、基板上に形成され一面にスプリングを有するマイクロミラーのアレイを含む。マイクロミラーは基板上に配置された電極へ印加された電圧によって生じた静電的な力に反応してオンとオフ状態の間で斜めに傾斜する。少なくとも１つ、しかし好ましくは２つの薄い金属片の形態からなる２つのスプリングがミラー側縁の支柱に取り付けられ、電圧が印加されていない基板に対してミラーが平らなときに生ずるオフ状態と電圧が印加されてミラーが傾斜させられたオン状態との間で、ミラーが傾斜させられたときに復元力を与えるスプリングとして作用する。 （もっと読む）

互いに間隔を開けて配置され、強磁性的に互いに結合する固定子３８，４０と、磁石９であって、磁石９によって生成される磁界の対称軸が前記固定子３８，４０から実質的に等距離で、かつその間を通るように前記固定子３８，４０に対して配置される磁石９と、フレクシャ素子１１であって、フレクシャ素子１１の中心点が磁石９の磁界の対称軸を実質的に横切るように、固定子３８，４０および磁石９に対して配置されるフレクシャ素子１１とを備え、フレクシャ素子１１は固定子３８，４０または磁石９のどちらとも物理的に接触しない、光学スキャナ１００である。
光学スキャナのフレクシャ素子を振動させる方法において、２つの固定子３８，４０の間であって、フレクシャ素子１１の下に配置された磁石９を用いて、おおむね対称で、互いに同一平面をなす第１および第２磁気回路３０，３１を作るステップであって、回路の一部は磁石９をとおる共通磁路を共有し、固定子３８，４０をとおる回路３０，３１の残りの非共有磁路は互いに反対向きであるステップと、電気コイル５，６を介して回路３０，３１の一方または両方に電磁束を印加して、ある回路３０，３１をとおる磁束を強化し、他の回路３０，３１をとおる磁束を妨げ、磁石９をとおる固定子誘導の磁束ベクトルを変化させないようにするステップと、フレクシャ素子１１を振動させるために、固定子誘導の電磁束の極性を規則的な周波数で反転させるステップとを有する、方法である。
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本発明は、マイクロミラーアレイレンズのアレイに関するものである。マイクロミラーアレイレンズは、複数のマイクロミラーと駆動部分とから構成されている。各マイクロミラーアレイレンズは、高速での焦点距離変更が可能な可変焦点距離レンズである。上記レンズは、所望の任意のサイズおよび／または型を有するとともに、所望の任意の光軸を有し、さらに、各マイクロミラーを独立に制御することにより収差を補正することができる。各マイクロミラーの独立した制御は、公知のマイクロエレクトロニクス技術によって可能である。上記駆動部分は、静電気的におよび／または電磁気的に、上記マイクロミラーの位置を制御する。上記マイクロミラーアレイレンズの光学効率は、上記マイクロミラーを支持する機械的構造と上記駆動部分とを上記マイクロミラーの下に配置することにより、改善される。公知のマイクロエレクトロニクス技術は、電極パッドおよびワイヤによる有効反射領域の損失を取り除くことができる。
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光クロスコネクトスイッチ。このスイッチにおいては、各々が通信ビームを搬送する入力光ファイバ群中のいずれかの光ファイバを、出力光ファイバ群中のいずれかの光ファイバへとクロスコネクトすることが出来る。入力光ファイバ群中の各ファイバが搬送する通信ビームには、アライメントビームが付加され、これと同軸にアライメントされることにより、各ファイバ用に通信―アライメントビームが画定されている。各通信―アライメントビームは閉じ込められた光経路中を送られて入力アレイ構造体中にある特定の出射孔へと向けられる。全ての通信―アライメントビームの出射孔は入力アレイを画定するパターンに配置されており、これにより通信―アライメントビームの各々は、入力アレイ構造体におけるその出射孔の位置によって識別することが出来る。通信―アライメントビームの各々は、第一のレンズマイクロレンズアレイ中の１つのマイクロレンズにより、クロスコネクションビームへと形成される。各クロスコネクションビームは、第一のミラーアレイ中の第一のミラー及び第二のミラーアレイ中の第二のミラーという２枚のミラーにより、第二のレンズアレイ中の１つのレンズへと向けられる。第二のレンズアレイ中のこのレンズは、通信ビームを出力アレイ構造体中の、望ましくは光ファイバである、閉じ込められた光経路の特定の入射孔へとフォーカスする。出力アレイ構造体中の閉じ込められた光経路の各々は、出力光ファイバ群中の１本の光ファイバに光学的に接続している。第二のレンズアレイの付近に配置された第一のデテクタアレイは、各アライメントビームの位置をモニタし、ミラーアレイの少なくとも一方におけるミラー制御用に位置情報をプロセッサへと供給する。
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デバイスは、互いに噛み合わされた関係で半導体ウェハ上に形成され、深掘反応性イオンエッチングによって解放される。ＭＥＭＳスキャナは周囲を取り囲むフレームを有さずに形成される。取付パッドは、ねじりアームから外向きに延びる。隣接するＭＥＭＳスキャナは、その互いに噛み合わされた取付パッドを備えて形成されるので、デバイスの周りに正多角形が形成されれば必ず１以上の隣接するデバイスの一部分とも交差する。ＭＥＭＳスキャナは、金属層、小さな半導体ブリッジ、または組み合わせによって、その輪郭内に保持されてもよい。
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