【課題】光反射性光学部品と光透過性光学部品とを近づけて配置することができ、基板の特性に関する要求が光学部品によって相反する場合でもそれらの要求を満たすことが可能な光モジュール及びその製造方法を提供する。
【解決手段】光モジュールは、シリコン領域１１をエッチングすることにより形成された光透過性光学部品１２を有する第１の板状部材１０と、光透過性光学部品１２を透過した光を反射する為の光反射性光学部品（鏡２１〜２４）を有する第２の板状部材２０とを備える。第１及び第２の板状部材１０，２０は互いに接合されており、光透過性光学部品１２を透過する光の光路が、第１の板状部材１０の部品形成面及び第２の板状部材２０の主面に沿っている。 （もっと読む）

【課題】微細機械的装置の光学的性質の操作により入射光を変調させ、優れた融通性をもたらすカラー方式を実現するため干渉変調装置及び干渉変調器のアレーを制御する方法を提供すること。
【解決手段】複数の干渉変調器を有し、該複数の干渉変調器が、着色光を射出するようになった少なくとも一つの干渉変調器と、白色光を射出するようになった少なくとも一つの干渉変調器とを有する干渉変調装置である。 （もっと読む）

【課題】単一のアクチュエータで３点以上の安定点を取ることができ、小型化・集積化可能な微小可動デバイスを提供する。
【解決手段】微小可動デバイスは基板３１と、基板３１上に設けられた固定構造物と、その固定構造物に連結支持されて基板板面と平行に駆動される可動構造物とを有する。可動構造物（可動ロッド４１）は第１の双安定ヒンジ対５３，５４の中央に結合され、第１の双安定ヒンジ対５３，５４の他端は第２の双安定ヒンジ対５６，５７の中央に結合され、第２の双安定ヒンジ対５６，５７の他端は固定構造物（アンカー部５８）に結合される。２つの双安定ヒンジ対がそれぞれ２つの安定状態の何れかにある時に可動ロッド４１は４つの安定点を取ることができる。双安定ヒンジ対をＮ段構成（Ｎは２以上の整数）とすれば、安定点が３以上２^Ｎ以下の個数の相互に異なる点として形成される。 （もっと読む）

【課題】高価な追加部品や複雑な機構などを用いることなく装置の大型化を抑制しつつ、スペックルノイズの除去性能を向上させることが可能なレーザ投射装置および画像投影装置を提供する。
【解決手段】レーザ光を投射するレーザ投射装置であって、レーザ光源と、レーザ光源から射出される基本レーザ光を、第１のレーザ光と、レーザ投射装置外部への投射に供される第２のレーザ光とに分岐させる分岐手段と、第１のレーザ光を集光する集光手段と、集光手段によって集光された第１のレーザ光を、集光手段へと反射する反射手段とを備える。そして、レーザ光源は、反射手段によって反射された第１のレーザ光が、集光手段および分岐手段を経てレーザ光源へと戻される戻り光によって、基本レーザ光の波長を変動させる。 （もっと読む）

【課題】 光を容易に制御することができ、応答特性がよく小型化が可能なマイクロ波装置、及び該マイクロ波装置を含む光電子集積装置を提供する。
【解決手段】 マイクロ波装置を、横断面が円形でその中心軸方向に延びる形状を有し、その側面には所望のマイクロ波回路が形成されており、その中心軸、または側面の一部の領域に対極が形成されているものとする。また、このマイクロ波装置と、横断面が円形でその中心軸方向に延びる形状を有し、温度の変化によって伸縮する、単一または複数の形状記憶合金と、光を透過可能な材料からなり、その横断面が円形でその中心軸方向に延びる形状を有し、該中心軸に沿って光ビームが伝搬可能なように該横断面の半径方向にその屈折率を異ならしめてなる単一または複数の光導波部材とを、ブイ溝またはピンを設けた基板上に配置して集積化し、マイクロ波装置と形状記憶合金と光導波部材との組合せで光ビームを制御するようにする。 （もっと読む）

【課題】
光学ＭＥＭＳデバイスにおいて、所定の機械変位に対し非常に長い光路差を発生させる。
【解決手段】
光学微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）デバイスは、光路遅延乗算器を提供する。ＭＥＭＳデバイスは、可動コーナー・キューブ反射板と、固定ミラーと、ＭＥＭＳアクチュエータとを含む。可動コーナー・キューブ反射板は、入射ビームを受信して、入射ビームを固定ミラーに向かって、全体として１８０度の角度で反射するように光学的に結合されている。固定ミラーは、入射ビームの逆方向経路に沿って可動コーナー・キューブ反射板に向かって後方に反射ビームを反射するよう光学的に結合されている。ＭＥＭＳアクチュエータは、可動コーナー・キューブ反射板に結合されており、可動コーナー・キューブ反射板に変位を発生させて光路長を増大する。 （もっと読む）

【課題】レーザ発振器から照射されたレーザ光を透過させる透過状態と、レーザ光を遮断する遮断状態とを迅速に切り替えること。
【解決手段】レーザシャッタユニット１は、レーザ発振器２０から照射されたレーザ光Ｌを透過させる透過状態と、該レーザ光Ｌを遮断する遮断状態とを切り替える。レーザシャッタユニット１は、レーザ発振器２０から照射されたレーザ光Ｌの一部を反射可能な第一反射ミラー１０ａと、レーザ光Ｌの残部を反射可能な第二反射ミラー１０ｂと、を備えている。透過状態において、第一反射ミラー１０ａおよび第二反射ミラー１０ｂは、レーザ光Ｌを反射しない位置に位置づけられ、遮断状態において、第一反射ミラー１０ａは該レーザ光Ｌの一部を反射する位置に位置づけられ、第二反射ミラー１０ｂは該レーザ光Ｌの残部を反射する位置に位置づけられる。 （もっと読む）

【課題】光ファイバ等の光出入射手段への迷光の侵入を防ぎ、反射減衰特性に優れた光デバイスを実現する。
【解決手段】少なくとも一部に壁面３１を有する自由空間と、自由空間に向けて光ビームを出射する１以上の光出射手段と、当該自由空間を経て到達した光ビームが入射する１以上の光入射手段とを有する光デバイスの壁面３１のいずれかの個所に、その個所を照射する不要光５２が自由空間内に向けて反射されることを防ぐ終端導波路７０などの反射防止手段を設ける。 （もっと読む）

【課題】可動鏡を含む光学系の気密性を高めることができ、且つ小型化が可能な光モジュールを提供する。
【解決手段】光モジュール１Ａは、支持基板１０と、支持基板１０の板面１０ａ上に絶縁層１２を介して配置された半導体層１４とを有するＳＯＩ基板から作製される光モジュールであって、Ｙ軸方向に移動可能となっており、Ｙ軸方向と交差する側面上に鏡面２２ａが形成された可動鏡２２と、支持基板１０の板面１０ａ上に設けられ、可動鏡２２の鏡面２２ａと光学的に結合されたフォトダイオード３２と、支持基板１０の板面１０ａ上に設けられ、可動鏡２２及びフォトダイオード３２を気密に封じるキャップ部材３４と、支持基板１０及び絶縁層１２を貫通して設けられ、フォトダイオード３２と電気的に接続された素子用電極部３６とを備える。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化および構造の簡素化を図りながら、ミラー部での振動を大きくすることが可能な振動ミラー素子を提供する。
【解決手段】この振動ミラー素子１０は、ミラー部２１の両側にそれぞれ端部２２ａおよび２３ａが接続され、ミラー部２１を振動可能に支持するトーションバー２２および２３と、トーションバー２２の端部２２ｂおよびトーションバー２３の端部２３ｂとそれぞれ接続されるバー２４および２５と、バー２４および２５の端部２４ｂ、２４ｃ、２５ｂおよび２５ｃとそれぞれ接続される駆動部５０および６０とを備え、平面的に見て、ミラー部２１はバー２４および２５と駆動部５０および６０とに囲まれる領域Ｒに配置されるとともに、トーションバー２２および２３の幅Ｗ１とバー２４および２５の幅Ｗ２とは、駆動部５０および６０の幅Ｗ３よりも小さくなるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】異物が挟まって可動体が動作しなくなりさらには電気的短絡が生じるといった不具合が発生しない微小可動デバイスを提供する。
【解決手段】単結晶シリコン基板６１上に、絶縁層６２を介して単結晶シリコン層６３からなる構造体（固定櫛歯電極５１，５２等）が固定され、基板板面と平行に変位する単結晶シリコン層からなる可動体（可動ロッド４６等）が構造体に保持されてなる微小可動デバイスにおいて、単結晶シリコン基板上面の構造体が存在しない全領域に凹部６４が形成され、可動体が絶縁層を具えずに凹部上に位置し、異物が挟まらない十分な空隙が確保され、かつ構造体が凹部上に張り出すオーバーハング部を持ち、このオーバーハング部の下側にあって構造体を単結晶シリコン基板に固定している絶縁層の周縁が凹部上に懸からない位置に在り、これによって単結晶シリコン基板と単結晶シリコン層との間に微小な空隙が形成されて電気的短絡が防止される。
【選択図】図１１
（もっと読む）

【課題】接触不良を無くし、信頼性を向上させることができる光スイッチを提供する。
【解決手段】ロータリースイッチ装置１は、所定の操作位置に回転操作可能に設けられた操作部１５と、円板形状を有して操作部１５に設けられ、所定の操作位置に基づいて光２を反射する少なくとも１つの凹部１８４を有する凹部群１８３が形成されたライトガイド１８と、ライトガイド１８の側部１８１に向けて光２を出射する発光部１２と、ライトガイド１８の内部を伝播する光２を凹部群１８３を介して受光し、受光した光２の強度に基づいた出力電圧を出力する受光部１４と、を備え、制御部１００は、出力電圧に基づいて所定の操作位置を判定する。 （もっと読む）

【課題】帯電による可動部の支持基板への張り付きを防止する。
【解決手段】導電性の支持基板１１とデバイス層１３とで中間絶縁層１２が挟まれた三層構造を少なくとも有し、デバイス層１３に固定部３３とその固定部３３に連結支持された可動部Ｍとが形成され、可動部Ｍは支持基板１１の板面と平行な面内方向に静電駆動される微小可動デバイスにおいて、固定部３３にデバイス層１３から中間絶縁層１２を貫通して支持基板１１に達する穴５１を設け、その穴５１の内部にデバイス層１３と支持基板１１とを導通する導電性材料（導電性樹脂５２）を収容する。 （もっと読む）

【課題】主アクチュエータや駆動回路の簡素化を可能とし、また外部から供給する電圧を下げることができるようにする。
【解決手段】基体上に、可動部（可動子４２）と、その可動部に連結されて双安定動作をする変形部材（ヒンジ４１）と、可動部を駆動する主アクチュエータとを備え、その主アクチュエータによって可動部が２つの安定状態間を変位する微細可動デバイスにおいて、変形部材にその２つの安定状態の間に存在するエネルギー障壁を一時的に下げるエネルギー障壁低下手段を設ける。 （もっと読む）

【課題】
本発明の課題は、効率よく光を取り出すことが可能な導波路体を提供することにある。
【解決手段】
光を導波する、第１の屈折率を有するコア１１と、第１の屈折率以上の第２の屈折率を有する高屈折率部を含むクラッド１２と、高屈折率部とコア１１とを接触させる変位手段１６と、を有することを特徴とする光導波路体。 （もっと読む）

【課題】小型でかつ半導体素子の設計レベルで光学的なアライメントが可能な回折格子装置および表示装置を提供することを可能にする。
【解決手段】表面に空洞部２２が形成された半導体基板２０と、半導体基板に形成され、光源からの光を伝搬する導波路２５と、空洞部上に形成されるとともに導波路から伝搬される光を回折する格子周期が可変な回折格子を有し、格子周期を変えることにより回折光の方向を変化させるフォーカスグレーティングカプラ３０と、一端が半導体基板と連結されフォーカスグレーティングカプラを支持する支持部４０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】光学素子の側方に光源を配置でき、システムの小型化に対応できる光学素子及びそれを用いた光学装置及び表示装置を提供する。
【解決手段】第１の面上において第１の方向に配列された、互いに平行な複数の第１の梁体と、前記第１の梁体のそれぞれの間に前記第１の梁体と平行に設けられた第２の梁体と、を備え、前記第１の梁体は、前記第１の方向における幅が前記第１の面に対する垂直上方に向けて漸減するように、隣接する前記第２の梁体に面した側面が傾斜してなり、前記第２の梁体は、前記第１の方向における幅が前記第１の面に対する垂直上方に向けて漸増するように、隣接する前記第１の梁体に面した側面が傾斜してなり、前記第１の方向にみた前記第１の梁体と前記第２の梁体との間の間隔が可変とされたことを特徴とする光学素子が提供される。 （もっと読む）

【課題】従来のモニタ機能を内蔵した光スイッチは、迷光が発生した場合に、モニタ用ＰＤ素子によって受光され、モニタ機能のクロストーク特性が低くなってしまうという課題があった。本発明は、その従来の迷光について、改善をはかったものである。
【解決手段】入力コリメータからの光を任意の割合で信号光とモニタ光に分岐する光学フィルタと前記分岐したモニタ光をモニタするためのモニタ用ＰＤ素子を光スイッチ内部に設置することにより、モニタ機能を内蔵させ、光スイッチの内部の構成部品を黒色処理・非出力光の遮光処理・モニタ用ＰＤ素子を仕切り板で仕切ること・モニタ用ＰＤ素子の位置を信号光から離すこと・モニタ用ＰＤ素子と信号光の光軸のなす角度を大きくすること・ＰＤ素子の受光径を小さくすることにより迷光の受光を小さくした高クロストークモニタ機能を内蔵した光スイッチである。 （もっと読む）

【課題】光ファイバ等の光出入射手段への迷光の侵入を防ぎ、反射減衰特性に優れた光デバイスを実現する。
【解決手段】少なくとも一部に壁面３１を有する自由空間と、自由空間に向けて光ビームを出射する１以上の光出射手段と、当該自由空間を経て到達した光ビームが入射する１以上の光入射手段とを有する光デバイスの壁面３１のいずれかの個所に、その個所を照射する不要光５２が自由空間内に向けて反射されることを防ぐ終端導波路７０などの反射防止手段を設ける。 （もっと読む）

【課題】従来の光信号処理装置においては、分光素子の分光特性温度依存性のため、温度によって光信号処理装置の性能が低下する問題があった。ＡＷＧの分光特性の温度依存性を解消するため、ＡＷＧのアレイ導波路上にコアを分断する複数の溝を形成し、異種材料を充填する方法があったが、過剰損失の発生は避けられない。溝構造の形成には、ＡＷＧ製造に複雑な追加工程が必要であり、製造コストが高かった。ＡＷＧの持つ温度依存性の２次変動成分をさらに低減することが望まれていた。
【解決手段】空間光学系における光学部品の支持体の温度依存変位を利用して、光路の向きを変化させることによって、ＡＷＧの分光特性の温度依存性の温度補償を行なう。空間光学系における温度補償作用によって、従来技術より簡単な構成で光学特性の十分な温度無依存化を実現できる。ＡＷＧ温度依存性の２次変動成分を特に効果的に補償できる。 （もっと読む）