【課題】スイッチングの繰り返しによる光ファイバの端面の損傷を防止しつつ、接続面間における多重反射が発生せず、挿入損失の増加を抑制することが可能で、且つ、製造が容易な光スイッチを提供する。
【解決手段】第１コネクタ１２に保持された光ファイバ１１と第２コネクタ１３に保持された光ファイバ１１のいずれかとを光学的に接続すると共に、第１コネクタ１２と第２コネクタ１３の接続面１４，１５同士を対向させた状態で相対的にスライドさせて、第１コネクタ１２に保持された光ファイバ１１と第２コネクタ１３に保持された他の光ファイバ１１とを光学的に接続するスライド機構５１を備えた光スイッチ１０において、第１コネクタ１２及び第２コネクタ１３に保持された光ファイバ１１の端面が、対向する光ファイバ１１の端面又は接続面１４（又は１５）に接触するのを防止するスペーサ機構１６を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】製造プロセスが簡便で、安定した制御が可能な光走査素子を提供する。
【解決手段】梁部１３ａ，１３ｂは、光を反射するミラー部１４がＸ軸方向の揺動可能なように、ミラー部１４を支持する。アーム部１２ａ，１２ｂは、梁部１３ａ，１３ｂを支持し、駆動されることによりミラー部１４をＸ軸方向に揺動させる。フレーム部１１は、アーム部１２ａ，１２ｂを支持する。駆動用圧電膜２１ａ，２１ｂは、アーム部１２ａ，１２ｂのＸ軸方向における一端側に設けられ、変位することによりアーム部１２ａ，１２ｂを駆動する。検出用圧電膜２２ａ，２２ｂは、アーム部１２ａ，１２ｂのＸ軸方向における他端側に設けられ、変位されることによりアーム部１２ａ，１２ｂの駆動を検出する。駆動によるアーム部１２ａ，１２ｂの他端側の振幅は、一端側の振幅より小さい。 （もっと読む）

【課題】光学基板に備わるアクチュエータの特性のバラツキにかかわることなく、高速且つ正確に光学特性を変化させることのできる可変分光素子を提供する。
【解決手段】第１〜第４センサが、一対の光学基板の対向面の重心を結んだ線を軸として対称となる位置に配置された可変分光素子であって、第１〜第４アクチュエータ４_１〜４_４の各々が、一対の光学基板の対向面の重心から第１〜第４センサの各々の中心方向へ伸びる線の線上に配置され、第１〜第４センサの信号から、一対の光学基板の対向面の重心同士の間隔を算出し、第１・第３センサの信号、第２・第４センサの信号から、夫々、移動させる光学基板の対向面と重心を結んだ線に垂直な面がなす第１の角度、第２の角度を算出し、第１・第２センサの信号から夫々の配置位置での一対の光学基板の対向面同士の面間隔との差分を算出し、間隔、角度、差分に基づいて第１〜第４アクチュエータを駆動する。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で反射膜同士の貼り付きを防止できる波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】エタロン５は、第１基板５１と、第１基板５１に対向する第２基板５２と、第１基板５１の第２基板５２に対向する面に設けられた固定ミラー５４と、第２基板５２に設けられ、固定ミラー５４とミラー間ギャップＧ１を介して対向する可動ミラー５５と、第１基板５１の第２基板５２に対向する面に設けられた第１電極５６１と、を備え、第１電極５６１の一部と、固定ミラー５４の外周縁の少なくとも一部とが積層されて構成される第１積層ストッパー部６０を有する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、反射膜間のギャップ寸法を変化させた場合でも分解能の低下を抑制でき、かつ容易に配線を接続可能な波長可変干渉フィルター、光モジュール、および光分析装置を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定反射膜５６を有する固定基板５１と、可動反射膜５７を有する可動基板５２と、固定電極５４１および可動電極５４２を備えた静電アクチュエーター５４と、を具備し、固定電極５４１は、互いに絶縁された第一固定部分電極５４３Ａおよび第二固定部分電極５４３Ｂを備え、固定基板５１には、第一固定部分電極５４３Ａおよび第二固定部分電極５４３Ｂから延出する第一引出電極５４５および第二引出電極５４６を備え、可動電極５４２は、第一固定部分電極５４３Ａに対向する第一対向領域と、第二固定部分電極５４３Ｂに対向する第二対向領域とを覆う円環状に形成された。 （もっと読む）

【課題】基板の貼り合わせによって構成される光フィルターにおいて、基板の傾きを抑制して、各基板に設けられる光学膜間の平行度を確保すること。
【解決手段】光フィルターは、支持部２２を有する第１基板２０と、支持部２２によって支持される第２基板３０と、第１基板２０に設けられた第１光学膜４０と、第２基板３０に設けられた、第１光学膜４０と対向する第２光学膜５０と、を含み、支持部２２の、第２基板３０を支持する支持面の全領域上に設けられた第１接合膜１０５と、第２基板３０の被支持面上に設けられた第１接合膜よりも膜厚が薄い第２接合膜１０７との接合によって、第１基板２０と第２基板３０とが固着されている。 （もっと読む）

【課題】エネルギー変換効率を向上する。
【解決手段】レーザ装置は、一方の主面側に入射した第１レーザ光の一部を第１反射光として反射するとともに残りの一部を第１透過光として透過し、且つ、他方の主面に入射した第２レーザ光の一部を第２透過光として透過するとともに残りの一部を第２反射光として反射するミラーと、前記第１透過光と前記第２反射光との光軸、もしくは、前記第１反射光と前記第２透過光との光軸が略一致するように、前記ミラーへ前記第１および第２レーザ光を入射させる光学系と、前記第１透過光または前記第１反射光のビームパラメータを計測する第１計測部と、前記第２反射光または前記第２透過光のビームパラメータを計測する第２計測部と、前記第１計測部の計測結果に基づいて前記第１レーザ光を調整する第１調整部と、前記第２計測部の計測結果に基づいて前記第２レーザ光を調整する第２調整部と、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】所望のギャップに正確に設定できる波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】第１基板に設けられた第１電極と、可動部５２２を有する第２基板５２に設けられ、第１電極と対向する第２電極５６２と、第１電極から第１基板の外周縁に向かって延出して設けられた第１電極線と、第２電極５６２から第２基板５２の外周縁に向かって延出して設けられた第２電極線５６２Ａと、第１電極線と対向し、第２電極５６２と絶縁されて設けられた第１対向電極線５６２Ｂと、第１電極線及び第１対向電極線５６２Ｂを導通する第１導通部とを備え、第２電極線５６２Ａと第１対向電極線５６２Ｂとは、第２基板５２の厚み方向から見た平面視において、可動部５２２の中心点を中心とした仮想円の中心点を通り、仮想円を等角度間隔に分割する方向に延出して形成される。 （もっと読む）

【課題】微細機械的装置の光学的性質の操作により入射光を変調させ、優れた融通性をもたらすカラー方式を実現するため干渉変調装置及び干渉変調器のアレーを制御する方法を提供すること。
【解決手段】複数の干渉変調器を有し、該複数の干渉変調器が、着色光を射出するようになった少なくとも一つの干渉変調器と、白色光を射出するようになった少なくとも一つの干渉変調器とを有する干渉変調装置である。 （もっと読む）

【課題】従来よりも分光帯域の広いファブリペロー干渉計及びその製造方法を提供する。
【解決手段】初期状態で、固定ミラーと可動ミラーの対向距離が固定電極と可動電極の対向距離以下である。固定電極と固定ミラー構造体の他の部分及び可動電極と動ミラー構造体の他の部分の少なくとも一方が電気的に分離されている。メンブレンは、外端から中心に向けて、第１ばね変形部、可動電極を含む高剛性部、第２ばね変形部、可動ミラーＭ２の順に有する。２つのばね変形部は可動ミラー及び高剛性部よりも剛性が低くされている。また、可動電極における固定電極との対向部分は、メンブレンの中心から外端に向かう方向において、高剛性部の一部のみを占めており、可動電極における固定電極との対向部分の中心と高剛性部における第１ばね変形部側の端部との距離をＬ１、高剛性部の長さをＬ２とすると、Ｌ２／Ｌ１≧３／２を満たすように構成されている。 （もっと読む）

【課題】長期信頼性に優れた光学素子を提供する。
【解決手段】対向配置された平面基板２１，２２と、平面基板２１の内面２１Ｓに立設して複数のセル領域に分割する隔壁２４と、隔壁２４の壁面に互いに対向して配置された第１および第２の電極２６Ａ，２６Ｂと、平面基板２２の面２２Ｓに設けられた第３の電極２６Ｃと、各セル領域を複数のサブセル領域に分割する突起部２５と、平面基板２１と第３の電極２６Ｃとの間に封入され、互いに異なる屈折率を有すると共に界面を形成する極性液体２８および無極性液体２９とを備える。光学素子の姿勢に関わらず、極性液体２８および無極性液体２９は突起部２５により安定して保持される。第１および第２の電極２６Ａ，２６Ｂは、隔壁２４の一端から他端に至るまで連続して延在しており、同一セル領域における界面ＩＦが一括して変化する。 （もっと読む）

【課題】長期信頼性に優れた光学素子を提供する。
【解決手段】対向配置された平面基板２１，２２と、平面基板２１の内面２１Ｓに立設して複数のセル領域に分割する隔壁２４と、隔壁２４の壁面に互いに対向して配置された第１および第２の電極２６Ａ，２６Ｂと、平面基板２２の面２２Ｓに設けられた第３の電極２６Ｃと、各セル領域を複数のサブセル領域に分割する突起部２５と、平面基板２１と第３の電極２６Ｃとの間に封入され、互いに異なる屈折率を有すると共に界面を形成する極性液体２８および無極性液体２９とを備える。光学素子の姿勢に関わらず、極性液体２８および無極性液体２９は突起部２５により安定して保持される。第１および第２の電極２６Ａ，２６Ｂは、隔壁２４の一端から他端に至るまで連続して延在しており、同一セル領域における界面ＩＦが一括して変化する。 （もっと読む）

【課題】目標の光学パワーを実現すべく電圧を制御する際に、ヒステリシスの影響を低減し、より高精度に液体レンズの光学パワーを制御できる技術を提供する。
【解決手段】液体レンズ２０９は、筐体２０３内の非導電性液体２０２及び導電性液体２０１と、導電性液体に電圧を印加するための電極２０６を有する。電極と導電性液体間の電圧を制御する制御手段が備えられ、２液体の界面２０８の形状を変化させて光学パワーを変化させる。制御手段は、界面形状を、ヒステリシスがある領域中の目標光学パワーの形状にもたらすとき、着目する液体の接触角が常に後退角で目標接触角に達するようにする。電圧を目標光学パワーを実現する方向に変化させる時に一方の液体の接触角が前進角となる場合には、電圧を、目標光学パワーを実現する２つの電圧の一方の電圧を超過し更に２つの電圧の他方の電圧を超過して変化させた後に逆方向に戻して一方の電圧にもたらす。 （もっと読む）

【課題】可動板を互いに直交する２つの軸のそれぞれの軸まわりに安定して回動させることのできる光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】変位部４１，５１，６１，７１を駆動する駆動部８１０，８２０，８３０，８４０が、可動梁４２，５２，６２，７２の延長方向に変位部４１，５１，６１，７１から隔てて配置され、変位部４１，５１，６１，７１の内枠部４１１に固定される永久磁石８１１，８２１，８３１，８４１に近付けて配置することができる。このため、永久磁石８１１，８２１，８３１，８４１により駆動部８１０，８２０，８３０，８４０に発生させるトルクを高い状態にすることができる。同一のトルクを低い電流で発生させ、消費電力化を実現する光スキャナー１を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】大型化を招くことなく揺動軸部のがたつきを防止可能な光スキャナと、その光スキャナを利用した画像投影装置とを提供すること。
【解決手段】揺動軸部と、揺動軸部に設けられた反射面を有する揺動体と、揺動軸部を支持するベース台と、揺動軸部を揺動させる駆動部とを備える光スキャナである。ベース台には、揺動軸部の一端を支持する第１軸受と、揺動軸部の他端を支持する第２軸受とが設けられる。揺動軸部は、テーパ状に形成されたテーパ部分を、その一端に有する。そして、第１軸受はテーパ部分に係合するスラスト軸受であり、第２軸受は揺動軸部の外周面と接触するラジアル軸受である。 （もっと読む）

【課題】 界面の意図しない変形が防止される光学装置を提供すること。
【解決手段】本発明は、容器を含む光学装置を開示し、容器は、絶縁性液体（Ａ）と電場に反応する液体（Ｂ）とを収容し、絶縁性液体（Ａ）と電場に反応する液体（Ｂ）は、不混和性があり、互いに界面（１４）を介して接触し、前記２つの液体（Ａ；Ｂ）の一方の液体が少なくとも該容器を通る光路上に少なくとも部分的に配置される。光学装置は、更に、前記界面（１４）の形状を電圧により制御する電極構成（２；１２）、及び、前記界面（１４）が外部の電場に晒されるのを防ぐ手段（１００）を含む。これにより、光学装置の表面上の静電気の電荷の蓄積が防止され、これにより、電場に反応する液体（Ｂ）と静電気の電荷との相互作用により生ずる界面（１４）の望ましくない歪が防止される。 （もっと読む）

【課題】可動板を互いに直交する２つの軸のそれぞれの軸まわりに安定して回動させることのできる光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】貫通孔４１１に挿通された永久磁石８１１が、アライメント面４１Ｘ，４１Ｙに固定されることにより、永久磁石８１１を変位部４１の所望の位置に位置決めして固定することができる。詳しくは、永久磁石８１１のＸ軸方向寸法の中心およびＹ軸方向寸法の中心が、回動中心軸Ｘ１，Ｙ２の交点と一致させることができる。これにより、電源８１３，８３３からコイル８１２，８３２に交番電圧を印加することにより、永久磁石８１１が傾斜し、回動中心軸Ｙ２からずれることなく、駆動梁４３を捩じり変形させつつ、変位部４１が回動中心軸Ｙ２まわりに安定して傾斜する。これにより、可動梁４２は、回動中心軸Ｘ１からずれて傾いた屈曲をすることなく、可動部２を安定して回動させることができる。 （もっと読む）

【課題】表面側保護基板を通してデバイス本体のパッドと実装基板の導体パターンとを電気的に接続でき、且つ、デバイス本体に不要な応力がかかるのを抑制しつつ電気的な接続信頼性を高めることが可能なＭＥＭＳデバイスを提供する。
【解決手段】ＳＯＩ基板（半導体基板）１００を用いて形成され複数のパッド１３を一表面側に備えたミラー形成基板（デバイス本体）１、ミラー形成基板１の一表面側に接合された第１のカバー基板（表面側保護基板）２を有するＭＥＭＳチップ４と、ＭＥＭＳチップ４が実装された実装基板５とを備える。第１のカバー基板２は、ミラー形成基板１の各パッド１３それぞれと接合されて電気的に接続されたシリコンからなる複数の導電部２０２が、第１のカバー基板２の厚み寸法内で設けられている。各導電部２０２と実装基板５の各導体パターン５０２とが、両者に跨って形成された半田部６を介して電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】 光学膜としての金属膜の特性が、酸化や硫化等によって劣化するのを防止すること。
【解決手段】 光フィルターは、第１基板２０と、第１基板２０に対向する第２基板３０と、第１基板２０に設けられた第１光学膜４０と、第２基板３０に設けられ、第１光学膜４０と対向する第２光学膜５０と、を含み、第１光学膜４０および第２光学膜５０の少なくとも一方は、所望波長帯域の光に対する反射特性および透過特性を有する金属膜４０Ｍを有し、金属膜４０Ｍの表面およびエッジ部は、バリア膜９０としての誘電体膜によって覆われている。金属膜４０Ｍのエッジ部に、傾斜面を設けることもできる。また、金属膜４０Ｍと、その下に形成される他の光学膜としての誘電体膜４０Ｅとの間に階段状の段差を形成することもできる。 （もっと読む）

【課題】長期安定性に優れた液体光学素子アレイを提供する。
【解決手段】対向配置された平面基板２１，２２と、平面基板２１の面２１Ｓに立設され、平面基板２１上の領域を複数のセル領域に分割する隔壁２４と、隔壁２４の壁面に、互いに対向して配置された第１および第２の電極２６Ａ，２６Ｂと、平面基板２２の面２２Ｓに設けられた第３の電極２６Ｃと、セル領域において平面基板２１に立設する突起部２５と、平面基板２１と第３の電極２６Ｃとの間に封入され、互いに異なる屈折率を有すると共に分離された状態を保つ極性液体２８および無極性液体２９とを備える。液体光学素子アレイの姿勢に関わらず、極性液体２８および無極性液体２９は突起部２５により安定して保持される。 （もっと読む）