【課題】巨大な鋳型を高精度で作らなければならないため、困難であった長尺のコアの形成を可能にする製造方法を提供する。
【解決手段】Ｓｉ基板３の一面にライン状の凹部６を形成する凹部形成工程と、Ｓｉ基板３の他方の面からレーザー光を照射し、レーザー光の焦光点をＳｉ基板３の内部に合わせＳｉ基板３の内部に多光子吸収による溶融処理領域を形成することによりＳｉ基板３をダイシングし、Ｓｉ基板個片１２を形成するダイシング工程と、Ｓｉ基個片１２を凹部が連続するようにライン状に整列させ、支持基板上８に接合し、原型１３を形成する接合工程と、原型１３上に電鋳して、原型１３を剥離することにより、凹部６を反転した凸部１１を有する反転型１０を形成する電鋳工程と、反転型１０により、凸部１１を転写する転写工程とを、有する光導波路の製造方法。 （もっと読む）

【課題】非常に優れた検出感度を有するＳＰＲセンサセルおよびＳＰＲセンサを提供すること。
【解決手段】本発明のＳＰＲセンサセルは、検知部と、該検知部に隣接するサンプル配置部とを備える。検知部は、アンダークラッド層と、少なくとも一部が該アンダークラッド層に隣接するように設けられたコア層と、コア層を被覆する金属層とを有する。コア層の屈折率は１．４３以下であり、かつ、吸収係数は９．５×１０^−２（ｍｍ^−１）以下である。 （もっと読む）

【課題】基板側の光送受信部の位置に応じて斜めミラー部を簡単に形成できる光導波路の製造方法を提供する。
【解決手段】コア溝に対応する凸部を有する第１の型で、基板上に形成された硬化前のクラッド層を押圧し、そのままクラッド層を硬化させて、下部クラッド層にコア溝を形成する工程、上記第１の型を下部クラッド層から剥離させ、コア溝にコア材料を充填した後、硬化させてコアを形成する工程、コア材料を硬化させた後、コアと下部クラッド層４の上、及び斜めミラー部３４を形成するコア端部に上部クラッド材６０Ａを充填する工程、斜めミラー部３４の斜面形状に対応する凸部を有する第２の型４２で、コア端部に充填した硬化前の上部クラッド材６０Ａを押圧し、そのまま上部クラッド材６０Ａを硬化させた後、第２の型４２を離型して斜めミラー部用斜面を形成する工程を含む。 （もっと読む）

【課題】簡単に光導波路のミラー部を形成できる製造方法を提供すること。
【解決手段】コアの少なくとも一方端に斜めミラー部が形成されている光導波路の製造方法であって、下部クラッド層にコア溝を形成する工程、コア溝にコア材料を注入して充填し、コア溝中のコア材料を硬化させる工程、下部クラッド層、コア、上部クラッド層の積層体を形成する工程、上記積層体の長手方向の少なくとも一方端に当接し、これに直交する方向に斜めミラー部に対応する斜めミラー部用Ｖ溝を形成する工程、斜めミラー部用Ｖ溝のコア側斜面に当接可能な凸部を有する第２の型の凸部に金属膜を付着させる工程、斜めミラー部用Ｖ溝の斜面、および／または第２の型の金属膜表面に、接着剤を付着させる工程、金属膜が付着した第２の型をＶ溝のコア側斜面に押し当てて、Ｖ溝の斜面に接着剤を介して金属膜を貼付してミラー部を形成する工程を含む、ことを特徴とする光導波路の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】フィルム光導波路の両面に光デバイスを実装でき、しかもフィルム光導波路の強度を下げることがないフィルム光導波路とその製造方法を提供する。
【解決手段】第一のクラッドフィルム１Ａと第二のクラッドフィルム１Ｂとが対向配置されて、光導波路コア４が狭持されている。第一のクラッドフィルム１Ａを貫通し光導波路コア４の一端部に接続する入光部１２と、第二のクラッドフィルム１Ｂを貫通し光導波路コア４の他端部に接続する出光部１５と、前記一端部側に入光部１２からの光を光導波路コア４に導く第一のミラー面３Ａと、前記他端部側に光導波路コア４を伝播した光を出光部１５に導く第二のミラー面３Ｂと、を有している。 （もっと読む）

【課題】レンズの位置合わせが不要であるタッチパネル用光導波路を提供する。
【解決手段】光を出射する複数のコア３の端部が、横方向への光の発散を抑制する第１レンズ部３１に形成され、さらに、それら第１レンズ部３１を被覆するオーバークラッド層４の端部が、縦方向への光の発散を抑制する、隣り合う光出射用コア３の間に対応する部分も含めた連続的な第２レンズ部４１に形成されている。光を入射する側についても同様に、光が入射される複数のコア３の端部が、入射する光を横方向に絞って集束させる第４レンズ部３２に形成され、さらに、それら第４レンズ部３２を被覆するオーバークラッド層４の端部が、入射する光を縦方向に絞って集束させる、隣り合う光入射用コア３の間に対応する部分も含めた連続的な第３レンズ部４２に形成されている。 （もっと読む）

【課題】有機導波路を作製する際に高温・高圧印加下で作製せざるを得ないプロセスの困難性と、配向緩和によるＥＯ効果消失の問題とを同時に解決すること。
【解決手段】電気光学効果を呈する有機材料が添加されたポリマーを硬化して構成される長尺状のコアと、前記コアの周囲に積層されたクラッドとを備えた有機導波路であって、前記有機導波路は、前記コアが硬化した後に当該コアの長手方向に延伸されていることを特徴とする有機導波路。好ましくは、前記ポリマーは、熱硬化特性またはＵＶ硬化特性を有する樹脂である。また、入力光を２つの分岐部分で分波し、一方の光波にのみ位相シフトを与え、位相シフトを与えない他方の光波と合波させ、入力光に変調が加わった出力光を得るマッハツェンダ変調器において、前記２つの分岐部分のうち、位相シフトを与えるコアとして上記有機導波路を使用することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電気通信システムなどで使用される光送信及び受信装置を提供する。
【解決手段】１つ又はそれよりも多くのレーザ４と、この１つ又はそれよりも多くのレーザ４の各々によって出力された放射線を強度変調する変調手段１０と、変調手段によって生成された変調放射線を例えば光ファイバ２２の中に出力するための出力手段とを含む送信装置２。装置は、使用時に１つ又はそれよりも多くのレーザ４から変調手段１０まで及び変調手段１０から出力手段まで放射線を案内する基板に形成された中空コア光導波路２０を含む。また、基板に形成された少なくとも１つの中空コア光導波路により、放射線が１つ又はそれよりも多くの光ファイバから１つ又はそれよりも多くの検出器まで案内されることを特徴とする受信器。組合せ受信器／送信器装置も示される。 （もっと読む）

【課題】低光損失な光導波路を低コストで提供する。
【解決手段】溝を有するアンダークラッドを射出成型により形成する射出成型工程と、前記溝の内部の表面を覆うようにクラッド材料を塗布する塗布工程と、前記クラッド材料が硬化した後、前記溝内に前記クラッド材料よりも屈折率の高い材料からなるコア材料を塗布することによりコアを形成するコア形成工程と、前記コア材料が硬化した後、前記コアを覆うように前記クラッド材料と同じ屈折率の材料からなるオーバークラッドを形成するオーバークラッド形成工程と、を有することを特徴とする光導波路の形成方法を提供することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】簡単に光導波路のミラー部を形成することのできる製造方法を提供する。
【解決手段】コア溝に対応する凸部と、コア溝対応凸部の少なくとも一方端に当接し、コア溝対応凸部に直交する方向に延びる斜めミラー部に対応する凸部とを有する第１の型で、基板上に形成された硬化前のクラッド層を押圧し、そのままクラッド層を硬化させて、下部クラッド層にコア溝と斜めミラー部用Ｖ溝を形成する工程；上記第１の型を下部クラッド層から離型させ、コア溝および斜めミラー部用Ｖ溝にコア材料を注入して充填する工程；第１の型における斜めミラー部に対応する凸部と同一形状の凸部のみを有する第２の型を、コア溝と斜めミラー部用Ｖ溝にコア材料が充填された下部クラッド層のＶ溝に第２の型の凸部が当接するように押し当てて、Ｖ溝からコア材料を除去した後、コア溝中のコア材料を硬化させる工程；を含むことを特徴とする光導波路の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】光導波路において、下部クラッド層中に残留する泡に起因する下部クラッド層およびコア溝の形成不良が生じ難い光導波路の製造方法およびそれに用いる型を提供する。
【解決手段】光導波路の製造方法は、ソフトリソグラフィーを利用し、コア溝とコア溝の両側に間隔を空けて略平行に併設されたスペーサ溝に対応する凸部を有する第２の型（凸型）を用いて、基板上に、コア溝とコア溝の両側に間隔を空けて略平行に併設されたスペーサ溝とを有する下部クラッド層を形成する。第２の型は、上記スペーサ溝対応凸部の長手方向に垂直な断面の形状が、スペーサ溝底面に対応する凸部の下端辺がスペーサ溝上端面に対応する凸部上端辺よりも短い逆台形状であり、少なくともコア溝対応凸部側のスペーサ溝対応凸部の辺が傾斜している。 （もっと読む）

【課題】固体媒質で構成されたコア部を有する光導波路の作製方法において、長尺化した際の固体媒質の不均一性を低減すること。
【解決手段】原版４０１の上にクラッド材４０２を塗布する（図４（ａ））。その上に、ラミネート法により第１のクラッドシート４０３を塗布する（図４（ｂ））。ラミネート後、加熱して余分な溶媒等を除去して原版４０１から第１のクラッドシート４０３を剥離させ、凹部４０４Ａを有するソフトスタンパ４０４を得る（図４（ｃ））。ソフトスタンパ４０４Ａに対して、第２のクラッドシート４０５をラミネート法により張り合わせて（図４（ｄ））中空部４０６Ｂを有するクラッド部４０６Ａを得る（図４（ｅ））。最後に、中空部４０６Ｂに毛管現象によりＵＶ樹脂を封入し、引き続き紫外線照射を行えばコア部４０６Ｂ’が固化され、クラッド部４０６Ａ及びコア部４０６Ｂ’を有する光導波路４００が得られる（図４（ｆ））。 （もっと読む）

【課題】正確な位置に形成された微細樹脂構造体を得ることのできる微細樹脂構造体の製造方法、及びこのような製造方法により得られる高精度の各種マイクロデバイスを提供することを目的とする。
【解決手段】（ａ）基板上の樹脂層を溶融軟化させた状態で、型を基板の狙い位置の上方に位置するように位置合わせをする工程、（ｂ）位置合わせされた型を溶融軟化された樹脂層に押圧接触させ、樹脂層が固体化する温度にまで冷却した後、型を離型することにより一次成形体を形成する工程、（ｃ）一次成形体における、基板上の狙い位置からのｘ方向、ｙ方向、及びθ方向のズレに基づくズレ量を測定する工程、（ｄ）ズレ量が予め設定された値を超える場合には、補正調整して、さらに（ａ）〜（ｄ）工程を繰り返し、ズレ量が設定された値の範囲内である場合には成形工程を終了する。 （もっと読む）

【課題】光路を光基板の厚さ方向に変換する場合、レーザー加工のようにバイアホール開口部周囲に炭化物残渣が発生せず、且つバイアホールを介して接続する光配線と光接続部品の接続損失が少ない、光路変換構造の製造方法を提供する。
【解決手段】少なくとも光配線パターン凸部と光路変換部品設置凸部を有する凸型にクラッドワニスを押し付けてから、クラッドワニスを硬化させ、その後第一クラッドと凸型を剥離する凸型剥離工程と、前記第一クラッドに形成された光路変換部品設置凹部に光路変換部品を埋め込みんだ後、形成された光配線パターン凹部にコアワニスを充填し硬化させるコア硬化工程と、前記第一クラッドのコア形成面の一部もしくは全体にクラッドワニスを塗布し、第二クラッドを硬化させる工程からなる光基板の製造方法。 （もっと読む）

【課題】大面積基板上の所望の位置に光信号を基板面から垂直方向に９０°変換する機構を有する光導波路パターンを簡便に、且つその数を減らした態様で製造する製造方法を提供する。
【解決手段】少なくとも、溝状パターン3に光方向を略９０°変換する光方向変換部品5ａを設置する工程と、前記溝状パターン3にコア材料6を充填する工程と、前記コア材料6を硬化させてコアを形成する工程と、クラッド材料7ａ上に前記光変換部品5ａとコアを転写する工程と、を有する光導波路の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】光ファイバ等の光導波路の位置精度に優れ生産性及び経済性が高められた、光配線部品及びその製造方法等を提供すること。また、光導波路の接続位置が異なる光信号端子対間を接続可能な光配線部品及びその製造方法等を提供すること。
【解決手段】 光ファイバを収容可能な複数本のガイド溝を長手方向に有する長尺状の第１のフィルムの前記ガイド溝に複数本の光ファイバを収容する収容工程と、前記ガイド溝に収容された前記光ファイバを覆うように、前記第１のフィルム上に長尺状の第２のフィルムを積層する積層工程と、を含む、光配線用積層フィルムの製造方法。前記第１のフィルムは、隣接する前記ガイド溝の間隔が第一の間隔を有する第一の部分と隣接する前記ガイド溝の間隔が該第一の間隔とは異なる第二の間隔を有する第二の部分とを長手方向に繰り返し交互に有することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】光送受信部のサブマウントに高精度で実装できるフレキシブル光導波路と、光素子を基板の電気配線側に高精度で実装できるフレキシブル光電気混載基板とを提供すること。
【解決手段】フレキシブル光導波路は、基板上に、光が伝播するコアと、コアを包囲し、コアより屈折率が小さいクラッドと、光の伝播方向における少なくとも一方の端部に形成された４５°ミラーとを有する。４５°ミラーを有する端部において、クラッドの端部と４５°ミラーとの間に、クラッドより断面積が小さいクラッド延設部が設けられ、クラッドの端部から４５°ミラーに至る領域（クラッド延設部を除く）がコアと同じ材料で形成されている。フレキシブル光電気混載基板は、このフレキシブル光導波路において、基板の裏面に電気配線を有し、４５°ミラーの位置における基板の電気配線側に光素子が実装される。 （もっと読む）

【課題】位置ずれを抑制して、基板に成形部を高精度で成形することができる合成樹脂の成形方法および装置を提供する。
【解決手段】加熱で軟化若しくは液状化させた合成樹脂５４をスタンパ金型６０で押圧して、基板５０に複数個の成形部５５を同時に成形した後に、冷却工程を伴う合成樹脂の成形方法である。スタンパ金型６０を保持するステージ６１と基板５０を保持するステージ６２の各保持力を、周辺部よりも中央部を強く設定する。スタンパ金型６０を吸着保持するステージ６１と基板５０を吸着保持するステージ６２の各吸着穴６１ａ，６２ａは、周辺部よりも中央部ｂに多く形成されている。 （もっと読む）

【課題】発光デバイス及び受光デバイスを同一の光ファイバアレイに接続するのに用いられる光導波路構造体の各光導波路と光ファイバアレイの各光ファイバとの間の結合損失、あるいは、各光導波路と発光デバイスや受光デバイスとの間の結合損失を低減する。
【解決手段】光導波路構造体を、光ファイバアレイに含まれる光ファイバ３３Ａと受光デバイスとを接続する受信側光導波路７Ｂと、光ファイバアレイに含まれる光ファイバ３３Ａと発光デバイスとを接続する送信側光導波路７Ａとを備えるものとし、受信側光導波路７Ｂのコア４Ｂの断面積を、送信側光導波路７Ａのコア４Ａの断面積よりも大きくする。 （もっと読む）

【課題】任意に選択されたベース基板上に光ファイバ固定溝と光導波路とを寸法精度よく形成することができ、光ファイバのコアと光導波路のコア層との精密な位置合わせを行う必要がない光ファイバ固定溝付き光導波路基板などを提供すること。
【解決手段】光ファイバ固定溝付き光導波路基板は、ベース基板上に、光ファイバ固定溝とコア溝とを有する下部クラッド層であって、光ファイバ固定溝とコア溝との間に堰が設けられている下部クラッド層を含む光導波路が形成されている。光ファイバ固定溝付き光導波路基板は、凹型から作製された凸型を用いて、ベース基板上に下部クラッド層を形成した後、コア層および上部クラッド層を順次形成することにより製造される。製造方法に用いる型は、光ファイバ固定溝とコア溝とに対応する各凹部または各凸部、および、堰に対応する凸部または凹部を有する。光電気混載モジュールは、光ファイバ固定溝付き光導波路基板を含む。 （もっと読む）