【課題】耐久性に優れるとともに、所望の振動特性を有するアクチュエータを提供すること、かかるアクチュエータを備えた画像形成装置を提供すること。
【解決手段】本発明のアクチュエータ１は、枠状をなす支持部２９と、この枠状をなす支持部２９の内側に設けられた光反射部２２１を有する可動板２２と、可動板２２を回動可能に支持するように支持部２９と可動板２２とを連結する２組の連結部２０、２１とを有し、連結部２０は一対の弾性部材２５、２６を有し、連結部２１は一対の弾性部材２７、２８を有するものであって、弾性部材２５〜２８上には接合膜３を介して圧電素子５１〜５４が接合されている。この接合膜３は、エネルギー付与前において、シロキサン結合を含みランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、このＳｉ骨格に結合する脱離基とを含むものである。 （もっと読む）

【課題】可動板の挙動の検出精度が高いため、安定した駆動を行うことができ、かつ製造効率の高いアクチュエータ、およびかかるアクチュエータを備えた光スキャナおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】本発明のアクチュエータは、光反射部２９を有し、回動可能に設けられた第２の質量部２３を有し、第２の質量部２３を回動させることにより、光反射部２９で反射した光を対象物に走査するものであって、接合膜１５を介して支持部２４に接合された発光部１１と受光部とからなる光学センサを有する。この接合膜１５は、エネルギー付与前において、シロキサン結合を含みランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、このＳｉ骨格に結合する脱離基とを含み、エネルギーを付与することにより、一部の脱離基がＳｉ骨格から脱離し、代わりに活性手が生じる。これにより、接合膜１５に接着性が発現し、支持部２４と発光部１１とが接合されている。 （もっと読む）

【課題】低コスト化を図りつつ、寸法精度を優れたものとし、長期にわたり高精度に波長分離を行うことができる光学デバイス、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザを提供すること。
【解決手段】本発明の光学デバイス１は、第２の凹部３２を有し、その底面に第１の反射膜２５に光学ギャップＧ１を隔てて対向する第２の反射膜３４が設けられた第２の基体３は、平面視にて第２の凹部３２に対応する部分に設けられた第１の部材３ａと、平面視にて第２の凹部３２の外側の部分に設けられた第２の部材３ｂ１、３ｂ２とが接合膜４１を介して接合され、接合膜４１は、シロキサン（Ｓｉ−Ｏ）結合を含みランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、Ｓｉ骨格に結合する脱離基とを含む。 （もっと読む）

【課題】揺動体装置を構成する揺動体やねじりバネの製造過程に加工誤差がある場合でも、迅速かつ高精度に共振周波数を調整することができる揺動体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】固定部に対し、ねじりバネによってねじり軸まわりに揺動可能に支持され、共振周波数で駆動される揺動体を備えた揺動体装置の製造方法であって、
前記揺動体の慣性モーメント量の想定値を決定する第１のステップと、
前記共振周波数を測定する第２のステップと、
前記第１及び第２のステップにおける慣性モーメント量の想定値及び測定された共振周波数から、前記ねじりバネのバネ定数を算出する第３のステップと、
前記第３のステップで算出されたバネ定数と、前記揺動体の共振周波数に対し決定された目標共振周波数から、該目標共振周波数に調整するための前記揺動体の慣性モーメントまたは前記ねじりバネのバネ定数の調整量を算出する第４のステップと、を有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】安定した駆動を行うことができる光学デバイス、およびかかる光学デバイスを備えた画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光学デバイス１は、光反射部２９を有し、回動可能に設けられた第２の質量部２３と、第２の質量部２３を駆動する駆動手段とを有し、この駆動手段が第２の質量部２３を回動させることにより、光反射部２９で反射した光を対象物に走査するものであって、接合膜１１を介して支持部２４に接合されたヒートシンク１０を有する。この接合膜１１は、エネルギー付与前において、シロキサン結合を含みランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、このＳｉ骨格に結合する脱離基とを含むものである。このような接合膜１１は、エネルギーを付与することにより、一部の脱離基がＳｉ骨格から脱離し、代わりに活性手が生じる。これにより、接合膜１１に接着性が発現し、支持部２４とヒートシンク１０とが接合されている。 （もっと読む）

【課題】低コスト化を図りつつ、寸法精度を優れたものとし、長期にわたり高精度に波長分離を行うことができる光学デバイス、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザを提供すること。
【解決手段】第１の反射膜２５を備える可動板２１が変位可能に設けられた第１の基体２と、第１の反射膜２５に対向する第２の反射膜３４が設けられた第２の基体３とを有し、第２の基体３は、第１の層３ａと、第１の層３ａに接合膜４１を介して接合された第２の層３ｂとを有しており、接合膜４１は、シロキサン（Ｓｉ−Ｏ）結合を含みランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、Ｓｉ骨格に結合する脱離基とを含み、接合膜４１は、その少なくとも一部の領域にエネルギーを付与したことにより、接合膜４１の表面付近に存在する脱離基がＳｉ骨格から脱離し、接合膜４１の表面の当該領域に発現した接着性によって、第１の層３ａと第２の層３ｂとを接合している。 （もっと読む）

【課題】可動部を気密封止する際の封止部材のアライメントを容易にする。
【解決手段】ウェハ上の各ダイの周辺領域に第１のマスクパターンを形成するステップと、第１のマスクパターンから露出した第１の露出領域を所定深さだけ除去して、ダイの周辺領域に対応する部分を当該第１の露出領域よりも突出した段差形状に形成するステップと、第１の露出領域中の周辺部の全周に亘って第２のマスクパターンを形成するステップと、第２のマスクパターンから露出した第２の露出領域を除去して側壁部を形成するステップと、側壁部で規定される中空空間に可動部を形成するステップと、段差形状に所定の封止部材を当て付けて、当該封止部材が中空空間を閉塞するよう位置合わせするステップと、位置合わせされた封止部材を接合して中空空間を気密封止するステップと、を含む方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】振動子駆動用の共振回路に印加するパルス状の電圧などから共振電流を発生させることで、印加電圧のみの場合に比べて振動子駆動用コイルに流れる電流を大きくできる揺動体装置を提供する。
【解決手段】揺動体装置は、揺動軸の回りに揺動可能に支持された振動子25と、振動子25を駆動するための駆動手段30、40とを備える。駆動手段は、変調する磁場を発生するためのコイル30を含み、コイル30は、電源70に対してコンデンサ50と並列に接続されて共振回路を構成する。 （もっと読む）

【課題】紫外域〜青色の短波長域を含む広い波長域の光について、透過波長の可変制御をより簡単にかつ高精度に行うことができる波長可変フィルタを提供する。
【解決手段】波長可変フィルタ３１は、複数の偏光子３２ａ〜３２ｄの間に、それぞれ２枚の同じ楔角θ１〜θ３の楔状複屈折板３４a1〜３４c1，３４a2〜３４c2で構成された複屈折素子であるバビネソレイユ位相板３３ａ〜３３ｃが、光軸４に沿って配置されている。各バビネソレイユ位相板は、一方の複屈折板を光軸と直交する向きに同じ変位量で変位させることにより、その厚さＤ１〜Ｄ３を変化させて、各バビネソレイユ位相板を透過する光の位相差を２^ｉ−１×２π+ｋ×２π、（ｉ＝１〜３、ｋ：非負整数）を満足するように補正し、波長可変フィルタを所望の透過波長に変化させる。 （もっと読む）

【課題】０．５ＭＨｚ以上の高周波動作を可能とし、温度特性の優れた安価な偏波スクランブラーを提供すること。
【解決手段】金属製の柱体の円周部に複数の角形圧電素子を張り付け、その上から光ファイバ２０をねじれなく巻き付ける。こうして構成された複屈折変調器１０Ａ，１０Ｂを複数用い、交流電源３２，４２より圧電素子の共振周波数ほぼ等しい交流電圧を印加し、光ファイバ２０を通過する光の偏波をスクランブルする。これにより機械的強度が低下することなく薄い圧電素子を使用することができ、高速動作が可能で、温度特性の優れた偏波スクランブラーを実現できる。 （もっと読む）

【課題】ノイズが生じることなく、切り換えスイッチが不要でコスト低減化が図れる光線路の監視切り換え装置を提供する。
【解決手段】複数の光線路５１，５２，５３・・を予め定めた第１配列間隔Ｐ１で第１方向Ｌ１に平行に配列して保持する光線路保持部５０と、第１切り換え光線路９１と第２切り換え光線路９２とを第２配列間隔Ｐ３をおいて保持して、複数の光線路の第１方向Ｌ１と直交する第２方向Ｌ２に沿って移動することで、第１切り換え光線路９１の端部９１Ｂと第２切り換え光線路９２の端部９２Ｂを、複数の光線路の端部に対して隙間Ｔをおいて選択的に切り換えるための移動切り換え部８０とを備え、第１切り換え光線路と第２切り換え光線路の第２配列間隔Ｐ３と第１配列間隔Ｐ１とは異なる設定である。 （もっと読む）

【課題】共振周波数を調整する機能を安定して維持できる振動ミラー及びこれを用いた光走査装置、光書込装置、画像形成装置を提供する。
【解決手段】ねじり梁１０２、１０３を回転軸として往復振動して光源からの光ビームを偏向するミラー基板１０１と、ミラー基板１０１と単一の基板を貫通してミラー基板１０１と一体形成され、ねじり梁１０２、１０３に結合してミラー基板１０１を支持する上部枠体１０４とを有し、ねじり梁１０２にその弾性係数を調整する調整構造１１８、１１９が配置された。 （もっと読む）

【課題】外乱ノイズ等が入った場合でも最適な駆動電圧を算出する。
【解決手段】制御部８の誤差演算補正部８５は、三角関数に基づく摂動操作量と各摂動操作量における光強度の値に基づいて、光強度の最大値を得る動作操作量により初期操作量を補正および更新する。これにより、外乱ノイズ等が入った場合でも最適な駆動電圧を算出することができる。 （もっと読む）

【課題】液体レンズの性能が劣化することを抑制できる光走査装置を提供する。
【解決手段】感光体ドラム４を備えた画像形成装置に用いられる光走査装置３。液体レンズ３４は、レーザダイオード３２が出射した光を集光すると共に、導電性液体６０及び絶縁性液体６２を含む。ポリゴンミラー５０は、液体レンズ３４を通過した光を偏向する。制御部１８は、液体レンズ３４に電圧を印加することにより、導電性液体６０と絶縁性液体６２との界面の形状をエレクトロウエッティング現象により変形させて、液体レンズ３４の焦点距離を制御する制御部であって、画像形成装置の作動中であってかつ感光体ドラム４への光の照射が行われていない期間の少なくとも一部において、液体レンズ３４への電圧の印加を停止する。 （もっと読む）

【課題】環境温度に対する影響を緩和または防止し、所望の振動特性を発揮することができるアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】本発明のアクチュエータ１は、可動板２１と、可動板２１を介して互いに対向するよう設けられた１対の支持部２２、２３と、各支持部２２、２３と可動板２１とを連結する１対の連結部２４、２５とを有している。連結部２４は、支持部２２から可動板２１と反対側へ向けて延出する軸部２４１と、軸部２４１の先端から可動板２１へ向けて折り返すよう形成された折り返し部２４２とを有している。この折り返し部２４２は、軸部２４１の先端と可動板２１の離間部２１ａ、２１ｂとを連結するよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、プロジェクタ装置及びこのプロジェクタ装置に用いられるカラーホイールの回転位置検出回路に関するものであり、回転位置検出の際の、外来光による誤動作を防止することを目的としている。
【解決手段】本発明は、請求項１に記載するように位置マークが設けられた回転体の、所定の位置に光を照射する発光素子と、この回転体の所定の位置からの反射光を検出する受光素子と、この受光素子で検出した信号を分割する分割回路と、前記受光素子で検出した信号及び前記分割した信号を入力し、前記回転体の回転に同期した信号を出力するコンパレータとを有することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】光走査装置に使用される圧電素子に水分が浸入して、電極が劣化することを防止する保護層を、製造工程を増加させないで形成する。
【解決手段】揺動可能な反射部１を備える可動部と、可動部を保持する固定部５と、可動部の一部と固定部５の一部に跨って設置される圧電素子７と、固定部５が設置される筐体９とを備える光走査装置２５の製造方法において、圧電素子７に保護層１７を形成する保護層形成工程と、固定部５を筐体９に接着する接着工程とを同時に行う。 （もっと読む）

【課題】スペクトル調整可能フィルタを提供すること。
【解決手段】少なくとも１つのビームをスペクトルフィルタリングすることは、少なくとも１つのビームの複数のスペクトル成分を、スペクトル平面内でそれぞれに対応する異なる角度で分散させること、分散後のスペクトル成分の伝搬軸の角度の少なくとも一部を、複数のスペクトル成分の伝搬軸の間の最大角度分離が変わるように変更すること、反射面に入射する複数の分散後のスペクトル成分を、複数のスペクトル成分それぞれの中心光線が反射面上の異なる点に入射する位置で受け取ること、および受け取ったスペクトル成分のうち、選択された出力経路に誘導すべき少なくとも１つかつ全部未満を選択するように、反射面を傾動させることを含む。 （もっと読む）

【課題】逆止弁を備えた減圧封止が可能な構造を構成し、揺動体のジッタを低減する一方、揺動体の制御性を保持することが可能となる揺動体装置、揺動体装置の筐体内部の減圧方法、光偏向器、画像形成装置を提供する。
【解決手段】支持基板に対し、支持部によってねじり軸まわりに揺動可能に支持された可動板を備えた揺動体を、駆動手段によって駆動する揺動体装置であって、
前記揺動体の周囲を覆い、減圧封止が可能な構造の筐体を備え、
前記筐体には、該筐体の内部から外部に気体を通す逆止弁が一つ以上設けられ、
前記逆止弁によって減圧封止した前記筐体の内部に前記揺動体を配設することによって、該揺動体のジッタを低減する一方、制御性が保持可能とされた構成とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、多重される光の波長の数や間隔に柔軟に対応できる光分波器を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る光分波器は、入力端１１の入力ポート１２から入力される波長多重光を複数の波長領域の分波光に分波し、前記複数の分波光をそれぞれ光出力端１９の出力ポート１８から出力するＡＷＧ１０１と、ＡＷＧ１０１の光出力端１９に出力ポート１８毎に接続され、前記分波光のうち選択された波長の光のみ透過させる複数の可変波長フィルタ１０２と、を備える。 （もっと読む）