本発明は、一体型波面補正モジュールに関するものであって、取付デバイスと；この取付デバイスに付設されているとともに、入射波面における大きな時空周波数的エラーを補正するための変形可能ミラーと；ベースと、このベースとフレキシブル部分および固定部分のうちの一方との間を相互連結する複数のチップチルトアクチュエータと、ベースとフレキシブル部分および固定部分のうちの他方との間を相互連結する複数の支持支柱と、を備えていて、入射波面におけるチップチルトエラーを補償し得るよう、変形可能ミラーと一緒に取付デバイスを調節するための、チップチルト補正機構と；を具備している。
（もっと読む）

本発明は、メニスカス（２０８）によって分離された２つの混合しない流体（２０５，２０６）を収容する流体室を含む反射型エレクトロウェッティング装置（２００）を提供する。流体室は、さらに、電極（２０３，２０４）と、２つの混合しない流体（２０５，２０６）に対する異なるウェッティング特性を有するウェッティング面（２０７）を含み、疎液力及び静電力の相互作用によってもたらされるエレクトロウェッティング力が、メニスカスに衝突する光（２１０，２１２）がメニスカスで全反射によって反射されるよう、メニスカス（２０８）を制御するために利用される。本発明は、さらに、そのような反射型エレクトロウェッティング装置のシステム及び配列を提供する。
（もっと読む）

【課題】ガス又は蒸気を含む侵入を検出するため視野（ＦＯＶ）を含む空間の体積モニターする空間安全装置を提供する。
【解決手段】ＦＯＶから集められた赤外線（ＩＲ）エネルギー光線を反射するためのミラーアレイ状のミラー要素を有する微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）及びＭＥＭＳアレイで反射されたＩＲエネルギーを検出しかつＩＲエネルギーを出力信号に変換するＩＲエネルギー検出器を備えるように構成する。プロセッサーは、制御された信号を変化させることによって又は一から他の合焦要素へ切り替えることによってＭＥＭＳミラーアレイの要素の角度を調整する。方法は、ＩＲ検出器の活性要素にＩＲ信号を反射するようにＭＥＭＳミラーアレイを位置決めすること、及びＦＯＶのｉ^ＴＨ部分からＩＲエネルギーを集めることによって空間の体積における検出をすることを含む。
（もっと読む）

マイクロレンズチップは、可変焦点流体マイクロレンズ及びアクチュエータを備える。アクチュエータは、マイクロレンズチップの流体チャンネルの圧力を変え、この流体チャンネルは、マイクロレンズを含むアパーチャ開口部に結合されている。アクチュエータに電界を印可することで、流体チャンネルの流体圧力の変化が生じ、これが、今度は、流体マイクロレンズの曲率半径（すなわち、焦点距離）を変える。 （もっと読む）

デバイスは、第１の表面をもつ。第２の表面は、パッケージを形成するために、第１の表面からオフセットしている。少なくとも１つの可動素子は、パッケージ内において、別の表面に接触する可動表面をもっている。環境制御物質は、パッケージ内部に含められ、可動素子の動作に影響を与える。 （もっと読む）

エレクトロウェッティングセル（１５）は外側壁（９０）及び内側壁（８０）を有し、外側壁（９０）は内側壁（８０）の反対側に伸びている拡張部（８５、８６）を備えている。セル（１５）は、体積拡大のためのメンブレン（４５）を更に備え、電気メッキ層（９５）により密封されている。
（もっと読む）

レーザ源（５２）とグレーティング・ライト・バルブ光変調器（５４）と光ステアリング・スキャナ（５８）とを有する走査プロジェクタのためのシャッタリング・システムが、スキャナ（５８）と光変調器（５４）とを相互接続するフィードバック・システムを含む。このフィードバック・システムは、スキャナ誤動作の際には光変調器（５４）を消勢して、レーザ光の方向を変更してスキャナ（５８）から遠ざけるように構成されている。
（もっと読む）

制御可能な光学レンズシステムは、第1および第2の流体を収容するチャンバであって、前記流体の界面がレンズ表面を定形する、チャンバを有する。電極配置は、レンズ表面の形状を制御し、第1および第2の電極を有する。第1および第2の電極間の、少なくとも一つのレンズ流体を介した電気抵抗に依存するシステムによって、パラメータが決定される。すなわち、レンズ流体を介した直列抵抗が、メニスカス位置の測定に使用される。
（もっと読む）

デバイスは、互いに噛み合わされた関係で半導体ウェハ上に形成され、深掘反応性イオンエッチングによって解放される。ＭＥＭＳスキャナは周囲を取り囲むフレームを有さずに形成される。取付パッドは、ねじりアームから外向きに延びる。隣接するＭＥＭＳスキャナは、その互いに噛み合わされた取付パッドを備えて形成されるので、デバイスの周りに正多角形が形成されれば必ず１以上の隣接するデバイスの一部分とも交差する。ＭＥＭＳスキャナは、金属層、小さな半導体ブリッジ、または組み合わせによって、その輪郭内に保持されてもよい。
（もっと読む）