【課題】 トーションバー上に電気配線を設けることなく、可動部を適正に動作させることができ、電気配線の劣化による動作不良などを確実に防止することのできるプレーナ型アクチュエータを提供する。
【解決手段】 枠状の固定部２およびこの固定部２の内側にトーションバー３を介して可動自在に支持された可動部４を電気的に遮断された領域に分割する固定部側絶縁部５および可動部側絶縁部６を設け、可動部４の固定部側絶縁部５および可動部側絶縁部６により分割された領域に形成され駆動コイル８の端部に接続された可動部側駆動用電極９と、固定部２の固定部側絶縁部５および可動部側絶縁部６により分割された領域に形成された固定部側駆動用電極１０とは、トーションバー３を介して電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】液体の界面における周縁位置を安定して保持することが可能となる液体レンズを提供する。
【解決手段】非混和性と異なる屈折率を備えた絶縁性を有する第１の液体１０２及び導電性を有する第２の液体１０３を、収容し、容器に設けられた電極１０７への電圧印加で第１と第２の液体同士のなす界面の形状の変化により、光学特性を変化させる液体レンズ１００であって、第１の液体と第２の液体との界面の端部が接触する面には、電極上に位置する絶縁層１０４上に形成された、第１の液体に対して親和性を有する第１の領域１０５と、第１の液体に対する親和性と異なる親和性を有する第２の領域１０６を備え、界面の形状の変化の際、界面の端部近傍の第１の液体を第１の領域に留めようとする親和力と、第１の領域から第２の領域へエレクトロウェッティングにより界面の端部を移動させようとする力と、を利用して、界面の端部を第１の領域の端部で保持する。 （もっと読む）

【課題】空間光変調器の特性を長期間にわたって安定させる。
【解決手段】電極を有する基板と、基板に対して一端を固定されて弾性変形する基板側捩じり軸部と、捩じり軸部の他端に支持されつつ、静電力により電極に引き付けられて基板に対して揺動する枠体と、枠体に対して一端を固定されて弾性変形する枠側捩じり軸部と枠側捩じり軸部の他端に支持されつつ、静電力により電極に引き付けられて枠体に対して揺動する可動部と可動部に支持されて、可動部と共に基板に対して揺動する反射鏡とを備える。 （もっと読む）

【課題】空間光変調器の特性を長期間にわたって安定させる。
【解決手段】基板と、基板に対して揺動する反射鏡とを備えた空間光変調器であって、反射鏡は、反射面と、反射面に交差する面を含み反射面の裏面に配されて反射面に対する曲げ応力に対抗する構造材とを有する。上記空間光変調器において、構造材は、面に更に交差する底面を有してもよい。また、上記空間光変調器において、構造材は、反射面と共に包囲した空間と、当該空間の外部との間を連通させる貫通孔を有してもよい。 （もっと読む）

【課題】支持部に対する回動軸の衝突を抑制でき、もって、円滑な動作を実現可能なミラーアクチュエータおよびこのミラーアクチュエータを搭載したビーム照射装置を提供する。
【解決手段】ミラー１５０をチルト方向に回動可能に支持する支軸１１１の両端には、抜け止め用のＥリング１１７ａ、１１７ｂが装着されている。これら２つのＥリング１１７ａ、１１７ｂのうち、右側のＥリング１１７ａのみを磁性材料により構成する。このＥリング１１７ａとマグネット１３２との間に働く磁力により、支軸１１１が右側に付勢される。よって、ミラー１５０のパン方向駆動時に、支軸１１１が左右に移動するのが抑制され、軸受け１１６ａに対する支軸１１１の衝突を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】可動部に磁石を設置し、電磁石を磁石との間に作用する磁力によって可動部を揺動させることが可能な光学装置において、可動部に永久磁石を設置することによって可動部の重心が可動部の揺動中心からずれることを抑制する。
【解決手段】可動部に設置する磁石が上部磁石と下部磁石との２つの部材に分かれている。上部磁石は可動部の上面に設置され、下部磁石は可動部の下面に設置されるため、可動部の重心が可動部の揺動中心からずれることが抑制される。また、上部磁石の第１磁極と下部磁石の第２磁極が可動部を介して対向しており、磁力によって上部磁石および下部磁石が可動部に固定される。可動部に磁石を固定するために用いる接着剤量を減少させることができるため、接着剤の重量によって可動部の重心が可動部の揺動中心からずれることが抑制される。 （もっと読む）

【課題】 可動部の揺動動作による空気の流れが発生した場合でも、可動部を安定して揺動動作させることのできるプレーナ型アクチュエータを提供する。
【解決手段】 枠状の固定部と、固定部の内側にトーションバーを介して可動自在に支持され駆動手段により駆動される可動部４と、可動部４の一面側に取付けられた整流部材５と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】デバイス本体に不要な応力がかかるのを抑制しつつ、外部物体との接触によるボンディングワイヤの破損を防止することが可能なＭＥＭＳデバイスを提供する。
【解決手段】ＳＯＩ基板（半導体基板）１００を用いて形成され複数のパッド１３を一表面側に備えたデバイス本体１、デバイス本体１の上記一表面側に接合された表面側保護基板２、デバイス本体１の他表面側に接合された裏面側保護基板３を有するＭＥＭＳチップＣと、ＭＥＭＳチップＣが実装された実装基板５とを備える。表面側保護基板２は、デバイス本体１の各パッド１３それぞれを全周に亘って露出させる複数の貫通孔２０２が形成され、且つ、各貫通孔２０２それぞれに各別に連通するととともに貫通孔２０２側とは反対側が開放されデバイス本体１のパッド１３と実装基板５の導体パターン５０２とを電気的に接続するボンディングワイヤを通す複数の溝部２０３が形成されている。 （もっと読む）

【課題】ミラー面の振れ角に応じて出力が変化するように配置された受光素子を備えた構成の採用による小型化を図ながらも、ミラー面において光ビームを入射させる位置が制限されたりミラー面の振れ角が制限されるのを防止することが可能なＭＥＭＳ光スキャナを提供する。
【解決手段】外側フレーム部１０、ミラー面２１が設けられた可動部２０、一対の捩りばね部３０，３０を有するミラー形成基板１と、ミラー形成基板１に接合された第１のカバー基板２および第２のカバー基板３とを備える。受光素子６は、ミラー面２１で反射された光のうち第１のカバー基板２を透過する主光線Ｉ１ではなく第１のカバー基板３におけるミラー面２１側の表面で反射された副光線Ｉ２を受光しミラー面２１の振れ角に応じて出力が変化するように、第１のカバー基板２の上記表面側に配置してある。 （もっと読む）

【課題】低コストで信頼性が高く、光の不要な反射を抑制することが可能なＭＥＭＳ光スキャナおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】ＳＯＩ基板（半導体基板）１００を用いて形成され、外側フレーム部１０、ミラー面２１が設けられた可動部２０、一対の捩りばね部３０，３０を有するミラー形成基板１と、第１のガラス基板２００を用いて形成されミラー形成基板１の一表面側に接合された第１のカバー基板２と、ミラー形成基板１の他表面側に接合された第２のカバー基板３とを備える。第１のカバー基板２および第２のカバー基板３がミラー形成基板１と同じ外形寸法に形成され、第１のカバー基板２におけるミラー形成基板１とは反対の外表面側に、透光性樹脂もしくは低融点ガラスにより形成され光の反射を抑制する微細周期構造６を有する。 （もっと読む）

【課題】環境温度に拘わらず良好かつ安定した光学特性の実現が可能な可変焦点レンズを用いた光学デバイス、および該光学デバイスを搭載した撮像ユニットを提供する。
【解決手段】光学デバイスは、レンズ部とアクチュエータ部とを備える。そして、レンズ部は、透明な弾性体を用いて構成されるとともに、対向する２つの表面を有する。また、アクチュエータ部は、加熱に応じた変形によってレンズ部を押圧することにより、該レンズ部の２つの表面のうちの少なくとも一方の表面を変形させることで、該レンズ部の屈折力を変化させる。 （もっと読む）

【課題】対向する基板の接合強度を向上するとともにミラーに対するダメージを防止することができる波長可変フィルター、その製造方法、測色センサーおよび測色モジュールを提供すること。
【解決手段】第一基板５１には、エッチングにより電極形成用溝５１１、ミラー固定部５１２および溝部としての接着剤用溝５１３が形成される。接着剤用溝５１３は、第一基板５１の四隅にそれぞれ凹状に形成される。また、接着剤用溝５１３は、平面略三角形状に形成され、隣接する２辺（第一形成辺５１３Ａ、第二形成辺５１３Ｂ）が第一基板５１の隣接する２辺に沿って略直角に形成されるとともに、これら２辺に対向する内周縁部５１３Ｃはギャップ形成部５５の外縁に平行な円弧状に形成される。接着剤用溝５１３の内部には接着剤５３が配置される。 （もっと読む）

光ファイバスイッチ（230）は、それぞれが第1および第2の端面（203、204）を有する第1および第2の角度付き光ファイバ（231、232）を有する。第1および第2の角度付き光ファイバ（231、232）の各々は、コア屈折率（n₁）を有するコア（235、236）、および前記コアを取り囲み、前記コア屈折率とは異なるクラッド屈折率（n₂）を有するクラッド（237、238）を有する。光ファイバスイッチ（230）は、さらに、第1の屈折率整合エラストマー固体層（240）であって、前記第1の端面（203）に結合された隣接面、および該隣接面とは反対の、繰り返し可能に、光学的に前記第2の端面（204）に結合される先端面を有する第1の屈折率整合エラストマー固体層を有する。第1の屈折率整合エラストマー固体層（240）は、少なくとも前記コア（235、236）の屈折率に整合する屈折率を有する。光ファイバスイッチ（230）は、さらに、少なくとも一つのアクチュエータ（255）を有し、第1および第2の角度付き光ファイバ（231、232）は、結合位置と非結合位置の間で、相対的に動かされる。
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本発明は、剛体エレメント（例えばミラーのような光学エレメント）を動かすためのアクチュエータに関する。エレメントは、曲げ可能な連結部を有するフレームに機械的に連結される。アクチュエータエレメントは、フレームとエレメントとの間で連結部上に載置される。連結部およびアクチュエータエレメントは、信号発生器から信号を受けるときに、エレメントに動きを提供するのに適している。 （もっと読む）

【課題】色バランスや投影画像の明るさなど所望される色環境に随時対応する。
【解決手段】青色(Ｂ)光を発する半導体レーザ20と、青色光を用いて時分割で透過光の青色(Ｂ)光と反射蛍光光の緑色(Ｇ)光を発生するカラーホイール24及びモータ25と、赤色(Ｒ)光を発するＬＥＤ21と、カラーホイール24で発生するＢ光及びＧ光とＬＥＤ21で発するＲ光とが循環的に発生し、且つ１周期中での発生タイミングを調整可能に半導体レーザ20及びＬＥＤ21の駆動タイミングを制御する投影光処理部31と、画像信号を入力する入力部(11，12)と、ＲＧＢ光を用い、入力部(11，12)で入力する画像信号に対応したカラーの光像を形成して投影する投影系(13〜16，18，19)とを備える。 （もっと読む）

【課題】安定した制御が可能な光信号交換装置を提供すること。
【解決手段】複数の入力ポートと、複数の出力ポートと、入力ポートから入力された光信号を反射し、いずれかの出力ポートに入射する複数のミラーＭ１〜Ｍｎと、ミラーの反射角度を制御し光信号の経路を選択する制御手段１１０とを有し、制御手段は所定周波数の低周波信号を発生する発生手段と、ミラーの反射角度を制御する制御信号に低周波信号を重畳する重畳手段と、出力ポートから出力される光信号の一部を電気信号に変換する光電気変換手段と、得られる電気信号を対数変換する対数変換手段と、対数変換された電気信号に対して重畳された低周波信号と同様の低周波信号を乗算し、所定周波数の信号成分を直流成分に変換して抽出する抽出手段と、抽出された信号成分に基づいてミラーを所望の反射角度に設定するための制御信号を生成する生成手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】マイクロメカニカル構造体の近設される可動部間の電気干渉を抑制するための電界遮蔽構造が、容易に製造できるようにする。
【解決手段】マイクロメカニカル構造体１００は、一端が固定された複数の可動部１３１ａと、隣り合う可動部１３１ａの間に可動部１３１ａとは離間して配置される電界遮蔽構造１１１ａとを備える。マイクロメカニカル構造体１００は、ＳＯＩ基板より構成されている。ＳＯＩ基板を構成するシリコン基部１０１の層に電界遮蔽構造１１１ａが形成され、埋め込み絶縁層１０２の上のシリコン層１０３に、可動部１３１ａが形成されている。また、電界遮蔽構造１１１ａおよび可動部１３１ａは、埋め込み絶縁層１０２に形成された開口領域に配置されるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】環境温度の変化によって生じる熱膨張率差に起因する応力の変動や、マイクロミラー素子を固定している接着剤部分の強度劣化による応力の変動等が、マイクロミラーの傾斜角度へ影響することを軽減する。
【解決手段】固定フレーム１と、固定フレーム１に対して揺動可能な可動フレーム１３と、可動フレーム１３の揺動軸を規定するトーションバー１１ａ及び１１ｂと、固定フレーム１及びトーションバー１１ａ，１１ｂの少なくとも一方に設けられる応力緩和機構５０とを含み、トーションバー１１ａ及び１１ｂの軸方向における応力緩和機構５０の剛性は、トーションバー１１ａ及び１１ｂの軸方向の剛性より小さく、トーションバー１１ａ及び１１ｂを中心とする回転方向における応力緩和機構５０の剛性は、トーションバー１１ａ及び１１ｂを中心とする回転方向における剛性よりも大きい。 （もっと読む）

【課題】 内蔵する空間光変調器の所要の機能を所要期間に亘って安定的に発揮する空間光変調ユニット。
【解決手段】 光源からの光に基づいて被照射面を照明する照明光学系に用いられる空間光変調ユニット（３）は、互いに並列的に配置されて、二次元的に配列されて個別に制御される複数のミラー要素を有する４つの空間光変調器（３１，３２，３３，３４）と、光源から入射した光を４つの空間光変調器のうちの少なくとも３つの空間光変調器へ選択的に導く選択導光部（３５，３６，３７，３８）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ミラー部の慣性モーメントを簡易な構成で調整することによりミラー部の走査角や共振周波数を微調整可能にした光走査装置を提供する。
【解決手段】基板揺動部４ａの両面に各々重ね合わせて設けられる第１，第２ミラー４ｂと、を備え、第１ミラー４ｂと第２ミラー４ｂとは、基板揺動部４ａを支持する揺動軸３を中心として軸対称となるように反対方向にずれ量を持たせて積層されている。 （もっと読む）