【課題】応力関連の変形を最小限に抑えるように構成された支持構造を有するＭＥＭＳデバイス、およびその製造方法。
【解決手段】ＭＥＭＳデバイスの実施形態は、上位の支持構造によって支持される移動可能層を含み、更に、下位の支持構造を含むことができる。１つの実施形態では、上位の支持構造内の残留応力と、移動可能層内の残留応力とが、実質的に等しい。別の実施形態では、上位の支持構造内の残留応力と、下位の支持構造内の残留応力とが、実質的に等しい。特定の実施形態では、実質的に等しい残留応力は、同じ厚さを有する同じ材料で形成される層の使用を通じて得られる。更なる実施形態では、実質的に等しい残留応力は、互いの鏡像である支持構造および／または移動可能層の使用を通じて得られる。 （もっと読む）

【課題】製造における可動部の形状ばらつきを従来よりも小さくして、可動部の揺動時の慣性モーメントを低減することができるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、揺動軸まわりに揺動可能な板状の可動板２１と、可動板２１から延出し、かつ可動板２１の揺動に伴って捩り変形する連結部２３、２４と、連結部２３、２４を支持する支持部２２と、可動板２１の板面に固着された磁石４１１、４１２と、通電により磁石４１１、４１２に作用する磁界を発生させて可動板２１を揺動させるコイル４２とを有し、可動板２１は、その板厚方向からの平面視にて、揺動軸に対して垂直な方向で両側へ突出する１対の突出部２１５、２１６と、揺動軸に対して平行な方向で両側に突出する１対の突出部２１３、２１４とを有する十字状をなし、磁石４１１、４１２は、突出部２１３、２１４に固着されている。 （もっと読む）

【課題】レーザー光を遮蔽する遮光部材の強度を向上することが容易なレーザー光出射装置、および画像形成装置を提供する。
【解決手段】レーザー光出射装置１０４は、レーザー光を出射する出射部２と、出射部２を収容し、出射部２から出射されたレーザー光が外部へ通り抜けるように形成された開口部４５を有するハウジング４３と、軸方向と直交する方向に貫通する貫通孔３２が設けられた円柱形の円筒シャッター３とを備え、円筒シャッター３は、軸方向がレーザー光と交差する方向に向けられ、開口部４５を塞ぐように配設され、かつ軸回りに回動自在にされるようにした。 （もっと読む）

【課題】ミラー面の鏡面性と製造歩留りに優れたＭＥＭＳ走査型ミラーの製造方法を提供する。
【解決手段】空洞HOが形成されるハンドル層Hと表面が鏡面仕上げされたデバイス層B、Ｔとがシリコン酸化膜を介して接合されたウエハを準備する工程、デバイス層にＭＥＭＳ走査型ミラーの下層構成要素に対応しかつデバイス層に形成すべき下層構造体を形成する工程、下層構造体形成後のウエハのデバイス層にシリコン酸化膜を介して上層のデバイス層を形成するためのウエハを接合する工程、上層のウエハを加工して所定厚さの上層のデバイス層を形成する工程、上層のデバイス層にＭＥＭＳ走査型ミラーの上層構成要素に対応しかつ上層のデバイス層に形成すべき上層構造体を形成する工程、ハンドル層Hに空洞を形成する工程、下層構造体のシリコン酸化膜を除去してＭＥＭＳ走査型ミラーを完成させる工程とからなる。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳによるシャッタ組立体Ｍにおける歪みの発生を抑えた表示装置を提供する。
【解決手段】板状に形成されるシャッタ板ＳＨと、アクチュエータ部ＡＣと、を有する複数の画素を備えた表示装置であって、アクチュエータ部ＡＣは、シャッタ板ＳＨに接続される梁部Ｂと、電圧が印加されることにより、梁部Ｂを湾曲させてシャッタ板ＳＨを駆動する駆動電極Ｅと、駆動電極Ｅを支持し、基板Ｂ１上に固定される第１支持部Ｓ１と、梁部Ｂを支持し、基板上に固定される第２支持部と、を有し、第１支持部Ｓ１および第２支持部の少なくとも一方は、基板から離れた平面部分Ｓｐと、平面部分Ｓｐから窪み、基板に接続する凹部Ｓｃと、を有し、凹部Ｓｃは、平面部分からほぼ垂直に傾斜して形成される垂直形成部分Ｓｖと、垂直形成部分Ｓｖから開始して、基板Ｂ１側に進むに従って傾斜が緩くなるように形成される部分Ｓｇを有する、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ミラー基板の高剛性化と軽量化を同時に実現できる電磁型マイクロミラー装置を提供する。
【解決手段】電磁型マイクロミラー装置１は、ミラー基板２と、ミラー基板２を往復振動させるための駆動手段とを備えている。ミラー基板２の表面２ａには、光ビームを反射するためのミラーが形成されている。ミラー基板２の裏面２ｂには、構造補強材１０が形成されている。この構造補強材１０は三次元規則配列多孔体から構成され、構造補強材１０中には磁性材料が含まれている。 （もっと読む）

【課題】画素のシャッタ機構により表示制御を行う表示装置において、構造を強化すると共に、耐久性を向上させる。
【解決手段】表示装置は、絶縁性のある基板である絶縁基板部２１５と、絶縁基板部２１５上で各画素に薄膜トランジスタが形成されている薄膜トランジスタ部２２０と、薄膜トランジスタ部２２０の薄膜トランジスタにより電気的に駆動され、各画素の光の透過を制御するシャッター機構部３００と、を備え、シャッター機構部３００は、構造的部分であるメカニカル層３５２と、メカニカル層３５２上に形成された導電層３５４と、を有し、メカニカル層３５２と導電層３５４とは共に、薄膜トランジスタ部２２０に形成された導電部２２６に接して固定されている。 （もっと読む）

【課題】オイル流動によるシャッタの破損を防止することを目的とする。
【解決手段】表示装置は、間隔をあけて配置された一対の基板１０，１２と、一対の基板１０，１２の間に満たされたオイル４６と、オイル４６内に配置されたシャッタ１４と、シャッタ１４を所定の方向に駆動する、オイル４６内に配置された駆動部３４と、オイル４６内で一対の基板１０，１２の一方に設けられた壁部６０と、を有し、壁部６０は、シャッタ１４の所定の方向又は所定の方向に直交する方向でシャッタ１４の隣に位置し、前記シャッタの厚み方向に、前記シャッタを超える高さを有し、シャッタ１４の側方に少なくとも一部が位置する。 （もっと読む）

【課題】圧電体の残留応力に起因する初期たわみによる初期変位の影響を無くすことができ、かつ、純粋な厚み方向変位（ｚ方向並進運動）を実現する。
【解決手段】長手方向の中央部が支持される第１アクチュエータ（12）と、長手方向の両端部が第１アクチュエータ（12）の長手方向の両端部に連結される第２アクチュエータ（14）と備える。第１アクチュエータ（12）は、第１圧電駆動部（12A）の駆動によって撓んで変形し、両端部が厚み方向に変位する。第２アクチュエータ（14）は第２圧電駆動部（14A）の駆動によって第1アクチュエータと逆方向に撓んで変形し、長手方向の中央部が厚み方向に変位する。また、同様の構成のアクチュエータ群（101、102）を複数組連結する構成により、さらにz方向変位を増大させることができる。 （もっと読む）

【課題】低電圧で駆動したいという要望を満足でき、可動枠体の板厚方向及びこの板厚方向と直交する方向の剛性の向上を図ることのできるMEMS揺動装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るMEMS揺動装置は、可動体３０B、可動体を揺動可能に支持する第１バネ部３３Bを有する可動枠体３４B、可動枠体を揺動可能に支持する第２バネ部３１１B、３１２T１、３１２T2とを有する固定枠体３８Bとを有し、第２バネ部は可動枠体の厚さ方向から見て厚さ方向に間隔を開けてクロスされた独立変位可能な二本の板バネ体３１１B、３１２T1から構成され、この板バネ体は、可動枠体の厚さ方向から板バネ体を見たときのバネ幅が可動枠体の厚さ方向と直交する方向から板バネ体を見たときのバネ幅よりも小さい。 （もっと読む）

【課題】駆動感度を損なうことなく、ミラー面垂直方向の加重に対する可動部の耐性が向上された光偏向器を提供する。
【解決手段】光偏向器１００は、ミラーユニット１１０と電極基板１４０を備えている。ミラーユニット１１０は、可動部１１２と一対の複合トーションバー１１４と一対の固定部１１６を備えている。一対の複合トーションバー１１４は、可動部１１２が固定部１１６に対して回転軸１１８の周りに回転変位すなわち傾斜し得るように可動部１１２と固定部１１６を機械的に接続している。各複合トーションバー１１４は、回転軸１１８に平行に延びている複数のトーションバーと、隣接する各二つのトーションバーの一端を互いに連結している複数の連結バーで構成されている。複数のトーションバーは、回転軸１１８に近いものよりも回転軸１１８から遠いものの方が高いねじり剛性を有している。 （もっと読む）

【課題】分解能の低下を抑制できる光モジュール、および光分析装置を提供する。
【解決手段】測色センサーは、固定反射膜５６を有する固定基板５１、固定基板５１に対向し、可動反射膜５７を有する可動基板５２、および固定基板５１に設けられた第一電極５４４を備えた波長可変干渉フィルター５と、モジュール基板３０と、波長可変干渉フィルター５およびモジュール基板３０を接合する異方性導電層３０１を備え、固定基板５１は、モジュール基板３０に対向する固定対向電極５１６Ａと、第一電極５４４および固定対向電極５１６Ａを電気的に接続する導電接続部５１６と、を有し、モジュール基板３０は、固定対向電極５１６Ａに対向するモジュール電極３０２を有し、異方性導電層３０１は、固定対向電極５１６Ａと、モジュール電極３０２とを導通させる。 （もっと読む）

【課題】基板の貼り合わせによって構成される光フィルターにおいて、基板の傾きを抑制して、各基板に設けられる光学膜間の平行度を確保すること。
【解決手段】光フィルターは、支持部２２を有する第１基板２０と、支持部２２によって支持される第２基板３０と、第１基板２０に設けられた第１光学膜４０と、第２基板３０に設けられた、第１光学膜４０と対向する第２光学膜５０と、を含み、支持部２２の、第２基板３０を支持する支持面の全領域上に設けられた第１接合膜１０５と、第２基板３０の被支持面上に設けられた第１接合膜よりも膜厚が薄い第２接合膜１０７との接合によって、第１基板２０と第２基板３０とが固着されている。 （もっと読む）

【課題】作動温度の変化による可変焦点レンズの屈折力の変化を防止することができる、可変焦点レンズ構造体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】内部に光学流体１６０で満たされた流体チャンバー１５０を有し、流体１１３を含有するＰＤＭＳからなるフレーム１１０と、フレームの上面に設けられた透明カバー１２０と、フレームの下面に設けられた透明な弾性メンブレン１３０と、弾性メンブレン上に設けられたアクチュエータ１４０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】梁部に高い振動疲労特性と揺動部に高剛性を持たせつつ小型化された振動素子を提供する。
【解決手段】振動素子は、基体３と、前記基体３から梁状に設けられた梁部２と、前記梁部２の前記基体３側とは反対の側に設けられたミラー部４とを備え、前記揺動部４の少なくとも一部及び前記梁部２は金属ガラスで一体に形成される。次に、真空中でＹＡＧレーザ１０を振動素子のミラー部４に照射して局所的な構造緩和を行う。 （もっと読む）

【課題】往復振動するミラー基板を有するマイクロミラー装置において、ミラー基板の重畳増加を最小限に抑えつつ剛性を向上させて、ミラー基板を高速で往復振動させた場合でも、該ミラー基板の動的変形を確実に防止する。
【解決手段】ミラー基板１０３は、一対の捻り梁１０２で揺動可能に支持され、該捻り梁１０２をねじり回転軸として往復振動する。このミラー基板１０３の光反射面とは反対側の裏面に、該ミラー基板１０３の動的変形を抑えるための構造補強部材１０４を設け、これを三次元規則配列多孔体で構成する。三次元規則配列多孔体は、多数の微粒子による最密充填構造体を形成した後に、前記微粒子とは異なる材料からなる物質を空隙に充填して固化し、その後、微粒子を選択的に除去することによって、該微粒子の占めていた領域が空隙として残された構造のいわゆるインバースオパール構造体である。 （もっと読む）

【課題】基板に生じる撓みを低減して分解能を向上させた波長可変干渉フィルター、光モジュール、光分析装置、および波長可変干渉フィルターの製造方法を提供する。
【解決手段】エタロン５は、第１基板５１に設けられた第１反射膜５６と、第２基板５２に設けられ、第１反射膜５６とギャップを介して対向する第２反射膜５７と、第１基板５１に設けられた第１電極５４１と、第２基板５２の第１面に設けられ、第１電極５４１と離間して設けられた第２電極５４２と、第２基板５２の第２面に設けられたダミー電極５８１とを備える。ダミー電極５８１は、第２電極５４２と同一内部応力を有する同一材料で構成され、第２基板５２を厚み方向から見た平面視でのパターン形状が、平面視での第２電極５４２のパターン形状と同一、かつ、厚み寸法が第２電極５４２の厚み寸法と同一であり、平面視において第２電極５４２と重なる位置に設けられている。 （もっと読む）

【課題】 基板上に浮いた状態で支持される可動構造体を備えるＭＥＭＳデバイスにおいて、可動構造体における反りの発生を抑制する技術を提供する。
【解決手段】 本発明は、基板上に浮いた状態で支持される可動構造体を備えるＭＥＭＳデバイスとして具現化される。可動構造体は、下側絶縁層と、下側絶縁層の上方に形成された導電層と、導電層の上方に形成された上側絶縁層を備えている。下側絶縁層の外形形状にはアライメント余裕が設けられている。そのＭＥＭＳデバイスは、上側絶縁層の厚さが下側絶縁層の厚さよりも大きいことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】可動部を正確に揺動させることが可能な光偏向装置および光偏向装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】光偏向装置は、基板と、可動部と、可動部を基板から離反した位置で揺動軸の周りに揺動可能に支持している可撓梁と、可動部の下面に対向する位置において基板に設けられている固定電極と、可動部に設けられている可動電極と、を備えている。可動部の下面には、基板側へ突出している突起部が形成されている。突起部は、可動部の揺動軸を含み可動部に垂直な面の面内に頂点を有している。可動部を揺動させている期間において、突起部が基板に接触している。 （もっと読む）

【課題】高分解能で鏡面変位を操作することが可能でありながら、鏡面を変歪させる際の過大な応力によって鏡を破損することを防止できる可変形鏡を提供すること。
【解決手段】可変形鏡は、変形可能な弾性体の鏡１と、鏡の裏面に接続され、鏡の変形を行う複数の駆動機構ユニット２とを備える。駆動機構ユニットのそれぞれは、ユニット移動端４と、ユニット固定端５と、アクチュエータ３と、第一の弾性体６及び第二の弾性７とを含む。第一の弾性体は、その一端がユニット移動端に接続され、他端がユニット固定端に接続されている。第二の弾性体は、その一端がアクチュエータの可動端に接続されており、他端がユニット移動端に接続されている。第一の弾性体の剛性は、第二の弾性体の剛性よりも高い。弾性体の鏡は、第一の弾性体と、第二の弾性体と、弾性体の鏡との三者の剛性の組み合わせによって定まるユニット移動端の移動によって変形される。 （もっと読む）