【課題】構造体において発生する不要な周波数の振動を低減することができる光スキャナを提供する。
【解決手段】光スキャナ１は、構造体２、圧電素子５、基台４、および突出部４４を備える。構造体２は、ミラー部２１、一対の捩れ梁部２２、および本体部２３を有する。ミラー部２１は、揺動軸Ｏを中心として揺動可能に支持される。一対の捩れ梁部２２は、ミラー部２１を揺動可能に支持する。本体部２３には、一対の捩れ梁部２２の各々のうち、ミラー部２１に接続する端部とは反対側の端部が接続される。圧電素子５は、本体部２３の一方の板面に接合され、ミラー部２１を共振揺動させるための振動力を発生させる。突出部４４は、基台４から突出し、本体部２３のうち圧電素子５が接合される板面の反対側の板面に固定される。 （もっと読む）

【課題】EW方式の駆動ポンプ部の駆動力を用いた液体レンズなどの液体光学素子において、電極の絶縁膜と液体との摩擦により低下しやすい駆動速度を高速化する技術を提供する。
【解決手段】液体光学素子は、光学有効部と複数の駆動ポンプ部１０８を有する。駆動ポンプ部は、不混和な液体１０１、１０２間の界面１０３b、１０３c、１０３ dの端部を保持する保持部１０６と、保持部に対して配置された絶縁電極１０４を有する。電極に印加される電圧を制御することで電極１０４に接する界面の端部を変位させて液体を移動させることにより、各駆動ポンプ部から連通して存在する液体１０１、１０２を含む複数の液体が存在する光学有効部の状態を変化させて光学特性が変化させられる。 （もっと読む）

【課題】センサ配線のノイズを低減し、ミラーの傾きを高精度に検出することが可能な光走査装置及び光走査制御装置を提供することを目的としている。
【解決手段】ミラー及び前記ミラー支持部を挟むように対をなして設けられた第１の駆動梁と、第１の駆動梁の片側を前記捻れ梁と連結する連結梁と、連結梁上に形成されており、第１の駆動梁に駆動電圧が印加されて前記ミラーが揺動しているとき、捻れ梁の軸周りの揺動による連結梁の変位を検出する第１の圧電センサを有し、第１の圧電センサ手段は、上部電極配線がミラー及びミラー支持部を挟む一方の第１の駆動梁に向かって引き出され、下部電極配線がミラー及びミラー支持部を挟む他方の第１の駆動梁に向かって引き出される。 （もっと読む）

【課題】ギャップ量を精度良く得る光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器を提供すること。
【解決手段】光フィルター１０は、第１基板２０と、第２基板３０と、第１基板に設けられた第１反射膜４０と、第２基板に設けられた第２反射膜５０と、平面視で第１反射膜の周囲の位置にて第１基板に設けられた第１，第２電極６２，６４と、第２基板に設けられて第１，第２電極と対向する第３，第４電極７２，７４とを有する。第２電極６４は第１スリットを有し、第１電極に接続された第１配線は第１スリットが形成された領域を経て第１基板の外周領域に延在する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、反射膜間のギャップ寸法を変化させた場合でも分解能の低下を抑制できる波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定電極５４１及び可動電極５４２を備えた静電アクチュエーター５４を具備する。そして、固定電極５４１は、複数の固定部分電極５４３を備え、可動電極５４２は、複数の可動部分電極５４４を備え、互いに対向する固定部分電極５４３及び可動部分電極５４４により部分アクチュエーター５５が構成される。そして、これらの部分アクチュエーター５５は、同一面積を有し、重心点が可動部５２１の中心点Ｏを中心とする仮想円Ｐ上で等角度間隔に配置され、電圧印加用部分電極間で電気的に直列に接続される。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエータの力を効率よく利用してミラーの回転方向に大きな変位を得るとともに、垂直方向の並進運動を大幅に抑制する。
【解決手段】ミラー部（12）を挟んで両側に一対の圧電アクチュエータ部（14）が配置される。圧電アクチュエータ部（14）の一端（14A）は連結部（16）を介してミラー部（12）の端部（12A）に接続され、圧電アクチュエータ部（14）の他端（14B）は固定部（30）に固定支持される。また、ミラー部（12）は、垂直方向への並進運動する抑制する垂直移動抑制構造(32)を介して固定部（30）に接続されている。回転軸（18）付近に接続されるトーションバー（20）とトーションバー（20）の基端部を支持するトーションバー支持部（22）とにより垂直移動抑制構造（32）を構成できる。 （もっと読む）

【課題】別基板に形成された第１光部品と第２光部品の調芯を高精度に行って、固定すること。
【解決手段】第１光部品と、第１光部品に対して固定され、第１光部品に光結合された第２光部品と、第２光部品が第１光部品に対して固定される前において第２光部品を第１光部品に対して移動させて、第１光部品及び第２光部品の調芯用の第１アクチュエータと、を備える光モジュール、光モジュール製造方法、及び光モジュール製造システムにより課題を解決した。 （もっと読む）

【課題】必要となるポート数が少ないユーザが、ポート数の多い波長選択スイッチの一部のポートを利用した場合、機能しないポートが数多く存在する。
【解決手段】本発明にかかる波長選択スイッチは、波長多重された光を入力または出力可能なポートを複数備えた光入出力部と、光を反射する反射領域を複数有し、波長多重された光を波長ごとに偏向可能な第１の偏向部材と、光入出力部および第１の偏向部材の間の光路中に配置された分散素子と、光入出力部および分散素の間の光路中に配置された第１の光学系と、分散素子および第１の偏向部材の間の光路中に配置された第２の光学系と、第１の光学系および第１の偏向部材の間の光路中に配置可能な光学部材と、光を反射する反射領域を複数有し、波長多重された光のうち、光学部材からの光を波長ごとに偏向可能な第２の偏向部材とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】駆動電圧の増大を招くことなく、優れた光学特性を有する波長可変フィルタを提供すること。
【解決手段】第２の基板３は、その厚さ方向での位置が異なる２つの面を可動部２１側に有し、２つの面のうち、一方に駆動電極３３が設けられ、他方に検出電極４０が設けられており、検出電極４０と可動部２１との間の静電容量に基づいて、駆動電極３３と可動部２１の間に電位差を生じさせることにより、これらの間に静電引力を生じさせて、可動部２１を変位させるとともに、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間で光反射を繰り返し、干渉を生じさせて、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間の距離に応じた波長の光を外部に出射し得るよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】省電力化が可能な波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定反射膜５４及び固定電極５６１が設けられた固定基板５１と、固定基板５１に対向し、可動反射膜５５及び可動電極５６２が設けられた可動基板５２と、を具備し、固定電極５６１及び可動電極５６２は、それぞれ透光性を有し、フィルター平面視において、固定反射膜５４及び可動反射膜５５が設けられた光干渉領域Ａｒ２を含む駆動領域Ａｒ１を覆って設けられ、固定反射膜５４は、固定電極５６１を介して固定基板５１に設けられ、可動反射膜５５は、可動電極５６２を介して可動基板５２に設けられた。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、反射膜間のギャップ寸法を検出でき、かつ容易に配線を接続可能な波長可変干渉フィルター、光モジュール、および光分析装置を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定反射膜５６を有する固定基板５１と、可動反射膜５７を有する可動基板５２と、固定電極５４１および可動駆動電極５４２を備えた静電アクチュエーター５４と、固定検出電極５５１および可動検出電極５５２を備えたギャップ検出電極と、を具備し、固定検出電極５５１は、互いに絶縁された第一固定部分検出電極５５３Ａおよび第二固定部分検出電極５５３Ｂを備え、可動検出電極５５２は、第一固定部分検出電極５５３Ａに対向する第一対向検出領域５５４Ａと、第二固定部分検出電極５５３Ｂに対向する第二対向検出領域５５４Ｂと、を具備する。 （もっと読む）

【課題】基板に生じる撓みを低減して、分解能を向上させた波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、第１基板５１の第２基板５２との対向面に設けられた第１反射膜５６と、第２基板５２の第１基板５１との対向面に設けられ第１反射膜５６と対向する第２反射膜５７と、第１基板５１の第２基板５２との対向面に設けられた第１電極５３と、第２基板５２の第１基板５１との対向面に設けられた第２電極５４とを備え、第２基板５２は、第２反射膜５７を設けた可動部５２２と、可動部５２２を基板厚み方向に移動可能に保持する連結保持部５２３とを備え、連結保持部５２３は可動部５２２を囲んで連続して、かつ可動部５２２より厚み寸法が小さく形成され、第２電極５４は第２基板５２の連結保持部５２３より厚み寸法が大きい部分に設けられる。 （もっと読む）

【課題】ギャップ量を精度良く得る光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器を提供すること。
【解決手段】光フィルター１０は、第１基板２０と、第２基板３０と、第１基板２０に設けられた第１反射膜４０と、第２基板に設けられた第２反射膜５０と、平面視で第１反射膜の周囲の位置にて第１基板２０に設けられた第１，第２固定電極６２，６４と、第２基板に設けられて第１，第２固定電極と対向する第１，第２可変電極７２，７４とを有し、第１、第２可変電極は反射膜を中心とした、中心対称構造なるように、第２可変電極のスリット部を形成した。 （もっと読む）

【課題】光ファイバを用いた伝送システムでは、光ファイバの曲げ、捻り、加重などにより、光ファイバ出口からのレーザ開口率が変化してしまう。
【解決手段】レーザ光を伝送するレーザ光伝送装置であって、入射端にレーザ光が入射し出射端からレーザ光が出射される光ファイバと、レーザ光の光源と光ファイバの入射端を光学的に接続し、入射端に前記レーザ光を入射する入射光学系と、入射光学系から入射端に入射されるレーザ光の光軸と入射端面との角度を変化させる入射角度調整手段と、を備え、入射端に入射されるレーザ光の光軸と入射端面との角度を変化させることで出射端から出射されるレーザ光の開口率を制御する。 （もっと読む）

【課題】基板の貼り合わせによって構成される光フィルターにおいて、基板の傾きを抑制して、各基板に設けられる光学膜間の平行度を確保すること。
【解決手段】光フィルターは、支持部２２を有する第１基板２０と、支持部２２によって支持される第２基板３０と、第１基板２０に設けられた第１光学膜４０と、第２基板３０に設けられた、第１光学膜４０と対向する第２光学膜５０と、を含み、支持部２２の、第２基板３０を支持する支持面の全領域上に設けられた第１接合膜１０５と、第２基板３０の被支持面上に設けられた第１接合膜よりも膜厚が薄い第２接合膜１０７との接合によって、第１基板２０と第２基板３０とが固着されている。 （もっと読む）

【課題】ミラーの回動精度を保ちつつ、可動部に対する給電を円滑に行い得るミラーアクチュエータおよびこのミラーアクチュエータを搭載したビーム照射装置を提供する。
【解決手段】ミラーアクチュエータ１は、支軸２４について回動可能なミラーユニットフレーム１１と、支軸１７に配されたミラー１９と、マグネットユニット２０とミラーユニットフレーム１１とを連結するサスペンションワイヤー２６ａ〜２６ｆと、ミラーユニットフレーム１１と支軸１７とを連結するサスペンションワイヤー１６ａ〜１６ｄとを備える。サスペンションワイヤー１６ａ〜１６ｄ、２６ａ〜２６ｆにより、ミラーユニットフレーム１１に装着されたチルトコイル１１ｂと、支軸１７に装着されたパンコイル１２ｂ、１３ｂに給電でき、ミラーユニットフレーム１１と支軸１７に対し、一定かつ安定的な抗力が付与される。 （もっと読む）

【課題】カラーホイールの回転基準位置を良好に検出することができるカラーホイールユニットを提供する。
【解決手段】カラーホイールユニット３００は、色の異なる複数のセグメントが回転方向に並べられたカラーホイール３１０と、カラーホイール３１０を回転させるためのモータ３２０と、カラーホイール３１０の回転軸と同軸に配置され、カラーホイール３１０とともに回転する円環状のマーカー用テープ３２４と、マーカー用テープ３２４に対向するように配置され、マーカー用テープ３２４にて反射された光の光量に基づきカラーホイール３１０の回転基準位置を検出する位置センサ３３０とを備える。ここで、マーカー用テープ３２４は、回転基準位置を決めるためのマーカー部３２４ａと、当該マーカー部３２４ａとは反射率が異なる非マーカー部３２４ｂとを一体的に有する。 （もっと読む）

【課題】外的要因によるギャップの変動を抑制しつつ、所望のギャップに正確に設定できる波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供すること
【解決手段】第１基板５１に設けられた第１可動ミラー５６と、第１可動ミラー５６と所定のギャップＧを介して対向する第２可動ミラー５７と、ミラー間のギャップＧの寸法を変える静電アクチュエーター５４とを備える。第１基板５１は、第１可動ミラー５６が設けられた第１可動部５１２と、第１可動部５１２を基板厚み方向に移動可能に保持する第１連結保持部５１３とを備える。第２基板５２は、第２可動ミラー５７が設けられた第２可動部５２２と、第２可動部５２２を基板厚み方向に移動可能に保持する第２連結保持部５２３と備える。静電アクチュエーター５４は、各可動部５１２，５２２を相対的に移動させることで、ギャップＧの寸法を変更させる。 （もっと読む）

【課題】基板の貼り合わせによって構成される光フィルターにおいて、光学膜間の平行度を安定した品質で恒常的に確保すること。
【解決手段】光フィルターは、支持部２２を有する第１基板２０と、支持部２２に支持される第２基板３０と、第１基板２０の第２基板３０側全領域に設けられた第１接合膜１０５と、第２基板３０の第１基板２０側全領域に設けられた第２接合膜１０７と、第１基板２０の第１接合膜１０５上に設けられた第１光学膜６３と、第２基板３０の第２接合膜１０７上に設けられた第２光学膜７３と、第１基板２０の第１接合膜１０５上に設けられた第１電極６０と、第２基板３０の第２接合膜１０７上に設けられた第２電極７０と、を含み、第１接合膜１０５と第２接合膜１０７との接合により、第１基板２０と第２基板３０とが固着されており、第１光学膜６３、第２光学膜７３、第１電極６０及び第２電極７０が同一材質で構成されている。 （もっと読む）