【課題】信頼性を確保しつつミラーのギャップ制御を容易にした光フィルタを提供する。
【解決手段】本発明の光フィルタ１００は、互いに対向して配置された第１基板１４及び第２基板１５と、第１基板１４に設けられた第１ミラー２Ａと、第２基板１５に設けられ、第１ミラー２Ａと対向配置された第２ミラー２Ｂと、第１基板１４と第２基板１５とを磁力により固定する磁力クランプ手段２５とを有する。 （もっと読む）

【課題】変形部の変形量を変えることなく、共振を励起しない安定した動作が可能となる可変形状鏡システムを提供すること。
【解決手段】可変形状鏡システムは、変形部１５ａにおける最大変形量又は最小変形量、周波数の情報を受け、目標形状生成テーブル２２からの情報に基づき目標変形量情報を生成し、変換テーブル２４からの情報に基づき、目標変形量から変形部１５ａの共振周波数を含む高周波成分が低減された波形の駆動電圧指示信号を生成し、この駆動電圧指示信号に基づく駆動信号は、可変形状鏡１の第２の電極１２へ印加され、第１の電極１４と第２の電極１２の間に静電力が発生し、第１の電極１４と変形部１５ａが変形する。 （もっと読む）

【課題】角度制御トレランスが大きく、運用時の透過帯域特性の劣化が少ない波長多重伝送装置を提供することである。
【解決手段】立ち上げ時は、ＭＥＭＳミラー１５の角度を、固定減衰量でポートの配列方向に対して垂直方向に制御する。光信号のレベルがしきい値以上となったなら、ＭＥＭＳミラー１５の角度を、ポートの配列方向にフィードバック制御する。 （もっと読む）

【課題】出射光の光軸のずれを効果的に抑制しつつ、発光波長域の選択性が向上された光源装置を提供すること。
【解決手段】この光源装置１は、光源３と、光源３から照射された光Ｌ１のうち、所定の波長範囲の光を選択的に透過させる波長選択素子７と、波長選択素子７によって透過された光Ｌ２を互いに直交する２つの直線偏光成分である偏光成分Ｌ３，Ｌ４に分離する偏光分離素子８と、それぞれの偏光成分Ｌ３，Ｌ４の光軸に対して所定の角度範囲を成すように配置され、その角度範囲に応じて偏光成分Ｌ３，Ｌ４の透過波長域が異なるように構成されたバンドパスフィルタ１０ａ，１０ｂとを備え、波長選択素子７は、所定の角度範囲に対するバンドパスフィルタ１０ａ，１０ｂの透過波長域の範囲を少なくとも含む光を、偏光分離素子８に向けて透過させる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、光学反射素子の高精度な自励駆動を実現することを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するため本発明は、ミラー部９と連結された振動子１０を備え、振動子１０は、基材１９上に形成された絶縁層２０上に分断溝３０Ａによって分離して配置されたドライブ素子１６およびモニター素子１７を有し、これらのドライブ素子１６およびモニター素子１７の下部電極層２１は、共通の外部電極と接続され、モニター素子１７とドライブ素子１６とが隣接して配置された任意の点において、分断溝３０Ａにより、モニター素子１７の下部電極層２１とドライブ素子１６の下部電極層２１との最短導通経路は、モニター素子１７の下部電極層２１から共通の外部電極までの距離より長いものとした。これにより本発明は、モニター素子１７の検出精度を高め、光学反射素子８を高精度に自励駆動させることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、光学反射素子の高精度な自励駆動を実現することを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するため本発明は、第一振動子１０および第二振動子１２は、それぞれ複数の振動板１０Ａ、１２Ａがターン部１３、１４で折り返すように連結されたミアンダ形であって、第二振動子１２の隣接する振動板１２Ａの間の間隔は、これらの振動板１２Ａ間のターン部１４手前からこのターン部１４に向って広がっているものとした。これにより本実施の形態では、第一振動子１０の駆動振動と第二振動子１２のノイズ振動θＹとの相互干渉を抑制でき、第一振動子１０のモニタ素子２２の検出精度を向上させ、高精度な自励駆動が実現できる。 （もっと読む）

【課題】装置全体の温度が変化した場合であっても、可変形ミラーを所望の形状に変形することができる可変形ミラー装置を得る。
【解決手段】可変形ミラー１と、先端部が可変形ミラー１の裏面に向かって設けられ、駆動することで可変形ミラー１を変形させるアクチュエータ２と、可変形ミラー１の裏面に接合され、磁性体から構成された接合パッド４と、アクチュエータ２の先端部に設けられ、磁力によって接合パッドを引き付ける接触アタッチメント５とを備え、可変形ミラー１の線膨張係数と接合パッド４の線膨張係数とがほぼ同等である。 （もっと読む）

【課題】回転式のカラーフィルタを用いることなく、所望の波長帯域を有する照明光を安定して得ることができ、長期間に亘って安定した色再現性が得られる２板式投影装置用照明光学系を提供する。
【解決手段】光源部１０からの直線偏光の照明光の光路を、光路切り替え部２０により、第１光路２１と第２光路２２とに交互に切り替えて、第１光路２１では第１波長領域選択素子３３により第１波長領域の光を選択し、第２光路２２では第２波長領域選択素子３７により第２波長領域の光を選択するようにして、２板式の空間光変調部５０に導く。 （もっと読む）

【課題】フレームと可動部とを連結する連結部のバネ定数の変動を抑制するのに適したマイクロ可動素子、および、そのようなマイクロ可動素子を備える光スイッチング装置を提供する。
【解決手段】本発明のマイクロ可動素子Ｘ１は、フレーム３０、可動部２０、及びこれらを連結して可動部２０の回転変位の軸心Ａ２を規定する連結部４２，４３が形成されている基板Ｓ１と、基材Ｓ２と、基板Ｓ１のフレーム３０および基材Ｓ２の間に介在してこれらに接合するスペーサ部、並びに、当該スペーサ部を覆ってフレームおよび支持基材に接合する接着剤部、を有する少なくとも一つの強固定部７０Ｃ，７０Ｄとを備える。フレーム３０は、軸心Ａ２の延び方向において可動部２０と対向する第１領域部３０Ａおよび第１領域部３０Ａ外の第２領域部３０Ｂを有する。強固定部７０Ｃ，７０Ｄは、フレーム３０における第２領域部３０Ｂに対して接合している。 （もっと読む）

【課題】構造体の機械的な接触あるいは非接触による導光体側面からの光取り出しに重要な導光体と構造体の間隙を、制御性よく形成することが可能な構造を有する表示装置を提供する。
【解決手段】凸部３を有する面状構造体１と、面状構造体１の凸部３先端に設けられた接触部材４と、凸部３先端で面状構造体１と接触する導光体２と、面状構造体１を変位させる変位形成部を有し、変位形成部で形成された変位により面状構造体１を変形させて、面状構造体１の凸部３先端以外の部位と導光体２とを接触させて、導光体２との接触部材４から光を取り出す。 （もっと読む）

【課題】共振周波数を高低いずれの方向にも調整することが可能な静電型アクチュエータを得る。
【解決手段】ユーザは、三軸マニピュレータを操作して、切除したい可動部側電極１２３まで切除棒を移動させる。そして、切除棒の先端で、腕部１２２と調整用可動部側電極１２３ａとの接続部を押圧すると、接続部で調整用可動部側電極１２３ａが折れる。これにより、可動部１２０の質量が軽くなり、可動部１２０の共振周波数が高くなる。切除棒の先端で調整用梁１３２と開口部１３１との接続部を押圧すると、接続部で調整用梁１３２が折れる。これにより、支持部１３０の剛性が下がり、可動部１２０の共振周波数が低くなる。 （もっと読む）

【課題】 高い可撓性が得られると共に構造色について十分な反射強度が得られて高い色濃度の表示色が得られる表示部材、および、外部からの刺激を受けることにより繰り返し表示色を変化させた場合にも表示色の劣化が抑制される表示部材の提供。
【解決手段】 表示部材は、球体およびマトリックスよりなり構造色を発現する表示層を有するものであって、マトリックスが、分子中に少なくとも２つ以上のビニルシラン基を有し、主鎖にパーフルオロエーテル構造を有する化合物と、環状シロキサン化合物とを反応させることにより得られるフッ素化ポリエーテル架橋シリコーン樹脂よりなるものである。この表示部材は、表示層が外部からの刺激を受けることにより可逆的な構造色変化を生じる構成であり、外部からの刺激が、引っ張り応力または圧縮応力であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】所望する反り量のミラーを製造することができるミラー装置の製造方法を提供する。
【解決手段】回動可能に支持された平板状のミラーを有するミラー基板を用意する第１のステップと、ミラーの一の面に第１の金属層を形成する第２のステップと、ミラーの他の面に第２の金属層を形成する第３のステップと、電極基板上にミラー基板を載置し、電極とミラーとを対向配置する第４のステップとを有し、表面層２３２及び裏面層２３３の少なくとも一方の厚さを制御する。これにより、ミラー２３０の反り量を制御して、所望の曲率半径を有するミラー２３０を製造することができる。 （もっと読む）

【課題】構造体を異方性エッチングする際の補正エッチングマスクを配置するスペースをより小さくできて、シリコンウェハ上により多くの構造体を配置できる構造体の作製方法、エッチングマスク付きシリコン基板を提供する。
【解決手段】構造体の作製方法、エッチングマスク付きシリコン基板において、単結晶シリコン基板１００上に、凸部コーナーを持つ目標形状に対応する基本エッチングマスク１０３と、補正エッチングマスク１０７を形成する。補正エッチングマスク１０７の第１の部分は＜１１０＞方向に伸び、両方の端部が基本エッチングマスクに連結され、１つの端部が基本エッチングマスク１０３の凸部コーナーに連結される。第２の部分は、第１の部分の＜１１０＞方向に伸びる辺で第１の部分に接合し、第２の部分は１つの凸部コーナーを有し、開口部は、第１の部分と第２の部分が接合する境界を跨いで伸びる。 （もっと読む）

【課題】耐衝撃性に優れたミラー装置を提供する。
【解決手段】ミラー基板に対して回動可能に支持されるミラーと、ミラー基板と対向する電極基板の上に形成された駆動電極と、ミラーをミラー基板に連結する弾性部材とを備え、ミラー基板は、第１の開口を有し、ミラーは、弾性部材により第１の開口内で回動可能に支持され、ミラーの質量をｍ、ミラー装置に加わる加速度をＧ、弾性部材のバネ定数をｋとするとき、ミラーと弾性部材との間隔ｄ１〜ｄ４は、ｄ＝ｍＧ／ｋの変位量ｄの値より大きくなるように設定する。これにより、ミラーアレイに加速度Ｇが加わった場合でも、ミラー基板２００の可動部材は、この可動部材と隣接する部材に接触しないので、破損するのを防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】結晶軸方位とエッチングマスクとの間にアライメント誤差があっても、加工寸法誤差の少ない構造体を形成可能なシリコンの加工方法、エッチングマスク付きシリコン基板等を提供する。
【解決手段】シリコンの加工方法で、主面が（１００）等価面１０３或いは（１１０）等価面である単結晶シリコン基板１００上に、マスクパターンを形成し、結晶異方性エッチングを施して、（１１１）等価面で構成され幅Ｗ１と長さＬ１を有する構造体を形成する。マスクパターンに、構造体の幅Ｗ１を決定する決定個所を持たせる。マスクパターンの幅Ｗ１の決定個所の幅は、幅Ｗ２を有する。マスクパターンの長さ方向にわたって、決定個所以外のマスクパターンの幅は、幅Ｗ２より大きい幅を有する。 （もっと読む）

【課題】異物が挟まって可動体が動作しなくなりさらには電気的短絡が生じるといった不具合が発生しない微小可動デバイスを提供する。
【解決手段】単結晶シリコン基板６１上に、絶縁層６２を介して単結晶シリコン層６３からなる構造体（固定櫛歯電極５１，５２等）が固定され、基板板面と平行に変位する単結晶シリコン層からなる可動体（可動ロッド４６等）が構造体に保持されてなる微小可動デバイスにおいて、単結晶シリコン基板上面の構造体が存在しない全領域に凹部６４が形成され、可動体が絶縁層を具えずに凹部上に位置し、異物が挟まらない十分な空隙が確保され、かつ構造体が凹部上に張り出すオーバーハング部を持ち、このオーバーハング部の下側にあって構造体を単結晶シリコン基板に固定している絶縁層の周縁が凹部上に懸からない位置に在り、これによって単結晶シリコン基板と単結晶シリコン層との間に微小な空隙が形成されて電気的短絡が防止される。
【選択図】図１１
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【課題】 温度に影響されることなく、可動部の位置検出を行うことができ、しかも、小型化を図ることのできるプレーナ型アクチュエータを提供する。
【解決手段】 デバイス基板２に設置された枠状の固定部３と、固定部３の内側にトーションバー５を介して回動自在に支持され駆動手段により駆動される可動部４とを備え、可動部４のトーションバー５と連結していない一辺にゲート電極８を配置するとともに、ソース電極９およびドレイン電極１０をゲート電極８に対向するように配置した。 （もっと読む）

【課題】単色光の高均一度と高照度を共に満たすことを可能にした単色光照射装置を提供することにある。
【解決手段】アークランプ光源１と、アークランプ光源１からの光をコリメートするレンズ光学系２と、レンズ光学系２からの光を分光する分光光学系３と、分光光学系からの単色光を受光し集光するレンズ光学系４と、レンズ光学系４からの単色光の光量を調整する出射スリット５と、出射スリット５からの単色光の照度を均一化するホモジナイザ７と、ホモジナイザ７からの単色光をコリメートするレンズ光学系８とを有することを特徴とする単色光照射装置である。 （もっと読む）

【課題】光スイッチに設けられる一対のミラーアレイにおいて、駆動電圧の高電圧化や製造の難しさを回避しつつ、ミラーを効率的に配置する。
【解決手段】ミラーアレイ２２０３ａ，２２０３ｂのミラー２０３の配置をミラーの傾斜角θの異方性を考量して最適化する。これにより、駆動電圧を高電圧化することなく、ミラー１５３の走査可能領域を有効利用することができ、効率的なミラー配置を実現することができる。 （もっと読む）