単色光照射装置
【課題】単色光の高均一度と高照度を共に満たすことを可能にした単色光照射装置を提供することにある。
【解決手段】アークランプ光源1と、アークランプ光源1からの光をコリメートするレンズ光学系2と、レンズ光学系2からの光を分光する分光光学系3と、分光光学系からの単色光を受光し集光するレンズ光学系4と、レンズ光学系4からの単色光の光量を調整する出射スリット5と、出射スリット5からの単色光の照度を均一化するホモジナイザ7と、ホモジナイザ7からの単色光をコリメートするレンズ光学系8とを有することを特徴とする単色光照射装置である。
【解決手段】アークランプ光源1と、アークランプ光源1からの光をコリメートするレンズ光学系2と、レンズ光学系2からの光を分光する分光光学系3と、分光光学系からの単色光を受光し集光するレンズ光学系4と、レンズ光学系4からの単色光の光量を調整する出射スリット5と、出射スリット5からの単色光の照度を均一化するホモジナイザ7と、ホモジナイザ7からの単色光をコリメートするレンズ光学系8とを有することを特徴とする単色光照射装置である。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、単色光照射装置に係わり、特に、分光応答度測定における測定精度と測定速度を向上させるために必要な、単色光の高均一度化と高照度化を実現した単色光照射装置に関する。
【背景技術】
【0002】
単色光照射装置として、分光応答度測定の測定精度と測定速度を共に向上させるためには、単色光の高均一度化と共に高照度化が必要である。しかし、従来の単色光照射装置においては単色光の高均一度と高照度を共に実現することは困難であった。すなわち、従来の単色光照射装置においては、単色光の均一度を高めることを優先するため、エネルギー効率が犠牲となり、結果として得られる照度が低くかった。そのため、分光応答度測定には多くの時間を必要としていた。
【0003】
特許文献1には、太陽電池の分光応答度測定装置について記載されている。この装置では、光の強度を得るために凹面回折格子を使用している。凹面回折格子は、近年は、ホログラフィック型が多い。しかし、これは従来型の機械的刻線方式に比べて、反射率が従来の50%〜60%程度と低いため、素子数を低減することはできるが、必ずしも光の強度の増強には結びつかない。素子数の低減により、費用を下げる効果はあるが、実際には、凹面回折格子は非常に高価なため、全体の費用を下げることはできない。
また、特許文献2には、色素増感型太陽電池の分光応答度測定装置について記載されている。この装置は、各種のレンズ、(凹レンズ、フライアイレンズ)を使用して、均一度を上昇させようとするものである。これは、光源、分光器、その他光学系に発生する均一度の歪みを補正しようとするものであるが、実際に発生する不均一度にマッチングさせた光学系を使用した場合にのみ、歪み補正は実現されるものであり、正確に実現することは困難であった。
【0004】
図12は、従来技術に係る分光器光学系を示す図である。
同図において、入射スリット101を通過した白色光は、球面鏡102で平行光となった後に回折格子103に入射する。回折格子103上では、波長により各々異なる方向に平行光として反射される。その平行光線は、球面鏡104により集光され、出射スリット105へと向かい、そのうちの特定の波長の光λ0のみが出射スリット105を通過し、単色光となる。このような分光器光学系を使用して単色光を生成する場合、入射スリット101に光源からの光を集光する必要がある。
【0005】
図13は、従来技術に係る分光器光学系における光源光を集光する入射光学系を示す図である。
同図に示すように、光源106からの光を凹面反射鏡107で集光後、入射スリット101を介して分光器側に入射していた。この入射スリット101により分光器側の入射開口面積を決定し、一定の波長分解能を得ていた。光路としては、光源106の光を凹面反射鏡107等の光学系により集光し入射スリット101上に光源像を作り、その一部分を通過させるものである。しかし、このとき集光用光学系で発生する光源像の収差が、入射スリット101を通過した後の光の均一度を乱していた。
【0006】
図14は、従来技術に係る分光器光学系における、入射光学系、分光器、照射光学系で用いられる軸外し凹面鏡光学系を示す図である。
同図に示すように、この光学系においては、光を集光したり、平行光にしたりするために凹面反射鏡108を軸外しで使用していた。しかし、この軸外しは非点収差が発生する。非点収差は、分光器においては出射スリット105から出る光の損失と均一度の低下を、又それ以外の光学系では均一度の低下を招いていた。
【0007】
図15は、図14に示した凹面鏡光学系を使用した時のスポットダイアグラムを示す図である。
同図は、凹面反射鏡108を軸外し角度20°で使用した場合の非点収差を示す。焦点位置では、長くのびた楕円状に光が収束する。この楕円の長軸の長さは軸外し角度と共に大きくなる。軸外し凹面鏡光学系では、このような楕円形状の光が分光器の出射スリット105を通過するため光の均一度が低下していた。
【0008】
図16は、従来技術に係る分光器光学系において使用されていたNDフィルタによる光量調整法を示す図である。
同図に示すように、この光量調整法では、円板上で空間的に濃度が変化す円板形NDフィルタ109を光路中におき、これを回転させることによって行っていた。このようなNDフィルタ109による光量調整法の欠点は、NDフィルタ109を透過する際の光量損失と、NDフィルタ109内部の濃度勾配による照度面の均一度低下である。
【特許文献1】特開2006−30034号公報
【特許文献2】特開2003−57114号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0009】
本発明の目的は、上記の従来技術に係る分光器光学系の種々の問題点に鑑みて、単色光の高均一度と高照度を共に満たすことを可能にした単色光照射装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0010】
本発明は、上記の課題を解決するために、次のような手段を採用した。
第1の手段は、アークランプ光源と、該アークランプ光源からの光をコリメートするレンズ光学系と、該レンズ光学系からの光を分光する分光光学系と、該分光光学系からの単色光を受光し集光するレンズ光学系と、該レンズ光学系からの単色光の光量を調整する出射スリットと、該出射スリットからの単色光の照度を均一化するホモジナイザと、該ホモジナイザからの単色光をコリメートするレンズ光学系とを有することを特徴とする単色光照射装置である。
第2の手段は、第1の手段において、前記アークランプ光源は、キセノンランプ又はハロゲンランプであることを特徴とする単色光照射装置である。
第3の手段は、第1の手段又は第2の手段において、前記アークランプ光源のアーク幅は1〜2mmであることを特徴とする単色光照射装置である。
第4の手段は、第1の手段ないし第3の手段のいずれか1つの手段において、前記分光光学系は、回折格子を含むことを特徴とする単色光照射装置である。
第5の手段は、第1の手段ないし第4の手段のいずれか1つの手段において、前記アークランプ光源の発光アーク幅をS0、前記出射スリットの幅をS1とするとき、S0≧S1の関係にあることを特徴とする単色光照射装置である。
第6の手段は、第1の手段ないし第5の手段のいずれか1つの手段において、前記出射スリットと前記ホモジナイザ間に、所定の波長域以外の迷光を除去するフイルタを設けたことを特徴とする単色光照射装置である。
第7の手段は、第1の手段ないし第6の手段のいずれか1つの手段において、前記ホモジナイザは、MEMS(微小電気機械素子)で製作された反射鏡アレイシステムにおいて、特定のピクセルをオフにすることによって作製されたホモジナイザであることを特徴とする単色光照射装置である。
【発明の効果】
【0011】
本発明によれば、アークランプ光源を従来技術の入射スリット位置に直接配置することにより、単色光の高均一度と高照度を確保することができる。
また、本発明によれば、レンズ光学系を使用することにより、光量を確保すると共に非点収差を回避することができる。
また、本発明によれば、出射スリット幅により光量を調整することができる。
また、本発明によれば、ホモジナイザの使用により、照度の均一度を上げることができる。
また、本発明によれば、測定精度を向上させ、測定時間の短縮化を図ることができる。
また、本発明によれば、照射面積の拡大化が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0012】
本発明の一実施形態を図1ないし図11を用いて説明する。
図1は、本実施形態の発明に係る単色光照射装置の構成を示す図である。
同図に示すように、この単色光照射装置においては、アーク光源1が、図13に示すような分光器光学系の入射スリット101が配置される位置に配置される。アーク光源1からの光は、広い波長範囲において低損失と高い均一度が得られるコリメータレンズ2によって平行光とされた後、回折格子3に入射される。回折格子3によって単色光となった光は集光レンズ4を介して出射スリット5に出射される。出射スリット5では光量調節され、更にフィルタ6によって所定の波長域以外の迷光が除去される。このようにして得られた単色光は、ホモジナイザ7で面内の光量が調節され、さらに低損失と高い均一度が得られるコリメータレンズ8によって平行光とし、試料9において面内照度が均一な単色光が得られる。試料9における照射面積は、従来装置では25mm角程度であったが、原理的に高照度が得られるため、200mm角以上の面積の照射光の実現が可能となる。
【0013】
以下に、図1に示した本発明に係る単色光照射装置の特徴点について説明する。
【0014】
本発明の第1の特徴点は、従来技術の分光器光学系における入射スリットが配置される位置に、アーク光源1を配置し、発光アークを直接入射することにより光の均一度と強度を確保したことである。
図2は、本発明の単色光照射装置における入射光学系を示す図である。
同図に示すように、光源像の収差を避けるため、従来技術に係る図13に示した入射光学系のように、集光用光学系106,107と入射スリット101を使用せず、入射スリット101の位置10に直接アーク光源1を配置する。つまり、本発明においては、細長い長方形の発光部分(アーク)を持つ光源ランプのアークをスリット開口と考えて、アーク光源1を従来技術の入射スリット101の位置10に配置する。アーク光源1として実際に使用するランプは、例えば、1kWのキセノンランプ又はハロゲンランプ等であり、これらのランプのアーク幅は1〜2mmであり、従来技術の分光器光学系に用いられる入射スリット101の幅と同程度である。
【0015】
上記のごとく、本発明の単色光照射装置によれば、図13に示したような従来技術の分光器光学系のような入射スリット101の前に集光用光学系が存在しないので、光源像の収差が生じない。そのため、分光器側において、高い均一度を保有したままの入射光から、単色光を選択することができる。更に、入射スリットを省略することにより、光の損失が最小に抑えられ高い照度が得られる。
【0016】
本発明の第2の特徴点は、レンズ光学系を採用することにより、非点収差を解消したことである。
図1に示すように、従来技術の図14に示すような凹面鏡光学系に代えて、レンズ光学系を使用する。レンズ光学系を採用することにより、軸外し角がゼロとなるので、非点収差が解消される。
【0017】
図3は、本発明のレンズ光学系を使用した時のスポットダイアグラムを示す図である。
同図に示すように、従来技術の図14に示すような軸外し凹面鏡光学系を使用した時の、図15に示したスポットダイアグラムと比較すると、非点収差が解消されていることがわかる。さらに、焦点上でも点対称の像として光が収束するため、均一度の低下を抑えることができる。また、レンズ光学系では、球面反射鏡につきものの反射膜の劣化が無いので、長時間安定して使用することができる。
【0018】
一方、レンズ光学系では、レンズ材の波長に対する屈折率変化により波長ごとに焦点距離が変わるため、色収差が発生する。この色収差は、特に紫外波長領域において大きい。実際のレンズ材である光学ガラス、石英ガラスでは、紫外波長領域で急に屈折率が増加し、レンズの焦点距離が短くなる。例えば、光学ガラスBK7の屈折率は、波長600nmで1.515、波長300nmで1.552 であり、波長600nmで焦点距離30cmのレンズの場合、波長300nmで焦点距離29.2cmと変化する。しかし、本発明では単色光しか扱わないため、その単色光の波長に対する焦点距離の変化を、レンズ位置を移動することにより、容易に補正することができる。この位置の移動は10mm程度であり、移動精度は、0.1mm程度で十分である。
【0019】
従来技術の分光器光学系の単色光出射系においては、色収差を避けるために凹面鏡光学系により構成されていたが、この場合、非点収差により光の均一度が低下しまう。しかし、本発明によれば、入射光学系と同様に位置調整を伴うレンズ光学系を使用することにより、均一度の低下を回避することができる。
【0020】
本発明の第3の特徴点は、出射スリット5により光量を調整することである。
本発明の単色光照射装置においては、図16に示したようなNDフィルタ109を使用せず、出射スリット5の幅を変化させて光量を調整すことである。得られる光量は、出射スリット5の開口面積に正比例する。この方法によれば、特別な光学素子を使用することなく光量を調整することができ、光学系としての均一度を低下させる要素がないため、単色照射装置に適した光量調整法である。
【0021】
図4(a)は、出射スリット5の幅に対する光量変化を示す図である。
同図に示すように、光量は出射スリット5の幅に比例し、調整範囲もNDフィルタ109に比べて広い。ところで、一般に出射スリット5の幅が変化すると透過帯域波形が変化する。
【0022】
図4(b)は、出射スリット5の幅に対する波長分解能変化を示す図である。
本発明では、アーク光源1の発光アーク幅が一定値なので、同図に示すように、出射スリット幅が発光アーク幅よりせまい範囲内では、波長分解能は発光アーク幅による一定の波長幅となる。出射スリット幅が発光アーク幅より広くなると、波長分解能は出射スリット幅により決定される。
【0023】
図5は、発光アーク幅S0と出射スリット幅S1の違いによる、波長と光強度の変化を示す図である。
発光アーク幅S0とし、逆分散により計算される波長幅をdλ0、出射スリット幅S1、その逆分散により計算される波長幅をdλ1とした時、本装置から得られる単色光のスペクトル波形は、発光アーク幅S0の大小関係により、A、B、C、Dの4種類となる。
A S0≫S1 波長幅dλ0
B S0>S1 波長幅dλ0
C S0=S1 波長幅dλ0=dλ1
D S0<S1 波長幅dλ1
半値幅は、発光アーク幅又は出射スリット幅のうちの大きな方により決定されるので、AからBの範囲では、出射スリット幅S1の方が小さく、出射光の半値幅は、発光アーク幅S0により決められdλ0の一定値となる。その範囲では、光強度は、出射スリット幅S1に応じて変化し、出射スリット幅S1が大きいほど、光強度も強くなる。出射スリット幅S1が、発光アーク幅S0よりも大きくなると、半値幅は、出射スリット幅S1により決められるので、出射スリット幅S1を変更すると半値幅が変化する。
【0024】
本発明では、A、B、Cの状態を使用するが、発光アーク幅S0は、アーク光源1の発光アーク幅と同じ値であるから、常に一定値に保たれている。
この場合の出射光量は、図4(b)に示したように、出射スリット幅S1に比例する。そのため、出射スリット幅S1を変えることによって出射光量を調整することができる。この方法により光量損失、均一度低下の両方を避けて光量調整が可能となり、結果として、測定精度の高い分光応答度測定を実現することができる。
【0025】
本発明の第4の特徴点は、出射スリット5とコリメータレンズ8間にホモジナイザ7を配置して照度の均一度を向上させたことである。
単色光照射装置の最大の難しさは、単色光の照度均一度の向上にある。従来装置においては、照度均一度向上のための積極的方法は取られていなかった。すなわち、確固たる原理のないまま、光学系の調整を繰り返しながら、均一度の高い場所を探す方法が取られていた。
【0026】
図6は、本発明の出射光学系を示す図である。
同図に示すように、出射スリット5とコリメータレンズ8の中間の適切な場所に空間的濃度変化を与えるホモジナイザ7を配置することにより、積極的に照度均一度を向上させるものである。出射スリット5からの出力光は、試料9を照射するが、その光学系内の光線は、出射スリット5の開口とコリメータレンズ8の受光面開口の全ての点を結ぶ光線により構成される。すなわち、同図に示すように、コリメータレンズ8を通った後の光線は平行光となるから、コリメータレンズ8面上の各点と試料9の受光面開口上の各点とは基本的に重なるから、コリメータレンズ8受光面と試料9受光面開口とは同一視しても良い。
【0027】
図7は、出射スリット5の開口上の一点Aから見た図で、点Aを通り試料9受光面開口の全ての点を結ぶ光線を示す図である。
図8は、図7とは逆に、試料9受光面開口上の一点Bから見た図で、出射スリット5上の全ての点から点Bに到達する光線を示す図である。
このような光学系において、2つの開口間に光を特定のパターンで遮蔽するホモジナイザ7を設置した時の光線が作る影を、図9と図10を用いて説明する。
【0028】
図9は、出射スリット5開口から距離Dの位置に置かれたホモジナイザ7中の大きさyの遮蔽部が、点Aからの光に対し試料9受光面開口上に作る影を示す図である。
すなわち、出射スリット5開口の点Aからの光が試料9受光面開口上に作る影の大きさYは、出射スリット5開口と試料9受光面開口間の距離Cを用いて、下記の式で与えられる。
Y=y×(C/D)
しかし、出射スリット5開口上の多くの点が試料9受光面開口の異なる位置に影を作るため、上記Yの大きさの影ができるわけではない。
【0029】
図10は、出射スリット5上の全て点がホモジナイザ7上の遮蔽点により作る影の大きさ値Wは、出射スリット5の幅wとするとき、下記の式で与えられる。
W=w×(C−D)/D
【0030】
図9、10に示した仕組みに基づき、ホモジナイザ7上の遮蔽部によって、試料9受光面開口上に影ができる。すなわち、大きさYの影と大きさWの影のコンボリューションが、実際に試料9受光面開口上にできる影の形状を与える。
【0031】
図11は、このようにしてできた影のパターンを示す図である。
これを利用することによって、まず、試料9受光面上の照度分布を測定し、これを平坦化するために必要な影のパターンを持つホモジナイザ7を設計・適用することにより受光面上の照度について高い均一度を得ることができる。このように、ホモジナイザ7の中を通る光を微少部分ごとに調整することにより、試料9受光面の照度を積極的に制御することができる。
【0032】
ホモジナイザ7の作製法の具体例としては、(1)板上にインクジェット方式で細かいドットを吹き付け印刷する方法、(2)細かいメッシュ板を使用し、その穴を開閉する方法、(3)MEMS(微小電気機械素子)で製作された反射鏡アレイシステムにおいて、特定のピクセルをオフにする方法がある。(3)の方法によれば、能動的に空間透過率を調整することが可能であり、これを使用することにより、照射光の強度空間分布を測定し、そのデータをもとに、均一な照射光を形成することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【0033】
【図1】本発明に係る単色光照射装置の構成を示す図である。
【図2】本発明の単色光照射装置における入射光学系を示す図である。
【図3】本発明のレンズ光学系を使用した時のスポットダイアグラムを示す図である。
【図4】出射スリット5の幅に対する光量変化、及び出射スリット5の幅に対する波長分解能変化を示す図である。
【図5】発光アーク幅S0と出射スリット幅S1の違いによる、波長と光強度の変化を示す図である。
【図6】本発明の出射光学系を示す図である。
【図7】出射スリット5の開口上の一点Aから見た図であり、点Aを通り試料9受光面開口の全ての点を結ぶ光線を示す。
【図8】試料9受光面開口上の一点Bから見た図であり、出射スリット5上の全ての点から点Bに到達する光線を示す。
【図9】出射スリット5開口から距離Dの位置に置かれたホモジナイザ7中の大きさyの遮蔽部が、点Aからの光に対し試料9受光面開口上に作る影を示す図である。
【図10】出射スリット5上の全て点がホモジナイザ7上の遮蔽点により作る影の大きさ値Wを示す図である。
【図11】W=0、W>Y>0、Y>W>0の各場合における影のパターンを示す図である。
【図12】従来技術に係る分光器光学系を示す図である。
【図13】従来技術に係る分光器光学系における光源光を集光する入射光学系を示す図である。
【図14】従来技術に係る分光器光学系における、入射光学系、分光器、照射光学系で用いられる軸外し凹面鏡光学系を示す図である。
【図15】図14に示した凹面鏡光学系を使用した時のスポットダイアグラムを示す図である。
【図16】従来技術に係る分光器光学系において使用されていたNDフィルタによる光量調整法を示す図である。
【符号の説明】
【0034】
1 アーク光源
2 コリメータレンズ
3 回折格子
4 集光レンズ
5 出射スリット
6 フィルタ
7 ホモジナイザ
8 コリメータレンズ
9 試料
10 位置
【技術分野】
【0001】
本発明は、単色光照射装置に係わり、特に、分光応答度測定における測定精度と測定速度を向上させるために必要な、単色光の高均一度化と高照度化を実現した単色光照射装置に関する。
【背景技術】
【0002】
単色光照射装置として、分光応答度測定の測定精度と測定速度を共に向上させるためには、単色光の高均一度化と共に高照度化が必要である。しかし、従来の単色光照射装置においては単色光の高均一度と高照度を共に実現することは困難であった。すなわち、従来の単色光照射装置においては、単色光の均一度を高めることを優先するため、エネルギー効率が犠牲となり、結果として得られる照度が低くかった。そのため、分光応答度測定には多くの時間を必要としていた。
【0003】
特許文献1には、太陽電池の分光応答度測定装置について記載されている。この装置では、光の強度を得るために凹面回折格子を使用している。凹面回折格子は、近年は、ホログラフィック型が多い。しかし、これは従来型の機械的刻線方式に比べて、反射率が従来の50%〜60%程度と低いため、素子数を低減することはできるが、必ずしも光の強度の増強には結びつかない。素子数の低減により、費用を下げる効果はあるが、実際には、凹面回折格子は非常に高価なため、全体の費用を下げることはできない。
また、特許文献2には、色素増感型太陽電池の分光応答度測定装置について記載されている。この装置は、各種のレンズ、(凹レンズ、フライアイレンズ)を使用して、均一度を上昇させようとするものである。これは、光源、分光器、その他光学系に発生する均一度の歪みを補正しようとするものであるが、実際に発生する不均一度にマッチングさせた光学系を使用した場合にのみ、歪み補正は実現されるものであり、正確に実現することは困難であった。
【0004】
図12は、従来技術に係る分光器光学系を示す図である。
同図において、入射スリット101を通過した白色光は、球面鏡102で平行光となった後に回折格子103に入射する。回折格子103上では、波長により各々異なる方向に平行光として反射される。その平行光線は、球面鏡104により集光され、出射スリット105へと向かい、そのうちの特定の波長の光λ0のみが出射スリット105を通過し、単色光となる。このような分光器光学系を使用して単色光を生成する場合、入射スリット101に光源からの光を集光する必要がある。
【0005】
図13は、従来技術に係る分光器光学系における光源光を集光する入射光学系を示す図である。
同図に示すように、光源106からの光を凹面反射鏡107で集光後、入射スリット101を介して分光器側に入射していた。この入射スリット101により分光器側の入射開口面積を決定し、一定の波長分解能を得ていた。光路としては、光源106の光を凹面反射鏡107等の光学系により集光し入射スリット101上に光源像を作り、その一部分を通過させるものである。しかし、このとき集光用光学系で発生する光源像の収差が、入射スリット101を通過した後の光の均一度を乱していた。
【0006】
図14は、従来技術に係る分光器光学系における、入射光学系、分光器、照射光学系で用いられる軸外し凹面鏡光学系を示す図である。
同図に示すように、この光学系においては、光を集光したり、平行光にしたりするために凹面反射鏡108を軸外しで使用していた。しかし、この軸外しは非点収差が発生する。非点収差は、分光器においては出射スリット105から出る光の損失と均一度の低下を、又それ以外の光学系では均一度の低下を招いていた。
【0007】
図15は、図14に示した凹面鏡光学系を使用した時のスポットダイアグラムを示す図である。
同図は、凹面反射鏡108を軸外し角度20°で使用した場合の非点収差を示す。焦点位置では、長くのびた楕円状に光が収束する。この楕円の長軸の長さは軸外し角度と共に大きくなる。軸外し凹面鏡光学系では、このような楕円形状の光が分光器の出射スリット105を通過するため光の均一度が低下していた。
【0008】
図16は、従来技術に係る分光器光学系において使用されていたNDフィルタによる光量調整法を示す図である。
同図に示すように、この光量調整法では、円板上で空間的に濃度が変化す円板形NDフィルタ109を光路中におき、これを回転させることによって行っていた。このようなNDフィルタ109による光量調整法の欠点は、NDフィルタ109を透過する際の光量損失と、NDフィルタ109内部の濃度勾配による照度面の均一度低下である。
【特許文献1】特開2006−30034号公報
【特許文献2】特開2003−57114号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0009】
本発明の目的は、上記の従来技術に係る分光器光学系の種々の問題点に鑑みて、単色光の高均一度と高照度を共に満たすことを可能にした単色光照射装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0010】
本発明は、上記の課題を解決するために、次のような手段を採用した。
第1の手段は、アークランプ光源と、該アークランプ光源からの光をコリメートするレンズ光学系と、該レンズ光学系からの光を分光する分光光学系と、該分光光学系からの単色光を受光し集光するレンズ光学系と、該レンズ光学系からの単色光の光量を調整する出射スリットと、該出射スリットからの単色光の照度を均一化するホモジナイザと、該ホモジナイザからの単色光をコリメートするレンズ光学系とを有することを特徴とする単色光照射装置である。
第2の手段は、第1の手段において、前記アークランプ光源は、キセノンランプ又はハロゲンランプであることを特徴とする単色光照射装置である。
第3の手段は、第1の手段又は第2の手段において、前記アークランプ光源のアーク幅は1〜2mmであることを特徴とする単色光照射装置である。
第4の手段は、第1の手段ないし第3の手段のいずれか1つの手段において、前記分光光学系は、回折格子を含むことを特徴とする単色光照射装置である。
第5の手段は、第1の手段ないし第4の手段のいずれか1つの手段において、前記アークランプ光源の発光アーク幅をS0、前記出射スリットの幅をS1とするとき、S0≧S1の関係にあることを特徴とする単色光照射装置である。
第6の手段は、第1の手段ないし第5の手段のいずれか1つの手段において、前記出射スリットと前記ホモジナイザ間に、所定の波長域以外の迷光を除去するフイルタを設けたことを特徴とする単色光照射装置である。
第7の手段は、第1の手段ないし第6の手段のいずれか1つの手段において、前記ホモジナイザは、MEMS(微小電気機械素子)で製作された反射鏡アレイシステムにおいて、特定のピクセルをオフにすることによって作製されたホモジナイザであることを特徴とする単色光照射装置である。
【発明の効果】
【0011】
本発明によれば、アークランプ光源を従来技術の入射スリット位置に直接配置することにより、単色光の高均一度と高照度を確保することができる。
また、本発明によれば、レンズ光学系を使用することにより、光量を確保すると共に非点収差を回避することができる。
また、本発明によれば、出射スリット幅により光量を調整することができる。
また、本発明によれば、ホモジナイザの使用により、照度の均一度を上げることができる。
また、本発明によれば、測定精度を向上させ、測定時間の短縮化を図ることができる。
また、本発明によれば、照射面積の拡大化が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0012】
本発明の一実施形態を図1ないし図11を用いて説明する。
図1は、本実施形態の発明に係る単色光照射装置の構成を示す図である。
同図に示すように、この単色光照射装置においては、アーク光源1が、図13に示すような分光器光学系の入射スリット101が配置される位置に配置される。アーク光源1からの光は、広い波長範囲において低損失と高い均一度が得られるコリメータレンズ2によって平行光とされた後、回折格子3に入射される。回折格子3によって単色光となった光は集光レンズ4を介して出射スリット5に出射される。出射スリット5では光量調節され、更にフィルタ6によって所定の波長域以外の迷光が除去される。このようにして得られた単色光は、ホモジナイザ7で面内の光量が調節され、さらに低損失と高い均一度が得られるコリメータレンズ8によって平行光とし、試料9において面内照度が均一な単色光が得られる。試料9における照射面積は、従来装置では25mm角程度であったが、原理的に高照度が得られるため、200mm角以上の面積の照射光の実現が可能となる。
【0013】
以下に、図1に示した本発明に係る単色光照射装置の特徴点について説明する。
【0014】
本発明の第1の特徴点は、従来技術の分光器光学系における入射スリットが配置される位置に、アーク光源1を配置し、発光アークを直接入射することにより光の均一度と強度を確保したことである。
図2は、本発明の単色光照射装置における入射光学系を示す図である。
同図に示すように、光源像の収差を避けるため、従来技術に係る図13に示した入射光学系のように、集光用光学系106,107と入射スリット101を使用せず、入射スリット101の位置10に直接アーク光源1を配置する。つまり、本発明においては、細長い長方形の発光部分(アーク)を持つ光源ランプのアークをスリット開口と考えて、アーク光源1を従来技術の入射スリット101の位置10に配置する。アーク光源1として実際に使用するランプは、例えば、1kWのキセノンランプ又はハロゲンランプ等であり、これらのランプのアーク幅は1〜2mmであり、従来技術の分光器光学系に用いられる入射スリット101の幅と同程度である。
【0015】
上記のごとく、本発明の単色光照射装置によれば、図13に示したような従来技術の分光器光学系のような入射スリット101の前に集光用光学系が存在しないので、光源像の収差が生じない。そのため、分光器側において、高い均一度を保有したままの入射光から、単色光を選択することができる。更に、入射スリットを省略することにより、光の損失が最小に抑えられ高い照度が得られる。
【0016】
本発明の第2の特徴点は、レンズ光学系を採用することにより、非点収差を解消したことである。
図1に示すように、従来技術の図14に示すような凹面鏡光学系に代えて、レンズ光学系を使用する。レンズ光学系を採用することにより、軸外し角がゼロとなるので、非点収差が解消される。
【0017】
図3は、本発明のレンズ光学系を使用した時のスポットダイアグラムを示す図である。
同図に示すように、従来技術の図14に示すような軸外し凹面鏡光学系を使用した時の、図15に示したスポットダイアグラムと比較すると、非点収差が解消されていることがわかる。さらに、焦点上でも点対称の像として光が収束するため、均一度の低下を抑えることができる。また、レンズ光学系では、球面反射鏡につきものの反射膜の劣化が無いので、長時間安定して使用することができる。
【0018】
一方、レンズ光学系では、レンズ材の波長に対する屈折率変化により波長ごとに焦点距離が変わるため、色収差が発生する。この色収差は、特に紫外波長領域において大きい。実際のレンズ材である光学ガラス、石英ガラスでは、紫外波長領域で急に屈折率が増加し、レンズの焦点距離が短くなる。例えば、光学ガラスBK7の屈折率は、波長600nmで1.515、波長300nmで1.552 であり、波長600nmで焦点距離30cmのレンズの場合、波長300nmで焦点距離29.2cmと変化する。しかし、本発明では単色光しか扱わないため、その単色光の波長に対する焦点距離の変化を、レンズ位置を移動することにより、容易に補正することができる。この位置の移動は10mm程度であり、移動精度は、0.1mm程度で十分である。
【0019】
従来技術の分光器光学系の単色光出射系においては、色収差を避けるために凹面鏡光学系により構成されていたが、この場合、非点収差により光の均一度が低下しまう。しかし、本発明によれば、入射光学系と同様に位置調整を伴うレンズ光学系を使用することにより、均一度の低下を回避することができる。
【0020】
本発明の第3の特徴点は、出射スリット5により光量を調整することである。
本発明の単色光照射装置においては、図16に示したようなNDフィルタ109を使用せず、出射スリット5の幅を変化させて光量を調整すことである。得られる光量は、出射スリット5の開口面積に正比例する。この方法によれば、特別な光学素子を使用することなく光量を調整することができ、光学系としての均一度を低下させる要素がないため、単色照射装置に適した光量調整法である。
【0021】
図4(a)は、出射スリット5の幅に対する光量変化を示す図である。
同図に示すように、光量は出射スリット5の幅に比例し、調整範囲もNDフィルタ109に比べて広い。ところで、一般に出射スリット5の幅が変化すると透過帯域波形が変化する。
【0022】
図4(b)は、出射スリット5の幅に対する波長分解能変化を示す図である。
本発明では、アーク光源1の発光アーク幅が一定値なので、同図に示すように、出射スリット幅が発光アーク幅よりせまい範囲内では、波長分解能は発光アーク幅による一定の波長幅となる。出射スリット幅が発光アーク幅より広くなると、波長分解能は出射スリット幅により決定される。
【0023】
図5は、発光アーク幅S0と出射スリット幅S1の違いによる、波長と光強度の変化を示す図である。
発光アーク幅S0とし、逆分散により計算される波長幅をdλ0、出射スリット幅S1、その逆分散により計算される波長幅をdλ1とした時、本装置から得られる単色光のスペクトル波形は、発光アーク幅S0の大小関係により、A、B、C、Dの4種類となる。
A S0≫S1 波長幅dλ0
B S0>S1 波長幅dλ0
C S0=S1 波長幅dλ0=dλ1
D S0<S1 波長幅dλ1
半値幅は、発光アーク幅又は出射スリット幅のうちの大きな方により決定されるので、AからBの範囲では、出射スリット幅S1の方が小さく、出射光の半値幅は、発光アーク幅S0により決められdλ0の一定値となる。その範囲では、光強度は、出射スリット幅S1に応じて変化し、出射スリット幅S1が大きいほど、光強度も強くなる。出射スリット幅S1が、発光アーク幅S0よりも大きくなると、半値幅は、出射スリット幅S1により決められるので、出射スリット幅S1を変更すると半値幅が変化する。
【0024】
本発明では、A、B、Cの状態を使用するが、発光アーク幅S0は、アーク光源1の発光アーク幅と同じ値であるから、常に一定値に保たれている。
この場合の出射光量は、図4(b)に示したように、出射スリット幅S1に比例する。そのため、出射スリット幅S1を変えることによって出射光量を調整することができる。この方法により光量損失、均一度低下の両方を避けて光量調整が可能となり、結果として、測定精度の高い分光応答度測定を実現することができる。
【0025】
本発明の第4の特徴点は、出射スリット5とコリメータレンズ8間にホモジナイザ7を配置して照度の均一度を向上させたことである。
単色光照射装置の最大の難しさは、単色光の照度均一度の向上にある。従来装置においては、照度均一度向上のための積極的方法は取られていなかった。すなわち、確固たる原理のないまま、光学系の調整を繰り返しながら、均一度の高い場所を探す方法が取られていた。
【0026】
図6は、本発明の出射光学系を示す図である。
同図に示すように、出射スリット5とコリメータレンズ8の中間の適切な場所に空間的濃度変化を与えるホモジナイザ7を配置することにより、積極的に照度均一度を向上させるものである。出射スリット5からの出力光は、試料9を照射するが、その光学系内の光線は、出射スリット5の開口とコリメータレンズ8の受光面開口の全ての点を結ぶ光線により構成される。すなわち、同図に示すように、コリメータレンズ8を通った後の光線は平行光となるから、コリメータレンズ8面上の各点と試料9の受光面開口上の各点とは基本的に重なるから、コリメータレンズ8受光面と試料9受光面開口とは同一視しても良い。
【0027】
図7は、出射スリット5の開口上の一点Aから見た図で、点Aを通り試料9受光面開口の全ての点を結ぶ光線を示す図である。
図8は、図7とは逆に、試料9受光面開口上の一点Bから見た図で、出射スリット5上の全ての点から点Bに到達する光線を示す図である。
このような光学系において、2つの開口間に光を特定のパターンで遮蔽するホモジナイザ7を設置した時の光線が作る影を、図9と図10を用いて説明する。
【0028】
図9は、出射スリット5開口から距離Dの位置に置かれたホモジナイザ7中の大きさyの遮蔽部が、点Aからの光に対し試料9受光面開口上に作る影を示す図である。
すなわち、出射スリット5開口の点Aからの光が試料9受光面開口上に作る影の大きさYは、出射スリット5開口と試料9受光面開口間の距離Cを用いて、下記の式で与えられる。
Y=y×(C/D)
しかし、出射スリット5開口上の多くの点が試料9受光面開口の異なる位置に影を作るため、上記Yの大きさの影ができるわけではない。
【0029】
図10は、出射スリット5上の全て点がホモジナイザ7上の遮蔽点により作る影の大きさ値Wは、出射スリット5の幅wとするとき、下記の式で与えられる。
W=w×(C−D)/D
【0030】
図9、10に示した仕組みに基づき、ホモジナイザ7上の遮蔽部によって、試料9受光面開口上に影ができる。すなわち、大きさYの影と大きさWの影のコンボリューションが、実際に試料9受光面開口上にできる影の形状を与える。
【0031】
図11は、このようにしてできた影のパターンを示す図である。
これを利用することによって、まず、試料9受光面上の照度分布を測定し、これを平坦化するために必要な影のパターンを持つホモジナイザ7を設計・適用することにより受光面上の照度について高い均一度を得ることができる。このように、ホモジナイザ7の中を通る光を微少部分ごとに調整することにより、試料9受光面の照度を積極的に制御することができる。
【0032】
ホモジナイザ7の作製法の具体例としては、(1)板上にインクジェット方式で細かいドットを吹き付け印刷する方法、(2)細かいメッシュ板を使用し、その穴を開閉する方法、(3)MEMS(微小電気機械素子)で製作された反射鏡アレイシステムにおいて、特定のピクセルをオフにする方法がある。(3)の方法によれば、能動的に空間透過率を調整することが可能であり、これを使用することにより、照射光の強度空間分布を測定し、そのデータをもとに、均一な照射光を形成することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【0033】
【図1】本発明に係る単色光照射装置の構成を示す図である。
【図2】本発明の単色光照射装置における入射光学系を示す図である。
【図3】本発明のレンズ光学系を使用した時のスポットダイアグラムを示す図である。
【図4】出射スリット5の幅に対する光量変化、及び出射スリット5の幅に対する波長分解能変化を示す図である。
【図5】発光アーク幅S0と出射スリット幅S1の違いによる、波長と光強度の変化を示す図である。
【図6】本発明の出射光学系を示す図である。
【図7】出射スリット5の開口上の一点Aから見た図であり、点Aを通り試料9受光面開口の全ての点を結ぶ光線を示す。
【図8】試料9受光面開口上の一点Bから見た図であり、出射スリット5上の全ての点から点Bに到達する光線を示す。
【図9】出射スリット5開口から距離Dの位置に置かれたホモジナイザ7中の大きさyの遮蔽部が、点Aからの光に対し試料9受光面開口上に作る影を示す図である。
【図10】出射スリット5上の全て点がホモジナイザ7上の遮蔽点により作る影の大きさ値Wを示す図である。
【図11】W=0、W>Y>0、Y>W>0の各場合における影のパターンを示す図である。
【図12】従来技術に係る分光器光学系を示す図である。
【図13】従来技術に係る分光器光学系における光源光を集光する入射光学系を示す図である。
【図14】従来技術に係る分光器光学系における、入射光学系、分光器、照射光学系で用いられる軸外し凹面鏡光学系を示す図である。
【図15】図14に示した凹面鏡光学系を使用した時のスポットダイアグラムを示す図である。
【図16】従来技術に係る分光器光学系において使用されていたNDフィルタによる光量調整法を示す図である。
【符号の説明】
【0034】
1 アーク光源
2 コリメータレンズ
3 回折格子
4 集光レンズ
5 出射スリット
6 フィルタ
7 ホモジナイザ
8 コリメータレンズ
9 試料
10 位置
【特許請求の範囲】
【請求項1】
アークランプ光源と、該アークランプ光源からの光をコリメートするレンズ光学系と、該レンズ光学系からの光を分光する分光光学系と、該分光光学系からの単色光を受光し集光するレンズ光学系と、該レンズ光学系からの単色光の光量を調整する出射スリットと、該出射スリットからの単色光の照度を均一化するホモジナイザと、該ホモジナイザからの単色光をコリメートするレンズ光学系とを有することを特徴とする単色光照射装置。
【請求項2】
前記アークランプ光源は、キセノンランプ又はハロゲンランプであることを特徴とする請求項1に記載の単色光照射装置。
【請求項3】
前記アークランプ光源のアーク幅は、1〜2mmであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の単色光照射装置。
【請求項4】
前記分光光学系は、回折格子を含むことを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1つの請求項に記載の単色光照射装置。
【請求項5】
前記アークランプ光源の発光アーク幅をS0、前記出射スリットの幅をS1とするとき、S0≧S1の関係にあることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1つの請求項に記載の単色光照射装置。
【請求項6】
前記出射スリットと前記ホモジナイザ間に、所定の波長域以外の迷光を除去するフィルタを設けたことを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか1つの請求項に記載の単色光照射装置。
【請求項7】
前記ホモジナイザは、MEMS(微小電気機械素子)で製作された反射鏡アレイシステムにおいて、特定のピクセルをオフにすることによって作製されたものであることを特徴とする請求項1ないし請求項6のいずれか1つの請求項に記載の単色光照射装置。
【請求項1】
アークランプ光源と、該アークランプ光源からの光をコリメートするレンズ光学系と、該レンズ光学系からの光を分光する分光光学系と、該分光光学系からの単色光を受光し集光するレンズ光学系と、該レンズ光学系からの単色光の光量を調整する出射スリットと、該出射スリットからの単色光の照度を均一化するホモジナイザと、該ホモジナイザからの単色光をコリメートするレンズ光学系とを有することを特徴とする単色光照射装置。
【請求項2】
前記アークランプ光源は、キセノンランプ又はハロゲンランプであることを特徴とする請求項1に記載の単色光照射装置。
【請求項3】
前記アークランプ光源のアーク幅は、1〜2mmであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の単色光照射装置。
【請求項4】
前記分光光学系は、回折格子を含むことを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1つの請求項に記載の単色光照射装置。
【請求項5】
前記アークランプ光源の発光アーク幅をS0、前記出射スリットの幅をS1とするとき、S0≧S1の関係にあることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1つの請求項に記載の単色光照射装置。
【請求項6】
前記出射スリットと前記ホモジナイザ間に、所定の波長域以外の迷光を除去するフィルタを設けたことを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか1つの請求項に記載の単色光照射装置。
【請求項7】
前記ホモジナイザは、MEMS(微小電気機械素子)で製作された反射鏡アレイシステムにおいて、特定のピクセルをオフにすることによって作製されたものであることを特徴とする請求項1ないし請求項6のいずれか1つの請求項に記載の単色光照射装置。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【公開番号】特開2010−48641(P2010−48641A)
【公開日】平成22年3月4日(2010.3.4)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2008−212494(P2008−212494)
【出願日】平成20年8月21日(2008.8.21)
【出願人】(301021533)独立行政法人産業技術総合研究所 (6,529)
【出願人】(591060245)株式会社相馬光学 (14)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成22年3月4日(2010.3.4)
【国際特許分類】
【出願日】平成20年8月21日(2008.8.21)
【出願人】(301021533)独立行政法人産業技術総合研究所 (6,529)
【出願人】(591060245)株式会社相馬光学 (14)
【Fターム(参考)】
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